JPH021856U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH021856U JPH021856U JP7832788U JP7832788U JPH021856U JP H021856 U JPH021856 U JP H021856U JP 7832788 U JP7832788 U JP 7832788U JP 7832788 U JP7832788 U JP 7832788U JP H021856 U JPH021856 U JP H021856U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens barrel
- electron microscope
- optical axis
- vacuum
- separated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本案の実施例を示す図、第２図は他の
実施例を示す図である。 １……架台、２……鏡筒部、３……観察室、４
……電子銃室、５……リフト、６……リフトアー
ム、７……リフトハンドル、８……ヒータ、９…
…ハウジング、１０……フイラメント、１１……
真空装置、１２……ベローズ、１３……ベローフ
ランジ、１４……電子レンズ、１５……調節ネジ
、１６……薄肉パイプ。
実施例を示す図である。 １……架台、２……鏡筒部、３……観察室、４
……電子銃室、５……リフト、６……リフトアー
ム、７……リフトハンドル、８……ヒータ、９…
…ハウジング、１０……フイラメント、１１……
真空装置、１２……ベローズ、１３……ベローフ
ランジ、１４……電子レンズ、１５……調節ネジ
、１６……薄肉パイプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 電子顕微鏡に於いて、鏡筒の中間部を切り離
し、持ち上げても真空はベローズにて保持されか
つ、加熱部分らの温度影響を最少にするようにし
たことを特徴とする電子顕微鏡。 ２ 鏡筒を切り離し、真空シール部材は、鏡筒の
光軸調整可動部材に連結していることを特徴とす
る電子顕微鏡。 ３ 鏡筒部を切り離し真空を保持する部材は光軸
方向に伸縮またはシール部材がすべるように薄肉
パイプで構成し、光軸と直角方向にも可動可能と
したことを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7832788U JPH021856U (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7832788U JPH021856U (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH021856U true JPH021856U (ja) | 1990-01-09 |
Family
ID=31303261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7832788U Pending JPH021856U (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH021856U (ja) |
-
1988
- 1988-06-15 JP JP7832788U patent/JPH021856U/ja active Pending
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