JPH02188103A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気浮上搬送装置、特にクリーンルームで用
いられる完全非接触型の磁気浮上無塵搬送装置に関する
。

〔従来の技術〕

従来の磁気浮上搬送装置としては、例えば、電気学会雑
誌昭６１−７．１０６巻７号Ｐ、６７７磁気浮上無塵搬
送装置がある。第３図はこのような従来の磁気浮上搬送
装置を示す構成図で、第４図は従来の磁気浮上搬送装置
の駆動装置を示す部分拡大図である。第３図において磁
気浮上搬送装置は、磁気浮上搬送車１１０とステーショ
ン１２０から構成される。磁気浮上搬送車１１０の駆動
装置は地上側を固定子とした片側ＬＩＭ　（リニア誘導
型モータ）で、ＬＩＭの固定子１３０は、その表面がガ
イドレール１４０の下面と同一面になるように配置され
、磁気浮上搬送車１１０に配置された可動子１５０との
相互作用で推力や制動力を発生し、磁気浮上搬送車１１
０を加減速する。ＬＩＭの固定子１３０はステーション
１２０の所に配置されており、磁気浮上搬送車１１０は
励磁されている固定子１３０の直下を通過する間だけ加
減速力を受は固定子１３０のない部分では惰性走行する
。固定子１３０には速度センサ１６０１位置センサ１７
０が共に設置されており、速度センサ１６０１位置セン
サ１７０の出力信号に基すいてコントローラ１８０によ
り磁気浮上搬送車１１０を加減速、停止、位置決めの制
御が行われる。

加減速時に消費されるエネルギー及び車両を浮上するた
めのエネルギーを節約するために、一般に磁気浮上搬送
車では軽量であることが必要とされる。このため、磁気
浮上搬送車の駆動装置には地上側を固定子としたＬＩＭ
が用いられるのが一般的である。これはＬＩＭと同等の
加減速時・性を得るためには、他のリニアモータ、すな
わちＬＤＭ（リニア直流モータ）及びＬＰＭ　（リニア
パルスモータ）等では、磁気浮上搬送車に搭載する磁気
回路の重量が重くなりすぎ実用的でなくなるためである
（磁気浮上搬送車側にコイルを乗せ、地上側に磁気回路
を置くのは、完全非接触型の磁気浮上無塵搬送装置では
駆動装置に電力を供給するバッテリーを搬送車に搭載す
る必要があるが、このバッテリーが重く実用的でない）
、シかしＬＩＭは、その構成上位置決め精度が低いため
、精密な位置決めが必要とされる工程には利用できず、
適用範囲が狭いという欠点があった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の磁気浮上搬送装置は、駆動装置に地上側
を固定子としたＬＩＭを用いているため、位置決め精度
が低いので、精密な位置決めが必要とされる工程には利
用できず、適用範囲が狭いという欠点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、磁気浮上搬送車に可動子を設け地上側に固定
子を設けたリニア誘導型モータからなる移動用リニアモ
ータを備えた磁気浮上搬送装置において、 前記磁気浮上搬送車に磁気回路を設け地上側にコイルを
設けた位置決め用リニアモータを含み、前記磁気浮上搬
送車を前記移動用リニアモータで移動させて粗位置決め
した後前記位置決め用リニアモータで正確に位置決めす
ることを特徴とする。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す構成図で、第２図は第
１図に示す実施例の駆動装置を示す部分拡大図である。

第１図において磁気浮上搬送装置は、磁気浮上搬送車１
０とステーション２０から構成され、磁気浮上搬送車１
０の駆動装置は、ステーション２０間の移動に用いられ
る移動用リニアモータ３０と、ステーション２０で位置
決めに用いられる位置決め用リニアモータ５０から構成
される。

移動用リニアモータ３０は、地上側を固定子とした片側
ＬＩＭで、ＬＩＭの固定子３１は、その表面がガイドレ
ール４０の下面と同一面になるように配置され、磁気浮
上搬送車１０に配置された可動子３２との相互作用で推
力や制動力を発生し、磁気浮上搬送車１０を加減速する
。ＬＩＭの固定子３１は、ステーション２０などガイド
レール４０の各要所に配置されており、磁気浮上搬送車
１０は励磁されている固定子３１の直下を通過する間だ
け加減速力を受け、固定子３１のない部分では惰性走行
する。固定子３１には速度センサ６０゜位置センサ７０
が共に設置されており、速度センサ６０１位置センサ７
０の出力信号に基すいてコントローラ８０が移動用リニ
アモータ３０に指令を送り磁気浮上搬送車１０の加減速
、停止の制御が行われる。

又、位置決め用リニアモータ５０として、ステーション
２０には、ガイドレール４０の下面の上に下面と平行な
面内で巻かれた長方形型のコイル５１が設置されており
、ステーション２０の停止位置に磁気浮上搬送車１０が
来た際に、磁気浮上搬送車１０に搭載されている磁気回
路５２と単コイル型リニア直流モータを構成する。ステ
ーション２０には磁気浮上搬送車１０の速度１位置を検
出するための速度センサ６１１位置センサ７１が共に設
置されており、速度センサ６１１位置センサ７１の出力
信号に基すいてコントローラ８１が位置決め用リニアモ
ータ５０に指令を送り、磁気浮上搬送車１０の位置決め
が行われる。

次に本実施例の搬送装置の動作について説明する。

通常、磁気浮上搬送車１０は移動用リニアモータ３０に
よりステーション２０の間を加減速しながら移動してい
る。一方、ステーション２０に停止するに際しては、先
ず移動用リニアモータ３０によりステーション２０の停
止位置に概ね位置決めし、次に位置決め用リニアモータ
５０により精密に位置決めする０位置決め用リニアモー
タ５０は単コイル型リニア直流モータを構成しているの
で、速度センサ６１１位置センサ７１の出力信号に基す
いてコントローラ８１でサーボをかければ、理論的には
位置センサ７１の位置検出分解能までの精密な位置決め
が可能である。又、位置決め用リニアモータ５０は位置
決めのみを行うので、ステーション間の移動のように磁
気浮上搬送車１０を急激に加減速する必要が無いので、
磁気回路５２も小型でよく軽量ですむため、磁気浮上搬
送車１０に磁気回路５２を搭載しても実際上問題となら
ない。

この様に本実施例の搬送装置は、ステージジン間の移動
にはＬＩＭを用い、ステーションでの位置決めにはＬＤ
Ｍを用いているために、磁気浮上搬送車を重くする事な
く精密な位置決めが可能である。このため消費エネルギ
ーを増やすことなしに精密な位置決めを必要とされる工
程にも適応できるので、省エネルギーな上に汎用性が高
いという効果がある。

又、本実施例では移動用リニアモータ用の位置センサ・
速度センサと位置決め用リニアモータ用の位置センサ・
速度センサとを別々の物としたが、これを同一のセンサ
で兼ねても良いことは言うまでもない。

〔発明の効果〕

本発明の磁気浮上搬送装置は、移動用のリニアモータと
、位置決め用のリニアモータを別個に持っているために
、精密な位置決めが可能で、精密な位置決めを必要とさ
れる工程にも適応できるので、汎用性が高いという効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施例を示す
構成図および駆動装置を示す部分拡大図、第３図および
第４図はそれぞれ従来の磁気浮上搬送装置の一例を示す
構成図および駆動装置を示す部分拡大図である。 １０・・・磁気浮上搬送車、２０・・・ステーション、
３０・・・移動用リニアモータ、３１・・・固定子、３
２・・・可動子、４０・・・ガイド、５０・・・位置決
め用リニアモータ、５１・・・コイル、５２・・・磁気
回路、６０・・・速度センサ、６１・・・速度センサ、
７ｏ・・・位置センサ、７１・・・位置センサ、８０・
・・コントローラ、８１・・・コントローラ、１１０・
・・磁気浮上搬送車、１２０・・・ステーション、１３
０・・・固定子、１４０・・・ガイド、１５０・・・可
動子、１６０・・・速度センサ、１７０・・・位置セン
サ、１８０・・・コントローラ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁気浮上搬送車に可動子を設け地上側に固定子を設けた
   リニア誘導型モータからなる移動用リニアモータを備え
   た磁気浮上搬送装置において、前記磁気浮上搬送車に磁
   気回路を設け地上側にコイルを設けた位置決め用リニア
   モータを含み、前記磁気浮上搬送車を前記移動用リニア
   モータで移動させて粗位置決めした後前記位置決め用リ
   ニアモータで正確に位置決めすることを特徴とする磁気
   浮上搬送装置。