JPH02169201A - セラミック基板の製造方法 - Google Patents
セラミック基板の製造方法Info
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- JPH02169201A JPH02169201A JP32532088A JP32532088A JPH02169201A JP H02169201 A JPH02169201 A JP H02169201A JP 32532088 A JP32532088 A JP 32532088A JP 32532088 A JP32532088 A JP 32532088A JP H02169201 A JPH02169201 A JP H02169201A
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- Japan
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- slurry
- sheet
- surface temperature
- green sheet
- heater
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Links
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- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はセラミ・ツク基板の製造方法に関する。
（従来技術）
従来、セラミック原料スラリーを準備し、ドクターブレ
ード法などによってグリーンシートを形成し、このグリ
ーンシートを焼成することによってセラミック基板が製
造されていた。しかし、グリーンシート内、特にグリー
ンシートの表と裏とで粒子の充填割合に差が生じてしま
うため、グリーンシート焼成時に反りやうねりが発生す
る。
ード法などによってグリーンシートを形成し、このグリ
ーンシートを焼成することによってセラミック基板が製
造されていた。しかし、グリーンシート内、特にグリー
ンシートの表と裏とで粒子の充填割合に差が生じてしま
うため、グリーンシート焼成時に反りやうねりが発生す
る。
この反りやうねりを防ぐために、焼成済のセラミック基
板に重しを載せて、焼成温度近くまで温度を上げたり、
グリーンシートを高温（１００〜１５０℃）で圧延した
りしていた。また、グリーンシートの周辺に同じグリー
ンシートで作成された重しを載せて焼成する方法がとら
れていた。
板に重しを載せて、焼成温度近くまで温度を上げたり、
グリーンシートを高温（１００〜１５０℃）で圧延した
りしていた。また、グリーンシートの周辺に同じグリー
ンシートで作成された重しを載せて焼成する方法がとら
れていた。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、焼成済のセラミック基板に重しを載せて
焼成温度近くまで温度を上げる方法や、グリーンシート
を高温で圧延する方法では、製造工程が増加しコストア
ンプにつながる。また、グリーンシート周辺に同じグリ
ーンシートで作成された重しを載せて焼成する方法では
、一般に歩留りが悪くなるため、コストアンプにつなが
る。
焼成温度近くまで温度を上げる方法や、グリーンシート
を高温で圧延する方法では、製造工程が増加しコストア
ンプにつながる。また、グリーンシート周辺に同じグリ
ーンシートで作成された重しを載せて焼成する方法では
、一般に歩留りが悪くなるため、コストアンプにつなが
る。
それゆえに、この発明の主たる目的は、低コストでかつ
製造時に反りやうねりの生じにくい、セラミック基板の
製造方法を提供することである。
製造時に反りやうねりの生じにくい、セラミック基板の
製造方法を提供することである。
（課題を解決するための手段）
この発明は、セラミック原料スラリーを準備する工程と
、スラリーをシート状に成形する工程と、シート状のス
ラリーの上面温度ＴＩを５〜４０℃、スラリーの下面温
度Ｔ、を３０〜６５℃に制御してスラリーを乾燥し、グ
リーンシートを形成する工程と、グリーンシートを焼成
する工程とを含み、Ｔ１およびＴ、が、Ｔ＋＋２５℃≦
Ｔ、≦６５℃の関係を満足するようにした、セラミック
基板の製造方法である。
、スラリーをシート状に成形する工程と、シート状のス
ラリーの上面温度ＴＩを５〜４０℃、スラリーの下面温
度Ｔ、を３０〜６５℃に制御してスラリーを乾燥し、グ
リーンシートを形成する工程と、グリーンシートを焼成
する工程とを含み、Ｔ１およびＴ、が、Ｔ＋＋２５℃≦
Ｔ、≦６５℃の関係を満足するようにした、セラミック
基板の製造方法である。
（作用）
シート状のスラリーの上面温度と下面温度を制御するこ
とによって、スラリー内で対流が発生する。
とによって、スラリー内で対流が発生する。
（発明の効果）
この発明によれば、シート状のスラリーを乾燥してグリ
ーンシートを形成する時に、スラリーが対流するため、
グリーンシート内の粒子の分布が均質化される。したが
って、このようなグリーンシートを焼成すれば、反りや
うねりが発生しにくい。
ーンシートを形成する時に、スラリーが対流するため、
グリーンシート内の粒子の分布が均質化される。したが
って、このようなグリーンシートを焼成すれば、反りや
うねりが発生しにくい。
しかも、スラリーの乾燥時にその上面温度と下面温度を
制御するだけで、製造工程が増えたり歩留まりが悪くな
ったすせず、コストアンプにつながらない。
制御するだけで、製造工程が増えたり歩留まりが悪くな
ったすせず、コストアンプにつながらない。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
（実施例）
図はこの発明を実施するために用いられるシート成形機
の一例を示す図解図である。このシート成形機１０は金
属板１２を含む。この金属板１２上をフィルム１４が移
動する。
の一例を示す図解図である。このシート成形機１０は金
属板１２を含む。この金属板１２上をフィルム１４が移
動する。
そして、セラミック原料スラリー１６が準備される。こ
のスラリー１６が、たとえばドクターブレード１８など
によって、フィルム１４上にシート状に成形される。
のスラリー１６が、たとえばドクターブレード１８など
によって、フィルム１４上にシート状に成形される。
さらに、シート成形機」０は、シート上のスラリー１６
の上面を加熱するための第１のヒータ２０を含む、さら
に、金属板１２の下部には、シート状のスラリー１６の
下面を加熱するための第２のヒータ２２が形成される。
の上面を加熱するための第１のヒータ２０を含む、さら
に、金属板１２の下部には、シート状のスラリー１６の
下面を加熱するための第２のヒータ２２が形成される。
シート状のスラリー１６は、フィルム１４の移動に伴っ
て第１のヒータ２０と第２のヒータ２２の間を移動する
。この時、スラリー１６の上面温度Ｔ１は、第１のヒー
タ２０によって５〜４０℃に制御される。さらに、シー
ト状のスラリー１６の下面温度Ｔ、は、第２のヒータ２
２によって３０〜６５℃に制御される。ただし、スラリ
ー１６の上面温度Ｔ、と下面温度Ｔ２とは、ＴＩ＋２５
℃≦Ｔ！≦６５℃の関係を満足するように制御される。
て第１のヒータ２０と第２のヒータ２２の間を移動する
。この時、スラリー１６の上面温度Ｔ１は、第１のヒー
タ２０によって５〜４０℃に制御される。さらに、シー
ト状のスラリー１６の下面温度Ｔ、は、第２のヒータ２
２によって３０〜６５℃に制御される。ただし、スラリ
ー１６の上面温度Ｔ、と下面温度Ｔ２とは、ＴＩ＋２５
℃≦Ｔ！≦６５℃の関係を満足するように制御される。
このようにすることによって、シート状のスラリ−１６
内部に対流が発生し、スラリー１６内の粒子が均質化さ
れて乾燥し、グリーンシートが形成される。
内部に対流が発生し、スラリー１６内の粒子が均質化さ
れて乾燥し、グリーンシートが形成される。
このグリーンシートを焼成することによって、セラミッ
ク基板が製造される。
ク基板が製造される。
実験例として、アルミナ基板を製造する際に、スラリー
の上面温度Ｔ１ と下面温度Ｔ２とを変えてグリーンシ
ートを作成し、このグリーンシートを焼成する時の反り
量を測定した。そして、その結果を別表に示した。
の上面温度Ｔ１ と下面温度Ｔ２とを変えてグリーンシ
ートを作成し、このグリーンシートを焼成する時の反り
量を測定した。そして、その結果を別表に示した。
表かられかるように、この発明の範囲外のものでは、グ
リーンシートが割れたり、反り量が１００μｍ ／ ｉ
ｎ ｃｈ以上となった。それに対して、この発明の範囲
内のものでは、グリーンシートの反り量が１００μｍ／
１ｎｃｈ以下に抑えることができた。
リーンシートが割れたり、反り量が１００μｍ ／ ｉ
ｎ ｃｈ以上となった。それに対して、この発明の範囲
内のものでは、グリーンシートの反り量が１００μｍ／
１ｎｃｈ以下に抑えることができた。
なお、上述の実験例では、アルミナ基板の製造にこの発
明の方法を通用したが、その他のセラミック原料、Ｚｒ
Ｏ□−ＹＺ Ｏ，＋およびコージェライトなどの原料を
用いても、同様の効果を得ることができた。
明の方法を通用したが、その他のセラミック原料、Ｚｒ
Ｏ□−ＹＺ Ｏ，＋およびコージェライトなどの原料を
用いても、同様の効果を得ることができた。
図はこの発明を実施するために用いられるシート成形機
を示す図解図である。 図において、１０はシート成形機、１６はスラリー １
８はドクターブレード、２０は第１のヒータ、２２は第
２のヒータを示す。 表 ＊印はこの発明の範囲外
を示す図解図である。 図において、１０はシート成形機、１６はスラリー １
８はドクターブレード、２０は第１のヒータ、２２は第
２のヒータを示す。 表 ＊印はこの発明の範囲外
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 セラミック原料スラリーを準備する工程、 前記スラリーをシート状に成形する工程、 シート状の前記スラリーの上面温度Ｔ＿１を５〜４０℃
、前記スラリーの下面温度Ｔ＿２を３０〜６５℃に制御
して前記スラリーを乾燥し、グリーンシートを形成する
工程、および 前記グリーンシートを焼成する工程を含み、Ｔ＿１およ
びＴ＿１が、Ｔ＿１＋２５℃≦Ｔ＿２≦６５℃の関係を
満足するようにした、セラミック基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32532088A JPH02169201A (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | セラミック基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32532088A JPH02169201A (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | セラミック基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02169201A true JPH02169201A (ja) | 1990-06-29 |
Family
ID=18175502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32532088A Pending JPH02169201A (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | セラミック基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02169201A (ja) |
-
1988
- 1988-12-22 JP JP32532088A patent/JPH02169201A/ja active Pending
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