JPH02165411A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 垂直磁気記録媒方式の磁気ディスク装置に用いられる二
層膜構造の垂直磁気記録媒体に関し、軟磁性層の機械的
強度を改善して、高記録分解能で、再生出力の富い、し
かも耐久性に優れた新規な二層膜構造の垂直磁気記録媒
体を得ることを目的とし、 非磁性基板上に軟磁性層を介して垂直磁気記録層を設け
た二層膜構造の記録媒体において、上記軟磁性層が硬質
な第一磁性膜と、その上にめっき法により形成する第二
磁性膜とからなる構成とする。

〔産業上の利用分野〕

本発明は垂直磁気記録媒方式の磁気ディスク装置に用い
られる垂直磁気記録媒体に係り、特に二層膜構造の垂直
磁気記録媒体の改良に関するものである。

情報を磁気記録層の膜厚方向に磁化して記録する垂直磁
気記録媒体は、従来の水平記録方式の媒体に比べて遥か
に高密度記録が可能であることから注目され、近来、こ
れら垂直磁気記録媒体の実用化が活発に進めれている。

垂直磁気記録媒体としては、磁気特性、記録再生特性及
び耐蝕性等の観点から高透磁率な軟磁性層と垂直磁気記
録層を順に積層した二層膜構造の垂直磁気記録媒体が最
も有利とされ、またこの記録媒体の作成手段としてはス
パッタリング法が主流となっている。このような垂直磁
気記録媒体では、高記録分解能で、再生出力の高い、し
かも耐久性に優れた媒体構造が必要とされている。

〔従来の技術〕

従来の二層膜構造の垂直磁気記録媒体の基本的な構造は
、第２図に示すように例えばアルマイト表面処理を施し
たアルミニウム（Ａ　ｆ　）等からなる非磁性基板１上
に、スパッタリング法により例えば０．５μｍの膜厚の
Ｎｉ−Ｆｅからなる軟磁性層（軟磁性裏打ち層とも称す
る）２と、その軟磁性層２上に０．３μｍの膜厚のＣｏ
−Ｃｒからなる垂直磁気記録層３が順に積層状に配設さ
れた構成からなっている。

そしてこのような構成の垂直磁気記録媒体への情報の記
録再生としては、該媒体面に所定間隔を隔てて対向する
例えば単磁極型の垂直記録再生用磁気ヘッドの励磁コイ
ルに通電する信号電流により主磁極先端より発生する磁
束が前記媒体の垂直磁気記録層３を垂直に通り、その直
下の軟磁性層２内を水平に通過して再び前記垂直磁気記
録層３を垂直に通って対向する前記磁気ヘッドの補助磁
極を経て前記主磁極へ帰還する磁気回路系によって記録
を行い、また上記のように情報が磁化−記録された前記
記録媒体の垂直磁気記録層３がらの漏洩磁束を前記磁気
ヘッドの主磁極で検出し、励磁コイルに生じる信号電圧
を出力することによって再生を行っている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで上記したような構成、の垂直磁気記録媒体にお
いては、高い再生出力を得るために前記Ｃｏ−Ｃｒから
なる垂直磁気記録層３の保磁力を大きくし、また記録分
解能を高めるために該垂直磁気記録層３の膜厚を薄くす
る必要がある。そのため第３図に示すように非磁性基板
１上に設けたＮｉ−Ｆｅからなる軟磁性層２上に、数百
オングストロームの膜厚のチタン（Ｔｉ）からなる中間
層１１を介在して０．２μｍ以下の薄い膜厚のＣｏ−Ｃ
ｒからなる垂直磁気記録層１２を設けて該垂直磁気記録
層１２の保磁力を高めた媒体構造が提案されている。

しかし、そのような媒体構造における中間［１１の介在
は、記録再生時において当該媒体面と所定間隔を隔てて
対向する単磁極型垂直記録再生用磁気ヘッドの主磁極先
端と前記軟磁性層２との間隔を増加させるため、高める
べき記録分解能を逆に低下させてしまうといった欠点が
あった。

そこで上記した問題を解決するため、前記軟磁性層２と
してはスパッタリング法により形成するＮｉ−Ｆｅ層層
外外例えばＣｏ−Ｚｒ膜、或いはセンダスト膜（Ｆｅ−
５ｉ−Ａ　ｊ２膜）等を用いることも試みたが、これら
の軟磁性層上に保磁力の大きいＣｏ−Ｃｒからなる垂直
磁気記録層を設けるには、やはり軟磁性層と垂直磁気記
録層との間にＴｉからなる中間層を介在する必要があっ
た。

一方、めっき法により形成するＮｉ−Ｆｅ膜を用いた場
合には、その軟磁性層上にＴｉからなる中間層を介在さ
せずに保磁力の大きい改質の良い垂直磁気記録層を設け
ることができ、その結果、高い再生出力が得られると共
に、記録分解能が向上することが判明した。ところが前
記めっき法により形成するＮｉ−Ｆｅ膜はスパッタリン
グ法により形成したＮｉ−Ｆｅ膜と比べて、その膜自身
が柔らかいために磁気ヘッドの接触、衝撃等に対する耐
久性が低く、信相性の上で問題があった。

本発明は、上記した従来の問題点に鑑み、軟磁性層の機
械的強度を改善して、高記録分解能で、再生出力の高い
、しかも耐久性に優れた新規な二層膜構造の垂直磁気記
録媒体を提供することを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記した目的を達成するため、非磁性基板上に
軟磁性層を介して垂直磁気記録層を設けた二層膜構造の
記録媒体において、上記軟磁性層が硬質な第一磁性膜と
、その上にめっき法により形成した第二磁性膜とからな
る構成とする。

〔作　用〕

本発明の垂直磁気記録媒体ではスパッタリング法により
形成したＮｉ−Ｆｅ等からなる軟磁性膜は比較的硬質で
あり、その軟磁性膜上に直接薄い膜厚のＣｏ−Ｃｒから
なる垂直磁気記録層を設けた場合、該垂直磁気記録層の
保磁力が低下する。まためっき法により形成されたＮｉ
−Ｆｅ等からなる軟磁性膜は、前記スパッタリング法に
よるＮｉ−Ｐｅ等からなる軟磁性膜と比較して柔らかく
、その軟磁性膜上に薄い膜厚のＣｏ　−Ｃｒからなる垂
直磁気記録層を設けた場合、該垂直磁気記録層の保磁力
は低下せずに維持される、といった軟磁性膜の硬度と、
成膜法による膜質の違う軟磁性膜上に設けられた藩い膜
厚のＣｏ−Ｃｒからなる垂直磁気記録層の保磁力の変化
に着目して、スパッタリング法等により形成した比較的
硬質なＮｉ−Ｐｅ等からなる軟磁性層（第一磁性膜）と
垂直磁気記録層との間に、従来介在させていたＴ１中間
層の代わりにめっき法で形成したＮｉ−Ｆｅ等からなる
軟磁性膜（第二磁性膜）を介在しているため、硬質の第
一磁性膜と第二磁性膜とで構成する軟磁性層の耐久性は
、その主体とする硬質の第一磁性膜の耐久性とほぼ同等
となり、記録分解能を低下させることなく、高い再生出
力を得ることができる。

〔実施例〕

以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。

第１図は本発明に係る垂直磁気記録媒体の一実施例を示
す要部断面図である。

図において、２１は例えばアルマイト表面処理を施した
アルミニウム（Ａ／り、或いはガラス、セラミックなど
からなる非磁性基板であり、該非磁性基板２１上には、
例えばスパッタリング法により形成された０、３μｍの
膜厚のＮｉ−Ｆｅからなる硬質な第一磁性膜２２ａと、
その上にめっき法により形成された数百人の薄い膜厚の
Ｎｉ−Ｆｅからなる第二磁性膜２２ｂとからなる軟磁性
層２２を設けており、その軟磁性層２２の表面には従来
例と同様の例えば０．２μｍ以下の比較的薄い膜厚のＧ
ｏ−Ｃｒからなる垂直磁気記録層２３が設けられている
。

従って、かかる構成の垂直位Ｊａ録媒体における軟磁性
層２２の耐久性、即ち磁気ヘッドの接触、衝撃に対する
耐久性は該軟磁性層２２主体となる硬質の第一磁性膜２
２ａの耐久性とほぼ同等に維持され、しかも記録分解能
を低下させずに高い再生出力が得られる。

なお、以上の実施例では軟磁性層を構成する硬質な第一
磁性膜として、スパッタリング法により形成されたＮｉ
−Ｆｅ膜を用いた場合の例について説明したが、本発明
はこの例に限定されるものではなく、例えばＣｏ　−Ｚ
　ｒ　％或いはセンダスト（Ｆｅ−３ｉ−Ａ　ｌ　）等
からなる硬質な磁性膜を用いた場合にも同様な効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る垂直磁気記録媒体の一実施例を示
す要部断面図、 第２図は従来の基本的な垂直磁気記録媒体を説説明する
ための要部断面図、 第３図は従来の垂直磁気記録媒体の他の例を示す要部断
面図である。 第１図において、 ２１は非磁性基板、２２は軟磁性Ｎ、２２ａは第一磁性
膜、２２ｂは第二磁性膜、２３は垂直磁気記録層をそれ
ぞれ示す。 〔発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明に係る垂直磁気
記録媒体によれば、高記録分解能で、しかも耐久性の優
れた高い再生出力の二層膜構造の垂直磁気記録媒体を容
易に得ることが可能となる利点を有し、実用上の効果は
大きい。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 非磁性基板（２１）上に軟磁性層（２２）を介して垂直
   磁気記録層（２３）を設けた二層膜構造の記録媒体にお
   いて、 上記軟磁性層（２２）が硬質な第一磁性膜（２２ａ）と
   、その上にめっき法により形成する第二磁性膜（２２ｂ
   ）とからなることを特徴とする垂直磁気記録媒体。