JPH0216206Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、クリーンカーテン組込型のクリーン
ベンチに関する。

〔従来の技術〕

従来、精密機器や電子部品の組立、あるいは医
薬品の製造を行うための適切な環境として、天井
内に配設したHEPAフイルタを介して清浄な空
気を流下させ、清浄度を保持するクリーンルーム
が設けられているが、近年、半導体装置等の急速
な発展に伴い、更に清浄度の高い環境が要望さ
れ、半導体などの微細なものの製造や検査に対処
するため、クリーンルーム内に設置する例えば、
第６図に示すような縦型のクリーンベンチが使用
されている。

このクリーンベンチにおいては、本体１の前面
を開口した作業空間２を有し、その上方には
HEPAフイルタ３が設けられていて、本体１の
下部に前面を向いて内設されたプレフイルタ４を
通つて送風機５に吸引されたクリーンルーム内の
空気ａが前記空間２の背部を上昇し、前記
HEPAフイルタ３により濾過されて更に清浄度
を高めた超清浄空気a₁となつて、蛍光灯６下のル
ーバー７を通過し、作業空間２へ流下し後、開放
された前面からクリーンルーム内に流出する。

しかしながら、このような作業空間２を前面に
開放した形状の本体１にあつては、天井から流下
する清浄空気ａが作業空間２の前面上隅２ｓから
該空間２内へ引き込まれ、斉流を要する超清浄空
気a₁の流れを乱すばかりか、その清浄度を低下さ
せ、また、作業者の人体や衣服からの塵埃も混入
する惧れがあるため、第７図に示すように、作業
空間２の前面の大半を蔽う透明なシヤツタ８を上
下動可能に付設したものや、また、第８図に見ら
れるような断面への字型に可変アイリツド（無帯
電アクリル板）９を枠組付けにより固着したもの
で、コンベアを有するクリーンライフベンチタイ
プのものも出現している。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、可動式シヤツタにあつては第７
図に示すように、作業空間２を作業、あるいは検
査等の所要に応じて部分的に上昇させた場合、本
体１の頂面にシヤツタ８の突出すると、クリーン
ルームの流下清浄空気ａにより、シヤツタ８の突
出した隅に渦流が表われ塵埃が溜りやすくなる
（同図参照）。クリーンベンチが天井Ｔの低い位
置に設置されているときには、天井Ｔが障害とな
つてシヤツタ８を十分に開くことができない（同
図参照）という欠点がある。また、シヤツタ８
は重いため、上げ下げの操作性も悪いという難点
も有している。

一方、固定式にあつては、作業空間２が狭めら
れるばかりか、その形状が変形しており、また枠
組等で超清浄空気a₁の斉流が乱されやすく、ま
た、固定式のため開放できないので、手や頭が当
たつて負傷したり、作業性も悪いという欠点があ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は、叙上の事情に鑑みてされたもので、
作業空間の前面にクリーンカーテンを装備した縦
型クリーンベンチを提供することにより、これら
の問題点を解決することを目的としたものであ
る。

すなわち、このクリーンカーテンは、細長い筐
体内にビニールカーテンを巻回した回転ドラムを
内設し、該ドラム底部に長手方向に穿設したスリ
ツトから前記ビニールカーテンを垂下できるよう
にしたもので、作業空間の前端頂部に前記筐体を
取り付けるとともに、作業空間の前端両側に、ビ
ニールカーテンの先端辺に付設した重錘の両端を
案内するガイド溝を有する一対のガイド支柱を立
設して設定する。

〔作用〕

したがつて、ビニールカーテンを適当な位置に
設定して超清浄空気を流下させれば、作業空間内
にクリーンルームの空気が引き込まれることがな
いので可能な限り下方まで斉流が維持されるばか
りか、作業者からの塵埃による影響を受けること
なく、また、作業空間を全面開放した場合もビニ
ールカーテンは筐体内に収容されるため、クリー
ンルームの空気流を乱すことがない。さらに、作
業者の作業しやすい位置に重錘の高さを軽易に調
節することも可能である。

〔実施例〕

以下、本考案の第一実施例を第１図ないし第３
図に基づき説明する。なお、従来例と同一の部材
等は同一の符号を用い、その説明は省略する。

第１図は、本実施例である縦型のクリーンベン
チ１０の縦断概略側面図、第２図は、同じく正面
図で、作業空間２の前面上隅２ｓ近くに取り付け
たクリーンカーテン１１は、筐体１２の底部に長
手方向に穿設したスリツト１２ｓから垂下され、
先端辺に棒状の重錘１３を付設したビニールカー
テン１４を巻回するモータ駆動の回転ドラム１５
を、前記筐体１２に内設したものである。そし
て、前記重錘１３の両端を保持して案内するガイ
ド溝１６ｍを刻設した一対のガイド支柱１６が、
作業空間２の前端部両側面に立設してある。な
お、１７は、回転ドラム１５に内設されて該ドラ
ム１５を回動させるモータ（図示省略）を動作さ
せる操作スイツチである。

また、第３図は、クリーンカーテン１１の他の
取付方法などの例を示した説明図で、同図は、
本体１に筐体１２を埋め込んだもの、同図は、
筐体１２のスリツト１２ｓを内方にしたもの、同
図は、筐体１２の内方下端に丸みをもたせて形
成したもの、同図は、本体１外面に取り付けた
ものをそれぞれ示してある。

叙上の構成となつているので、使用に際して
は、操作スイツチ１７を操作することによつて回
転ドラム１５が回動して重錘１３をガイド溝１６
ｍに沿つて移動させ、ビニールカーテン１４を所
望の高さに設定した後、クリーンベンチ１０を使
用する。そこで作業空間２内には、クリーンルー
ムの清浄空気ａが吸い込まれたりすることなく整
斉とした斉流をもつて超清浄空気a₁が流下し、超
清浄度が維持される。しかも、必要な手作業など
を行う場合には、操作スイツチ１７により軽易に
ビニールカーテンの高さを調節できるので順調な
作業を実施し得る。

次に、第二実施例を第４図及び第５図に基づい
て説明する。

第一実施例は、ビニールカーテン１４に無色透
明なものを用いたが、検査作業等の種類によつて
は、作業者の視認を容易にする遮光のため、所望
の色に着色したビニールカーテン２４を使用す
る。

本実施例は、上記二種類のビニールカーテン１
４，２４を併設したものである。

第４図は、作業空間２の前面上隅２ｓ付近を拡
大断面側面図で示したもので、無色のカーテン１
４の筐体１２に接して内方斜下に、着色のカーテ
ン２４用の内方底部隅に丸味をもたせた筐体２２
を取り付けるとともに、その内側面に作業空間２
の頂面に達する整流板２８が付設してある。そし
てガイド支柱１６に対し、着色のカーテン２４の
重錘２３を案内するガイド支柱２６が併設されて
いる。

なお、ガイド支柱１６と２６とは一体化したも
のに形成してもよい。また、操作スイツチ（図示
省略）は、スイツチボツクスを着色のカーテン２
４と同色のものとし、無色のカーテン１４用操作
スイツチ１７のボツクスは白色のものとし、互い
に背中合せに結合しても、あるいは別々にしても
よい。

叙上の構成となつているので、通常の場合には
無色のカーテン１４を用い、遮光を要する場合
は、該カーテン１４を一杯に上昇させ、代りに着
色のカーテン２４を垂下させて使用する。ただ
し、そのときの状況によつては、両カーテン１
４，２４を共に垂下したままの二重透しで用いて
もよい。

その他、高さ調節方法や超清浄空気a₁の流れな
どは、第一実施例とほぼ同様なのでその説明は省
略する。

なお、第５図は、カーテン二種類使用の場合の
他の構成例を示した説明図で、同図は筐体２２
を筐体１２の内側面に接して併設し、それぞれに
ガイド支柱１６，２６を組み合わしたものであ
る。

同図は、同図の筐体取付け状態において、
上端部をＶ型の二又３６ｖに形成したガイド支柱
３６を用いたもので、第４図の場合にも、二又３
６ｖの一方を短く切るなどの加工により、適用す
ることも可能である。

なお、クリーンカーテン及びガイド支柱は、状
況に応じて各色幾組も併設することができる。

また、本出願人がさきに出願した実願昭60−
167433号（実開昭62−79086号）に記載した手段、
すなわち、作業空間２の頂面前端部にチヤンネル
セルを装着しておき、パチン錠型取付金具により
迅速な着脱が可能なクリーンカーテンに、それぞ
れ所望の着色をした透明カーテンを収納したもの
を幾種類も準備しておき、所要のつど前記チヤン
ネルセルに設定換えする手段を講じて使用する方
法もある。

なお、本考案は、第８図に示すコンベア装備の
クリーンライフベンチタイプにも中間ガイド支柱
を設けることにより適用可能である。

なお、各実施例とも回転ドラムは、モータ駆動
のものを使用したが、オートストツプ機構の手動
による昇降式のものを用いてもよく、ビニールカ
ーテンは極めて軽量なので、片手操作も可能であ
り、同様の効果が得られる。

さらになお、ビニールカーテンも透明なものを
使用したが、所要によつては、不透明なシートと
する場合もある。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案は、本体に形成され
た作業空間の開放された前面にクリーンカーテン
及びガイド支柱を、少なくとも１組以上設置する
構成としたため、クリーンルーム内の清浄空気の
流れに渦流を生じさせたり、作業空間内へ引き入
れたりすることなく、また、作業者等の人体や衣
服から発生する塵埃の影響も受けず、常に作業空
間内において整斉とした超清浄空気の斉流を維持
させることができ、さらに通常作業と遮光を要す
る作業も軽易迅速にビニールカーテンを変換させ
て兼用することができるという効果がある。

また、ビニールカーテンの高さの位置調節も簡
便に軽々と行なえるので操作性にもすぐれ、作業
効率が向上するばかりか、安全性も高いという利
点も有している。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の第一実施例の縦断側面図、
第２図は、同じく正面図、第３図は、クリーンカ
ーテンの他の取付方法などを示した要部の拡大説
明図で、図は、クリーンベンチ本体にクリーン
カーテンの筐体を埋め込んだ図、図は、筐体の
スリツトを内方にして取り付けた図、同は、筐
体の内方下端に丸みをもたせて形成した図、図
は、筐体を本体外面に取り付けた図、第４図は、
第二実施例における作業空間の前面上隅付近の拡
大断面側面図、第５図は、同じくカーテン二種類
使用の場合の構成例を示した要部の説明図で、図
は、筐体を併設してガイド支柱と組み合わした
図、図は、ガイド支柱上端部に二又を形成して
クリーンカーテンと組み合わした図、第６図は、
従来の縦型クリーンベンチの概要を示す縦断側面
図、第７図は、従来のシヤツタ可動型クリーンベ
ンチの概要を示す概略側面図で、図は、通常使
用の場合の図、図は、作業空間を全面開放した
場合の図、図は、低い天井のため作業空間が全
面開放できない場合の図、第８図は、クリーンラ
インベンチタイプを示す図で、図は側面図、図
は正面図である。 １……本体、２……作業空間、１１……クリー
ンカーテン、１２，２２……筐体、１３……重
錘、１４，２４……ビニールカーテン、１５……
回転ドラム、１６，２６，３６……ガイド支柱、
１２ｓ……スリツト。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. クリーンベンチ本体の前面に開口した作業空間
   において、頂面前部に装着される、筐体にカーテ
   ンを巻回した回転ドラムを内設し、筐体底部に穿
   設したスリツトから前記カーテンを垂下するよう
   に構成されたクリーンカーテンと、前記作業空間
   の両側面前部に付設される、カーテン先端辺に取
   り付けた重錘を案内するガイド支柱との組合せを
   少なくとも１組以上備えてなることを特徴とする
   クリーンベンチ。