JPS6348610A - 磁気記録体 - Google Patents
磁気記録体Info
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- JPS6348610A JPS6348610A JP19138486A JP19138486A JPS6348610A JP S6348610 A JPS6348610 A JP S6348610A JP 19138486 A JP19138486 A JP 19138486A JP 19138486 A JP19138486 A JP 19138486A JP S6348610 A JPS6348610 A JP S6348610A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 30
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 abstract description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017060 Fe Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、磁気記録装置に用いられる磁気記録体に関す
る。
る。
（従来の技術）
磁気記録装置の記録密度の向上は、斯界の変わらぬ趨勢
であり、従来の長手（面内方向）磁化音用いる磁気記録
方式にかわり近年原理的に高密度記録の可能な方式とし
て垂直磁化を用いる磁気記録方式が提案されている。
であり、従来の長手（面内方向）磁化音用いる磁気記録
方式にかわり近年原理的に高密度記録の可能な方式とし
て垂直磁化を用いる磁気記録方式が提案されている。
ここで用いられる磁気記暮体には、基板上に直接または
下地層を介して垂直磁気異方性膜を形成した単層媒体及
び基板上に軟磁性膜を形成し、その後直接または下地層
全弁して垂直磁気異７ｉ註膜を形成した１ハわゆる２考
課体がある。
下地層を介して垂直磁気異方性膜を形成した単層媒体及
び基板上に軟磁性膜を形成し、その後直接または下地層
全弁して垂直磁気異７ｉ註膜を形成した１ハわゆる２考
課体がある。
（発明が解決しようとする問題点）
これらの磁気記録体としては、プラスチックフィルムを
基板として用いるフレキシブル記録体及びＡ４合金にＮ
ｉＰメッキ甘たせアルマイト灸覆した基板またはガラス
、セラミック等Ｏ硬質基板を用いるリジットの記録体が
ある。近迫、特；Ｃリジット記録体においてディスク基
板に同心円状に凹凸の微小な溝（ミゾ）を形成しこのミ
ゾ方向ンで磁性膜の磁気的異方性全付与し、磁気特性の
改善及び磁気ヘッドと記録体表面との吸着の防止を９っ
ている。
基板として用いるフレキシブル記録体及びＡ４合金にＮ
ｉＰメッキ甘たせアルマイト灸覆した基板またはガラス
、セラミック等Ｏ硬質基板を用いるリジットの記録体が
ある。近迫、特；Ｃリジット記録体においてディスク基
板に同心円状に凹凸の微小な溝（ミゾ）を形成しこのミ
ゾ方向ンで磁性膜の磁気的異方性全付与し、磁気特性の
改善及び磁気ヘッドと記録体表面との吸着の防止を９っ
ている。
しかしながら、軟磁性膜と垂直磁気異方性膜からなる２
層媒体を同心円状に凹凸のミゾを有する基板上に形成し
た場合、通常用いられる磁歪を低減した軟磁性膜におい
てはミゾ方向全容易軸とする磁気異方性が発生し、この
２層媒体に記録再生を行った結果、軟磁性膜のトラック
長手方向の高周波の透磁率が低下し、配弁周波数特性が
著しく劣化する問題が生じた。
層媒体を同心円状に凹凸のミゾを有する基板上に形成し
た場合、通常用いられる磁歪を低減した軟磁性膜におい
てはミゾ方向全容易軸とする磁気異方性が発生し、この
２層媒体に記録再生を行った結果、軟磁性膜のトラック
長手方向の高周波の透磁率が低下し、配弁周波数特性が
著しく劣化する問題が生じた。
従来例として、第３図（ａＪ 、 （ｂｌに示すように
、ディスク基板１には、アルミ合金基板にＮ１Ｐｉメツ
キして鏡面研摩加工時にディスク円板の円周方向に、研
摩による凹凸のミゾ２を形成した。このミゾ構造の形状
は、第４図に示すような傾斜した凹凸の金型で成型され
たプラスチ、り基板でもよい。
、ディスク基板１には、アルミ合金基板にＮ１Ｐｉメツ
キして鏡面研摩加工時にディスク円板の円周方向に、研
摩による凹凸のミゾ２を形成した。このミゾ構造の形状
は、第４図に示すような傾斜した凹凸の金型で成型され
たプラスチ、り基板でもよい。
この従来例として、ミゾ粗さくＲａ）２００Ａのアルミ
谷金基板を用い、軟磁性膜には、ＮｉＦｅ合金（８Ｑｗ
ｔチＮ４）をターゲットとしてスパッタ装置により成膜
したつこのときの内部応力（σ）、磁歪定数（λ）及び
面内の磁気異方性定数（Ｋｕ）ｉはそれぞれ＋Ｉ Ｘ
１ （ｊ０ｄｙｎｅ／ｆ：ｎ？、 ＋２Ｘ１０ 、１刈
０’ｅｒｇ／ｃｃとなる。この場合にはスジ方向と平行
の磁気異方性が生じていた。
谷金基板を用い、軟磁性膜には、ＮｉＦｅ合金（８Ｑｗ
ｔチＮ４）をターゲットとしてスパッタ装置により成膜
したつこのときの内部応力（σ）、磁歪定数（λ）及び
面内の磁気異方性定数（Ｋｕ）ｉはそれぞれ＋Ｉ Ｘ
１ （ｊ０ｄｙｎｅ／ｆ：ｎ？、 ＋２Ｘ１０ 、１刈
０’ｅｒｇ／ｃｃとなる。この場合にはスジ方向と平行
の磁気異方性が生じていた。
本発明の目的は、このような問題点を解決し、高周波特
性を改善し、記録密度全高めた磁気記録体を提供するこ
とにある。
性を改善し、記録密度全高めた磁気記録体を提供するこ
とにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明の磁気記録体の構成は、溝の粗さが５００Ａ以下
の凹凸が同心円状に形成されている基板上に、軟磁性膜
力；形成され、この軟磁性膜上に磁気異方性方向が前記
凹凸の溝方向と直角である垂直磁気異方性膜が形成され
たことを特徴とする。
の凹凸が同心円状に形成されている基板上に、軟磁性膜
力；形成され、この軟磁性膜上に磁気異方性方向が前記
凹凸の溝方向と直角である垂直磁気異方性膜が形成され
たことを特徴とする。
（作用）
本発明の磁気記録体は、軟磁性膜に凹凸のミゾ方向と直
角に容易軸をなす磁気異方性を発現させることにより、
記録トラック長手方向で軟磁性膜の透磁率の周波数特性
を向上させ、記録・再生特性が太きく改善できる。
角に容易軸をなす磁気異方性を発現させることにより、
記録トラック長手方向で軟磁性膜の透磁率の周波数特性
を向上させ、記録・再生特性が太きく改善できる。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図、第２図はそれぞれ本発明の第１および第２の実
施例のディスク基板の一部分断面図である。
施例のディスク基板の一部分断面図である。
本実施例の基板１には、アルミ合金基板にＮｉＰ金メッ
キして鏡面りＩ摩加工時にディスク円板の円周方向に、
第３図（ａ） 、 （ｂｌの如く研摩により凹凸のミゾ
を形成した基板を用いた。このミゾ構造の形状は、第４
図に示すような、金型によって成型されたプラスチック
基板でも同様の効果がある。
キして鏡面りＩ摩加工時にディスク円板の円周方向に、
第３図（ａ） 、 （ｂｌの如く研摩により凹凸のミゾ
を形成した基板を用いた。このミゾ構造の形状は、第４
図に示すような、金型によって成型されたプラスチック
基板でも同様の効果がある。
第１の実施例（第１図）のディスク基板１としては、ミ
ゾの粗さＲａ（平均の粗ざ）は２００Ｘと３０ＯＡのも
のを用い、比較例としてミゾ粗さ５００Ａの基板を用い
た。これらの基板を用いた記録体をそれぞれ記録体Ｉ、
■、Ｉとする。
ゾの粗さＲａ（平均の粗ざ）は２００Ｘと３０ＯＡのも
のを用い、比較例としてミゾ粗さ５００Ａの基板を用い
た。これらの基板を用いた記録体をそれぞれ記録体Ｉ、
■、Ｉとする。
軟磁性膜の作製には、ＮｉＦｅ合金（８５ｗｔ％Ｎｉ）
を用い、マグネトロンスパッタ装置を用いて０．４μｍ
形成した。
を用い、マグネトロンスパッタ装置を用いて０．４μｍ
形成した。
第５図は形成時のアルゴン圧力ＰＡｒＫ対するＮｉＦｅ
合金膜の膜の内部応力の関係を示す特性崗である。図の
如く、本実施例番で用いたスパッタ装置においては、Ｐ
Ａ、〜２ｍ Ｔｏｒｒを境に引張シ応力（符号歪）と圧
縮応力（符号負）に応力が変化し、アルゴン圧力を変え
て内部応力を制御した。本実施例では、ＰＡ ｒ−６ｍ
Ｔｏ ｒ ｒでスパッタを行々っだが、それぞれの基板
上に形成した膜の内部応力と膜の磁歪定数はそ１１ぞれ
２ＸＩ Ｑ１０ｄｙｎｅ／ｃｒｎ’と−ｔｓｘｘｏ’で
あ、：、た。
合金膜の膜の内部応力の関係を示す特性崗である。図の
如く、本実施例番で用いたスパッタ装置においては、Ｐ
Ａ、〜２ｍ Ｔｏｒｒを境に引張シ応力（符号歪）と圧
縮応力（符号負）に応力が変化し、アルゴン圧力を変え
て内部応力を制御した。本実施例では、ＰＡ ｒ−６ｍ
Ｔｏ ｒ ｒでスパッタを行々っだが、それぞれの基板
上に形成した膜の内部応力と膜の磁歪定数はそ１１ぞれ
２ＸＩ Ｑ１０ｄｙｎｅ／ｃｒｎ’と−ｔｓｘｘｏ’で
あ、：、た。
軟磁性膜を形成した記録体ｒ、ｎ、ｘの面内具カ性を磁
気トル７計で測定した結果を第１表に示す。
気トル７計で測定した結果を第１表に示す。
第１表
−゛可
磁気異方性定数Ｋｕにおいて負の符号はミゾ方向と直角
方向に容易＠を有し、正の符号はミゾ方向と平行に容易
軸を有する。
方向に容易＠を有し、正の符号はミゾ方向と平行に容易
軸を有する。
軟磁性膜を形成した記録体には、ＰＡｒ／ｍＴｏｒｒニ
オイテ、ＣｏＣｒ合金（２２ａｔ％Ｃｒ） ターゲッ
トを用いてマグネトロンスパッタによｐＣｏＣｒ膜を０
．２μｍそれぞれ形成した。形成された膜の垂直方向の
保磁力は５０００ｅでちった。
オイテ、ＣｏＣｒ合金（２２ａｔ％Ｃｒ） ターゲッ
トを用いてマグネトロンスパッタによｐＣｏＣｒ膜を０
．２μｍそれぞれ形成した。形成された膜の垂直方向の
保磁力は５０００ｅでちった。
第２の実施例を示す第２図において、ディスク基板とし
て第４図に示す形状の基板を用い、ミゾの粗さ■モ、ば
２００Ａであった。軟磁性膜の作製には、ＮｉＦ”ｅｃ
ｒ合金（Ｎ’６０ Ｆｅ５０ Ｃｒ１Ｏ）ターゲットを
用い、マグネトロンスパッタ装置を用いて０．４ｐｍ形
成した。スバ、り圧力ＰＡｒはＱ、ＢｍＴｏｒで、この
ときの軟磁性、＠ （Ｎ ｉ Ｆ ｅ Ｃｒ ）の内部
応力は圧縮圧カー１．．９Ｘ １０”ｄｙｎｅ ７ｃｍ
２で、磁歪定数は一！−２０Ｘ１０ であった。
て第４図に示す形状の基板を用い、ミゾの粗さ■モ、ば
２００Ａであった。軟磁性膜の作製には、ＮｉＦ”ｅｃ
ｒ合金（Ｎ’６０ Ｆｅ５０ Ｃｒ１Ｏ）ターゲットを
用い、マグネトロンスパッタ装置を用いて０．４ｐｍ形
成した。スバ、り圧力ＰＡｒはＱ、ＢｍＴｏｒで、この
ときの軟磁性、＠ （Ｎ ｉ Ｆ ｅ Ｃｒ ）の内部
応力は圧縮圧カー１．．９Ｘ １０”ｄｙｎｅ ７ｃｍ
２で、磁歪定数は一！−２０Ｘ１０ であった。
軟磁性層全形成した記録体■の市内具７＋注を磁気トル
ク計で測定した結果を第１表に示す。磁気異方性定数Ｋ
ｕは−１，５Ｘ１０ ｅｒｇ／ｃｃでミゾ方向（て直
角に異方性が生じた。
ク計で測定した結果を第１表に示す。磁気異方性定数Ｋ
ｕは−１，５Ｘ１０ ｅｒｇ／ｃｃでミゾ方向（て直
角に異方性が生じた。
この軟磁性膜形成後、第１の実月例と同様のＣ。
Ｃｒ合金ターゲットを用い、ＣｏＣｒ膜をＱ、２μｍ形
成した。膿の垂直方向の９磁カは５５００ｅ であった
。
成した。膿の垂直方向の９磁カは５５００ｅ であった
。
これら実月例、比較及び従来例の記録体Ｉ−Ｖを用い、
リターンバスを有する薄７摸型の主磁事急磁の磁気ヘッ
ドで記録再生を行ないその記録密度特性を調べた。主磁
極膜厚は０．３岸ｍである。
リターンバスを有する薄７摸型の主磁事急磁の磁気ヘッ
ドで記録再生を行ないその記録密度特性を調べた。主磁
極膜厚は０．３岸ｍである。
第２表にそｎぞれの記録密度を表わすＤ５゜（孤立波出
力のＳとなる出力での密度）を示した。
力のＳとなる出力での密度）を示した。
第２表
この表より、本実施例の記録体１．ｆｌ、Ｖの記録密展
Ｄｓａ ’ｒｌぞれぞｉ９０，７５，８０に−ＥＩＰＩ
で、十分高い密度特性が得られ次。−力、比較例及び
従来例の記録体ｆｆ、ＩＶでは、Ｄ、。はそれぞれ５０
゜６０に−ＢＰＩで実施例より劣った。
Ｄｓａ ’ｒｌぞれぞｉ９０，７５，８０に−ＥＩＰＩ
で、十分高い密度特性が得られ次。−力、比較例及び
従来例の記録体ｆｆ、ＩＶでは、Ｄ、。はそれぞれ５０
゜６０に−ＢＰＩで実施例より劣った。
（発明の効果）
以上説明したように１本発明によれば、記録密度の高い
磁気記録体を得ることができる。
磁気記録体を得ることができる。
第１ス、第２図は本発明の第１および第２の実施例の部
分断面図、第３図（ａｌ 、 Ｑ））けディスク基板の
平面図とその部分断面図、第４図は金型によりディスク
基板を作製した部分断面図、第５図ばＮｉＦｅ合金、模
形成時のスパッタ圧力と膜の内部応力の関係を示す特性
図である。 １・・・・−・ディスク基板、２・・・・・・ミゾ、３
・・・・・・基板断面、４・・・・・・基板断面形状、
５・・・・・・基板、６・・・・・・帛Ｉ図 郷２ ロ 牟４ 図 崇５ 図
分断面図、第３図（ａｌ 、 Ｑ））けディスク基板の
平面図とその部分断面図、第４図は金型によりディスク
基板を作製した部分断面図、第５図ばＮｉＦｅ合金、模
形成時のスパッタ圧力と膜の内部応力の関係を示す特性
図である。 １・・・・−・ディスク基板、２・・・・・・ミゾ、３
・・・・・・基板断面、４・・・・・・基板断面形状、
５・・・・・・基板、６・・・・・・帛Ｉ図 郷２ ロ 牟４ 図 崇５ 図
Claims (3)
- （１）溝の粗さが５００Å以下の凹凸が同心円状に形成
されている基板上に、軟磁性膜が形成され、この軟磁性
膜上に磁気異方性方向が前記凹凸の溝方向と直角である
垂直磁気異方性膜が形成されたことを特徴とする磁気記
録体。 - （２）軟磁性膜は、その磁歪定数が負の値であり膜の内
部応力が引張り応力である特許請求の範囲第１項記載の
磁気記録体。 - （３）軟磁性膜は、その磁歪定数が正の値であり膜の内
部応力が圧縮応力である特許請求の範囲第１項記載の磁
気記録体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61191384A JPH0664730B2 (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | 磁気記録体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61191384A JPH0664730B2 (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | 磁気記録体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6348610A true JPS6348610A (ja) | 1988-03-01 |
| JPH0664730B2 JPH0664730B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=16273700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61191384A Expired - Lifetime JPH0664730B2 (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | 磁気記録体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0664730B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0256727A (ja) * | 1988-08-20 | 1990-02-26 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体 |
| US7471484B2 (en) | 2001-02-16 | 2008-12-30 | Wd Media, Inc. | Patterned medium and recording head |
| US7549209B2 (en) | 2002-11-27 | 2009-06-23 | Wd Media, Inc. | Method of fabricating a magnetic discrete track recording disk |
| US7608193B2 (en) | 2002-11-27 | 2009-10-27 | Wd Media, Inc. | Perpendicular magnetic discrete track recording disk |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53123906A (en) * | 1977-04-05 | 1978-10-28 | Fujitsu Ltd | Magnetic disc |
| JPS5868226A (ja) * | 1981-10-16 | 1983-04-23 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6052919A (ja) * | 1983-09-01 | 1985-03-26 | Nec Corp | 垂直磁気記録体及びその製造方法 |
-
1986
- 1986-08-15 JP JP61191384A patent/JPH0664730B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53123906A (en) * | 1977-04-05 | 1978-10-28 | Fujitsu Ltd | Magnetic disc |
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| JPH0256727A (ja) * | 1988-08-20 | 1990-02-26 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体 |
| US7471484B2 (en) | 2001-02-16 | 2008-12-30 | Wd Media, Inc. | Patterned medium and recording head |
| US7549209B2 (en) | 2002-11-27 | 2009-06-23 | Wd Media, Inc. | Method of fabricating a magnetic discrete track recording disk |
| US7608193B2 (en) | 2002-11-27 | 2009-10-27 | Wd Media, Inc. | Perpendicular magnetic discrete track recording disk |
| US7656615B2 (en) | 2002-11-27 | 2010-02-02 | Wd Media, Inc. | Perpendicular magnetic recording disk with a soft magnetic layer having a discrete track recording pattern |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0664730B2 (ja) | 1994-08-22 |
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