JPH02197564A

JPH02197564A - 真空蒸着装置

Info

Publication number: JPH02197564A
Application number: JP1847789A
Authority: JP
Inventors: Makoto Morioka; 誠森岡; Makoto Okamoto; 誠岡本
Original assignee: Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Current assignee: Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date: 1989-01-27
Filing date: 1989-01-27
Publication date: 1990-08-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（発明の技術分野）本発明は、蒸着金属の突沸を防止し高品位の蒸着面を得
ることができる真空蒸着装置に関する。

（発明の技術的背景とその問題点）従来、たとえば水晶振動子の製造工程では、水晶板の板
面に電極を形成する場合、真空蒸着装置を用いて蒸着金
属を蒸着するようにしていた。

このような真空蒸着装置では真空中で水晶板と蒸着源と
の間にマスクを配設し、このマスクに設けた透孔によっ
て蒸着域を規制して所定の形状の電極を水晶板の板面に
蒸着するようにしている。

ところで、このような蒸着装置では、たとえば蒸着ボー
トに貯留した蒸着金属に電流を流し、この際に発生する
ジュール熱によって蒸着金属を加熱して金属蒸気を得る
ようにしている。

第３図ａ、第３図すおよび第３図Ｃは、従来の各別の蒸
着ボートの一例を示す図である。

すなわち、第３図ａに示す蒸着ボート１は、−船釣な開
放型のもので、帯状の金属板の中央部に蒸発金属を貯留
する舟形の貯留槽２を設けたものである。

このような蒸着ボー）１は、構造も簡単であるが、蒸着
金属を加熱、溶融すると、ガス成分が溶融した金属の表
面から真空中に離脱する際に蒸着金属の飛沫が飛び散る
、いわゆる突沸を生じ易く蒸着面に蒸着金属の大きな粒
が付着することがあり蒸着面の品位が低い問題がある。

また、第３図すに示すものは、高品位の蒸着面を得られ
るように、蒸着ボー）１の蒸発金属の貯留槽２の前面に
二層にじゃま板３．４を配設して被蒸着物から蒸着源を
直視できないようにしたものである。

このようにすれば蒸着金属に突沸を生じても大きな粒が
蒸着面に達することがなく、理想的な蒸着源となり得る
が、被蒸着物に蒸着膜の形成される速度、すなわち蒸着
速度が遅くなり、所望の蒸着膜を形成するために必要な
時間が長くなる問題がある。

さらに、第３図Ｃに示すものは、蒸発金属の貯留槽２の
前面に蒸着金属と反応しない金属等からなるメツシュ５
を配設して蒸着金属の大きな粒が蒸着面に到達すること
を防止したものである。

しかしながら、このようなものでは蒸着ボートｌの溶融
した蒸発金属の電気抵抗はメツシュ５に比して著しく小
さいので、はとんどの電流は溶融した蒸発金属を流れて
メツシュ５には流れないのでメツシュ５の温度はほとん
ど上昇しない。

このために、発生した金属蒸気は温度の低いメツシュに
付着して極端な場合にはメツシュの目詰まりを起こす問
題がある。このような問題を解決するためには、たとえ
ば２台の電源を用いて蒸着ボートｌとメツシュ５とを相
互に絶縁して各別に通電して加熱制御する必要があり構
造が複雑でコストも高価になる。

（発明の目的）本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、蒸着金
属の突沸による蒸着面の品位の低下を確実に防止でき、
それによって高品位の蒸着を行うことができる蒸着装置
を提供することを目的とするものである。

（発明の概要）本発明は、ｒａ細な間隙を有する充填物に蒸着金属を含
浸させて蒸着ボートに貯留し、この蒸着ボートの開口部
を網目状のスクリーンで覆ったことを特徴とするもので
ある。

（実施例）以下、本発明の一実施例を、凹面を参照して詳細に説明
する。第１図は本発明の一実施例の蒸着装置の蒸着ボー
トの一例を示す斜視図、第２図は上記蒸着ボートの側断
面図である。

すなわち、蒸着ボート１１は、それ自体に通電してこの
際に発生するジュール熱により蒸着金属を加熱するよう
にしている。したがって、このようなものでは、蒸着ボ
ート１１は導電性を有し、かつ高温に加熱して蒸着金属
１２から金属蒸気を発生させる際にも該金属蒸気と化学
的に反応しない、あるいは反応のきわめて少ない材料が
好ましく、タングステンを用いている。

そして、これらの金属板を帯板状に成形して、その略中
央部に船型の貯留槽１３を形成している。

そして、上記蒸着ボー）１１の貯留槽１３に微細な間隙
を有し、蒸着金属と反応しない金属または無機質等から
なる充填物１４を配置し、これに金、銀等の蒸着金属を
含浸させて貯留するようにしている。

なお上記充填物１４としては、たとえば０．２ｍｍの径
のタングステンワイヤの適量を塊状に丸めたものを用い
ている。

この場合、充填物１４の密度をあまり高くすると蒸着金
属を含浸できる量が減少して頻繁に補充する必要があり
、密度が低すぎると突沸の防止効果が低くなるので適当
な密度に調整する必要かある。

そして、蒸着ボート１１内の充填物１４が運搬、取り付
は時等に脱落するのを防止するために、その上面開口部
を網目状のスクリーン１５で覆うようにしている。この
スクリーン１５は、たとえば０．３ｍｍ径のタングステ
ンワイヤを３　ｍ　ｍ程度のメツシュの大きさに編んだ
ものである。

なお、上記充填物１４の上面と上記スクリーン１５の下
面とは略接する位置関係とし、スクリーン１５の上面と
蒸着ボー）１１の開口面上端との間は充填物１４に蒸着
金属を含浸させるに必要な間隙を設けてＭ量の空間を形
成している。

このようにすれば、後述する蒸着金属の塊１７を溶融し
て充填物１４に含浸させる際に蒸着ボー）１１からこぼ
れないようにすることができる。

そして、蒸着ボー）１１の両端部にはクランパ兼電極１
６を設けて、これを図示しない端子に締着してここから
電力を供給するとともに蒸着ボー）１１自体を保持する
ようにしでいる。

なお、真空蒸着装置では容器内を真空に減圧する真空ポ
ンプ、被蒸着物を保持する保持機構、被蒸着物に対する
蒸着部位を規制するマスク等を設けることは勿論である
。

このような構成であれば、蒸着ボー）１１で加熱した蒸
着金属１２が外部へ飛散しないように図示しないシャッ
タを閉成してスクリーン１５の上に第２図に破線１７で
示すように蒸着金属の塊を並べて通電すると蒸着金属の
塊１７は発熱、溶融して自重で落下し、充填物１４の間
隙に含浸させることができる。この状態でシャッタを開
いて発生した金属蒸気を被蒸着物へ飛ばして蒸着を行な
えば突沸等を生じることなく高品位の蒸着面を得ること
ができる。

しかして、上記実施例によれば、格別に蒸着速度が低下
することなく、しかも溶融した蒸着金属の突沸を防止で
きるので高品質の蒸着面を得ることができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
たとえば上記実施例では充填物としてタングステンワイ
ヤの塊を用いるものについて説明したが、小さな粒状の
物質、たとえば直径３ｍｍ程度のモリブデンの球を用い
るようにしてもよい。

なおこの場合は、スクリーンのメツシュの大きさは上記
粒状物がこぼれ出ないように２ｍｍ程度にする必要があ
る。

また、蒸着金属として、たとえば金、銀等を用いる場合
、蒸着ボートとしては、これらの蒸着金属と反応しない
タングステン、モリブデン、タンタル等の導電性の金属
を用いることもできる。

さらに上記実施例では、蒸着ボートに直接通電して加熱
するものについて説明したが、他の熱源によって加熱す
るようにしてもよい。この場合は蒸着ボートとしてセラ
ミック等の絶縁物も用いることができる。

（発明の効果）以上詳述したように、本発明によれば、簡単な構成で、
蒸着速度を低下させることなく、蒸着金属の突沸を確実
に防止することができ、それによって高品位の蒸着面を
得られる蒸着装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の蒸着ボートを示す斜視図、第２図は第１図に示す蒸着ボートの側断面図、第３図ａ
、　　ｂ、　　ｃは従来の各別の蒸着ボートを示す斜視
図である。第１ｒ！！１１し１２・１３・１４・１５・・・・蒸着ボート・・・蒸着金属・・・貯留槽・・・充填物・・・スクリーン第２ｒＭｑ

Claims

【特許請求の範囲】微細な間隙を有する充填物に蒸着金属を含浸させて貯留
する蒸着ボートと、この蒸着ボートの開口部を覆う網目状のスクリーンと、を具備することを特徴とする真空蒸着装置。