JPH02153304A - 色分解フィルターの製造方法 - Google Patents
色分解フィルターの製造方法Info
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- JPH02153304A JPH02153304A JP63308329A JP30832988A JPH02153304A JP H02153304 A JPH02153304 A JP H02153304A JP 63308329 A JP63308329 A JP 63308329A JP 30832988 A JP30832988 A JP 30832988A JP H02153304 A JPH02153304 A JP H02153304A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は色フィルターの製造方法に関するものであり、
特に単板式カラー固体撮像素子用色分解フィルターの製
造方法に関するものである。
特に単板式カラー固体撮像素子用色分解フィルターの製
造方法に関するものである。
単板式カラー固体撮像素子においては、第２図（ａ）■
）に示すように固体撮像素子の画素のそれぞれに対応し
て、色フイルタ−１，２，３をモザイク状に規則的に配
置することによって入射光に含まれる色情報を得ている
。その際隣接する異なる分光透過率を持った色フィルタ
ーからの透過光又は散乱光の洩れや、各色フイルタ−パ
タン間の位置合わせ誤差等による色フィルター同士の重
なり部分や色フィルター間に生ずる隙間からの透過光の
侵入による混色を防止するために、各色フィルターの境
界部分には通常第２図（ａ） （ｂ）に示すような遮光
膜パタン４が形成されている。
）に示すように固体撮像素子の画素のそれぞれに対応し
て、色フイルタ−１，２，３をモザイク状に規則的に配
置することによって入射光に含まれる色情報を得ている
。その際隣接する異なる分光透過率を持った色フィルタ
ーからの透過光又は散乱光の洩れや、各色フイルタ−パ
タン間の位置合わせ誤差等による色フィルター同士の重
なり部分や色フィルター間に生ずる隙間からの透過光の
侵入による混色を防止するために、各色フィルターの境
界部分には通常第２図（ａ） （ｂ）に示すような遮光
膜パタン４が形成されている。
一方、固体撮像素子が高解像度化するに従い画素面積が
縮小するため、色フィルターバクンのアスペクト比が増
大し色フィルター表面への斜め入射光による混色が発生
し易くなる。この場合色フイルタ−パタン自体が微細化
しているため遮光膜パタン４の幅を拡げることによって
斜め入射光による混色を減少させた場合には、固体撮像
素子の感光部への入射光の光量が大幅に減少するため撮
像素子としての感度が低下してしまう。このため、隣接
する色フイルタ−パタン等による混色を減少せる方法と
して、色フイルタ−パタンの境界部分でなく、色フイル
タ−パタンの間隙に遮光膜を充填配置する構成が考えら
れている。しかし色フイルタ−パタンの間隙にのみ選択
的に遮光膜を充填することは困難であるため、このよう
な構成による色分解フィルターを実現することはできな
かった。本発明の目的は単板式カラー固体撮像素子用色
分解フィルターの製造方法に関する上記の問題を解決し
、色フイルタ−パタンの間隙にのみ選択的に遮光膜を形
成する方法を提供することにある。
縮小するため、色フィルターバクンのアスペクト比が増
大し色フィルター表面への斜め入射光による混色が発生
し易くなる。この場合色フイルタ−パタン自体が微細化
しているため遮光膜パタン４の幅を拡げることによって
斜め入射光による混色を減少させた場合には、固体撮像
素子の感光部への入射光の光量が大幅に減少するため撮
像素子としての感度が低下してしまう。このため、隣接
する色フイルタ−パタン等による混色を減少せる方法と
して、色フイルタ−パタンの境界部分でなく、色フイル
タ−パタンの間隙に遮光膜を充填配置する構成が考えら
れている。しかし色フイルタ−パタンの間隙にのみ選択
的に遮光膜を充填することは困難であるため、このよう
な構成による色分解フィルターを実現することはできな
かった。本発明の目的は単板式カラー固体撮像素子用色
分解フィルターの製造方法に関する上記の問題を解決し
、色フイルタ−パタンの間隙にのみ選択的に遮光膜を形
成する方法を提供することにある。
本発明では上記問題を解決するために色フイルタ−パタ
ンの間隙にのみ選択的に遮光膜を形成する方法について
鋭意検討した結果、基板上に透明導電膜を形成する工程
と、非導電性の色フィルターを所望パクン状に形成する
工程と、前記色フィルターが形成されていない部分の前
記透明導電膜にめっき法または電着法により遮光膜を析
出させる工程を経ることにより色フィルターパクンの間
隙にのみ選択的に遮光膜を形成することができることを
見い出した。
ンの間隙にのみ選択的に遮光膜を形成する方法について
鋭意検討した結果、基板上に透明導電膜を形成する工程
と、非導電性の色フィルターを所望パクン状に形成する
工程と、前記色フィルターが形成されていない部分の前
記透明導電膜にめっき法または電着法により遮光膜を析
出させる工程を経ることにより色フィルターパクンの間
隙にのみ選択的に遮光膜を形成することができることを
見い出した。
本発明では、互いに異なる分光透過率を持つ２ないし３
種の色フィルターパクンを基板上に規則的に配置し、更
に色フイルタ−パタンの境界部分に遮光部分を設けるこ
とによって形成される色分解フィルターの製造法におい
て、まず低膨張ガラス等よりなる透明基板表面に透明導
電膜を全面もしくは必要領域に形成する６次いで該透明
導電膜りに必要に応じて２ないし３種の色フイルタ−パ
タンを所望パタン状に形成した後、前記色フイルタ−パ
タンがその表面に形成されていない前記透明導電膜が露
出している領域に無電解めっき法及び／または電解めっ
き法により選択的に遮光性被膜を成長させる。前記２な
いし３種の色フイルタ−パタンの境界部分が互いに接触
あるいは重畳している場合、あるいは境界部分の幅が所
定の値より狭い場合には、フォトリソグラフィー法及び
反応性イオンエツチング法により前記境界部分のみを１
〜ｌＯμｍ程度の所定間隔に溝状に除去し、溝の底部に
前記透明導電膜を露出させた後に無電解めっき法及び電
解めっき法により選択的に遮光性被膜を成長させること
も可能である。本発明によれば各色フイルタ−パタンの
間隙部分に設けた１μｍ程度の微細な溝の内部にのみ選
択的に遮光性被膜を形成し、溝の内部を遮光性物質で満
たすことができるため色フィルターの開口率を低下させ
ることなく効果的に混色を防ぐことができる。第２図（
ａ）は表面に本発明による遮光膜を形成した色分解フィ
ルターを設けた透明基板１２を固体撮像素子１３に貼り
合わせて形成した単板式カラー固体撮像素子の貼り合わ
せ部分の断面を示す説明図である。
種の色フィルターパクンを基板上に規則的に配置し、更
に色フイルタ−パタンの境界部分に遮光部分を設けるこ
とによって形成される色分解フィルターの製造法におい
て、まず低膨張ガラス等よりなる透明基板表面に透明導
電膜を全面もしくは必要領域に形成する６次いで該透明
導電膜りに必要に応じて２ないし３種の色フイルタ−パ
タンを所望パタン状に形成した後、前記色フイルタ−パ
タンがその表面に形成されていない前記透明導電膜が露
出している領域に無電解めっき法及び／または電解めっ
き法により選択的に遮光性被膜を成長させる。前記２な
いし３種の色フイルタ−パタンの境界部分が互いに接触
あるいは重畳している場合、あるいは境界部分の幅が所
定の値より狭い場合には、フォトリソグラフィー法及び
反応性イオンエツチング法により前記境界部分のみを１
〜ｌＯμｍ程度の所定間隔に溝状に除去し、溝の底部に
前記透明導電膜を露出させた後に無電解めっき法及び電
解めっき法により選択的に遮光性被膜を成長させること
も可能である。本発明によれば各色フイルタ−パタンの
間隙部分に設けた１μｍ程度の微細な溝の内部にのみ選
択的に遮光性被膜を形成し、溝の内部を遮光性物質で満
たすことができるため色フィルターの開口率を低下させ
ることなく効果的に混色を防ぐことができる。第２図（
ａ）は表面に本発明による遮光膜を形成した色分解フィ
ルターを設けた透明基板１２を固体撮像素子１３に貼り
合わせて形成した単板式カラー固体撮像素子の貼り合わ
せ部分の断面を示す説明図である。
また本発明は、色フィルターが非導電性物質で形成され
ていれば有機フィルター、無機フィルターを問わず応用
することができ、遮光性被膜についてもニンケル、銅、
クロム等のような無電解めっき法又は電解めっき法によ
り析出可能な金属はもちろん、そのほかに電気泳動を利
用した電着法によって析出可能な黒色顔料によって形成
させることも可能である。
ていれば有機フィルター、無機フィルターを問わず応用
することができ、遮光性被膜についてもニンケル、銅、
クロム等のような無電解めっき法又は電解めっき法によ
り析出可能な金属はもちろん、そのほかに電気泳動を利
用した電着法によって析出可能な黒色顔料によって形成
させることも可能である。
さらに本発明では主にカラー固体ＩＲ像素子用色分解フ
ィルターの製造を例にとってその方法を説明しているが
、その他のカラー損像素子用色分解フィルターまたはカ
ラー液晶デイスプレィ用色分解フィルター等を製造する
際にも本発明による方法が応用できることはいうまでも
ない。
ィルターの製造を例にとってその方法を説明しているが
、その他のカラー損像素子用色分解フィルターまたはカ
ラー液晶デイスプレィ用色分解フィルター等を製造する
際にも本発明による方法が応用できることはいうまでも
ない。
以下本発明の実施例について第１図を用いて具体的に説
明する。
明する。
〔実施例１〕
厚さ０．５輪転直径３ｉｎｃｈのＡＭガラス（旭硝子製
）からなる透明基板５上にスパッタリング法によりＩＴ
Ｏの透明導電膜７（膜厚０．１ｍ ｕ ）を形成した（
第１図（ａ）参照）、このＩＴＯ膜付透明基板を３００
°Ｃ２時間大気中で焼成した後ＩＴＯ膜７上に所望パタ
ン状にしラド１．グリーン２．ブルー３の各色フィルタ
ーパクンを形成し、次いでスパッタリング法により酸化
シリコンよりなる平滑化層８を積層した（第１図（ｂ）
参照）０次にフォトリソグラフィー法にてパタン状耐食
膜を平滑化層８の上に形成し、反応性イオンエツチング
法を用いて、各色フィルター境界部分に溝９を形成する
（第１図（ｃ）参照）０次いで無電解ニッケルめっきに
より溝９次部に露出するＩＴＯ膜７膜面表面み選択的に
ニッケル膜１０を析出させた後、硫酸銅浴中でＩＴＯ膜
７を陰極として電解めっきを行い溝９次部に露出するＩ
ＴＯ膜７膜面表面出したニッケル膜１３上に金属銅層１
１を析出させた（第１図（ｄ）参照）。
）からなる透明基板５上にスパッタリング法によりＩＴ
Ｏの透明導電膜７（膜厚０．１ｍ ｕ ）を形成した（
第１図（ａ）参照）、このＩＴＯ膜付透明基板を３００
°Ｃ２時間大気中で焼成した後ＩＴＯ膜７上に所望パタ
ン状にしラド１．グリーン２．ブルー３の各色フィルタ
ーパクンを形成し、次いでスパッタリング法により酸化
シリコンよりなる平滑化層８を積層した（第１図（ｂ）
参照）０次にフォトリソグラフィー法にてパタン状耐食
膜を平滑化層８の上に形成し、反応性イオンエツチング
法を用いて、各色フィルター境界部分に溝９を形成する
（第１図（ｃ）参照）０次いで無電解ニッケルめっきに
より溝９次部に露出するＩＴＯ膜７膜面表面み選択的に
ニッケル膜１０を析出させた後、硫酸銅浴中でＩＴＯ膜
７を陰極として電解めっきを行い溝９次部に露出するＩ
ＴＯ膜７膜面表面出したニッケル膜１３上に金属銅層１
１を析出させた（第１図（ｄ）参照）。
以上の工程を経ることにより各色フイルタ−パタンの境
界部分に設けた溝の内部をニッケル及び銅よりなる遮光
性物質で満たすことができた。
界部分に設けた溝の内部をニッケル及び銅よりなる遮光
性物質で満たすことができた。
〔実施例２〕
厚さ０．５ａｍ、直径３ｉｎｃｈのＡＮガラス（旭硝子
製）からなる透明基板５上にスパッタリング法によりＩ
ＴＯ膜７（膜厚０．１ｍμ）を形成した（第１図（ａ）
参照）。
製）からなる透明基板５上にスパッタリング法によりＩ
ＴＯ膜７（膜厚０．１ｍμ）を形成した（第１図（ａ）
参照）。
このＩＴＯ膜付透明基板を３００°Ｃ２時間大気中で焼
成した後ＩＴＯ膜７上に所望パタン状にレッド１．グリ
ーン２．ブルー３の各色フイルタ−パタンを形成し、次
いで透明樹脂よりなる平滑化層８を積層した（第１図（
ｂ）参照）０次にフォトリソグラフィー法及び反応性イ
オンエツチング法を用いて、各色フィルター境界部分に
溝９を形成する（第１図（ｃ）参照）０次いで電着法を
用いて溝９次部に露出す、るＩＴＯ膜７膜面表面み選択
的にカーボンブラックの電着層１２を析出させた後、１
５０Ｃ’ ３０分のベーキングを行った。（第１図（ｅ
）参照） 以上の工程を経ることにより各色フィルターパクンの境
界部分に設けた溝の内部をカーボンブラックよりなる遮
光性物質で満たすことができた。
成した後ＩＴＯ膜７上に所望パタン状にレッド１．グリ
ーン２．ブルー３の各色フイルタ−パタンを形成し、次
いで透明樹脂よりなる平滑化層８を積層した（第１図（
ｂ）参照）０次にフォトリソグラフィー法及び反応性イ
オンエツチング法を用いて、各色フィルター境界部分に
溝９を形成する（第１図（ｃ）参照）０次いで電着法を
用いて溝９次部に露出す、るＩＴＯ膜７膜面表面み選択
的にカーボンブラックの電着層１２を析出させた後、１
５０Ｃ’ ３０分のベーキングを行った。（第１図（ｅ
）参照） 以上の工程を経ることにより各色フィルターパクンの境
界部分に設けた溝の内部をカーボンブラックよりなる遮
光性物質で満たすことができた。
本発明によれば色分解フィルターにおいて各色フイルタ
−パタン間に設けた微小な溝の内部を選択的に遮光性物
質で満たすことができる。従って各色フイルタ−パタン
の寸法が微細化した場合でも各色フイルタ−パタンへの
入射光が隣接する色フィルターバクンに斜め方向より進
入しないため混色を生ずることがない。
−パタン間に設けた微小な溝の内部を選択的に遮光性物
質で満たすことができる。従って各色フイルタ−パタン
の寸法が微細化した場合でも各色フイルタ−パタンへの
入射光が隣接する色フィルターバクンに斜め方向より進
入しないため混色を生ずることがない。
また従来法による遮光膜の形成が遮光層の成膜、フォト
リソグラフィー、及びエツチングの各工程を経て行われ
るのと比較し、本発明では各色フイルタ−パタン間に生
じた間隙の内部にめっき法により選択的に遮光膜を形成
することができるため遮光膜の形成工程を簡略化できる
。さらに、隣接する色フィルターパクンの境界部分をエ
ツチング除去した後に遮光膜の形成を行う場合において
もフォトリソグラフィー、エツチング、及びめっきの各
工程のみで遮光膜が形成されるため本発明による方法は
、従来法と比較してパタン制度が格段に向上するものと
なる。
リソグラフィー、及びエツチングの各工程を経て行われ
るのと比較し、本発明では各色フイルタ−パタン間に生
じた間隙の内部にめっき法により選択的に遮光膜を形成
することができるため遮光膜の形成工程を簡略化できる
。さらに、隣接する色フィルターパクンの境界部分をエ
ツチング除去した後に遮光膜の形成を行う場合において
もフォトリソグラフィー、エツチング、及びめっきの各
工程のみで遮光膜が形成されるため本発明による方法は
、従来法と比較してパタン制度が格段に向上するものと
なる。
以上のように、本発明は実用上極めて優れている。
第１図（ａ）〜（ｄ）は本発明の色分解フィルター製造
方法の実施例を工程順に示す説明図である。 １、レッドフィルター ２、グリーンフィルター ３、ブルーフイルター ４、遮光膜 ５、透明基板 ６、中間層 ７、透明導電膜 ８、平滑化層 ９、溝 １０、ニッケル膜 １１、銅層 １２、電着塗料層
方法の実施例を工程順に示す説明図である。 １、レッドフィルター ２、グリーンフィルター ３、ブルーフイルター ４、遮光膜 ５、透明基板 ６、中間層 ７、透明導電膜 ８、平滑化層 ９、溝 １０、ニッケル膜 １１、銅層 １２、電着塗料層
Claims (2)
- （１）基板上に透明導電膜を形成する工程と、非導電性
の色フィルターを所望パタン状に形成する工程と、前記
色フィルターが形成されていない間隙の前記透明導電膜
上にめっき法または電着法により遮光膜を形成すること
を特徴とする色分解フィルターの製造方法。 - （２）非導電性の色フィルターを所望パタン状に形成す
る工程のあと、色フィルターの境界部分を所定の間隔に
溝状に除去する工程を付加することを特徴とする請求項
（１）記載の色分解フィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30832988A JP2600867B2 (ja) | 1988-12-06 | 1988-12-06 | 色分解フィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30832988A JP2600867B2 (ja) | 1988-12-06 | 1988-12-06 | 色分解フィルターの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02153304A true JPH02153304A (ja) | 1990-06-13 |
| JP2600867B2 JP2600867B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=17979747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30832988A Expired - Fee Related JP2600867B2 (ja) | 1988-12-06 | 1988-12-06 | 色分解フィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2600867B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08122515A (ja) * | 1994-10-26 | 1996-05-17 | Dainippon Toryo Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| KR100309211B1 (ko) * | 1997-04-23 | 2002-11-18 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 광시야각을갖는액정표시장치및그제조방법 |
| US7297451B2 (en) * | 2004-07-21 | 2007-11-20 | Samsung Corning Co., Ltd. | Black matrix, method for the preparation thereof, flat display device and electromagnetic interference filter employing the same |
| JP2008116895A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-05-22 | Bridgestone Corp | カラーフィルター付きパネル基板の製造方法、カラーフィルター付きパネル基板および情報表示用パネル |
| JP2009117570A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Sanyo Electric Co Ltd | 光電変換装置 |
| JP2011085625A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Toppan Printing Co Ltd | カメラモジュール及びその製造方法 |
-
1988
- 1988-12-06 JP JP30832988A patent/JP2600867B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08122515A (ja) * | 1994-10-26 | 1996-05-17 | Dainippon Toryo Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| KR100309211B1 (ko) * | 1997-04-23 | 2002-11-18 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 광시야각을갖는액정표시장치및그제조방법 |
| US7297451B2 (en) * | 2004-07-21 | 2007-11-20 | Samsung Corning Co., Ltd. | Black matrix, method for the preparation thereof, flat display device and electromagnetic interference filter employing the same |
| JP2008116895A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-05-22 | Bridgestone Corp | カラーフィルター付きパネル基板の製造方法、カラーフィルター付きパネル基板および情報表示用パネル |
| JP2009117570A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Sanyo Electric Co Ltd | 光電変換装置 |
| JP2011085625A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Toppan Printing Co Ltd | カメラモジュール及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2600867B2 (ja) | 1997-04-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |