JPH0215723U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0215723U JPH0215723U JP9308488U JP9308488U JPH0215723U JP H0215723 U JPH0215723 U JP H0215723U JP 9308488 U JP9308488 U JP 9308488U JP 9308488 U JP9308488 U JP 9308488U JP H0215723 U JPH0215723 U JP H0215723U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge electrode
- bottom plate
- electrode according
- attached
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の着脱式放電電極の底板の一例
を示す平面図であり、第２図、第３図、第４図、
第５図は、本考案で使用する型材の一例を示す斜
視図である。また、第６図は従来のプラズマＣＶ
Ｄ装置を示す断面図であり、第７図は本考案の着
脱式放電電極を従来のプラズマＣＶＤ装置に取付
けた状態を示す断面図である。 図面において、１……底板、２〜５……型材、
６……既設放電電極、７……基板、８……高周波
電源、９……貫通穴、１０……タツプ穴、１１…
…原料ガス供給穴を示す。
を示す平面図であり、第２図、第３図、第４図、
第５図は、本考案で使用する型材の一例を示す斜
視図である。また、第６図は従来のプラズマＣＶ
Ｄ装置を示す断面図であり、第７図は本考案の着
脱式放電電極を従来のプラズマＣＶＤ装置に取付
けた状態を示す断面図である。 図面において、１……底板、２〜５……型材、
６……既設放電電極、７……基板、８……高周波
電源、９……貫通穴、１０……タツプ穴、１１…
…原料ガス供給穴を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 少なくとも底板と、該底板に装脱着自在に
設けられうる型材より構成される着脱式プラズマ
放電電極。 (2) 装着された型材により底板上に凹凸形状が
形成される請求項１記載の放電電極。 (3) 底板上に型材を装着しうるタツプ穴が設け
られている請求項１記載の放電電極。 (4) 既設の放電電極上に底板を介して着脱自在
に取りつけられる請求項１記載の放電電極。 (5) 底板を既設の放電電極上に緊結するための
貫通穴が設けられている請求項１記載の放電電極
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988093084U JP2543506Y2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 着脱式放電電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988093084U JP2543506Y2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 着脱式放電電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0215723U true JPH0215723U (ja) | 1990-01-31 |
| JP2543506Y2 JP2543506Y2 (ja) | 1997-08-06 |
Family
ID=31317534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988093084U Expired - Lifetime JP2543506Y2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 着脱式放電電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2543506Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61226925A (ja) * | 1985-04-01 | 1986-10-08 | Anelva Corp | 放電反応装置 |
-
1988
- 1988-07-15 JP JP1988093084U patent/JP2543506Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61226925A (ja) * | 1985-04-01 | 1986-10-08 | Anelva Corp | 放電反応装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2543506Y2 (ja) | 1997-08-06 |