JPH02152244A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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Publication number
JPH02152244A
JPH02152244A JP63306547A JP30654788A JPH02152244A JP H02152244 A JPH02152244 A JP H02152244A JP 63306547 A JP63306547 A JP 63306547A JP 30654788 A JP30654788 A JP 30654788A JP H02152244 A JPH02152244 A JP H02152244A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor chip
semiconductor
semiconductor device
thin part
chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63306547A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiji Kobayashi
栄治 小林
Atsushi Obuchi
大渕 淳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP63306547A priority Critical patent/JPH02152244A/ja
Publication of JPH02152244A publication Critical patent/JPH02152244A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D62/00Semiconductor bodies, or regions thereof, of devices having potential barriers
    • H10D62/10Shapes, relative sizes or dispositions of the regions of the semiconductor bodies; Shapes of the semiconductor bodies
    • H10D62/117Shapes of semiconductor bodies
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10W72/50Bond wires
    • H10W72/551Materials of bond wires
    • H10W72/552Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver
    • H10W72/5522Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver comprising gold [Au]
    • HELECTRICITY
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    • H10W72/952Materials of bond pads comprising metals or metalloids, e.g. PbSn, Ag or Cu
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    • H10W90/756Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink

Landscapes

  • Die Bonding (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ この発明は、半導体装置の構造に係り、特に半導体チッ
プを導電体又は絶縁体基板上へ固定させる調整構造を提
供する。
[従来の技術] 第4図は従来の半導体装置を示す断面図で、図において
、Iaは半導体チップで、第5図に示す断面形状の半導
体ウェハ1を個々の半導体チップlaに切断分離させた
後(第6図)、ダイポンドバット2aELび外部リード
線部2bを有する金属板(リードフレーム)2の前記ダ
イボンドパッド2aに接着剤3にて半導体チップ1aの
裏面を固定させている。さらに、半導体チップ1aの表
面に形成されたAI電極端子とリードフレーム2の外部
リード線部2bをAu線4にて接続し、さらに保護用の
樹脂5にて封止して第4図に示す断面構造を有する半導
体装置を完成させていた。
[発明が解決しようとする課題] 従来の半導体装置は以上のように構成されていたので、
半導体ウェハの大口径化にともない板厚の増加が必要と
なっており、半導体チップ上の電極と外部リード配線す
るAu線の半導体チップエッヂ部との接続の不具合の発
生及び外形寸法特に厚み方向での寸法の増加等の問題点
があった。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、半導体チップの板厚の増加分を半導体チップ
の外周部の肉薄部の調整によって解消することを目的と
するものである。
[課題を解決するための手段および作用]この発明の半
導体装置は半導体チップの少くとも2箇所以上の辺に肉
薄部を形成させ、この肉薄部を基板面に固定させること
により半導体チップ表面と基板面の段差を肉薄部の厚み
を調整することにより、従来の半導体チップの板厚によ
って決定されていた段差を所望の寸法に調整するもので
ある。
[実施例] 以下、この発明の実施例を図について説明する。
第1図はこの発明に係る半導体装置の一実施例を示す断
面図である。
図において、6aは半導体チップで、第2図に示す断面
を有する半導体ウェハ6を切断分離させて成る。第3図
は切断分S後の半導体チップ6aを示す斜視図で、6b
は半導体チップ6aの肉薄部を示す。
半導体チップ6aはリードフレーム2のダイボンドパッ
ド部2aに形成されたチップ位置決め穴2cに半導体チ
ップ6aの肉厚部6cを挿入させるとともに肉薄部6b
を接着剤3によりダイボンドバット2aに固定させる。
そして半導体チップ6a表面に形成されたAl電極端子
とり−トフレーム2の外部リード線部2bをAu線4に
て接続する。そして、保護用の樹脂5にて封止させるこ
とにより半導体装置を完成させる。
[発明の効果] 以上の様にこの発明によりば、半導体チップの外周に肉
薄部を形成し、その肉薄部をリードフレーム面に固定さ
せることにより、半導体チップ面とリードフレーム表面
の段差を調整して小ざくすることが出来るので、Au線
と半導体チップの接触防止及び封止樹脂厚も薄く出来る
ため外形寸法の小形化の実現が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明に係る半導体装置の一実施例を示す断
面図、第2図はこの発明に係る半導体ウェハの断面図、
第3図はこの発明に係る半導体チップの斜視図、第4図
は従来の半導体装置の断面図5第5図は従来の半導体ウ
ェハの断面図、第6図は従来の半導体チップの斜視図で
ある。 図において、2はリードフレーム、2aはダイボンドパ
ッド、2bは外部リード線部、2Cはチップ位置決め穴
、3は接着剤、4はAu線、5は封止樹脂、6は半導体
ウェハ、6aは半導体チップ、6bは肉薄部、6eは肉
厚部を示す。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 半導体チップの外周部に肉薄部を形成し、この肉薄部を
    基板面へ固定させ、前記半導体チップ表面と基板面の段
    差を前記肉薄部の厚みを変えることにより所望の寸法に
    することを特徴とする半導体装置
JP63306547A 1988-12-02 1988-12-02 半導体装置 Pending JPH02152244A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63306547A JPH02152244A (ja) 1988-12-02 1988-12-02 半導体装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63306547A JPH02152244A (ja) 1988-12-02 1988-12-02 半導体装置

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Publication Number Publication Date
JPH02152244A true JPH02152244A (ja) 1990-06-12

Family

ID=17958353

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63306547A Pending JPH02152244A (ja) 1988-12-02 1988-12-02 半導体装置

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JP (1) JPH02152244A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06104294A (ja) * 1992-09-17 1994-04-15 Nec Corp リードフレーム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06104294A (ja) * 1992-09-17 1994-04-15 Nec Corp リードフレーム

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