JPH02154432A - ペレットの形状認識方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ペレットホンディングに供されるペレットの
形状検出方法に関する。

［従来の技術］ 一般に、ペレットボンディング装置は、ウェハ上にてス
クライビングされ桝目上に形成された複数個のペレット
の中の各ペレットを１個づつピックアップし、リードフ
レーム等の基板上にボンデインクする。この時、ボンデ
インクされるペレットは、ウェハ上の各ペレットのうち
で所望の特性を有する良品のペレッ１〜であることが必
要である。

そこて、ペレットホンディングに供されるウェハ上の各
ペレットは、ペレットボンデインク装置に搬入される前
の工程て、或いはペレットボンデインク装置に搬入され
てピックアップされる直前の工程て、ウェハ上における
位置、不良マークの有無、コーナの欠けの有無等を検出
される。ペレットポンディング装置は、それらの検出結
果に基づいて所望ペレットを逐次選択的にピックアップ
し、上述の如くボンデインクすることになる。尚、不良
マークは各ペレットの電気的特性測定に基づいて付され
るものてあり、コーナの欠けは主にその測定後の搬送過
程等にて生ずるものである。

然るに、上記ペレットの形状検出に際し、大型のペレッ
トで、カメラの視野よりもペレットの面積が大なる場合
等にあっては、下記の如く、■ペレットの１つのコーナ
形状だけを検出する方法、或いは■ペレットの４つのコ
ーナ形状を時間をかけて順次検出する方法が採用されて
いる。

即ち、上記■の検出方法は、第５図に示す如く、ウェハ
上をａ−）　ｔ）　−＋　Ｃ＋ｄ　−＋　ｅ−ｈ　ｆ　
−＋　ｇという順に走査し、カメラの視野内にペレット
の１つのコーナａを取り込んでそのコーナ形状を認識し
、この１つのコーナに欠けがないと判別した場合に、そ
のペレットの中心位置すを算出し、この中心位置すをカ
メラの視野中心に引き込み、このペレット中心部に不良
マークがないかを判別し、不良マークがなければ良品ペ
レットとする。続いて、次のペレットのコーナＣへ移動
し、以下同様の判別動作を繰り返す。

又、上記■の検出方法は、第５図に示ず如く、ウェハ上
をｐ→ｑ　−＋　ｒ→５−＋　ｔ−＋　ｕという順に走
査し、カメラの視野内にペレットの４つのコ〜すｐ、、
ｑ、ｒ、ｓを次々に取り込んてその取り込みの度にそれ
らのコーナ形状を認識し、全コーナに欠けがないと判別
した場合に、そのペレットの中心位置ｔを算出し、この
中心位置ｔをカメラの視野中心に引き込み、このペレッ
ト中心部に不良マークがないかを判別し、不良マークが
なければ良品ペレットとする。続いて、次のペレットの
コーナＵへ移動し、以下同様の判別動作を繰り返す。

［発明か解決しようとする課題］ 然しながら、上記■の検出方法にあっては、各ペレット
について１つのコーナ形状を認識するのみて、他の３つ
のコー−）−における欠けの有無を認識するものでない
ため、検出精度が悪い。

又、上記■の検出方法にあっては、各ペレットの４つの
全コーナ形状を認識するものであるが、各１つのコーナ
形状のみの認識のためにカメラによる１つの受像画面情
報の全体を費やすこととなり、各ペレットの全コーナ形
状を認識するためには、各１ベレツト毎に実質的に４つ
の受像画面情報を必要とし、検出時間が長い。

本発明は、ペレットの全コーナ形状を比較的短時間に検
出することを目的とする。

丁課題を解決するための手段］ 本発明は、ウェハ上に桝目状に形成した複数個のペレッ
トの中の各ペレットのコーナ形状を検出するペレットの
形状検出方法において、各ペレットのあるコーナのコー
ナ形状の認識時に、隣接する複数のベレッ１トの相互に
向かい合うコーナのコーナ形状を認識しておき、各ペレ
ットの最終コーナのコーナ形状の認識時に、この最終コ
ーナのコーナ形状と当該ペレットの既に認識済の他のコ
ーナのコーナ形状とを併せた全コーナ形状を認識完了す
るようにしたものである。

［作用コ 本発明にあっては、各ペレットの全コーナ形状を認識す
るに際し、検出系の単位の認識時（カメラによる単位画
面の受像時）に、隣接する複数、例えば４個のペレット
の相互に向かい合うコーナのコーナ形状を同時に認識す
る。従って、各１つのコーナ形状の認識のためには、例
えばカメラによる１つの受像画面情報の属画面情報を費
やせば足りる。即ち、各ペレットの４つ、の全コーナ形
状を認識するためには、各１ペレツト毎に実質的に１つ
の受像画面情報を得れは足り、当該全コーナ形状の検出
時間を実質的に短縮できる。

［実施例］ 第１図は本発明の実施に用いられるペレット形状検出装
置の一例を示す模式図、第２図は検出過程の一例を示す
模式図、第３図はカメラの受像画面情報を示す模式図、
第４図は本発明が適用できるピックアップ装置の一例を
示す模式図である。

第１図のペレット形状検出装置１０は、ＸＹテーブル１
１、カメラ１２、画像信号処理回路１３、制御回路１４
、モニタテレビ１５を有して構成されている。

ＸＹ７−−ツル１１は、モータ１６．１７によりＸ軸方
向とＹ軸方向に往復移動でき、ウェハ載置台１８を支持
している。ウェハ載置台１８には、不図示のウェハ治具
な介してウェハ１９かセットされている。ウェハ１９に
は、複数個のペレット２ｏがスフライピンクされ桝目状
に形成された状態て、不図示の粘着シートに粘着保持さ
れている。

カメラ１２は、ウェハ１９の上方に配置され、各ペレッ
ト２０を撮像し、その撮像結果を画像信号処理回路１３
に転送する。２１は照明器１しＣある。

画像信号処理回路１３は、カメラ１２の撮像結果を信号
処理し、その信号処理結果を制御回路１４、モニタテレ
ビ１５に転送する。

制御回路１４は、検出動作プロクラム、ＸＹテーブル制
御プログラム、画像情報メモリのための記憶回路を備え
ている。これにより、制御回路１４は、画像信号処理回
路１３からの信号に基づいて、各ペレット２０の位置、
不良ペレット２０の略中心部に付される不良マークの有
無、各ペレット２０のコーナの欠けの有無等の画像情報
をメモリするとともに、ＸＹテーブル１１を制御する。

モニタテレビ１５は、画像信号処理回路１３からの信号
に基づいて、カメラ１２の受像画面情報を表示する。

以下、本実施例によるベレッ）・の形状検出動作につい
て説明する。尚、以下の説明において、■、■、■・・
・は第２図、第３図の位置■、■、■・・・に対応する
位置を表わすものとし、中心位置を■、［相］、■・・
・とするペレットをそれぞれベレツ１へ■、［相］、■
・・・の如くに表わすものとする。

ペレット形状検出装置１０の制御回路１４は、カメラ１
２かウェハ１９の上を■、■、■、■・・・という順に
走査するようにＸＹテーブル１１を制御する。

而して、■ては１個目のペレットの左上コーナのコーナ
形状を認識し、ペレット■の左上コーナ有という情報を
記憶する（第３図（Ａ）参照）。

■ては、ペレッ１−［相］の左上コーナを認識すると同
時に、隣接するペレット＠の右上コーナのコーナ形状も
認識する（第３図（Ｂ）参照）■ては、ペレット■の右
上コーナのコーナ形状を認識する。この時、次に進むべ
き走査ルー１〜もウェハ１９の形状情報（ウェハの輪郭
内の直径とその中心位置）から算出し、■へ進む（第３
図（Ｃ）参照）。

■では、ペレットＯの右上コーナを認識し、■へ進む。

■では、ペレット０の右上コーナな認識すると同時に、
ペレット■の右下コーナとペレットＯの左上コーナも認
識する（第３図（Ｄ）参照）。

■ては、ペレットＯの右上コーナな認識すると同時に、
ペレット０の左上コーナ、ペレットαかの右下コーナ、
およびペレット■の左下コーナを認識する（第３図（Ｅ
）参照）。

ペレット■の左下コーナを認識した時点て、ペレット■
については４つのコーナの情報か得られることになり、
全てのコーナの状態かペレットの外形条件を満足してい
れば、ペレット■の中心部にカメラ１２の視野を移し、
不良の検出を行ない、不良マークか無いと判別されれば
、このペレット■を良品ペレットとして記憶する。

続いて、■へ進み、前述と同様の方法により、隣接する
各ペレットのコーナ形状及び不良マーク検出を行なう。

■ては、右下ペレットのコーナが欠番づているため、そ
のペレットは不良品として認識する（第３図（Ｆ）参照
）。

０へ進んだ時、第３図（Ｇ）に示す如く、左上ペレット
のコーナが認識できるとしても、このペレットは既に上
述のコーナ条件不良のため残余のコーナ形状の認識をキ
ャンセルして上述のとおり不良品として扱い、Ｏの後、
この不良ペレットの中心部に不良マークが付されている
か否かを検出することも無く次のペレット検出０へ進む
。

以下、上記検出動作の繰り返してあり、結果として、ウ
ェハ１９上の全部のペレット２０について、それらの位
置、不良マークの有無、コーナの欠けの有無が認識され
記憶される。この記憶情報は、このウェハ１９が後工程
のホンディンク装置に供される際に、ペレットピックア
ップのための選択情報等として利用される。

次に、上記実施例の作用について説明する。

上記実施例にあっては、各ペレット２０の全コーナ形状
を認識するに際し、カメラ１２による単位画面の受像時
に、隣接する４個のペレット２０の相互に向かい合うコ
ーナのコーナ形状を同時に認識できる。従って、各１つ
のコーナ形状の認識のためには、カメラ１２による１つ
の受像画面情報の降雨面情報を費やせば足りる。即ち、
各ペレット２０の４つの全コーナ形状を認識するために
は、各１ベレツト毎に実質的に１つの受像画面情報を得
れば足り、当該全コーナ形状の検出時間を実質的に短縮
てきる。

又、上記検出過程で、既に一部のコーナに欠けがあるこ
とが認識されているペレット２０については、残余のコ
ーナ形状の認識や不良マークの検出をキャンセルし、カ
メラの視野を速やかに次の撮像領域に進ませることによ
り、ウェハ１９の全ペレット２０に対する総検出時間を
短縮できる。

第４図のペレットピックアップ装置３０は、ボンディン
グ装置内に組み込まれて、ウェハ上の良品ペレットを１
個づつピックアップし、これを基板上にホンディングす
べく中間位置決め台等に移載するものである。３１はＸ
Ｙテーブル、３２はカメラ、３３は画像信号処理回路、
３４は制御回路、３５はモニタテレビ、３６はピックア
ップコレット、３７は突き上げニードルである。

ペレットピックアップ装置３０は、上述のペレット形状
検出装置１０と同様に、ＸＹテーブル３１が支持するウ
ェハ載置台３８に前述と同様のウェハ１９を載置してい
る。又、制御回路３４は、ペレッ１〜形状検出装置１０
の制御回路１４と同様に、カメラ３２の撮像結果に基づ
く画像信号処理回路３３からの信号に基づいて、ウェハ
１９上の各ペレット２０の位置、不良ペレット２０の略
中心部に付される不良マークの有無、各ペレット２０の
コーナの欠けの有無等の画像情報をメモリするとともに
、ＸＹテーブル３１を制御する。

この時、ペレットピックアップ装置３０ては、各ペレッ
ト２０の前述したと同様の本発明による形状検出時に、
カメラ３２により撮像される各ペレット２０の中心位置
を突き上げニードル３７の上方に設定し、今回形状検出
により良品と判定されたペレット２０については、直ち
に突き上げニードル３７により粘着シート上から突き上
げ、ピックアップコレット３６によりピックアップし、
これを基板上へのボンディングに供することができる。

尚、本発明の実施において、カメラによる単位画面の受
像時にシ各ペレットのコーナを構成する２辺の各受像長
さβが当該ペレットの１辺の全長りの％以上であれば、
最終コーナのコーナ形状の認識時に、当該ペレットの全
コーナ形状を含む全輪郭形状を認識することができる（
第２図、第３図（Ｅ）参照）。

［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、ペレットの全コーナ形状
を比較的短時間に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施に用いられるペレット形状検出装
置の一例を示す模式図、第２図は検出過程の一例を示す
模式図、第３図はカメラの受像画面情報を示す模式図、
第４図は本発明が適用できるピックアップ装置の一例を
示す模式図、第５図は従来の検出方法を示す模式図であ
る。 １０・・・ペレット形状検出装置、 １１・・・ＸＹテーブル、 １２・・・カメラ、 １３・・・画像信号処理回路、 １４・・・制御回路、 １９・・・ウェハ、 ２０・・・ペレット・ ３０・・・ペレットピックアップ装置、３１・・・ＸＹ
テーブル、 ３２・・・カメラ、 ３３・・・画像信号処理回路、 ４・・・制御回路。 第３図 （Ｂ） （Ｆ） （Ｄ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェハ上に桝目状に形成した複数個のペレットの
   中の各ペレットのコーナ形状を検出するペレットの形状
   検出方法において、各ペレットのあるコーナのコーナ形
   状の認識時に、隣接する複数のペレットの相互に向かい
   合うコーナのコーナ形状を認識しておき、各ペレットの
   最終コーナのコーナ形状の認識時に、この最終コーナの
   コーナ形状と当該ペレットの既に認識済の他のコーナの
   コーナ形状とを併せた全コーナ形状を認識完了すること
   を特徴とするペレットの形状検出方法。