JPH0222364U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0222364U JPH0222364U JP9798588U JP9798588U JPH0222364U JP H0222364 U JPH0222364 U JP H0222364U JP 9798588 U JP9798588 U JP 9798588U JP 9798588 U JP9798588 U JP 9798588U JP H0222364 U JPH0222364 U JP H0222364U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- observation window
- vacuum evaporation
- cylindrical body
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims 3
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ａは本考案の内部観察窓の断面図、ｂは
そのＡＡ矢視図、第２図は本考案の他の実施例の
断面図、第３図ａは反射鏡を有する実施例の断面
図、ｂはＡＡ矢視図、第４図ａは従来の内部観察
窓の見取図、ｂはそのＡＡ矢視図である。 １……真空槽の壁、２……筒体、３……透明板
、４……ベローズ、５……筒体支持用枠、６……
突起、７……軸、８……るつぼ、９……蒸発物、
１０……反射鏡、１１……腕、１２……治具、１
３……Ｏリング。
そのＡＡ矢視図、第２図は本考案の他の実施例の
断面図、第３図ａは反射鏡を有する実施例の断面
図、ｂはＡＡ矢視図、第４図ａは従来の内部観察
窓の見取図、ｂはそのＡＡ矢視図である。 １……真空槽の壁、２……筒体、３……透明板
、４……ベローズ、５……筒体支持用枠、６……
突起、７……軸、８……るつぼ、９……蒸発物、
１０……反射鏡、１１……腕、１２……治具、１
３……Ｏリング。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空蒸着装置の真空槽壁面に開口部を設け、
該開口部内で内部に透明板を嵌着した筒体を上下
左右に傾動可能に支持し、かつ該真空槽壁面と該
筒体とをベローズで気密に接続したことを特徴と
する真空蒸着装置の内部観察用窓。 ２ 請求項１記載の真空槽内に反射鏡を設けたこ
とを特徴とする真空蒸着装置の内部観察用窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9798588U JPH0222364U (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9798588U JPH0222364U (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0222364U true JPH0222364U (ja) | 1990-02-14 |
Family
ID=31323848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9798588U Pending JPH0222364U (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0222364U (ja) |
-
1988
- 1988-07-26 JP JP9798588U patent/JPH0222364U/ja active Pending