JPH106289A

JPH106289A - セラミックグリーンシート裁断積層方法

Info

Publication number: JPH106289A
Application number: JP18283796A
Authority: JP
Inventors: Naoya Hoshino; 直也星野; Naoyuki Ishizaka; 尚之石坂; Naoki Obana; 直樹尾花; Masakazu Seki; 雅一関; Yutaka Mashita; 豊真下; Megumi Takayanagi; 恵高柳
Original assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Current assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date: 1996-06-24
Filing date: 1996-06-24
Publication date: 1998-01-13
Anticipated expiration: 2016-06-24
Also published as: JP3789170B2

Abstract

(57)【要約】【課題】セラミックグリーンシート２１を積層しなが
ら圧着する時の下層側のセラミックグリーンシート２１
の伸びを防止し、積層精度の高く、剥がれにくい積層セ
ラミックグリーンシート２１の積層体を得る。【解決手段】吸着ヘッド１３の両側にカッターブレー
ド１２、１２を昇降自在に設けたカッティングヘッド１
１を用い、セラミックグリーンシート２７を裁断する前
に、まず前記吸着ヘッド１３の吸着面でセラミックグリ
ーンシート２７を吸着し、保持し、セラミックグリーン
シート２７を固定し、その状態で前記カッターブレード
１２、１２によりセラミックグリーンシート２７を裁断
する。さらに、積層ステージ３０上で裁断したセラミッ
クグリーンシート２１を積層する際、セラミックグリー
ンシート２１を積み重ねる毎にできるだけ小さい圧力で
加圧し、最後のセラミックグリーンシート２１を積み重
ねた後で、全体のセラミックグリーンシート２１をより
強い圧力で加圧し、仮圧着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一部に電極パター
ンを有するセラミックグリーンシートを積層して、積層
セラミックコンデンサーや積層セラミックインダクター
等の電子部品を製造するに当り、セラミックグリーンシ
ートを裁断し、積層し、圧着する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層電子部品の最も代表的な例である積
層セラミックコンデンサは、内部電極を有する誘電体セ
ラミック層が多数積み重ねられ、内部電極が積層体の端
面に交互に引き出されている。そして、これらの内部電
極が引き出された積層体の端面に外部電極が形成されて
いる。

【０００３】このような積層セラミックコンデンサは、
例えば、図１１に示すような層構造を有する。すなわ
ち、内部電極５５、５６を有する誘電体層５１、５１…
が図１１で示す順序に積層され、さらにその両側に内部
電極が形成されてない誘電体層５７、５８が複数層積み
重ねられる。そして、このような積層体の内部電極５
５、５６が露出した端面に図示されてない外部電極が形
成される。

【０００４】このような積層セラミック電子部品は、通
常、図１１に示すような部品１個単位が個々に製造され
る訳ではなく、実際は次に示すような製造方法がとられ
る。すなわち、まず微細化したセラミック粉末と有機バ
インダーとを混練してスラリーを作り、これをドクター
ブレード法によってポリエチレンテレフタレートフィル
ム等からなるキャリアフィルム上に薄く展開し、乾燥
し、セラミックグリーンシートを作る。次に、このセラ
ミックグリーンシートを支持フィルムの上に載ったま
ま、その片面にスクリーン印刷法によって導電ペースト
を印刷し、乾燥する。その後、カッティングヘッドで所
望の大きさに切断すると共に、支持フィルムから剥離す
る。これにより、図１２で示すように、縦横に複数組分
の内部電極パターン２ａ、２ｂが配列されたセラミック
グリーンシート１ａ、１ｂが得られる。

【０００５】次に、図１２に示すように、前記内部電極
パターン２ａ、２ｂを有する複数枚のセラミックグリー
ンシート１ａ、１ｂを積層し、さらに、内部電極パター
ン２ａ、２ｂを有しない何枚かのセラミックグリーンシ
ート１、１を上下に積み重ね、さらにこれらを圧着し、
積層体を作る。ここで、前記セラミックグリーンシート
１ａ、１ｂは、内部電極パターン２ａ、２ｂが長手方向
に半分の長さ分だけずれたもの１ａ、１ｂを交互に積み
重ねる。その後、この積層体を所望のサイズに切断し
て、積層生チップを製作し、この生チップを焼成する。
こうして得られたチップ状の積層体は、両端面に交互に
露出した内部電極を有する立方体形のものである。次
に、この焼成済みの積層体の両端に導電ペーストを塗布
し、焼付けることにより、両端に電極端子が形成され、
積層セラミックコンデンサが完成する。

【０００６】ここで、前記のセラミックグリーンシート
１を積層し、圧着する工程では、まずセラミックグリー
ンシート１を本圧着する前に、積層体の搬送時に生じる
セラミックグリーンシート１のズレ等を防止し、セラミ
ックグリーンシート１を精度よく積層するため、セラミ
ックグリーンシート１を順次積み重ねながら加圧するこ
とで、それらを仮圧着する。例えば、積層ステージ上に
加圧板を配置し、この加圧板を油圧等で昇降させて積み
重ねたセラミックグリーンシート１を順次積み重ねなが
ら加圧し、セラミックグリーンシート１を積み重ねるの
と同時にそれらを仮圧着する。

【０００７】加圧板と積層ステージとには、各々ヒータ
ーが備えられ、これによって、積層及び仮圧着時に、そ
れらの板面が例えば７０〜８０℃程度の温度に加熱され
る。セラミックグリーンシートは加温されると可撓性が
増し、粘着性も向上するため、積層されたセラミックグ
リーンシートが確実に密着する。こうして積層されなが
ら仮圧着された積層体は、圧着金型等でより高い圧力で
本圧着される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】前記従来の積層圧着方
法と装置によりセラミックグリーンシートを積層し、仮
圧着すると、下層のセラミックグリーンシート程、加温
されたまま何度も繰り返し加圧される。このため、図９
で示すような理想的な積層状態とはならず、図１０で示
すように、下層のセラミックグリーンシート１がその中
央部と周辺部とで伸びる割合が大きく異なり、セラミッ
クグリーンシート１に形成されたパターンがずれ、いわ
ゆる積層ずれを生ずる。一般的には、理想的な図９のよ
うな積層体に対し、図１０の積層体では、下層のセラミ
ックグリーンシート１に印刷された外側の内部電極パタ
ーン２ａが外側にずれる。

【０００９】このような積層ずれを生じた場合、外観か
らはこのずれを確認することが出来ない。そして、この
積層体を定められた寸法で等間隔に切断すると、個々に
切断されたチップ内の内部電極パターン１ａ、１ｂがチ
ップの中央に位置することなく、最悪の場合は内部電極
パターン１ａ、１ｂがチップの側面に露出することもあ
る。また、内部電極パターン１ａ、１ｂがチップの側面
に露出しないまでも、それらのチップの一方に偏り過ぎ
て、他方の側の外部電極と近くなるため、出来上がった
積層セラミックコンデンサーの耐電圧や耐湿性が悪くな
り、製品としての信頼性を損ねたりすると言う課題があ
った。

【００１０】さらに、このように下層のみが伸びて積層
された積層体では、セラミックグリーンシート１の層間
の接着力に差が生じ、積層した後にセラミックグリーン
シート１が一部が剥がれたり、バリが発生しやすいとい
う課題もある。また、前記従来のセラミックグリーンシ
ートの裁断積層方法では、セラミックグリーンシートを
カッティングヘッドで裁断する時に、セラミックグリー
ンシートがキャリアフィルム上から一部剥がれ、変形し
てしまうことがある。そのため、裁断した後のセラミッ
クグリーンシートに皺や部分的な延びが発生し、これが
原因で前記と同様の積層ズレを発生させることがある。
そこで、本発明は、前記従来技術の課題に鑑み、セラミ
ックグリーンシートを積層しながら圧着する時の下層側
のセラミックグリーンシートの伸びを防止し、積層精度
の高く、剥がれにくい積層セラミックグリーンシートの
積層体が得られるセラミックグリーンシート裁断積層方
法を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明では、前記の課題
を解消するため、吸着ヘッド１３の両側にカッターブレ
ード１２、１２を昇降自在に設けたカッティングヘッド
１１を用い、セラミックグリーンシート２７を裁断する
前に、まず前記吸着ヘッド１３の吸着面でセラミックグ
リーンシート２７を吸着し、保持し、セラミックグリー
ンシート２７を固定し、その状態で前記カッターブレー
ド１２、１２によりセラミックグリーンシート２７を裁
断することにした。これにより、セラミックグリーンシ
ート２７を裁断する時のセラミックグリーンシート２７
の変形等を防止し、正確に裁断できるようにした。

【００１２】さらに本発明では、前記のようなカッティ
ングヘッド１１を使用し、積層ステージ３０上で裁断し
たセラミックグリーンシート２１を積層する際、セラミ
ックグリーンシート２１を積み重ねる毎にできるだけ小
さい圧力で加圧し、最後のセラミックグリーンシート２
１を積み重ねた後で、全体のセラミックグリーンシート
２１をより強い圧力で加圧し、仮圧着するようにした。
これにより、下側の層のセラミックグリーンシート２１
と上側の層のセラミックグリーンシート２１との延びの
バラツキが抑えられ、積層されるセラミックグリーンシ
ート２１の延びが均一になる。

【００１３】すなわち、セラミックグリーンシートの裁
断積層方法は、裁断ステージ２８上に載ったセラミック
グリーンシート２７をカッティングヘッド１１で所定の
形状に裁断する工程と、裁断したセラミックグリーンシ
ート２１をカッティングヘッド１１に吸着して保持しな
がら、積層ステージ３０上に搬送する工程と、この積層
ステージ３０上でセラミックグリーンシート２１を加圧
する工程とを有し、これらの工程を複数回繰り返して複
数のセラミックグリーンシート２１を積層する。

【００１４】この場合において、下面にセラミックグリ
ーンシート２７を吸着する吸着面を有する吸着ヘッド１
３の両側にカッターブレード１２、１２を昇降自在に設
けたカッティングヘッド１１を使用し、前記吸着ヘッド
１３の吸着面でセラミックグリーンシート２７を吸着・
保持し、その後吸着・保持したまま前記カッターブレー
ド１２、１２によりセラミックグリーンシート２７を裁
断する。

【００１５】これにより、セラミックグリーンシート２
７は、裁断する部分が吸着ヘッド１３で予め固定された
状態で裁断されるため、皺や変形が発生せず、正確に裁
断することができる。ここで、セラミックグリーンシー
ト２７を吸着する手段としては、真空吸引が一般的であ
るが、セラミックグリーンシート２７や内部電極パター
ンが磁性体であれば、磁力吸引を使用することもでき
る。

【００１６】さらに、前記のようなカッティングヘッド
１１を使用し、積層ステージ３０上で積み重ねられるセ
ラミックグリーンシート２１を、前記吸着ヘッド１３に
より加圧しながら積み重ね、最後のセラミックグリーン
シート２１を積み重ねた後、全てのセラミックグリーン
シート２１をより強い圧力で加圧し、それらを仮圧着す
る。これにより、下層のセラミックグリーンシート２１
に繰り返し加わる圧力が小さくなり、下層のセラミック
グリーンシート２１のみが伸びてしまうことが防止され
る。

【００１７】また、カッティングヘッド１１の吸着ヘッ
ド１３の吸着面をセラミックグリーンシート２１のガラ
ス転移点より低い温度とし、一方で積層ステージ３０の
積層面を前記ガラス転移点より高い温度としてセラミッ
クグリーンシート２１を仮圧着する。これにより、セラ
ミックグリーンシート２１の伸びが小さくなり、セラミ
ックグリーンシート２１の変形を防止することができ
る。

【００１８】

【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
１及び図２に、本発明の方法で用いるカッティングヘッ
ド１１が示されている。このカッティングヘッド１１
は、立方体形状の吸着ヘッド１３と、同ヘッド１３の側
面と端面とに沿って、各々上下にスライド駆動するよう
設けられたカッターブレード１２、１２とを備える。吸
着ヘッド１３の下面である吸着面は、積層されるセラミ
ックグリーンシート２１の平面寸法に対応する寸法を有
している。この吸着面には、図示してない真空源に接続
された空気通路１５が分散して開口され、この空気通路
１５を通して吸着面側から吸気することで、同吸着面が
負圧とされ、そこにセラミックグリーンシート２１、２
７を吸着、保持することができる。この吸着ヘッド１３
にはヒータ３４が内蔵されており、これにより、吸着ヘ
ッド１３の吸着面が加熱される。

【００１９】カッターブレード１２、１２は、エアシリ
ンダーやスクリュー機構等のアクチュエーター３３によ
り、吸着ヘッド１３の側面と端面とに沿って上下にスラ
イドされるようになっている。そして、このカッターブ
レード１２、１２が下方へスライドしたとき、その先端
の刃先が吸着ヘッド１３の吸着面から所定の量だけ突出
する。そして、上方へスライドしたとき、カッターブレ
ード１２、１２の刃先が吸着ヘッド１３の吸着面から引
き込む。既に説明した通り、吸着ヘッド１３の吸着面
は、積層されるセラミックグリーンシート２１の平面寸
法、つまりセラミックグリーンシート２７を裁断すべき
寸法に対応する寸法を有しており、カッターブレード１
２、１２の刃先は、この吸着面の縁に沿って配置してあ
る。

【００２０】一方、図２に前記のようにして裁断された
セラミックグリーンシート２１を積層する積層ステージ
３０が示されており、図示の積層ステージ３０は、セラ
ミックグリーンシート２１を積層する領域が一段低い凹
部となっている。この積層ステージ３０は、ヒーター３
７を内蔵しており、これにより積層面を加熱することが
出来る。セラミックグリーンシート２１を積層する領域
の前記の凹部は、積層位置精度を保持するためのもので
あるが、このような凹部を設ける代わりに、積層ステー
ジ３０の積層領域に位置決めピンを立てて積層位置精度
を担保する方法もある。この場合は、セラミックグリー
ンシート２１を裁断する際に、前記位置決めピンに対応
してそのセラミックグリーンシート２１に位置決め孔を
穿孔しておき、その位置決め孔を前記位置決めピンに差
し込んで位置決めする。

【００２１】次に、前記カッティングヘッド１１の吸着
ヘッド１３でセラミックグリーンシート２１を吸着し、
そのカッターブレード１２でセラミックグリーンシート
２７を裁断し、裁断したセラミックグリーンシート２１
を前記の積層ステージ３０上で積層する方法について説
明する。まず、図１に示すように、セラミックグリーン
シート２７は、ポリエチレンテレフタレートフィルム等
からなるキャリアフィルム２８上に保持された状態で、
裁断ステージ２６の上に供給される。このセラミックグ
リーンシート２１の表面には、必要に応じて電極パター
ンが印刷されている。

【００２２】ここで、前記のカッティングヘッド１１が
この裁断ステージ２６の上に移動し、そこで同カッティ
ングヘッド１１が裁断ステージ２６の上方から図１に示
す位置まで下降し、その吸着面がセラミックグリーンシ
ート２１の上に当接する。ここで、空気通路１５を通し
て空気が吸引され、吸着ヘッド１３の吸着面が負圧とさ
れ、そこにセラミックグリーンシート２７の一部の表面
が吸着される。その後、アクチュエーター３３、３３に
より、カッターブレード１２、１２が下降し、その刃先
がセラミックグリーンシート２７へと切り込まれれる。
その後、カッティングヘッド１１が上昇することで、カ
ッターブレード１２、１２により裁断されたセラミック
グリーンシート２１が吸着ヘッド１３の吸着面に吸着、
保持された状態のまま、切り取られ、キャリアフィルム
２８から剥離されて上昇される。

【００２３】こうして、セラミックグリーンシート２１
を吸着、保持した、カッティングヘッド１１が次の積層
ステージ３０側に移動し、同ステージ３０の積層領域の
真上に位置合わせされる。その後、カッティングヘッド
１１が下降され、その吸着ヘッド１３の吸着面に保持さ
れたセラミックグリーンシート２１が積層ステージ３０
の積層領域の上に載せられ、加圧される。この状態で
は、空気通路１５の空気の流れを停止するか或は僅かに
逆流させる。これにより、セラミックグリーンシート２
１の吸着状態が解除され、或は吸着ヘッド１３の吸着面
が弱加圧状態となり、その気圧でセラミックグリーンシ
ート２１が押し離される。また、カッターブレード１２
は、アクチュエーター３３により上方にスライドされ、
その刃先が積層ステージ３０に当たらないように逃げ
る。

【００２４】この動作に際して、吸着ヘッド１３からセ
ラミックグリーンシート２１に加える圧力はできるだけ
小さくし、最初のセラミックグリーンシート２１には殆
ど圧力は加えない。その後、カッティングヘッド１１が
上昇すると、セラミックグリーンシート２１のみがセラ
ミックグリーンシート３１の上に積層されたまま残され
る。以下、このサイクルを何度か繰り返すことにより、
所望の数の裁断されたセラミックグリーンシート２１が
裁断され、積層される。この場合も、各セラミックグリ
ーンシート２１を積み重ねるときに吸着ヘッド１３から
セラミックグリーンシート２１に加える圧力はできるだ
け小さくする。そして、最後のセラミックグリーンシー
ト２１を積み重ねた後に、より強い圧力でセラミックグ
リーンシート２１の積層体を加圧し、仮圧着する。

【００２５】なお、この積層工程において、吸着ヘッド
１３の吸着面がヒーター３４により加熱されるが、その
温度はセラミックグリーンシート２１のガラス転移点よ
り低い温度とする。他方、積層ステージ３０の積層面が
ヒーター３７により加熱されるが、その温度は前記ガラ
ス転移点より高い温度とする。例えば、セラミックグリ
ーンシート２１に含まれる有機バインダーのガラス成分
のガラス転移点が７０℃の場合、吸着ヘッド１３の吸着
面を６５℃とし、積層ステージ３０の積層面を７５℃と
する。これにより、セラミックグリーンシート２１の伸
びが小さくなり、セラミックグリーンシート２１の変形
を防止することができる。

【００２６】所定の数のセラミックグリーンシート２１
を所定の順序で積層した後、その積層体を圧着金型へ送
り、本圧着する。その後、積層体を１個の積層セラミッ
クインダクタの単位のチップ状に裁断し、この積層チッ
プを焼成し、その端面に導体ペーストを塗布し、焼き付
け、外部電極を形成する。その後、必要な部分にメッキ
を施したり、絶縁塗装を施したりすることで、積層セラ
ミックコンデンサや積層セラミックインダクタ等の積層
電子部品が作られる。

【００２７】次に、図３及び図４に示す例について説明
すると、この例ではカッターブレード１２を上下にスラ
イドさせるアクチュエーター３３に代えて、カッターブ
レード１２を常に下方に押し下げるように弾力が付勢さ
れたバネ等の弾性体３５が使用されている。この例で
は、カッターブレード１２を強制的に上下動させること
は出来ないが、カッターブレード１２の刃先に加わる反
力に応じてそのカッターブレード１２を上下にスライド
させることができる。そして、この弾性体３５の弾力
は、吸着ヘッド１３の吸着面がセラミックグリーンシー
ト２７に接し、それを吸着した後に、同セラミックグリ
ーンシート２７に切り込まれるよう設定されている。

【００２８】次に、図５及び図６に示す例について説明
すると、この例はセラミックグリーンシート２１、２７
としてフェライト等の磁性体を含む磁性体シートを吸着
し、裁断し、積層する例である。そして、ここではセラ
ミックグリーンシート２１、２７を吸着ヘッド１３の吸
着面に吸着させる手段として磁力が使用される。すなわ
ち、図５及び図６の例では、吸着ヘッド１３に電磁石３
６が組み込まれ、これに電流を流し或は電流を遮断する
ことにより、セラミックグリーンシート２１、２７の吸
着及びその解除をする。なお、この例でも、前述の図３
及び図４に示された例と同様に、カッターブレード１２
に弾性体３５を係装している。

【００２９】次に、図７及び図８に示す例について説明
すると、この例もまた、セラミックグリーンシート２
１、２７としてフェライト等の磁性体を含む磁性体シー
トを吸着し、裁断し、積層する例である。そして、ここ
ではセラミックグリーンシート２１、２７を吸着ヘッド
１３の吸着面に吸着させる手段としてやはり磁力が使用
されるが、図５及び図６の例のように電磁石３６ではな
く、吸着ヘッド１３に永久磁石３２が組み込まれてい
る。そして、この永久磁石３２は、ソレノイド等のアク
チュエーター３１により、吸着ヘッド１３内で上下動さ
せられる。従って、このアクチュエーター３１により永
久磁石３２を上下動することにより、セラミックグリー
ンシート２１、２７の吸着及びその解除をする。なお、
この例でも、前述の図１及び図２に示された例と同様
に、カッターブレード１２をアクチュエーター３３で上
下にスライドさせる。

【００３０】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、セ
ラミックグリーンシートを積層しながら圧着する時の下
層側のセラミックグリーンシートの伸びを防止し、積層
精度が高く、剥がれにくい積層セラミックグリーンシー
トの積層体が得られるセラミックグリーンシート裁断積
層方法が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるセラミックグリーンシートの裁断
積層方法の例において、カッティングヘッドでセラミッ
クグリーンシートを吸着し、保持する工程を示す概略断
面図である。

【図２】同セラミックグリーンシートの裁断積層方法の
例において、積層ステージでセラミックグリーンシート
を積層する工程を示す概略断面図である。

【図３】本発明によるセラミックグリーンシートの裁断
積層方法の他の例において、カッティングヘッドでセラ
ミックグリーンシートを吸着し、保持する工程を示す概
略断面図である。

【図４】同セラミックグリーンシートの裁断積層方法の
例において、積層ステージでセラミックグリーンシート
を積層する工程を示す概略断面図である。

【図５】本発明によるセラミックグリーンシートの裁断
積層方法の他の例において、カッティングヘッドでセラ
ミックグリーンシートを吸着し、保持する工程を示す概
略断面図である。

【図６】同セラミックグリーンシートの裁断積層方法の
例において、積層ステージでセラミックグリーンシート
を積層する工程を示す概略断面図である。

【図７】本発明によるセラミックグリーンシートの裁断
積層方法の他の例において、カッティングヘッドでセラ
ミックグリーンシートを吸着し、保持する工程を示す概
略断面図である。

【図８】同セラミックグリーンシートの裁断積層方法の
例において、積層ステージでセラミックグリーンシート
を積層する工程を示す概略断面図である。

【図９】理想的なセラミックグリーンシート積層体の積
層状態を示す模式図である。

【図１０】下層の伸びが大きくなったセラミックグリー
ンシートの積層圧着装置の概略図である。

【図１１】積層セラミックコンデンサの積層構造の例を
示す分解斜視図である。

【図１２】同積層セラミックコンデンサを製造するため
のセラミックグリーンシートの積層順序の例を示す斜視
図である。

【符号の説明】

１１カッティングヘッド１２カッティングヘッドのカッターブレード１３カッティングヘッドの吸着ヘッド２１セラミックグリーンシート２７セラミックグリーンシート２８裁断ステージ３０積層ステージ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者関雅一東京都台東区上野６丁目16番20号太陽誘電株式会社内 (72)発明者真下豊東京都台東区上野６丁目16番20号太陽誘電株式会社内 (72)発明者高柳恵東京都台東区上野６丁目16番20号太陽誘電株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】裁断ステージ（２８）上に載ったセラミ
ックグリーンシート（２７）をカッティングヘッド（１
１）で所定の形状に裁断する工程と、裁断したセラミッ
クグリーンシート（２１）をカッティングヘッド（１
１）に吸着して保持しながら、積層ステージ（３０）上
に搬送する工程と、この積層ステージ（３０）上でセラ
ミックグリーンシート（２１）を加圧する工程とを有
し、これらの工程を複数回繰り返して複数のセラミック
グリーンシート（２１）を積層するセラミックグリーン
シート裁断積層方法において、下面にセラミックグリー
ンシート（２７）を吸着する吸着面を有する吸着ヘッド
（１３）の両側にカッターブレード（１２）、（１２）
を昇降自在に設けたカッティングヘッド（１１）を使用
し、前記吸着ヘッド（１３）の吸着面でセラミックグリ
ーンシート（２７）を吸着・保持し、その後吸着・保持
したまま前記カッターブレード（１２）、（１２）によ
りセラミックグリーンシート（２７）を裁断することを
特徴とするセラミックグリーンシート裁断積層方法。
【請求項２】セラミックグリーンシート（２７）を吸
着する手段が真空吸引であることを特徴とする請求項１
に記載のセラミックグリーンシート裁断積層方法。
【請求項３】セラミックグリーンシート（２７）を吸
着する手段が磁力吸引であることを特徴とする請求項１
に記載のセラミックグリーンシート裁断積層方法。
【請求項４】裁断ステージ（２８）上に載ったセラミ
ックグリーンシート（２７）をカッティングヘッド（１
１）で所定の形状に裁断する工程と、裁断したセラミッ
クグリーンシート（２１）をカッティングヘッド（１
１）に吸着して保持しながら、積層ステージ（３０）上
に搬送する工程と、この積層ステージ（３０）上でセラ
ミックグリーンシート（２１）を加圧する工程とを有
し、これらの工程を複数回繰り返して複数のセラミック
グリーンシート（２１）を積層するセラミックグリーン
シート裁断積層方法において、下面にセラミックグリー
ンシート（２７）を吸着する吸着面を有する吸着ヘッド
（１３）の両側にカッターブレード（１２）、（１２）
を昇降自在に設けたカッティングヘッド（１１）を使用
し、積層ステージ（３０）上で積み重ねられるセラミッ
クグリーンシート（２１）を、前記吸着ヘッド（１３）
により加圧しながら積み重ね、最後のセラミックグリー
ンシート（２１）を積み重ねた後、より強い圧力を全て
のセラミックグリーンシート（２１）に加えて、それら
を仮圧着することを特徴とするセラミックグリーンシー
ト裁断積層方法。
【請求項５】カッティングヘッド（１１）の吸着ヘッ
ド（１３）の吸着面をセラミックグリーンシート（２
１）のガラス転移点より低い温度とすると共に、積層ス
テージ（３０）の積層面を前記ガラス転移点より高い温
度としてセラミックグリーンシート（２１）を仮圧着す
ることを特徴とする請求項４に記載のセラミックグリー
ンシート裁断積層方法。