JPS6250460A - 蒸発方法 - Google Patents
蒸発方法Info
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- JPS6250460A JPS6250460A JP18978885A JP18978885A JPS6250460A JP S6250460 A JPS6250460 A JP S6250460A JP 18978885 A JP18978885 A JP 18978885A JP 18978885 A JP18978885 A JP 18978885A JP S6250460 A JPS6250460 A JP S6250460A
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- 230000008016 vaporization Effects 0.000 title abstract 10
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 69
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 87
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 78
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 12
- 230000001914 calming effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 14
- 239000000654 additive Substances 0.000 abstract description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 9
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 6
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 abstract 8
- 239000000155 melt Substances 0.000 abstract 2
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 abstract 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 3
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052789 astatine Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052776 Thorium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、物質の蒸発法に関するものであり、よシ詳し
くハ、真空蒸着、イオンブレーティングのような被膜コ
ーティングにおいて被膜となる蒸発材料の蒸発に適用さ
れ、安定した蒸発を可能とする方法に関する。
くハ、真空蒸着、イオンブレーティングのような被膜コ
ーティングにおいて被膜となる蒸発材料の蒸発に適用さ
れ、安定した蒸発を可能とする方法に関する。
〔従来の技術］
従来、真空蒸着ならびにイオンブレーティングのような
被膜コーティングにおいてに、蒸発材料を蒸発源容器に
収容し、抵抗加熱・誘導加熱・電子線加熱等によシ加熱
して、溶融し浴を形成した蒸発材料を浴表面から蒸発さ
せるが、蒸発材料の蒸発速度を増大させるために蒸発材
料の蒸発温度を上昇させる手段を講じている。
被膜コーティングにおいてに、蒸発材料を蒸発源容器に
収容し、抵抗加熱・誘導加熱・電子線加熱等によシ加熱
して、溶融し浴を形成した蒸発材料を浴表面から蒸発さ
せるが、蒸発材料の蒸発速度を増大させるために蒸発材
料の蒸発温度を上昇させる手段を講じている。
しかし、このように蒸発温度を上昇させることは以下の
ような弊害がある。即ち、溶融状態にある蒸発材料が沸
騰してスプラッシュを発生させ、このスプラッシュが被
コーテイングの基材表面に飛行して付着し、コーティン
グ被膜を著しく劣化している。特にこのような沸騰現象
は比重が小さい蒸発材料に生じる傾向がある。
ような弊害がある。即ち、溶融状態にある蒸発材料が沸
騰してスプラッシュを発生させ、このスプラッシュが被
コーテイングの基材表面に飛行して付着し、コーティン
グ被膜を著しく劣化している。特にこのような沸騰現象
は比重が小さい蒸発材料に生じる傾向がある。
この現象を防止する九め、コーテイング物質の蒸発実施
温度において、コーテイング物質（蒸発材料）よシ比重
が大きく、蒸気圧が極めて低く、さらに蒸発材料と溶融
浴を形成するような特性を有する物質の１種又は数種を
蒸発材料に添加して、蒸発材料を選択的に蒸発させる蒸
発方法が特願昭６０−０７３４５７号明細書にて提案さ
れている。
温度において、コーテイング物質（蒸発材料）よシ比重
が大きく、蒸気圧が極めて低く、さらに蒸発材料と溶融
浴を形成するような特性を有する物質の１種又は数種を
蒸発材料に添加して、蒸発材料を選択的に蒸発させる蒸
発方法が特願昭６０−０７３４５７号明細書にて提案さ
れている。
第４図及び第５図を用い上記の方法に従って蒸発を行う
場合の具体例を説明する。第４図は抵抗加熱又は誘導加
熱の場合で、第４図中１はルツボ、４は蒸発材料と添加
物質からなる溶融領域（溶融浴）、５は溶融浴表面でこ
こから蒸発材料が選択的に蒸発する。また８は加熱ヒー
タ、９は加熱炉である。
場合の具体例を説明する。第４図は抵抗加熱又は誘導加
熱の場合で、第４図中１はルツボ、４は蒸発材料と添加
物質からなる溶融領域（溶融浴）、５は溶融浴表面でこ
こから蒸発材料が選択的に蒸発する。また８は加熱ヒー
タ、９は加熱炉である。
第５図は電子線加熱の場合で、その内部に冷却手段を有
するルツボ１を用いておシ、４．５の意味するところは
第４図の場合と同じを意味するが、６は蒸発材料に添加
物質を加えたものであるけれども溶融浴とはなっていな
い部分である。
するルツボ１を用いておシ、４．５の意味するところは
第４図の場合と同じを意味するが、６は蒸発材料に添加
物質を加えたものであるけれども溶融浴とはなっていな
い部分である。
〔発明が解決しようとする問題点コ
しかしながら、上記明細書記載の蒸発時における蒸発材
料の鎮静化のための添加物質と該蒸発材料の混合浴から
蒸発させる蒸発方法においても以下のような問題がメジ
、不完全である。
料の鎮静化のための添加物質と該蒸発材料の混合浴から
蒸発させる蒸発方法においても以下のような問題がメジ
、不完全である。
即ち、前記蒸発方法においては、蒸発材料のスプラッシ
ュを防止して溶融浴を鎮静化する効果は達成されている
が、蒸発材料が蒸発することによって、溶融浴中の蒸発
材料の濃度が低下し、そのため蒸発速度（？／ω宜・ｓ
ｅａ ）の経時変化が生じる傾向がちシ、コーティング
破膜の膜厚制御やイオンブレーティングのように反応性
コーティングが伴う場合、コーティング被膜の成分比率
の制御が不完全になる。
ュを防止して溶融浴を鎮静化する効果は達成されている
が、蒸発材料が蒸発することによって、溶融浴中の蒸発
材料の濃度が低下し、そのため蒸発速度（？／ω宜・ｓ
ｅａ ）の経時変化が生じる傾向がちシ、コーティング
破膜の膜厚制御やイオンブレーティングのように反応性
コーティングが伴う場合、コーティング被膜の成分比率
の制御が不完全になる。
これは、よシ詳しくは、蒸発時間の経過に従って、蒸発
材料は選択的に蒸発して混合浴中の蒸発材料の残存量が
次第に減少するが、一方の添加物質は、蒸気圧が低いた
め残存量は殆んど変化なく存在する。このため、混合浴
中の蒸発材料の含有率が低下して、混合浴の浴表面（蒸
発面）に占める蒸発材料の占有面積が減少し、蒸発速度
（２／−・ｓｅａ ）が経時的に減少するのである。
材料は選択的に蒸発して混合浴中の蒸発材料の残存量が
次第に減少するが、一方の添加物質は、蒸気圧が低いた
め残存量は殆んど変化なく存在する。このため、混合浴
中の蒸発材料の含有率が低下して、混合浴の浴表面（蒸
発面）に占める蒸発材料の占有面積が減少し、蒸発速度
（２／−・ｓｅａ ）が経時的に減少するのである。
本発明は、このような問題点を解決して、安定した蒸発
を行い得る改良された蒸発方法を提供せんと意図するも
のである。
を行い得る改良された蒸発方法を提供せんと意図するも
のである。
本発明は蒸発時における蒸発材料の鎮静化のために添加
した物質と前記蒸発材料との混合浴から蒸発材料を蒸発
させるに際して、前記混合浴へ蒸発材料を補給しながら
蒸発させることを特徴とする蒸発方法に関する。
した物質と前記蒸発材料との混合浴から蒸発材料を蒸発
させるに際して、前記混合浴へ蒸発材料を補給しながら
蒸発させることを特徴とする蒸発方法に関する。
すなわち、本発明は、従来の蒸発材料の鎮静化のために
添加し之物質と蒸発材料の混合浴からの蒸発において、
蒸発材料の経時的減少を防止するため連続的またに断続
的に蒸発材料を前記混合浴に補給する手段により、蒸発
時において常に混合浴の組成を維持しながら蒸発材料を
蒸発させることを特徴とする蒸発方法である。
添加し之物質と蒸発材料の混合浴からの蒸発において、
蒸発材料の経時的減少を防止するため連続的またに断続
的に蒸発材料を前記混合浴に補給する手段により、蒸発
時において常に混合浴の組成を維持しながら蒸発材料を
蒸発させることを特徴とする蒸発方法である。
本発明における、蒸発材料の鎮静化のために添加する物
質としては、蒸発材料よυ比重が大きく極めて低蒸気圧
を有し、蒸発実施温度で溶融浴を形成するものであれば
よく、例えばＷｌＴａ、Ｍｏ、Ｐｔ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｔｈ
、工ｒ、Ｒｕ。
質としては、蒸発材料よυ比重が大きく極めて低蒸気圧
を有し、蒸発実施温度で溶融浴を形成するものであれば
よく、例えばＷｌＴａ、Ｍｏ、Ｐｔ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｔｈ
、工ｒ、Ｒｕ。
Ｉｎ、Ｐｂ％Ｂｉ 等が挙げられ、中でもＷ、Ｔａ。
Ｍｏ％Ｐｔ、 ＰＩ）、 Ｂｉ等は一般市場に２いて入
手が容易である。これら添加物質は１種のみを添加して
も、２棟以上を添加してもよい。
手が容易である。これら添加物質は１種のみを添加して
も、２棟以上を添加してもよい。
本発明における蒸発材料と添加物質の組合せは、例えば
ＡｔとＴａ％ＡｔとＷ、ＦｅとＷ、ＮｉとＷ、ＩＳｉと
Ｗ、１３１とＭｏ、、ＷＸＴｉとＴａ％ＴｉとＭｏ、Ｗ
、Ｚｎと工ｎ、 Ｐ’ｂ、 ＺｎとＩｎ 、 Ｐｂ 。
ＡｔとＴａ％ＡｔとＷ、ＦｅとＷ、ＮｉとＷ、ＩＳｉと
Ｗ、１３１とＭｏ、、ＷＸＴｉとＴａ％ＴｉとＭｏ、Ｗ
、Ｚｎと工ｎ、 Ｐ’ｂ、 ＺｎとＩｎ 、 Ｐｂ 。
Ｐｔ、ＺｎとＢｉ 、 Ｐｂ 等が挙げられるがこれに
限定されるものではない。
限定されるものではない。
本発明における加熱の手段は特に限定されるところはな
く、例えば電子線加熱、抵抗加熱、誘導加熱等が挙げら
れる。
く、例えば電子線加熱、抵抗加熱、誘導加熱等が挙げら
れる。
本発明における蒸発材料の補給は連続的でも断続的でも
よく、後述の実施例で具体的に説明するが、粒状とかワ
イヤー状の蒸発材料を追加していく補給に加えその混合
浴の組成が維持できるいかなる方法によってもよい。
よく、後述の実施例で具体的に説明するが、粒状とかワ
イヤー状の蒸発材料を追加していく補給に加えその混合
浴の組成が維持できるいかなる方法によってもよい。
混合浴の組成を維持するために蒸発材料を補給すること
により混合浴の浴表面（蒸発面〕に占有する蒸発材料の
面積が一定に保持されるため、蒸発速度の経時的減少が
なくなる。
により混合浴の浴表面（蒸発面〕に占有する蒸発材料の
面積が一定に保持されるため、蒸発速度の経時的減少が
なくなる。
第１図は本発明の実施例であシ、電子線加熱方式によっ
て円柱状の８１ を蒸発させる場合を説明する縦断面
図である。
て円柱状の８１ を蒸発させる場合を説明する縦断面
図である。
第１図において１は水冷したリング状ルツボであシ、こ
の内部に蒸発材料である円柱状ｓ１２を収容し、この８
１２ｔｉ下部の支持棒３の上下移動によって、同様に上
下動が可能である。
の内部に蒸発材料である円柱状ｓ１２を収容し、この８
１２ｔｉ下部の支持棒３の上下移動によって、同様に上
下動が可能である。
４は電子線加熱によって蒸発材料０８１２が溶融する領
域であυ、この溶融領域４の中に添加物質としてＷを添
加して混合浴を形成している。
域であυ、この溶融領域４の中に添加物質としてＷを添
加して混合浴を形成している。
５は溶融領域４（混合浴）の浴表面（蒸発向）であり、
この表面５から蒸発材料の８１ ２が選択的に蒸発する
。また、この蒸発のため、従来は浴表面５が低下して、
溶融領域４の大きさが変化し九ため、組成変化が生じて
いたが本実施例では浴表面の低下を支持棒３の移動によ
って調節し、一定高さに保持する。このため、溶融領域
４の大きさが一定になシ、この中の組成が一定となって
蒸発速度の変化がなくなる。
この表面５から蒸発材料の８１ ２が選択的に蒸発する
。また、この蒸発のため、従来は浴表面５が低下して、
溶融領域４の大きさが変化し九ため、組成変化が生じて
いたが本実施例では浴表面の低下を支持棒３の移動によ
って調節し、一定高さに保持する。このため、溶融領域
４の大きさが一定になシ、この中の組成が一定となって
蒸発速度の変化がなくなる。
上記実施例でにＳｉ ２の移＃調節によシ浴表面５の
レベルを一定に保持しながら蒸発を行ったが、蒸発の初
期における蒸発速度と終期の蒸発速度には変化がないこ
とが実証された。
レベルを一定に保持しながら蒸発を行ったが、蒸発の初
期における蒸発速度と終期の蒸発速度には変化がないこ
とが実証された。
また本発明における蒸発材料の補給方法としては上記の
ような方法以外にその混合浴の組成が維持できる方法で
あれば、どのような方法を用いてもよい。
ような方法以外にその混合浴の組成が維持できる方法で
あれば、どのような方法を用いてもよい。
第２図はワイヤー状の蒸発材料２の補給の例であり、１
はルツボ、６は蒸発材料に添加物質を加えたものである
。
はルツボ、６は蒸発材料に添加物質を加えたものである
。
また第３図は粒状の蒸発材料２の補給の例である。図中
、１及び６は第２図と同様を意味し、７はスクリ５−−
フィーダーである。
、１及び６は第２図と同様を意味し、７はスクリ５−−
フィーダーである。
本発明は、蒸発材料と該蒸発材料の鎮静化のために添加
した物質との混合浴からの蒸発において、蒸発材料を連
続的又は断続的に該混合浴に補給するので、常に混合浴
の組成が維持でき、これによシ該蒸発物質の蒸発速度を
安定に制御して行うことが可能である。
した物質との混合浴からの蒸発において、蒸発材料を連
続的又は断続的に該混合浴に補給するので、常に混合浴
の組成が維持でき、これによシ該蒸発物質の蒸発速度を
安定に制御して行うことが可能である。
第１図ないし第５図は本発明の実施態様を説明する図で
あって、第１図は実力例の場合、第２図はワイヤー状の
蒸発材料を補給する例、第３図は粒状の蒸発材料を補給
する例を示す。 第４および第５図は、蒸発材料を補給しない従来個分説
明する図である。 復代理人 内 １） 明 復代理人 萩 原 亮 − 復代理人 安 西 篤 夫 第４図 第５図 店却水
あって、第１図は実力例の場合、第２図はワイヤー状の
蒸発材料を補給する例、第３図は粒状の蒸発材料を補給
する例を示す。 第４および第５図は、蒸発材料を補給しない従来個分説
明する図である。 復代理人 内 １） 明 復代理人 萩 原 亮 − 復代理人 安 西 篤 夫 第４図 第５図 店却水
Claims (1)
- 蒸発時における蒸発材料の鎮静化のために添加した物質
と前記蒸発材料との混合浴から蒸発材料を蒸発させるに
際して、前記混合浴へ蒸発材料を補給しながら蒸発させ
ることを特徴とする蒸発方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18978885A JPS6250460A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | 蒸発方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18978885A JPS6250460A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | 蒸発方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6250460A true JPS6250460A (ja) | 1987-03-05 |
| JPH0548297B2 JPH0548297B2 (ja) | 1993-07-21 |
Family
ID=16247213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18978885A Granted JPS6250460A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | 蒸発方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6250460A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0318162U (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-22 | ||
| WO2017199873A1 (ja) * | 2016-05-18 | 2017-11-23 | 株式会社アルバック | 金属蒸発材料 |
| JPWO2024209755A1 (ja) * | 2023-04-05 | 2024-10-10 |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP18978885A patent/JPS6250460A/ja active Granted
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0318162U (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-22 | ||
| WO2017199873A1 (ja) * | 2016-05-18 | 2017-11-23 | 株式会社アルバック | 金属蒸発材料 |
| JPWO2017199873A1 (ja) * | 2016-05-18 | 2018-11-22 | 株式会社アルバック | 金属蒸発材料 |
| KR20180130546A (ko) * | 2016-05-18 | 2018-12-07 | 울박, 인크 | 금속 증발 재료 |
| CN109072413A (zh) * | 2016-05-18 | 2018-12-21 | 株式会社爱发科 | 金属蒸发材料 |
| TWI673373B (zh) * | 2016-05-18 | 2019-10-01 | 日商愛發科股份有限公司 | 金屬蒸發材料 |
| CN109072413B (zh) * | 2016-05-18 | 2020-07-14 | 株式会社爱发科 | 金属蒸发材料 |
| JPWO2024209755A1 (ja) * | 2023-04-05 | 2024-10-10 | ||
| WO2024209755A1 (ja) * | 2023-04-05 | 2024-10-10 | 株式会社アルバック | 真空蒸着装置用の蒸着源及び真空蒸着方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0548297B2 (ja) | 1993-07-21 |
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