JPH0220325U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0220325U JPH0220325U JP9733688U JP9733688U JPH0220325U JP H0220325 U JPH0220325 U JP H0220325U JP 9733688 U JP9733688 U JP 9733688U JP 9733688 U JP9733688 U JP 9733688U JP H0220325 U JPH0220325 U JP H0220325U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge electrode
- bottom plate
- attached
- electrode according
- showing
- Prior art date
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- Granted
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案の着脱式の放電電極を底板の
一例を示す平面図であり、第２図、第３図、第４
図、第５図、第６図、第７図は、本考案で使用す
る型材の一例を示す斜視図である。第８図は型材
に設けられた貫通孔を示す斜視図であり、第９図
は型材と底板とを皿ビスにて固定した一例を示す
断面図である。第１０図は底板のタツプ穴に皿ビ
スを取りつけた状態を示す断面図である。第１１
図は本考案の着脱式の放電電極を従来の既設の放
電電極に取り付けた状態を示す断面図であり、第
１２図は同じく、その平面図である。第１３図お
よび第１４図は、本考案の着脱式の放電電極を形
成した実施例を示す斜視図である。第１５図は従
来のプラズマＣＶＤ装置を示す模式図であり、第
１６図は、本考案の着脱式の放電電極を従来のプ
ラズマＣＶＤ装置に取り付けた状態を示す模式図
である。 図面において、１……底板、２〜７……型材、
８……既設放電電極、９……基板、１０……貫通
穴、１１……タツプ穴、１２……原料ガス供給穴
を示す。１３……切り欠き、１４……貫通穴、１
５……皿ビス、１６……高周波電源を示す。
一例を示す平面図であり、第２図、第３図、第４
図、第５図、第６図、第７図は、本考案で使用す
る型材の一例を示す斜視図である。第８図は型材
に設けられた貫通孔を示す斜視図であり、第９図
は型材と底板とを皿ビスにて固定した一例を示す
断面図である。第１０図は底板のタツプ穴に皿ビ
スを取りつけた状態を示す断面図である。第１１
図は本考案の着脱式の放電電極を従来の既設の放
電電極に取り付けた状態を示す断面図であり、第
１２図は同じく、その平面図である。第１３図お
よび第１４図は、本考案の着脱式の放電電極を形
成した実施例を示す斜視図である。第１５図は従
来のプラズマＣＶＤ装置を示す模式図であり、第
１６図は、本考案の着脱式の放電電極を従来のプ
ラズマＣＶＤ装置に取り付けた状態を示す模式図
である。 図面において、１……底板、２〜７……型材、
８……既設放電電極、９……基板、１０……貫通
穴、１１……タツプ穴、１２……原料ガス供給穴
を示す。１３……切り欠き、１４……貫通穴、１
５……皿ビス、１６……高周波電源を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 少なくとも底板と、該底板に装脱着自在に
設けられうる複数の型材より構成される着脱式プ
ラズマ放電電極。 (2) 装着された複数の型材により底板上に凹凸
形状が形成される請求項１記載の放電電極。 (3) 底板上に複数の型材を装着しうるタツプ穴
が設けられている請求項１記載の放電電極。 (4) 既設の放電電極上に底板を介して着脱自在
に取りつけられる請求項１記載の放電電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988097336U JPH0648826Y2 (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 | 着脱式の放電電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988097336U JPH0648826Y2 (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 | 着脱式の放電電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0220325U true JPH0220325U (ja) | 1990-02-09 |
| JPH0648826Y2 JPH0648826Y2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=31322713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988097336U Expired - Lifetime JPH0648826Y2 (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 | 着脱式の放電電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648826Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023053171A1 (ja) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 | 島津産機システムズ株式会社 | プラズマ処理装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61226925A (ja) * | 1985-04-01 | 1986-10-08 | Anelva Corp | 放電反応装置 |
| JPS6393084A (ja) * | 1986-10-07 | 1988-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | 文字読取り装置 |
-
1988
- 1988-07-25 JP JP1988097336U patent/JPH0648826Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61226925A (ja) * | 1985-04-01 | 1986-10-08 | Anelva Corp | 放電反応装置 |
| JPS6393084A (ja) * | 1986-10-07 | 1988-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | 文字読取り装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023053171A1 (ja) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 | 島津産機システムズ株式会社 | プラズマ処理装置 |
| JPWO2023053171A1 (ja) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0648826Y2 (ja) | 1994-12-12 |