JPH057249Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は例えば分子線エピタキシヤル装置
（MBE）等の膜形成装置に係り、特にその分子線
源から発生する分子線を遮断するシヤツター板の
改良に関するものである。

〔従来の技術〕

この種、従来の膜形成装置である分子線エピタ
キシヤル装置には例えば第５図に示す様に粒子体
を収容する容器として複数のるつぼを備えたもの
がある。図に於て、１は分子線源すなわち粒子発
生源で、この粒子発生源１は開口部４からこの開
口部４の前方に向かつてガリウム（Ga）等の比
較的低融点の分子線である膜成形用の粒子を放射
するるつぼからなる粒子体２の収容容器３と、こ
のるつぼ３を暖めるヒーター線５と、上記るつぼ
３の温度を感知して制御するための熱電対６と、
これらるつぼ２及びヒーター線５並びに熱電対６
を収容するための円筒形の穴を複数有し、これら
複数の円筒形の穴の中心が全て基板７の方向に向
かつて設けられているとともにこれら複数の円筒
形の穴の開口部８が設けられている面９が球面状
に快られた形状となつている第６図に示す様な液
体窒素シユラウド１０とからなるものである。１
１は上記粒子発生源１上に設けらて、この粒子発
生源１から発生する粒子を遮断する第７図に示す
様な円板状のシヤツター板、１２は、このシヤツ
ター板１１を支持するとともに上記液体窒素シユ
ラウド１０の円筒形の穴内に納められ回転導入端
子１３の半回転によつて上記シヤツター板１１を
開閉する棒状の支持体、１４は上記液体窒素シユ
ラウド１０上の円筒形の穴中心の方向に設けられ
るとともに重力方向Ｇに対して45度の角度で設け
られた基板、１５はこの基板１４を熱するヒータ
ーである。

従来の膜形成装置は上記のように構成され、た
とえば、ガリウム（Ga）及びヒ素（As）を同時
に蒸着する場合には異なるるつぼ３に各々ガリウ
ム（Ga）及びヒ素（As）を入れ、ヒーター線５
によつてるつぼ３を暖めた状態で各々のるつぼ３
のシヤツター板１１を開閉し、これによつてガリ
ウム（Ga）及びヒ素（As）の蒸着割合を調節す
るものである。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上記の様な従来の膜形成装置に於ては、るつぼ
１を暖めた状態でるつぼ３のシヤツター板１１を
閉じていると、シヤツター板１１の裏面には蒸発
したガリウム（Ga）が付着し、この付着したガ
リウム（Ga）がシヤツター板最低位部１５に溜
つて、その溜り量が多くなるとシヤツター板１１
の開閉動作中落下し、るつぼ３の外壁、あるいは
るつぼ３中に落下し、るつぼ３の外壁との化学反
応を生じてるつぼ３の寿命を短くしたり、るつぼ
３内の蒸着材料を汚染するという問題点があり、
また、これを避けるために、支持体１２によるシ
ヤツター板１１の支持部をシヤツター１１の最低
位部１５に設け、この支持体１２を伝えて上記シ
ヤツター板１１に付着したものを取り出そうとす
ると、支持体１２を伝つて落ちる付着物が支持体
１２下部の回転導入端子１３のベアリング等に付
着し、支持体１２が回転しなくなるという問題点
があつた。

この考案は、上記の問題点に鑑みてなされたも
ので、不純物の少ない高品質の膜が得られるとと
もに、粒子体を収容する容器が長寿命化する膜形
成装置を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案に係る膜形成装置は、粒子体を収容す
る容器の開口部外に先端が位置する突出体をシヤ
ツター板の最低位部に設けてかつこの先端が突出
体の最も低い位置となるようにしたものである。

〔作用〕

この考案においてはシヤツター板の最低位部に
設けられた突出体の先端が粒子体を収容する容器
の開口部外に設けられているから、上記シヤツタ
ー板の裏面に付着した粒子は上記突出体の先端に
導かれ、この先端から落下するものであり、この
落下地点には上記容器及びその開口部がないから
容器を傷めたり、容器内の粒子体を汚染したりす
ることはないものである。

〔実施例〕

以下、この考案の一実施例を図について説明す
る。第１図は、従来装置の第７図に相当する図で
あり、この図に於ては円板状のシヤツター板１１
の最低位部１５に、このシヤツター板１１と一体
成形された先端が鋭角な三角形状の突出体１６を
設け、この突出体１６の先端１７を粒子体２を収
容する容器３の開口部４外に位置させるととも
に、この先端１７を上記シヤツター板１１の最低
位部１５より低くした点が上記第７図のものと異
なる。

上記の様に構成された膜形成装置に於ては突出
体１６の先端１７が鋭角な三角形状をしているか
ら、シヤツター板１１の裏面に付着した粒子は突
出体１６に効率よく集束されるとともに、の集束
された粒子もまた効率良く先端１７から落下する
ものであり、従つて、シヤツター板１１の裏面に
付着している粒子の量が非常に少なくなるからシ
ヤツター板１１を開放したときにシヤツター板１
１に付着したまま凝固してしまう粒子が減り、シ
ヤツター板１１を再び閉じたときに凝固した粒子
がはがれ落ちて容器１３内に落下することはなく
はなるものである。また、この落下地点には容器
１３及びその開口部４がないから、容器１３を傷
めたり、容器１３内の粒子体２を汚染することは
ないものである。そしてまた、上記の様な構造の
ものを第５図の様な複数の容器１３を備えた粒子
発生源１に適用することはお互いの突出体１６が
接触することなくシヤツター板１１を開閉できる
ため、非常に有効な手段となるものである。

なお、上記実施例に於てはシヤツター板１１の
最低位部１５に設けた突出体１６を先端が鋭角な
三角形状のものとしたが、鈍角な三角形状のもの
でも良く、また、棒状のものでも良いものであ
る。

また、上記実施例に於ては、シヤツター板１１
を円形状のものとしてこれに突出体１６を設けた
が第２図に示す様な半円形のシヤツター板１１に
三角形状の突出体１６を設けても良いものであ
る。

更に上記実施例に於ては、シヤツター板１１の
開閉を回転導入端子１３を半回転させることによ
つて行つていたが、第３図に示す様なハネ上げ
式、或いは第４図に示す様なベローズ１８を用い
た前後直進式によつて行つても良く、これらのも
のに突出体１６を設けても同様の効果を呈すもの
である。

〔考案の効果〕

この考案は以上説明したとおり、シヤツター板
の最低位部に設けられた突出体の先端が粒子体を
収容する容器の開口部外に設けられているから、
上記シヤツター板の裏面に付着した粒子が容器及
び容器内に落下することがなく、従つて不純物の
少ない高品質の膜が得られるとともに、粒子体を
収容する容器が長寿命化するという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の第１の実施例を示すシヤツ
ター板及び突出体並びに支持体及び容器の斜視
図、第２図はこの考案の第２の実施例を示すシヤ
ツター板及び突出体の斜視図、第３図及び第４図
はこの考案の第３及び第４の実施例に於るシヤツ
ター板の開閉機構を示す図、第５図は従来の膜形
成装置の斜視図、第６図はちこの膜形成装置に於
る液体窒素シユラウドの傾斜図、第７図はこの膜
形成装置に於るシヤツター板及び突出体並びに支
持体及び容器を示す斜視図である。 図において、２は粒子体、３は粒子体２の収容
容器、４はこの容器３の開口部、７は基板、１１
はシヤツター板、１２は支持体、１５は上記シヤ
ツター板１１の最低位部、１６は突出体、１７は
ちこの突出体１６の先端、Ｇは重力方向である。
なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示
すものである。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 開口部からこの開口部の前方に設けられる基
   板に向かつて膜形成用の粒子を放射する粒子体
   の収容容器と、この容器の開口部と上記基板と
   の間に設けられるとともに重力方向に傾斜して
   設けられて上記膜形成用の粒子を遮断するシヤ
   ツター板と、このシヤツター板を支持する支持
   体とを備えたものに於て、上記開口部外に先端
   が位置するとともにこの先端が上記重力方向に
   傾斜して設けられたシヤツター板の最低位部よ
   りも低くなる様な突出体を上記シヤツター板の
   最低位部に設けたことを特徴とする膜形成装
   置。 (2) 突出部は先端が鋭角であることを特徴とする
   実用新案登録請求の範囲第１項記載の膜形成装
   置。 (3) 粒子体の収容容器を複数有することを特徴と
   する実用新案登録請求の範囲第１項または第２
   項記載の膜形成装置。