JPH02158706A - ４群構成レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、例えばテープキャリア等のＩＣ。

ＬＳＩ製造工程において、フォトレジストを塗布した感
材に所要のリードパターン等を焼き付けるのに使用され
る投影レンズに関し、殊に近紫外線ないし紫外線を含む
光で焼き付けるのに適する４群構成レンズに関するもの
である。

〈従来の技術〉 近年、時計や電子式卓上計算器等の電子機器はますます
小型化・多機能化する傾向にあり、これらの電子機器に
使用されるＩＣやＬＳＩパッケージのリードパターン等
も微細化の傾向にある。

テープキャリア法はこの種のレティクルパターンをテー
プ状のフィルムに形成してｔＣやＬＳＩパッケージの高
密度実装を自動処理可能にするもので、第１１図はテー
プキャリアの製造工程において用いられるパターン焼付
装置の斜視図である。

このパターン焼付装置は焼付用光源１と、投影レンズ２
と、原画用テープリール３と、焼付用テープリール４と
、両テープの自動給送及び自動露光を制御する制御装置
５等を備え、原画用テープ及び焼付用テープ４ａを高精
度で位置決めし、レティクルパターンをフォトレジスト
塗布流の焼付用テープ４ａに１７２倍〜等倍で連続して
焼き付けるように構成されている。

そして、投影レンズ２としては従来より諸収差を高精度
で補正した製版用レンズが用いられ、例えば特開昭４９
−１１７０３０号公報や特開昭５５−９０９３０号公報
に開示された４群構成レンズが知られている。

それらの投影レンズは物体側から順に第一レンズ群、第
２レンズ群、第３レンズ群及び第４レンズ群を配置し、
各レンズ群をそれぞれ正レンズと負レンズを組み合わせ
て構成したものである。

〈発明が解決しようとする課題〉 上記従来の投影レンズは諸収差を高精度で補正したもの
であるが、可視光領域を考慮した製版用レンズであるた
め下記のような難点がある。

イ、フォトレジストの感光波長域は近紫−外ないし紫外
領域に及ぶが、上記従来例ではこれらの波長域について
考慮されていないため、紫外線、例えばｉ！！ｉｔの透
過率が低く、焼付効率の低下を余儀なくされていた。

口、また、各正負レンズあるいは各レンズ群間の接合面
にカナダバルサム等の接着剤を介在させているため、そ
の接着剤が紫外線により経年変化し、投影レンズ全体の
透過率を低下させる。

本発明は一１二記難点イ３口を解決することを技術課題
とする。

〈課題を解決するための手段〉 本発明は上記課題を解決するものとして以下のように構
成される。

即ち、上記４１’ｌ構成レンズにおいて、硝材のｄ線に
対する屈折率及び分散値をそれぞれｎｄ及びシロとした
とき、 正レンズが　ｎ　ｄ＜　１．６３、ｖａ＞５６負レンズ
が　ｎｄ＜１．５６、ｖａ＞４９を満足する硝材からな
り、正・負レンズ間及び各レンズ？ｉＴ間に接着剤を介
在させないことを特徴とするものである。

く作用〉 本発明では、各レンズ群を構成するｉＥレンズと負レン
ズが紫外及び近紫外領域を考慮した硝材で１［構成され
、フォトレジストの感光波長域内の主要光線であるｇ線
（４３５，８３ｎｍ）、ｈ線（４０４，６６ｎｍ）、ｉ
線（３６５，０１ｎｓ）に対する透過率、色収差等が大
幅に改善される。

また、接着剤を一切使用しないことで、経年変化による
投影レンズの透過率低下を免れる。

〈実施例〉 以下、本発明に係る４群構成レンズの実施例をレンズデ
ータ表（表１〜表５）、レンズの配置構成図及び諸収差
を示す図（第１図〜第１Ｏ図）とによって例示する。

各レンズデータ表中のｆは焦点距離、２０は全画角、Ｆ
は開放絞り°値、ｍは基準倍率、Ｔｉはｉ線に対するレ
ンズの透過率を示し、ｒ　、　ｄ、　ｎ、νは第１図中
の各符号に対応し、ｎは屈折率、νは分散値をしめす。

なお、硝材は、紫外光ないし近紫外光の大幅な透過率向
上を考慮しつつ、−船釣な手法に従い、可視光領域内の
ｄ線（５８７，５６ｎｍ）に対する屈折率ｎｄ及び分数
値ν。で特定するものとし、上記各ｇ線、ｈ線、ｉｖａ
に対する屈折率ｎ１、ｎｈ、ｎ、についても併記する。

また、以下の実施例では、各レンズ群間及び各レンズ群
を構成する正・１ルンズ間に接着剤は切介在されていな
い。

一方、レンズ特性を示す図（第２図、第４図、第６図、
第８図、第１０図）は、実施例１〜実施例５に対応する
もので、球面収差、非点収差及び歪曲収差を示す３種の
グラフＡ、Ｂ、Ｃを含む。

そして、球面収差Ａのグラフにおいて、横軸に収差ｒｌ
ｊ（ｓ＋ｎ）を、縦軸に開放絞り値５，６を１とする規
格値をとり、それぞれｇ線、ｈ線、ｉ線による球面収差
曲線ｇ、ｈ、ｉを示している。なお、非点収差を示すグ
ラフＢにおいてＳはサジタル像面を、Ｍはメリディオナ
ル像面を示し、いずれもｈ線についての非点収差を示し
ている。

′友−輝夛１１ 本実施例のレンズデータを表１に、レンズの配置構成図
を第１図に、収差図を第２図に示す。

この実施例は各レンズｆｆＴＧ、〜Ｇ４がそれぞれｇ線
、ｈ線、ｉ線の色消しダブレｙ）の組合せから成り、前
群Ｇ、、Ｇ、が物体側から順に凹凸−凹凸をなすように
配置され、かつ後群Ｇ３、Ｇ４が絞り而りに対して対称
をなすように配置構成されている。このように構成する
ことで基準倍率ｍ＝ｌにおける諸収差を良好に補正し、
所要の絞り値を確保することができる。なお、ｉ線に対
する透過率は高く、８１．４％に達している。

以下余白 宋梅−何文 本実施例のレンズデータを表２に、レンズの配置構成図
を第３図に、収差図を第４図に示す。

この実施例は各レンズ群６１〜Ｇ４がそれぞれｇ線、ｈ
線、ｉ線の色消しダブレットの組合せから成り、前群Ｇ
、、Ｇ、が物体側から順に凹凸−凸凹をなすように配置
され、かつ後群Ｇ、、Ｇ、が絞り面りに対して対称をな
すように配置構Ｉ戊されている。その他の点では実施例
１と同様であり、ｉ線に対する透過率は７９．２％に達
している。

以下余白 ｆ＝１００■ 「 ５９、８＋５３ ２３．６３６３ ２４、２３０７ １４６、５７８１ ４７．６２５８ ３５、６５０＋ ４７、６９２７ ７５、１６８２ ７５．１６８２ ４７、６９２７ ３５、６５０１ ４７、６２５８ １４６、５７８１ ２４、２３０？ ２３、６３６３ ５９．８１５３ ｎ　Ｉｌｎ　Ｉｓ ｎ　：ｌ＋　ｎ　１２ ５ｌｎＩＩ ｎ　？＋　ｎ　＠ ２０・２０゜ １、７３３ ０、９０８ ５．７７５ ７．１７４ ＋、　７３３ ３、５７？ ３、２２４ ５、０ｇ４ ３、２２４ ３、５７７ １、７３３ ７、＋７４ ５．７７５ ０、９０８ １．７３３ ｎｌＩ １、５４２２２ １、６３３１２ １、５４２２２ １、６３３１２ 表１ ５．６ １、５２９４４ １、６２０４１ １、５２９４４ １．６２０４１ １、６２０４１ １、５２９４４ １、６２０４１ １、５２９４４ 硝材の屈折率 ｈ １、５４６９５ １、６３７７４ ＋、　５４６９５ １、６３７７４ Ｔ＋＝８１．４％ νｄ ５１．７ ６０．３ ５１．７ ６０゜３ ６０．３ ５１．７ ６０．３ ５１．７ １．５５５＋５ １、６４５９９ １．５５５１５ １、６４５５９ ｆ　＝ｌＯＯ閤 ６３、８５３４ ３６、０５３４ ４０．７７６０ ２１、７６８４ １７．４１８０ １７、４１８０ ２１、７６８４ ２１５．１３０８ −４０．７７１ｉ０ ３６、０５３４ ６３、８５３４ ｌＩｎｌ５ ３ＩｎＩ３ １ｓ、ｎｌＩ ｎ、、ｎ・ ２０＝２０゜ ３、　Ｇｏ。

２、０６２ ３、０００ １１．３８５ ４、０００ ０、４２９ ２、０００ ２６、３８０ ２、０００ ０．４２９ ４、０００ １１゜３８５ ３、０ＧＯ ２、０６２ ３、０００ ｎぎ １、５６５０８ １、６３３１６ １、６３３１６ １、５６５０８ 表２ Ｆ−５，６ｍ＝１ ｄ １、５５１１５ １．６２０４１ １、６２０４１ １、５５１１５ １、５５１１５ １．６２０４１ １．６２０４１ １．５５１１５ 硝材の屈折率 ｈ １、５７０２８ １、６３７７８ １、６３７７８ １、５７０２８ Ｔ　＋＝７９．２％ νｄ ４９．７ ６０．３ ６０．３ ４９．７ ４９．７ ６０．３ ６０．３ ４９．７ １、５７９３６ １、６４５６８ ！、　６４５６８ １、５７９３６ χ１県 本実施例のレンズデータを表３に、レンズの配置構成図
を第５図に、収差図を第６図に示す。

この実施例は各レンズｎＧ、〜Ｇ４がそれぞれｇ線、ｈ
線、ｉ線の色消しダブレットの組合せから成り、前群Ｇ
、、Ｇ、が物体側から順に凸凹−凸凹をなすように配置
され、かつ後群Ｇ３．Ｇ、が絞り而りに対して対称をな
すように配置構成されている。その他の点では実施例１
と同様であり、ｉ線に対する透過率は８１．５％に達し
ている。

以下余白 大員刑４ 本実施例のレンズデータを表４に、レンズの配置構成図
を第７図に、収差図を第８図に示す。

この実施例は各レンズ群Ｇ、〜Ｇ４がそれぞれｇ線、ｈ
線、ｉ線の色消しダブレットの組合せから成り、前群Ｇ
、、Ｇ、が物体側から順に凸凹−凹凸をなすように配置
され、かつ後群Ｇ、、Ｇ、が絞り面りに対して対称をな
すように配置構成されている。その他の点では実施例１
と同様であり、ｉ線に対する透過率は８０．１％に達し
ている。

以下余白 ００ｍ 「 ４３．５２０２ ８６．８２８９ ｇ５．６０２２ ７９、９６９２ １８４．８６３５ ３０７、３１６２ ２０．００８０ ２０．００８０ ３０７、３１６２ １８４．８６３５ ２６、３５４９ ７９、９６９２ ８５．６０２２ ４３、５２０２ ｎＩ＋ｎ１Ｓ ｎ　３＋　ｎ　１３ ｎＳｌｎ■ ｎ？＋ｎ１１ ２０＝２０゜ ４、　Ｇｏ。

Ｏ，２８６ ０、１００ ４、０００ ２，０２１ ２，０２１ ０、９２８ ４、０００ ０，１００ ２，０ｇ４ ０、２８６ ４、０００ ｎ「 １、６＋５３９ １、５４２２２ １、６３３１６ １、５６５０８ 表３ ５．６　ｍ ｄ １．６０３１１ １、５２９４４ １．６２０４１ １、５５１１５ １．５５１１５ １．６２０４１ １、５２９４４ １．６０３１１ 硝材の屈折率 ｈ １、６１９８４ １、５４６９５ １、６３７７８ １、５７０２８ Ｔ、・８１．５％ νｄ ６０．７ ５１．７ ６０．３ ４９．７ ４９．７ ６０．３ ５１．７ ６０．７ ｎム １、６２７４３ １、５５５１６ １、６４５６８ １、５７９３６ ２７、５６２１ １６１、４３３５ ７７、８６７２ ２０．１１００ ３４、８４７６ ２０、１５００ １９、９３６７ ９３．３７８０ ９３、３７８０ １９、９３６７ ２０、１５００ ３４、８４７６ ２０．１１００ ７７、８６１２ １６１．４３３５ ２７、５６２１ ｎｌ＋ｒｌｌｓ ｎ　３＋　ｎ　ｌ　３ ｎＳｌｎ■ ｎ　？＋　ｎ　＠ ２０＝２０゜ ５、３３２ ３、０６６ ３、９９９ １、８００ ２、０６６ ０．７３３ ３、８６６ ６、６６６ ３、８６６ ０、７３３ ２、０６６ １、８００ ３、９９９ ３、０６６ ５、３３２ ０厘 １、６３３１６ １．５４２２２ １．５２６２１ １、５０４５０ 表４ Ｆ＝５．６　　ｍ ｄ １、６２０４１ １、５２９４４ １、５１６３３ １．４９７００ １．４９７００ １．５１６３３ １、５２９４４ １．６２０４１ 硝材の屈折率 ｈ １、６３７７８ １、５４６９５ １、５２９７６ １、５０７２０ Ｔ　、＝８０．１％ ν１ ５１．７ ６４．１ ８１．６ ８１．６ ６４．１ ５１．７ ６０．３ ｎ＋ １、６４５６８ １．５５５１６ １、５３５７７ １．５１１７３ 実施例５ 本実施例のレンズデータを表５に、レンズの配置構成図
を第９図に、収差図を第１０図に示す。

この実施例は基準倍率が１／２に設定され、これに伴っ
てレンズ間隔が絞り而に対して前後で非対象をなすよう
に配置されている。その他の点では実施例４と同様に各
レンズＪ！ＴＧ、−Ｇ、がそれぞれｇ線、ｈ線、ｉ線の
色消しダブレットの組合せから成り、前群Ｇ、、Ｇ、が
物体側から順に凸凹−凹凸をなすように配置され、かつ
後群Ｇ３．Ｇ、をなす各レンズの曲率半径ｒ１及び各レ
ンズの厚みは前群Ｇ１、Ｇ、の各レンズと同じであるが
、各レンズの面間距離は所要倍率に応じて相違させて配
置構成されている。このように、各レンズの面間距離を
かえることにより、他の実施例でも容易に倍率変化に対
応することができる。なお、ｉ線に対する透過率は８０
．１％に達している。

以下余白 ００Ｉ ２７、５６２１ １６１、４３３５ ７７、８６７２ ２０．１１００ ３４、８４７６ ２０、１５０（１ １９、９３６７ ９３、３７８０ ９３、３７８Ｇ １９、９３６７ ２０、１５００ ３４、８４７６ ２０、１１００ ７７、８６７２ １６１、４３３５ ｎ　ｌ＋　ｎ　Ｉｓ ｎ　３１ｎ　ｌプ ｎ　Ｓｌｎ　１重 ｎ７．ｎ自 ２ｅ＝２０゜ ５、３３２ ２、８７０ に、　９９９ ０、７０９ ２、０６６ ３、８６６ ６．６７１ ３、８６６ ０、８２４ ２、０６６ ２．５１５ ３、９９９ ３、２５３ ５、３３２ ｎ「 １、６３３１６ １、５４２２２ １、５２６２１ １、５０４５０ 表５ ５．６　　ｍ＝０．５ １、６２０４１ １、５１６３３ １．４９７００ １．４９７０Ｇ １、５１６３３ １、５２９４４ １、６２０４１ 硝材の屈折率 ｈ １、６３７７８ １、５４６９５ １、５２９７６ １、５０７２０ Ｔ、・８０．１％ νｄ ６０．３ ５１．７ ６４、■ ８１．６ ８１．６ ６４．１ ５１．７ ６０．３ ｔ １、６４５６８ １、５５５１６ １、５３５７７ １．５１１７３ 〈発明の効果〉 以上の説明で明らかなように、本発明に係る４群構成レ
ンズは前記のように構成されているので、下記の効果を
奏する。

イ、各レンズｌｉ′￥を構成する正レンズ及び負レンズ
が紫外線及び近紫外領域を考慮した硝材で形成され、フ
ォトレジストの感光波長域における光の透過率が大幅に
向−ヒするとともに、諸収差が大幅に敗退される。これ
により焼付時間の短縮及び画質の向上を図ることができ
る。

口、レンズの接合に接着剤を一切使用しないので、従来
例のような接着剤の経年変化による透過率の低下のおそ
れはない。

【図面の簡単な説明】

第１図、第３図、第５図、第７図、第９図は、それぞれ
本発明に係る実施例１〜実施例５を示す４群構成レンズ
の配置構成図、第２図、第４図、第６図、第８図、第１
Ｏ図は、それぞれ実施例１〜実施例５に対応するレンズ
の収差図、第１１図はパターン焼付装置の斜視図である
。 Ｇ１・・・第１レンズ群、　Ｇ、・・・第２レンズ群、
Ｇ、・・・第３レンズ群、　Ｇ、・・・第４レンズ群、
ｎ、１・・・ｄ線に対する屈折率、　シロ・・・ｄ線に
対する分散値。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、物体側から順に第１レンズ群、第２レンズ群、第３
   レンズ群及び第４レンズ群を配置し、各レンズ群をそれ
   ぞれ正レンズと負レンズを組み合わせて構成した４群構
   成レンズにおいて、 硝材のｄ線に対する屈折率及び分散値をそれぞれｎ＿ｄ
   及びν＿ｄとしたとき、 正レンズがｎ＿ｄ＜１．６３、ν＿ｄ＞５６ 負レンズがｎ＿ｄ＜１．５６、ν＿ｄ＞４９ を満足する硝材から成り、正・負レンズ間及び各レンズ
   群間に接着剤を介在させないことを特徴とする４群構成
   レンズ