JPH0215440A - 光磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
光磁気記録媒体およびその製造方法Info
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- JPH0215440A JPH0215440A JP16470888A JP16470888A JPH0215440A JP H0215440 A JPH0215440 A JP H0215440A JP 16470888 A JP16470888 A JP 16470888A JP 16470888 A JP16470888 A JP 16470888A JP H0215440 A JPH0215440 A JP H0215440A
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- magneto
- optical recording
- recording medium
- ptmnsb
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
- G11B11/10589—Details
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
この発明は、光磁気記録媒体およびその製造方法に関す
るものである。さらに詳しくは、この発明は、ＰｔＭｎ
Ｓｂ薄膜からなり、大きな保磁力と垂直磁化優位性を有
する光磁気記録媒体およびその製造方法に関するもので
ある。
るものである。さらに詳しくは、この発明は、ＰｔＭｎ
Ｓｂ薄膜からなり、大きな保磁力と垂直磁化優位性を有
する光磁気記録媒体およびその製造方法に関するもので
ある。
（背景技術）
近年、記録媒体に高密度、高アクセス速度がますます要
求されてきており、このような要請に応えるものとして
光磁気記録方式、光記録方式が注目されてきている。
求されてきており、このような要請に応えるものとして
光磁気記録方式、光記録方式が注目されてきている。
この、光磁気記録方式は、垂直磁気記録方式や光記録方
式に比べて書替え可能でかつ記録密度を高くすることが
できるという優位性を有している。
式に比べて書替え可能でかつ記録密度を高くすることが
できるという優位性を有している。
光磁気記録方式は、偏光した光束が磁性合金で反射する
際に、その偏光面が磁性合金の磁化の状態に応じて回転
するという原理を利用するものであり、このような原理
に基づく光磁気記録方式の記録材料としては、書き込み
時には、■垂直磁気異方性が大きくいわゆる垂直磁化膜
となること、■保磁力が高いこと、■キューリー点が適
度に低いこと等の磁気特性が要求され、また、再生時に
は、■カー回転角（θ１）が大きいこと、■カー・しス
テリシスの角型性が高いこと、■反射率が高いこと等の
磁気光学特性が要求されている。また記録材料を構成す
る磁性合金としては、その結晶サイズが小さく均一であ
り、耐久性に優れていることが必要とされてもいる。
際に、その偏光面が磁性合金の磁化の状態に応じて回転
するという原理を利用するものであり、このような原理
に基づく光磁気記録方式の記録材料としては、書き込み
時には、■垂直磁気異方性が大きくいわゆる垂直磁化膜
となること、■保磁力が高いこと、■キューリー点が適
度に低いこと等の磁気特性が要求され、また、再生時に
は、■カー回転角（θ１）が大きいこと、■カー・しス
テリシスの角型性が高いこと、■反射率が高いこと等の
磁気光学特性が要求されている。また記録材料を構成す
る磁性合金としては、その結晶サイズが小さく均一であ
り、耐久性に優れていることが必要とされてもいる。
このような緒特性を指向する記録材料として、これまで
に種々の光磁気記録媒体が開発されている。たとえば、
キューり点書き込み方式のものとして、Ｔ ｂ Ｆ ｅ
Ｃｏ薄膜やＧｄＴｂＦｅ薄膜があり、耐酸化性を付与
すべくこれらに若干の貴金属元素を添加したものがある
。また、補償点書き込み方式のものとして、Ｔ ｂ Ｃ
ｏ薄膜等がある。
に種々の光磁気記録媒体が開発されている。たとえば、
キューり点書き込み方式のものとして、Ｔ ｂ Ｆ ｅ
Ｃｏ薄膜やＧｄＴｂＦｅ薄膜があり、耐酸化性を付与
すべくこれらに若干の貴金属元素を添加したものがある
。また、補償点書き込み方式のものとして、Ｔ ｂ Ｃ
ｏ薄膜等がある。
しかしながら、このようなこれまでの光磁気記録媒体は
カー回転角（θｋ）が最大でも０．４５°程度であり、
再生時のＣ／Ｎ比が小さく、ディジタル記録方式に供す
るにも不十分なものであった。
カー回転角（θｋ）が最大でも０．４５°程度であり、
再生時のＣ／Ｎ比が小さく、ディジタル記録方式に供す
るにも不十分なものであった。
一方、近年、カー回転角（θ、）の大きい光磁気記録媒
体として、θに〜１．２７° （波長λ＝７２０ ｎｎ
、外部磁界ｆｌａｘ 〜１２ｋＯａ）を有するＰｔＭｎ
５ｂ系薄膜が注目されてきているが、これまでに開発さ
れたＰｔＭｎＳｂ系薄膜は容易磁化方向が基板面に平行
で垂直異方性がほとんどなく、また保磁力が小さいとい
う欠点を有するため、光磁気記録媒体として満足できる
ものではなかった。
体として、θに〜１．２７° （波長λ＝７２０ ｎｎ
、外部磁界ｆｌａｘ 〜１２ｋＯａ）を有するＰｔＭｎ
５ｂ系薄膜が注目されてきているが、これまでに開発さ
れたＰｔＭｎＳｂ系薄膜は容易磁化方向が基板面に平行
で垂直異方性がほとんどなく、また保磁力が小さいとい
う欠点を有するため、光磁気記録媒体として満足できる
ものではなかった。
（発明の目的）
この発明は、以上の事情をＦＩＰｉまえてなされたもの
であり、大きなカー回転角のＰｔＭｎＳｂ系薄膜の特長
を生かし、しかも垂直異方性と大きな保磁力とを有する
新しい光磁気記録媒体を提供することを目自勺としてい
る。
であり、大きなカー回転角のＰｔＭｎＳｂ系薄膜の特長
を生かし、しかも垂直異方性と大きな保磁力とを有する
新しい光磁気記録媒体を提供することを目自勺としてい
る。
（発明の開示）
この発明は、上記の目的を実現するために、ＰｔＭｎＳ
ｂの極微細柱状晶構３ｉａ薄膜からなることを特徴とす
る光磁気記録媒体を提供する。
ｂの極微細柱状晶構３ｉａ薄膜からなることを特徴とす
る光磁気記録媒体を提供する。
また、この発明は、このような光磁気記録媒体の製造方
法として、表面に極微細突起を有する基板上に、ＰｔＭ
ｎＳｂの極微細柱状晶構造薄膜を形成することを特徴と
する光磁気記録媒体の製造方法をも提供する。
法として、表面に極微細突起を有する基板上に、ＰｔＭ
ｎＳｂの極微細柱状晶構造薄膜を形成することを特徴と
する光磁気記録媒体の製造方法をも提供する。
ここでいうＰｔＭｎＳｂ記録媒体の極微細柱状晶構造薄
膜は、たとえば第１図に示したような、基板（１）の突
起（２）上に形成した ＰｔＭｎＳｂの極微細柱状晶（３）からなっており、た
とえばその径０．０２〜５μｍ、高さ０．０５〜５μｍ
、分布密度５ｘｌＯ’ 〜５ｘ１０’個／ｌｒａ”のＰ
ｔＭｎＳｂ柱状晶からなる薄膜を好適なものとして例示
することができる。ＰｔＭｎＳｂの元素組成については
適宜に変更することができることはいうまでもない。
膜は、たとえば第１図に示したような、基板（１）の突
起（２）上に形成した ＰｔＭｎＳｂの極微細柱状晶（３）からなっており、た
とえばその径０．０２〜５μｍ、高さ０．０５〜５μｍ
、分布密度５ｘｌＯ’ 〜５ｘ１０’個／ｌｒａ”のＰ
ｔＭｎＳｂ柱状晶からなる薄膜を好適なものとして例示
することができる。ＰｔＭｎＳｂの元素組成については
適宜に変更することができることはいうまでもない。
この発明は、このようなＰｔＭｎ５ｂｉ膜に５０００ａ
以上の大きな保磁力と垂直磁化優位性を持たせている。
以上の大きな保磁力と垂直磁化優位性を持たせている。
大きな保磁力と垂直磁化優位性は、その結晶粒界がある
程度酸化されることにより極微細柱状晶が磁気的に孤立
化し、また、その形状磁気異方性によって薄膜に垂直磁
化優位性か付与されることによる。
程度酸化されることにより極微細柱状晶が磁気的に孤立
化し、また、その形状磁気異方性によって薄膜に垂直磁
化優位性か付与されることによる。
このＰｔＭｎＳｂ極微細柱状晶の粒径等の形態は基板表
面の微細突起の大きさ、分布密度に依存し、表面に適度
な微細突起を有する基板を用いることにより、所望の極
微細柱状晶を容易に形成することができる。たとえば具
体的には、基板表面の極微細突起としては、径０．０１
〜１μｍ、高さ０．０２〜２．ｃｚｍ、分布密度８Ｘ１
０５〜８×１０９個／１１２のものとするのが好ましい
。
面の微細突起の大きさ、分布密度に依存し、表面に適度
な微細突起を有する基板を用いることにより、所望の極
微細柱状晶を容易に形成することができる。たとえば具
体的には、基板表面の極微細突起としては、径０．０１
〜１μｍ、高さ０．０２〜２．ｃｚｍ、分布密度８Ｘ１
０５〜８×１０９個／１１２のものとするのが好ましい
。
この場合、基板の材料としては、質プラスチックス、硬
質ガラス（石英）、セラミックス、金属、あるいはそれ
らの酸化物、窒化物、炭化物、珪化物等を広く用いるこ
とができる。
質ガラス（石英）、セラミックス、金属、あるいはそれ
らの酸化物、窒化物、炭化物、珪化物等を広く用いるこ
とができる。
基板上にＰｔＭｎＳｂ極微細柱状晶構造薄膜を形成する
方法としては、公知の蒸着法を利用することができる。
方法としては、公知の蒸着法を利用することができる。
たとえば、真空蒸着法、スパッタリング法、ガスプラズ
マスパッタリング法、イオンビームスパッタリング法、
クラスターイオンビーム法、イオンブレーティング法等
を用いることができる。
マスパッタリング法、イオンビームスパッタリング法、
クラスターイオンビーム法、イオンブレーティング法等
を用いることができる。
ＰｔＭｎＳｂ極微細柱状晶構造薄膜の形成源材料として
は、たとえばスパッタリングにより堆積するときには、
ＭｎＳｂ合金ターゲットにｐｔチップを張り付けた複合
ターゲットを使用することができる。また、そのスパッ
タリングの条件としては、基板の温度を室温〜３００℃
程度とし、アルゴンガス等を導入して行うことができる
。
は、たとえばスパッタリングにより堆積するときには、
ＭｎＳｂ合金ターゲットにｐｔチップを張り付けた複合
ターゲットを使用することができる。また、そのスパッ
タリングの条件としては、基板の温度を室温〜３００℃
程度とし、アルゴンガス等を導入して行うことができる
。
このような気相法によるＰｔＭｎＳｂのＮＭの形成に際
しては、ＰｔＭｎＳｂがまず基板（１）の極微細突起（
２）上にに堆積して微粒子を生じ、次いでそのＰｔＭｎ
Ｓｂの微粒子が相互に会合していわゆる超微粒子配向膜
を形成し、さらにそのまま堆積を続けて結晶を成長させ
る。
しては、ＰｔＭｎＳｂがまず基板（１）の極微細突起（
２）上にに堆積して微粒子を生じ、次いでそのＰｔＭｎ
Ｓｂの微粒子が相互に会合していわゆる超微粒子配向膜
を形成し、さらにそのまま堆積を続けて結晶を成長させ
る。
以上のようにして得られたＰｔＭｎＳｂの極微ＩＩＩ柱
状晶構造薄膜は、さらに温度２００℃以上で熱処理をす
ることにより、その磁気特性をさらに向上させることが
できる。この熱処理により保磁力は８０００ｅ以上にす
ることができ、また垂直磁気異方性を増加させ、カー回
転角も０．８°以上にし、より大きなＣ／Ｎ比を実現す
ることができる。
状晶構造薄膜は、さらに温度２００℃以上で熱処理をす
ることにより、その磁気特性をさらに向上させることが
できる。この熱処理により保磁力は８０００ｅ以上にす
ることができ、また垂直磁気異方性を増加させ、カー回
転角も０．８°以上にし、より大きなＣ／Ｎ比を実現す
ることができる。
以下、この発明を実施例に基づいて具体的に説明する。
もちろん、この発明は、以下の実施例によって限定され
るものではない。
るものではない。
実施例Ｉ
Ａｒガスプラズマエツチングにより表面に微小突起を形
成したプラスチック板を基板とし、この基板上に高周波
スパッタリング法によりＰｔＭｎ５ｂをスパッタ堆積さ
せ、ＰｔＭｎＳｂ極微細柱状晶構造薄膜からなる光磁気
記録媒体を作製しな。
成したプラスチック板を基板とし、この基板上に高周波
スパッタリング法によりＰｔＭｎ５ｂをスパッタ堆積さ
せ、ＰｔＭｎＳｂ極微細柱状晶構造薄膜からなる光磁気
記録媒体を作製しな。
この場合、ターゲットとしては、ＭｎＳｂ合金ターゲッ
トに５ｒａｌ角のｐｔチップを張り合わせた複合ターゲ
ットを使用した。またスパッタリング条件としては、ス
パッタ電力２００１４． Ａ ｒガス圧力２ Ｘ １０
−２Ｔｏｒｒ、スパッタ時間約１時間を採用した。
トに５ｒａｌ角のｐｔチップを張り合わせた複合ターゲ
ットを使用した。またスパッタリング条件としては、ス
パッタ電力２００１４． Ａ ｒガス圧力２ Ｘ １０
−２Ｔｏｒｒ、スパッタ時間約１時間を採用した。
得られた薄膜の磁気特性を測定した結果、第２図に示す
磁化曲線を得た。これにより６５００ｅという大きな保
磁力が確認され、また垂直磁化優位性も確認された。
磁化曲線を得た。これにより６５００ｅという大きな保
磁力が確認され、また垂直磁化優位性も確認された。
実施例２
上記実施例１で得た薄膜を３５０℃にて約３０分間真空
加熱処理した。
加熱処理した。
得られた薄膜の磁気特性を測定した結果、保磁力は９３
００ｅに増加し、またカー回転角も１．１５゜と大きな
値を示した。
００ｅに増加し、またカー回転角も１．１５゜と大きな
値を示した。
実施例３
スパッタリング条件として、Ａｒガス圧力を３ ｘ １
０−２Ｔｏｒｒとし、実施例１と同様にしてＰｔＭｎＳ
ｂ極微細柱状晶構造薄膜からなる光磁気記録媒体を作製
した。その後、さらに磁場中（３ｋＯｅ）にて約４００
℃の真空熱処理を行った。
０−２Ｔｏｒｒとし、実施例１と同様にしてＰｔＭｎＳ
ｂ極微細柱状晶構造薄膜からなる光磁気記録媒体を作製
した。その後、さらに磁場中（３ｋＯｅ）にて約４００
℃の真空熱処理を行った。
熱処理後、得られた薄膜の磁気特性を測定した結果、保
磁力は１．２ｋＯａとなり、カー回転角も１．６°とい
う大きな値を示した。
磁力は１．２ｋＯａとなり、カー回転角も１．６°とい
う大きな値を示した。
実施例４
基板の突起の高さを種々変化させて、実施例１と同様に
高周波スパッタリング法によりＰｔＭｎ５ｂを堆積させ
た。
高周波スパッタリング法によりＰｔＭｎ５ｂを堆積させ
た。
得られたＰｔＭｎＳｂ薄膜の柱状結晶の分布密度の変化
を第３図に示しな、この図から明らかなように、基板の
突起の高さを低くするに従って結晶密度は増大する。こ
れは、突起の高さが低い程早期にＰｔＭｎＳｂ粒子が会
合し始めるため、結晶粒径が小さくなるためと考えられ
る。
を第３図に示しな、この図から明らかなように、基板の
突起の高さを低くするに従って結晶密度は増大する。こ
れは、突起の高さが低い程早期にＰｔＭｎＳｂ粒子が会
合し始めるため、結晶粒径が小さくなるためと考えられ
る。
（発明の効果）
この発明により、カー回転角が大きく、しかも垂直磁化
優位性と大きな保磁力とを有する光磁気記録媒体が得ら
れる。
優位性と大きな保磁力とを有する光磁気記録媒体が得ら
れる。
また、この光磁気記録媒体は、熱処理により一層大きな
カー回転角、垂直磁化は位性および保磁力を発揮するよ
うになる。
カー回転角、垂直磁化は位性および保磁力を発揮するよ
うになる。
Ｃ／Ｎ比の大きい光磁気記録媒体が実現される。
さらにまた、極微小突起を有する基板への蒸着により光
磁気記録媒体を製造するこの発明の製造方法によれば、
基板の極微細突起の大きさ、分布を制御することにより
、蒸着方法の種類にかかわらず、容易に、かつ所望の磁
気特性の ＰｔＭｎＳｂ薄膜の光磁気記録媒体を製造することがで
きる。
磁気記録媒体を製造するこの発明の製造方法によれば、
基板の極微細突起の大きさ、分布を制御することにより
、蒸着方法の種類にかかわらず、容易に、かつ所望の磁
気特性の ＰｔＭｎＳｂ薄膜の光磁気記録媒体を製造することがで
きる。
第１図は、この発明の光磁気記録媒体を示した模式的断
面図である。 第２図は、この発明の光磁気記録媒体の磁化曲線を示し
た磁気特性図である。 第３図は、基板の突起の高さとＰｔＭｎＳｂ柱状結晶の
分布密度との関係を示した相関図である。 １・・・基 板 ２・・・基板の突起
面図である。 第２図は、この発明の光磁気記録媒体の磁化曲線を示し
た磁気特性図である。 第３図は、基板の突起の高さとＰｔＭｎＳｂ柱状結晶の
分布密度との関係を示した相関図である。 １・・・基 板 ２・・・基板の突起
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）ＰｔＭｎＳｂの極微細柱状晶構造薄膜からなるこ
とを特徴とする光磁気記録媒体。 （２）ＰｔＭｎＳｂの極微細柱状晶が、径 ０．０２〜５μｍ、高さ０．０５〜５μｍ、分布密度５
×１０＾５〜５×１０＾９個／ｍｍ＾２からなる請求項
第（１）項記載の光磁気記録媒体。 （３）表面に極微細突起を有する基板上に、ＰｔＭｎＳ
ｂの極微細柱状晶構造薄膜を形成することを特徴とする
請求項第（１）項記載の光磁気記録媒体の製造方法。 （４）表面に、径０．０１〜１μｍ、高さ０．０２〜２
μｍ、分布密度８×１０＾５〜８×１０＾９個／ｍｍ＾
２の極微細突起を有する基板を用いる請求項第（３）項
記載の光磁気記録媒体の製造方法。 （５）ＰｔＭｎＳｂの極微細柱状晶構造薄膜を形成後、
温度２００℃以上で熱処理をする請求項第（３）項記載
の光磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16470888A JPH0215440A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16470888A JPH0215440A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0215440A true JPH0215440A (ja) | 1990-01-19 |
Family
ID=15798373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16470888A Pending JPH0215440A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0215440A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1416481A3 (en) * | 2002-10-08 | 2008-01-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magneto-optical recording medium, method of manufacturing magneto-optical recording medium, method of recording on magneto-optical recording medium, and method of reproduction from magneto-optical recording medium |
-
1988
- 1988-07-01 JP JP16470888A patent/JPH0215440A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1416481A3 (en) * | 2002-10-08 | 2008-01-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magneto-optical recording medium, method of manufacturing magneto-optical recording medium, method of recording on magneto-optical recording medium, and method of reproduction from magneto-optical recording medium |
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