JPH02192802A - シャドウマスク用金属薄板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、シャドウマスク用金属薄板の製造方法に関す
るものである。

（従来の技術とその間厘点） シャドウマスク型カラーテレビブラウン管には、蛍光面
と電子銃との間に、色選別のため、フォトエツチングに
より穿孔された多数の小孔を有するシャドウマスクが配
置される。この材料として通常厚さが０．１〜Ｑ、２５
ｍｎ＋の軟鋼板あるいは高品位用途にはＦｅ−３６Ｎｉ
合金（インバー）が使用されている。

これらシャドウマスクの一般の製造方法は以下のようで
ある。

金属薄板素材を洗浄し、フォトレジストを塗布、乾燥後
所定のガラス製基準パターンを真空密着させて露光し、
塩化第二鉄でエツチングすることにより多数の小孔を形
成する。その後、焼鈍、レベラ、プレスの加工処理工程
により所定の曲率半径を有する球面状に成形され、最終
的に酸化熱処理をして熱輻射能の向上、乱反射防止のた
めに黒化処理する。

ところで、通常のワークロールにより圧延した平滑な表
面を有する金属薄板にフォトレジストを塗布し、ガラス
製基準パターンを重ねて真空引きを行なうと空気の流路
抵抗が大きく、局部的に真空度の悪い個所ができるため
ガラス製基準パターンとの密着が悪く、エツチングで穿
孔した製品の品質低下を生ずるという問題がある。そこ
で、通常シャドウマスク用金属薄板は、ロール表面にシ
ョツトブラスト加工や放電加工、レーザービーム加工な
どにより微細な凹凸加工を施したダルロールと呼ばれる
ロールを用いて圧延される。ダルロール圧延により金属
薄板表面に微細な凹凸を転写し、真空引き時の空気流路
となしガラス製基準パターンの密着性を改良してエツチ
ングでの穿孔品の品質低下を防止しようとしている。

しかし、通常行なわれているダルロールを用いた１回の
通板による圧延では、ダルロールによる圧延前に通常の
平滑面を有するロールによって圧延された際の平滑な表
面が金属薄板表面に多く残存し、ダルロール表面の凹凸
模様によって金属薄板表面に転写された凹凸を呈する面
の面積占有率（この平滑ロール圧延時の平滑な表面部分
を除き。

ダルロールによって転写された凹凸面部分のみが全表面
積に対して占める割合を凹凸面面積占有率と定義する）
が小さく表面性状の均一性に欠けるため、真空引き時の
空気流路が充分かつ均一に確保されているとはいえない
、したがって、ガラス製基準パターンの密着性がなお充
分ではなく、エツチングによる穿孔品の品質も未だ充分
とはいえない状態にある。

従って、シャドウマスク用金属薄板のエツチングによる
穿孔品の品質を改良する方法が望まれている。

（問題解決に関する知見） 本発明は、シャドウマスク用金属薄板のエツチングによ
る穿孔品の品質改良を課題とし、課題解決に関し、微細
な凹凸加工を施したダルロールを用いて数回圧延するこ
とにより５表面中心線平均粗さＲａを大きくすることな
く、金属薄板表面に形成される凹凸面の面積占有率を増
大することにより、真空引き時の空気流路が充分でかつ
均一に確保されるためガラス製基準パターンの密着性が
向上し、エツチング性が改良されるという知見を得た。

（発明の構成） 上記目的は、圧延用ワークロールの片ロールまたは両ロ
ール表面に、微細な凹凸加工を施し、当該ワークロール
を用いて金属薄板を３〜５回圧延することにより、金属
薄板の片面または両面に形成される表面中心線平均粗さ
Ｒａが０．２〜１．０μｍの凹凸からなる表面の面積占
有率が８０％以上を満足するように構成させることを特
徴とするシャドウマスク用金属薄板の製造方法によって
達成される。

圧延によりシャドウマスク用金属薄板表面に形成される
表面中心線平均粗さＲａの増大は、金属薄板表面の凹凸
における傾斜面が長くなることを意味する。従って、真
空引き時の空気流路の確保はできるが、ガラス製基準パ
ターンと金属薄板表面との間の空間が大きくなり密着性
が悪くなるため。

Ｒａには適正範囲があり、０．２〜１．０μｍが望まし
い。

圧延の回数は後記実施例により実証されるように本発明
の効果は３回以上で現われるが、５回を越えると、薄鋼
板に付与されるひずみが増大してエツチング性が悪化す
ること、及び凹凸面面積占有率が圧延回数５回にてほぼ
飽和しており、いたずらに圧延工程の口数を重ねること
は製造コストを高くするため上限を５回とした。

真空引き時の空気流路が充分でかつ均一に確保されて、
ガラス製基準パターンの密着性を向上させることにより
シャドウマスク用金属薄板のエツチング性を改良するた
めには、圧延により金属薄板表面に形成される凹凸面の
面積占有率は８０％以上、望ましくは９０％以上を満足
するのが望ましく、その凹凸の表面中心線平均粗さＲａ
　Ｏ，２〜１．０μｍであることを必要とする。

（発明の具体的開示） 次に実施例によって本発明を具体的に説明する。

素材としてｃ：　ｏ、ｏｏａ％（重量％以下同じ）、Ｓ
ｉ：０．１４％、Ｍｎ：　０．３０％、Ｐ：　０．００
４％、ｓ：　ｏ、ｏｏｉｏ％、Ｎｉ：　３６．１４％残
部Ｆｅ及び不可避的不純物からなるＦａ−３６Ｎｉ合金
を用いた。Ｆｅ−３６Ｎｉ合金を溶製後通常の熱間圧延
及び冷間圧延工程により厚さ０．１６０ｍｍの冷間鋼板
とした。厚さ０．１６０ｍｍの冷延鋼板を無酸化雰囲気
において焼鈍後、ショツトブラストにより表面に微細な
凹凸加工を施したダルロールにより金属薄板の両面に凹
凸模様を転写するため通常回数を１回から５回まで変化
させて圧延加工を行った。なお、ここで圧延に用いたダ
ルロール表面の中心線平均粗さＲａは０．９０〜１．０
０μｍ（ダルロール表面における凹凸模様の面積占有率
は１００％でありロール研削時の平滑な表面は残存して
いない）であり、ダル圧延の通板１回あたりの圧下率は
０．５〜３．０％の範囲で圧延加工を行った。

次いでこれらの各圧延回数の金属薄板をそれぞれ洗浄し
た後、フォトレジストを塗布し乾燥後所定のガラス製基
準パターンを真空密着させて露光した。その後塩化第二
鉄でエツチングして開孔試験をした。

第１表には、各圧延回数時の表面中心線平均粗さＲａ、
金属薄板表面に占める凹凸面の面積占有率及びエツチン
グ後の開孔不良率を示す、ここで開孔不良率とはエツチ
ングにより開孔した孔の総数に対する形状不良孔の数の
百分率をいう。

第１表より、ダルロールを用いて３回以上圧延すること
により１表面中心線平均粗さＲａをほとんど増加させる
ことなく凹凸面面積占有率を増加することができる。

通板回数が１回ないし２回では凹凸面面積占有率は３０
％以下であるが、３回通板することにより８０％以上と
なり、４回以上の通板では９０％以上にすることができ
る。

第１表から明らかなように、金属薄板表面の凹凸面面積
占有率を８０％以上にすることによって開孔不良率が１
０％未満に改良され、望ましくは９０％以上にすること
によって開孔不良率は一層低減される。

上述の結果は添付写真を参照することによって、よく理
解できよう。添付第１〜６図は、未ダル圧延鋼板および
第１表に示す比較例および実施例で得られるダル圧延板
の表面組織を示めす１００倍の顕微鏡写真である。５回
の圧延で効果がほぼ飽和することが伺われる。

上記実施例はＦｅ−３６Ｎｉ合金についてのものである
が１本発明法はＦｅ−３６Ｎｉ合金に限らずシャドウマ
スク用軟鋼板やその他フォトエツチング用途に用いられ
る金Ｒ薄板に対しても利用が可能である。

（発明の効果） 本発明によれば、シャドウマスク用金属薄板の製造工程
における真空引き時の空気流路を充分かつ均一に確保す
ることが出来るため、ガラス製基準パターンを完全に真
空密着させることができる。

従って、エツチングにおける穿孔品質を著しく向上させ
ることができ、その効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１〜６図は未ダル圧延鋼板および第１表に示す比較例
および実施例で得られるダル圧延鋼板の金属表面組織を
示す１００倍の顕微鏡写真である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 圧延用ワークロールの片ロールまたは両ロール表面に、
   微細な凹凸加工を施し、当該ワークロールを用いて金属
   薄板を３〜５回圧延することにより、金属薄板の片面ま
   たは両面に形成される凹凸面の面積占有率が８０％以上
   であり、なおかつ凹凸部の表面中心線平均粗さＲａが０
   ．２〜１．０μｍからなる条件を満足するように構成さ
   せることからなるシャドウマスク用金属薄板の製造方法
   。