JPS63167255A - 電子計数装置 - Google Patents
電子計数装置Info
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- JPS63167255A JPS63167255A JP31123886A JP31123886A JPS63167255A JP S63167255 A JPS63167255 A JP S63167255A JP 31123886 A JP31123886 A JP 31123886A JP 31123886 A JP31123886 A JP 31123886A JP S63167255 A JPS63167255 A JP S63167255A
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- anode voltage
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光エネルギーの照射で試料から放出される電
子の数を計数する電子計数装置に関する。
子の数を計数する電子計数装置に関する。
（従来技術）
従来、例えば半導体等の試料表面に形成された酸化膜等
の膜厚を大気開放状態で計測する方法として、試料表面
に光を照射し、光の照射により試料上の薄膜を通って外
部に放出される電子を電子検出部に導入し、導入電子に
より引き起こされる気体放電現象を利用して放出電子の
数を計数し、この放出電子数に基づいて膜厚を計測する
方法が知られている・（特願昭５９−１１８８１８号等
）。
の膜厚を大気開放状態で計測する方法として、試料表面
に光を照射し、光の照射により試料上の薄膜を通って外
部に放出される電子を電子検出部に導入し、導入電子に
より引き起こされる気体放電現象を利用して放出電子の
数を計数し、この放出電子数に基づいて膜厚を計測する
方法が知られている・（特願昭５９−１１８８１８号等
）。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、このような従来の電子計数装置にあって
は、電子検出部内に配置した陽極リングに高電圧を印加
して試料から放出された電子にょり気体放電を引き起こ
し、この気体放電による陽極電圧のパルス変化から電子
数を計数するようにしているが、陽極電圧の決め方がは
っきりしておらず、放出電子を導入したときに気体放電
を引き起こす適宜の陽極電圧、例えば３．４ＫＶに設定
していたとしても、大気開放型であることから、気圧や
温度の変化により同じ試料でおっても電子計数率が異な
る結果を招いており、安定した電子の計数ができないと
いう問題があった。
は、電子検出部内に配置した陽極リングに高電圧を印加
して試料から放出された電子にょり気体放電を引き起こ
し、この気体放電による陽極電圧のパルス変化から電子
数を計数するようにしているが、陽極電圧の決め方がは
っきりしておらず、放出電子を導入したときに気体放電
を引き起こす適宜の陽極電圧、例えば３．４ＫＶに設定
していたとしても、大気開放型であることから、気圧や
温度の変化により同じ試料でおっても電子計数率が異な
る結果を招いており、安定した電子の計数ができないと
いう問題があった。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたも
ので、気圧や温度が変動しても常に安定した放出電子の
計数結果が得られる最適陽極電圧を設定できるようにし
た電子計数装置を提供することを目的とする。
ので、気圧や温度が変動しても常に安定した放出電子の
計数結果が得られる最適陽極電圧を設定できるようにし
た電子計数装置を提供することを目的とする。
この目的を達成するため本発明にあっては、電子検出部
内に配置した陽極の印加電圧を可変する電圧可変手段と
、陽極電圧の可変により気体放電が開始される放電開始
電圧を検出する電圧検出手段と、この放電開始電圧に陽
極電圧の変化に対し計数値が略一定となる予め定まった
プラトー電圧幅の略２分の１の電圧を加克して最適陽極
電圧として設定する電圧設定手段とを設けるようにした
ものである。
内に配置した陽極の印加電圧を可変する電圧可変手段と
、陽極電圧の可変により気体放電が開始される放電開始
電圧を検出する電圧検出手段と、この放電開始電圧に陽
極電圧の変化に対し計数値が略一定となる予め定まった
プラトー電圧幅の略２分の１の電圧を加克して最適陽極
電圧として設定する電圧設定手段とを設けるようにした
ものである。
（作用）
このような本発明の構成によれば、試料の測定に先立っ
て陽極電圧を可変することで放電開始電圧、例えば、電
子計数率がバックグラウトノイズに基づく閾値を越えた
ときの電圧を放電開始電圧ｙｓとして検出し、この放電
開始電圧Ｖｓに予め定まっているプラトー電圧幅Ｐｗの
２分の１の電圧を加ｑした電圧（Ｖｓ ＋ＰＷ／２＞を
最適陽極電圧として設定する。
て陽極電圧を可変することで放電開始電圧、例えば、電
子計数率がバックグラウトノイズに基づく閾値を越えた
ときの電圧を放電開始電圧ｙｓとして検出し、この放電
開始電圧Ｖｓに予め定まっているプラトー電圧幅Ｐｗの
２分の１の電圧を加ｑした電圧（Ｖｓ ＋ＰＷ／２＞を
最適陽極電圧として設定する。
ここでプラトー電圧幅ｐｗとは、放出電子を電子検出部
内に導入して陽極による高電界中で気体放電を引き起こ
したときに、気体放電のなだれ的な増幅を阻止するため
に第１格子電極の電圧を上昇させて電界を低下させる所
謂フェンチングミ圧の高さに等しい電圧幅であり、この
ように第１格子格子電極に印加するフェンチングミ圧の
高さからプラトー電圧ｐｗが一義的に定まっていること
ら、放電開始電圧の検出に基づき直ちに最適陽極電圧を
設定することができる。
内に導入して陽極による高電界中で気体放電を引き起こ
したときに、気体放電のなだれ的な増幅を阻止するため
に第１格子電極の電圧を上昇させて電界を低下させる所
謂フェンチングミ圧の高さに等しい電圧幅であり、この
ように第１格子格子電極に印加するフェンチングミ圧の
高さからプラトー電圧ｐｗが一義的に定まっていること
ら、放電開始電圧の検出に基づき直ちに最適陽極電圧を
設定することができる。
このようにして設定された最適陽極電圧にあっては、気
圧や温度の変化により陽極電圧に対する電子計数率の特
性が変化しても、最適陽極電圧を中心とした±Ｐｗ／２
の範囲の変動であれば、電子計数率は略一定に保たれ、
安定した電子計数を行なうことができる。
圧や温度の変化により陽極電圧に対する電子計数率の特
性が変化しても、最適陽極電圧を中心とした±Ｐｗ／２
の範囲の変動であれば、電子計数率は略一定に保たれ、
安定した電子計数を行なうことができる。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例を示した説明図である。
まず構成を説明すると、１は電子検出部であり、試料１
０をセットする試料台８側に検出窓２を開口した金属製
のケース３を有し、ケース３はアースされている。ケー
ス３内には陽極リング４が配置され、陽極リング４には
高圧電源２３が接続され、高圧電源２３により例えば３
．０〜４．０に■の範囲で陽極電圧を可変することがで
きる。陽極リング４に対する検出窓２側には順次第１格
子電極５と第２格子電極６が配＠される。
０をセットする試料台８側に検出窓２を開口した金属製
のケース３を有し、ケース３はアースされている。ケー
ス３内には陽極リング４が配置され、陽極リング４には
高圧電源２３が接続され、高圧電源２３により例えば３
．０〜４．０に■の範囲で陽極電圧を可変することがで
きる。陽極リング４に対する検出窓２側には順次第１格
子電極５と第２格子電極６が配＠される。
一方、電子検出部１の側方には光源装置９が配置され、
試料台８にセットした試料１０の表面に対し斜め上方よ
り所定波長の単波長光を照射している。光源装置９は重
水素ランプ等の光源１１と、光源１１からの光を所定波
長の単波長光に変換するためのモノクロメータ１２を有
し、さらにモノクロメータ１２の前後に光強度を調整す
るためのスリット１３．１４を設けている。モノクロメ
ータ１２は所定の波長域、例えば１５０ｎｍ〜６００ｎ
ｍの範囲で単波長を走査する機能を有する。
試料台８にセットした試料１０の表面に対し斜め上方よ
り所定波長の単波長光を照射している。光源装置９は重
水素ランプ等の光源１１と、光源１１からの光を所定波
長の単波長光に変換するためのモノクロメータ１２を有
し、さらにモノクロメータ１２の前後に光強度を調整す
るためのスリット１３．１４を設けている。モノクロメ
ータ１２は所定の波長域、例えば１５０ｎｍ〜６００ｎ
ｍの範囲で単波長を走査する機能を有する。
更に、電子検出部１による試料放出電子の計数回路とし
て、陽極リング４をコンデンサＣを介して接続した増幅
器１８と、電子検出部１に導入した電子による気体放電
現象に生ずる増幅器１８を介して得られる陽極リング４
の電圧パルスを入力した第１パルス発生器２０と第２パ
ルス発生器２２が設けられ、第１パルス発生器２０の出
力は第１格子電極５に接続され、また、第２パルス発生
器２２の出力は第２格子電極６に接続される。
て、陽極リング４をコンデンサＣを介して接続した増幅
器１８と、電子検出部１に導入した電子による気体放電
現象に生ずる増幅器１８を介して得られる陽極リング４
の電圧パルスを入力した第１パルス発生器２０と第２パ
ルス発生器２２が設けられ、第１パルス発生器２０の出
力は第１格子電極５に接続され、また、第２パルス発生
器２２の出力は第２格子電極６に接続される。
ここで、増幅器１８より導入電子による気体放電で陽極
リング４からの電圧パルスが出力されたときの第１パル
ス発生器２０及び第２パルス発生器２２の出力波形は次
のようになる。
リング４からの電圧パルスが出力されたときの第１パル
ス発生器２０及び第２パルス発生器２２の出力波形は次
のようになる。
初期状態において第２図（ｂ）（ｃ）に示すように、第
１パルス発生器２０による第１格子電極５の電圧は例え
ば１００Ｖであり、また第２格子電極６の電圧は第２パ
ルス発生器２２の出力により例えば８０Ｖとなっており
、光源装置９からの光の照射で試料１０から放出された
電子は第２格子電極６及び第１格子電極５を通過して陽
極リング４に引き寄せられる。陽極リング４の近傍に放
出電子が近づくと陽極リング４による高電界を受けた電
子の加速で気体放電現象が引き起こされ、このため陽極
電圧は第２図（ａ）に示すようにパルス的な立ら下がり
変化を起こす。この陽極電圧の変化に対し第１のパルス
発生器２０はそれまでの第１格子電極５の印加電圧を、
例えば３００Ｖ高い４００Ｖに予め定めたクエンチング
時間Ｔｅに亘ってアップする。このため陽極リング４と
第１格子電極５の電位差は３００Ｖ低下し、陽極リング
４の近傍の電界強度が下がることで気体放電により生じ
た光や陽イオンによる２次電子は放電電圧に達すること
ができず、なだれ的な放電が阻止される。
１パルス発生器２０による第１格子電極５の電圧は例え
ば１００Ｖであり、また第２格子電極６の電圧は第２パ
ルス発生器２２の出力により例えば８０Ｖとなっており
、光源装置９からの光の照射で試料１０から放出された
電子は第２格子電極６及び第１格子電極５を通過して陽
極リング４に引き寄せられる。陽極リング４の近傍に放
出電子が近づくと陽極リング４による高電界を受けた電
子の加速で気体放電現象が引き起こされ、このため陽極
電圧は第２図（ａ）に示すようにパルス的な立ら下がり
変化を起こす。この陽極電圧の変化に対し第１のパルス
発生器２０はそれまでの第１格子電極５の印加電圧を、
例えば３００Ｖ高い４００Ｖに予め定めたクエンチング
時間Ｔｅに亘ってアップする。このため陽極リング４と
第１格子電極５の電位差は３００Ｖ低下し、陽極リング
４の近傍の電界強度が下がることで気体放電により生じ
た光や陽イオンによる２次電子は放電電圧に達すること
ができず、なだれ的な放電が阻止される。
一方、気体放電による陽極電圧の立ち下がりに同期して
第２パルス発生器２２は、それまでの第２格子電極６の
電圧８０Ｖを例えば１１０Ｖ低い一３０Ｖに所定のクエ
ンチング時間Ｔｅに亘って下げる。この第２格子電極２
の一３０Ｖへの低下により増幅作用を伴う気体放電によ
って生じた陽イオンが第２格子電極６で補足されて中和
され、これによって陽イオンが試料１０に到達して光電
子の放出に影響を及ぼすことを防ぐと同時に、外部から
の電子の導入を遮断する。
第２パルス発生器２２は、それまでの第２格子電極６の
電圧８０Ｖを例えば１１０Ｖ低い一３０Ｖに所定のクエ
ンチング時間Ｔｅに亘って下げる。この第２格子電極２
の一３０Ｖへの低下により増幅作用を伴う気体放電によ
って生じた陽イオンが第２格子電極６で補足されて中和
され、これによって陽イオンが試料１０に到達して光電
子の放出に影響を及ぼすことを防ぐと同時に、外部から
の電子の導入を遮断する。
この第２図の信号波形図に示したように、試料１０から
電子が放出される毎に同様な動作が繰り返され、放出電
子１個に対応して増幅器１８より電圧パルスが１つ出力
される。
電子が放出される毎に同様な動作が繰り返され、放出電
子１個に対応して増幅器１８より電圧パルスが１つ出力
される。
このようにして増幅器１８より出力される電圧パルスは
計数手段２４で計数され、例えば単位時間当りの計数率
Ｎ （ｃｐｓ）を出力するようになる。
計数手段２４で計数され、例えば単位時間当りの計数率
Ｎ （ｃｐｓ）を出力するようになる。
計数手段２４に続いては陽極電圧を最適電圧に設定する
ための演算手段２６が設けられる。
ための演算手段２６が設けられる。
この演算手段２６は、装置の使用に先立って所定の基準
試料を試お１台８にセットした状態で光源９より単波長
光を照射した状態で次の陽極最適電圧の設定処理を行な
う。
試料を試お１台８にセットした状態で光源９より単波長
光を照射した状態で次の陽極最適電圧の設定処理を行な
う。
（Ａ＞まず、高圧電源２３に対し陽極電圧を例えば３．
０ＫＶから４．０ＫＶに可変させるための制御信号を出
力する。
０ＫＶから４．０ＫＶに可変させるための制御信号を出
力する。
（Ｂ）前記（Ａ＞の高圧電源２３に対する陽極電圧の可
変状態で計数手段２４を介して得られる計数率Ｎを監視
しており、試料１０からの電子放出が無いときのバック
グラウンドノイズに基づいて定まる閾値ＮＯ１例えばＮ
ｏ−１０（ｃｐｓ）以上となる計数率が１９られたとき
に、このときの陽極印加電圧を放電開始電圧ｖＳとして
検出する。
変状態で計数手段２４を介して得られる計数率Ｎを監視
しており、試料１０からの電子放出が無いときのバック
グラウンドノイズに基づいて定まる閾値ＮＯ１例えばＮ
ｏ−１０（ｃｐｓ）以上となる計数率が１９られたとき
に、このときの陽極印加電圧を放電開始電圧ｖＳとして
検出する。
（Ｃ）前記（Ｂ）で検出された放電開始電圧ＶＳに、第
２図（ｂ）に示した第１格子電極５に印加する気体放電
素子のためのフェンチングミ圧の高さに相当するプラト
ー電圧幅ｐｗの２分の１の電圧を加えた電圧（Ｖｓ＋Ｐ
ｗ／２＞を演算し、この電圧を最適陽極電圧Ｖａｏとし
て高圧電源２３に設定する。
２図（ｂ）に示した第１格子電極５に印加する気体放電
素子のためのフェンチングミ圧の高さに相当するプラト
ー電圧幅ｐｗの２分の１の電圧を加えた電圧（Ｖｓ＋Ｐ
ｗ／２＞を演算し、この電圧を最適陽極電圧Ｖａｏとし
て高圧電源２３に設定する。
更に、演算手段２６は前述した陽極最適電圧の設定は能
に加えて、例えば試料１０の表面に形成された酸化膜等
の膜厚を計測する場合には、計数手段２４から１ｑられ
た計数率Ｎに基づいて膜厚Ｔを演算する手段を要し、こ
の膜厚演算手段は、Ｉ ｏｇＮ＝ Ｉ ｏｑＮｌ−Ｔ／
２．３０λ但し、λ：薄膜内の電子平均自由工程 （オングストローム） Ｎ１ ：膜厚が零のときの計数率 として膜厚Ｔを演算する。勿論、計数手段２４で得られ
た電子ｈ１数率Ｎをそのまま出力するようにしても良い
。また波長を可変させ、その計数率を出力させ、金属等
の仕事関数を演算させるようにしてもよい。
に加えて、例えば試料１０の表面に形成された酸化膜等
の膜厚を計測する場合には、計数手段２４から１ｑられ
た計数率Ｎに基づいて膜厚Ｔを演算する手段を要し、こ
の膜厚演算手段は、Ｉ ｏｇＮ＝ Ｉ ｏｑＮｌ−Ｔ／
２．３０λ但し、λ：薄膜内の電子平均自由工程 （オングストローム） Ｎ１ ：膜厚が零のときの計数率 として膜厚Ｔを演算する。勿論、計数手段２４で得られ
た電子ｈ１数率Ｎをそのまま出力するようにしても良い
。また波長を可変させ、その計数率を出力させ、金属等
の仕事関数を演算させるようにしてもよい。
演算手段２６の出力は表示手段２８に与えられており、
表示手段２８において演算された膜厚、電子計数率、仕
事関数を表示するようになる。
表示手段２８において演算された膜厚、電子計数率、仕
事関数を表示するようになる。
次に、第１図の実施例の作用を説明する。
第３図は第１図の実施例に設けた演算手段２６による最
適陽極電圧の設定処理を示したフローヂＶ−トであり、
装置の使用に先立って最適陽極電圧の設定処理を行なう
ようになる。
適陽極電圧の設定処理を示したフローヂＶ−トであり、
装置の使用に先立って最適陽極電圧の設定処理を行なう
ようになる。
即ら、最適陽極電圧の設定処理に際しては、図示のよう
に試料台８に適宜の基準試料１０をセットし、光源装置
９より所定の単波長光を照射して試料１０より電子を放
出させる。または、光を照射せず微弱な放射線源を置い
て電子を放出させても良い。
に試料台８に適宜の基準試料１０をセットし、光源装置
９より所定の単波長光を照射して試料１０より電子を放
出させる。または、光を照射せず微弱な放射線源を置い
て電子を放出させても良い。
初期状態において演算手段２６は高圧電源２３に対し電
圧可変範囲の最低電圧、例えば３．０ＫＶを初期値とし
て設定しており、ブロック３０に示すように初期設定し
た陽極電圧Ｖａを例えば段階的に上昇させ、陽極電圧■
ａを上昇する毎に計数手段２４を介して得られる計数率
Ｎをバックグラウンドノイズに基づく閾値ＮＯと判別ブ
ロック３２で比較し、計数率Ｎが閾値Ｎｏに達するまで
ブロック３０の陽極電圧Ｖａの上昇を繰り返す。
圧可変範囲の最低電圧、例えば３．０ＫＶを初期値とし
て設定しており、ブロック３０に示すように初期設定し
た陽極電圧Ｖａを例えば段階的に上昇させ、陽極電圧■
ａを上昇する毎に計数手段２４を介して得られる計数率
Ｎをバックグラウンドノイズに基づく閾値ＮＯと判別ブ
ロック３２で比較し、計数率Ｎが閾値Ｎｏに達するまで
ブロック３０の陽極電圧Ｖａの上昇を繰り返す。
判別ブロック３２で計数率Ｎの閾値Ｎｏへの到達を判別
すると次のブロック３４に進み、計数率Ｎが閾値Ｎｏを
越えたときの陽極電圧を放電開始電圧Ｖｓとして検出す
ると共に、この放電開始電圧Ｖｓに予め定まったプラト
ー電圧幅Ｐｗの半分の電圧を加え合わせて最適陽極電圧
Ｖａｏを演算し、次のブロック３６で演算した最適陽極
電圧Ｖａｏとなるように高圧電源２３を制御し、最適陽
極電圧の設定処理を終了する。
すると次のブロック３４に進み、計数率Ｎが閾値Ｎｏを
越えたときの陽極電圧を放電開始電圧Ｖｓとして検出す
ると共に、この放電開始電圧Ｖｓに予め定まったプラト
ー電圧幅Ｐｗの半分の電圧を加え合わせて最適陽極電圧
Ｖａｏを演算し、次のブロック３６で演算した最適陽極
電圧Ｖａｏとなるように高圧電源２３を制御し、最適陽
極電圧の設定処理を終了する。
ここで、陽極電圧Ｖａの変化に対する計数率Ｎの関係は
第４図に示す特性となる。
第４図に示す特性となる。
即ち、陽極電圧Ｖａを増加していくと、ある陽極電圧に
達したときに導入電子による気体放電によって電子計数
率Ｎが得られるようになり、バックグラウンドノイズに
基づく閾値Ｎｏを越える計数率Ｎが得られたときの陽極
電圧を放電開始電圧ＶＳとする。更に陽極電圧を増加さ
せると、ある電圧を越えるまでは計数率Ｎが略一定に保
たれる状態が続き、この電圧を越えると計数率Ｎが急激
に増加して計数不能な状態となる。
達したときに導入電子による気体放電によって電子計数
率Ｎが得られるようになり、バックグラウンドノイズに
基づく閾値Ｎｏを越える計数率Ｎが得られたときの陽極
電圧を放電開始電圧ＶＳとする。更に陽極電圧を増加さ
せると、ある電圧を越えるまでは計数率Ｎが略一定に保
たれる状態が続き、この電圧を越えると計数率Ｎが急激
に増加して計数不能な状態となる。
ここで、陽極電圧の変化に対し計数率Ｎが略一定となる
範囲がプラトー電圧幅Ｐｗと定義され、このプラトー電
圧幅Ｐｗは、第２図（ｂ）に示した第１１ｊ８子電極５
に印加するフェンチングミ圧の高さに一致するようにな
る。
範囲がプラトー電圧幅Ｐｗと定義され、このプラトー電
圧幅Ｐｗは、第２図（ｂ）に示した第１１ｊ８子電極５
に印加するフェンチングミ圧の高さに一致するようにな
る。
具体的に説明すると、例えば第１格子電極５が１００Ｖ
、第２格子電極６を８０Ｖに設定し、クエンチングパル
スがない状態で電子を計数した場合、陽極電圧が３．４
ＫＶでなだれ的な放電現象の増幅作用が発生したとする
と、その電位差は３゜３ＫＶである。いま、フェンチン
グミ圧の高さが３００Ｖであることから、陽極リング４
と第１格子電（Φ５との電位差が３．０〜３．３ＫＶに
あるとき、なだれ的な放電現象の増幅作用を阻止するこ
とができる。このため第４図のフェンチングミ圧の高さ
に対応したプラトー幅ｐｗの間においては、略一定の電
子計数率Ｎが得られる特性となる。
、第２格子電極６を８０Ｖに設定し、クエンチングパル
スがない状態で電子を計数した場合、陽極電圧が３．４
ＫＶでなだれ的な放電現象の増幅作用が発生したとする
と、その電位差は３゜３ＫＶである。いま、フェンチン
グミ圧の高さが３００Ｖであることから、陽極リング４
と第１格子電（Φ５との電位差が３．０〜３．３ＫＶに
あるとき、なだれ的な放電現象の増幅作用を阻止するこ
とができる。このため第４図のフェンチングミ圧の高さ
に対応したプラトー幅ｐｗの間においては、略一定の電
子計数率Ｎが得られる特性となる。
このような陽極電圧に対する計数率Ｎの特性に対し、本
発明にあっては、放電開始電圧ｖＳにプラトー電圧幅Ｐ
ｗの半分の電圧を加えた電圧を陽極最適電圧ｖａＯとし
て設定していることから、最適陽極電圧Ｖａｏは計数率
が略一定となるプラトー幅Ｐｗの中心に設定されること
となる。
発明にあっては、放電開始電圧ｖＳにプラトー電圧幅Ｐ
ｗの半分の電圧を加えた電圧を陽極最適電圧ｖａＯとし
て設定していることから、最適陽極電圧Ｖａｏは計数率
が略一定となるプラトー幅Ｐｗの中心に設定されること
となる。
このように陽極最適電圧ｙａｏがプラトー幅Ｐｗの中心
に設定された場合、気圧や温度の変化に対し第４図に示
す特性曲線は破線で示すようにシフトする変動を生ずる
が、この変動幅が±ＰＷ／２以内にある限り、最適陽極
電圧ｙａｏはプラトー幅ｐｗの中に納まっており、気圧
や温度が変動しても計数率Ｎはほとんど変動せず、気圧
や温度の変動に対し安定したｈ１数結果を得ることがで
きる。
に設定された場合、気圧や温度の変化に対し第４図に示
す特性曲線は破線で示すようにシフトする変動を生ずる
が、この変動幅が±ＰＷ／２以内にある限り、最適陽極
電圧ｙａｏはプラトー幅ｐｗの中に納まっており、気圧
や温度が変動しても計数率Ｎはほとんど変動せず、気圧
や温度の変動に対し安定したｈ１数結果を得ることがで
きる。
（発明の効果）
以上説明してぎたように本発明によれば、電圧可変手段
により陽極電圧を可変して放電開始電圧を検出し、この
放電開始電圧に陽極電圧の変化に対し電子計数値が略一
定となる予め定まったプラトー電圧幅の略２分の１の電
圧を加えて最適陽極電圧として設定するようにしたため
、気圧や温Ｊ３ｉの変化により陽極電圧に対する計数率
の特性が変動しても、常に安定した放出電子の計数状態
を得ることができ、この点は気圧や温度の変動のみなら
ず、電子検出部に対する試料までの距離の変動に依存し
た陽極電圧に対する計数率Ｎの特性の変化についても全
く同様に、安定で且つ効率の良い電子計数を行なうこと
ができる。
により陽極電圧を可変して放電開始電圧を検出し、この
放電開始電圧に陽極電圧の変化に対し電子計数値が略一
定となる予め定まったプラトー電圧幅の略２分の１の電
圧を加えて最適陽極電圧として設定するようにしたため
、気圧や温Ｊ３ｉの変化により陽極電圧に対する計数率
の特性が変動しても、常に安定した放出電子の計数状態
を得ることができ、この点は気圧や温度の変動のみなら
ず、電子検出部に対する試料までの距離の変動に依存し
た陽極電圧に対する計数率Ｎの特性の変化についても全
く同様に、安定で且つ効率の良い電子計数を行なうこと
ができる。
第１図は本発明の一実施例を示した説明図、第２図は電
子検出部における陽極電圧、第１及び第２格子電極電圧
の変化を示した信号波形図、第３図は本発明による最適
陽極電圧の設定処理を示したフローチャート、第４図は
陽極電圧に対する電子計数率の関係を示したグラフ図で
ある。 １：電子検出部 ２：検出窓 ３：ケース ４：陽極リング ５：第１格子電極 ６：第２格子電極 ８：試料台 ９：光源装置 １０：試料 １１：光源 １２：モノクロメータ １３．１４ニスリツト １８：増幅器 ２０：第１パルス発生器 ２２：第２パルス発生器 ２３：高圧電源 ２４：計数手段 ２６：演算手段 ２８：表示手段
子検出部における陽極電圧、第１及び第２格子電極電圧
の変化を示した信号波形図、第３図は本発明による最適
陽極電圧の設定処理を示したフローチャート、第４図は
陽極電圧に対する電子計数率の関係を示したグラフ図で
ある。 １：電子検出部 ２：検出窓 ３：ケース ４：陽極リング ５：第１格子電極 ６：第２格子電極 ８：試料台 ９：光源装置 １０：試料 １１：光源 １２：モノクロメータ １３．１４ニスリツト １８：増幅器 ２０：第１パルス発生器 ２２：第２パルス発生器 ２３：高圧電源 ２４：計数手段 ２６：演算手段 ２８：表示手段
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 一方に検出窓を備えたケース内に高電圧が印加された陽
極リングを配置すると共に該陽極リングの検出窓側に第
１格子電極及び第２格子電極を順次配置した電子検出部
を有し、光を照射した試料から放出される電子を前記電
子検出部内に導入し、該導入電子により生ずる気体放電
に基づいて電子の数を計数する電子計数装置に於いて、 前記陽極の印加電圧を可変する電圧可変手段と、該電圧
可変手段により陽極電圧を可変したときの放電開始電圧
を検出する電圧検出手段と、該電圧検出手段で検出した
放電開始電圧に陽極電圧の変化に対し電子計数値が略一
定となる予め定まったプラトー電圧幅の略２分の１の電
圧を加えて陽極最適電圧として設定する電圧設定手段と
を設けたことを特徴とする電子計数装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31123886A JPS63167255A (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | 電子計数装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31123886A JPS63167255A (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | 電子計数装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63167255A true JPS63167255A (ja) | 1988-07-11 |
| JPH0573190B2 JPH0573190B2 (ja) | 1993-10-13 |
Family
ID=18014753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31123886A Granted JPS63167255A (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | 電子計数装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63167255A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110672001A (zh) * | 2019-10-24 | 2020-01-10 | 中航通飞华南飞机工业有限公司 | 一种铁磁性材料表面非铁磁材料厚度测量方法及装置 |
-
1986
- 1986-12-27 JP JP31123886A patent/JPS63167255A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110672001A (zh) * | 2019-10-24 | 2020-01-10 | 中航通飞华南飞机工业有限公司 | 一种铁磁性材料表面非铁磁材料厚度测量方法及装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0573190B2 (ja) | 1993-10-13 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |