JPH02198014A - 磁気ヘッド装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 この発明は磁気ディスク装置の製造方法、特にウェハに
薄膜技術で複数の磁気ヘッド素子を同時に形成するとき
の方法に関するものである。

（従来の技術〕 従来、磁気ヘッド装置は第４図に示すようにスライダ１
を有し、スライダ１は左右に平行な浮動面２ａ、２ｂを
備えていて、この浮動面２ａ。

２ｂに対応する後端面には磁気ヘッド素子３，３がそれ
ぞれ貼着されている。

なお、４は磁気ヘッド素子３，３に設けられて、電磁変
換を行うコイル、５はポンディングパッドであり、この
ポンディングパッド５はコイル４とヘッドＩＣとをつな
ぐリード線を半田付は等により接続するために設けられ
ている。

上記磁気ヘッド装置の製造方法は第５図〜第７図に示す
ように先ず、磁気ヘッド素子３，３を形成する。その手
順はウェハ９上に、複数の成形開口部１１を設けた下コ
ア形成マスク１０を適用してめっきまたはスパッタリン
グにより下コア８を形成する。この場合、各成形開口部
１１は同一形状に形成されかつ正しく並べた状態に配設
されている。

そして、下コア８の上に複数の同一寸法、同一外形の成
形開口部１１を設けた図示しないギャップ形成用マスク
を適用してギャップ７を形成した後、第１絶縁＠１２を
形成する。

次にコイル形成用マスクを適用しコイル４を形成した複
筒２絶縁層」３を形成して、更に上記と同様な方法でコ
イル４を形成した後、第３絶縁層１４を形成する。

そして図示しない上コア形成マスクを適用しかつ上記と
同様な方法によって上コア６を形成した後、保護膜１５
を形成することにより磁気ヘット素子３，３が製造され
る。

このヘッド素子３．３を切出してスライダ１の浮動面２
ａ、２ｂに対応する後端面に貼着する。

（発明が解決しようとする課題〕 ところが、上記の磁気ヘッド装置の製造方法では下コア
形成用マスク、ギャップ形成用マスク。

上コア形成用マスクに複数設けられる成形開口部が、同
一寸法に形成され一種類から成るので、異なる形状１寸
法の磁気ヘッド素子を１ｍする揚台には、別のウェハに
他の種類のマスクを用いて製造する必要があった。

このため、品種の異なる磁気ヘッド素子を製造するには
、ウェハ段階から全て製造を始めなければならぬ課題が
あった。従って、工期が長くなる等の課題が発生した。

この発明は上記課題に鑑みなされたもので、その目的は
１枚のウェハから複数種類特性の磁気ヘッド素子の製造
を可能とする。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、この発明は各マスク毎に寸
法、形状の異なる成形開口部を複数種類設け、一枚のウ
ェハ上に寸法、形状の異なる複数品種の磁気ヘッド素子
を形成したことを特徴としている。

（作用） 上記構成によって磁気ヘッド装置のＭｍ方法では、１枚
のウェハで複数品種の磁気ヘッド素子が製造可能となり
、それらの内から使用する磁気ヘッド素子を選択するこ
とができる。

（実施例〕 以下、この発明を実施例を示す図面を参照して詳細に説
明する。

第１図〜第３図はこの発明の第１実施例を示している。

なお、この実施例では上記従来例と同一ないし均等な部
材及び部位には同一符号を付しその説明を省略する。

この発明に係る磁気ヘッド装置の製造方法では、第３図
に示すように下コア形成用マスク２２には寸法、形状が
交互に異なる２種類の成形開口部２３ａ、２３ｂを複数
配列して設けである。この下コア形成用マスク２２と同
様に２種類の成形開口部を有するギャップ形成用マスク
、十コア形成用マスクも用意されている。

このように２種類の磁気ヘッド素子を製造可能な各マス
クを一枚のウェハ９表面に順次適用して、上記従来例と
同様な手順によって、それぞれ異なる諸元を有する上コ
ア５ａ、５ｂとギψツブ７ａ。

７ｂと下コアＢａ、Ｂｂとからなる２種類の磁気ヘッド
素子３ａ、３ｂが形成されている。本実施例では、第２
図（ａ）、（ｂ）に示す如くコアの厚みｄ、、ｄ２及び
ギヤツブ長ｑ等、特性の異なる２種類の磁気ヘッド素子
３ａ、３ｂが一つ置きに形成される。

次に各磁気ヘッド素子３ａ、３ｂを切出して、スライダ
１の浮動面２ａ、　２ｂが対応する後端面に貼着して磁
気ヘッド装置が製造される。すなわち、特性の異なる磁
気ヘッド素子３ａ、３ｂが貼着され、これ等磁気ヘッド
素子３ａ、３ｂはいずれか一方が選択的に使用される。

上記構成によって、少なくとも２種類の形状の磁気ヘッ
ド素子３ａ、３ｂが同時に数百側製造され、これによっ
て異なる諸元を有する磁気ヘッド素子３ａ、３ｂがスラ
イダ１の浮動面２ａ、２ｂの後端面に貼着される。

なお、上記実施例ではコアの厚み、ギャップ長が異なる
２つの素子を製作する様にしたが、コア幅、０．、、ｌ
！２が異なる素子を製作してもよい。また両方とも異な
る様にしてもよい。

また、データ用の素子とナーボ情報を読みとる素子にし
てもよい。

またコイル４の巻数をかえてもよい。

また、２種類以上の磁気ヘッド素子を同一のウェハ上に
設【ノるようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明は、各マスク毎に寸法、形
状の異なる成形間口部を複数種類設け、一枚のウェハ上
に寸法、形状等、特性の異なる複数品種の磁気ヘッド素
子を形成したことを特徴としている。

従って、同時に複数種類の磁気ヘッド素子が形成可能な
ので工期が短縮される効果を（昇る。

また、使用領域において電気特性の良いヘッドが（昇ら
れる効果も生じる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の寸法により製造された磁気ヘッド装
置の斜視図、第２図（ａ）、（ｂ）は磁気ヘッド素子の
端面図、第３図はマスクの斜視図、第４図は従来例の方
法により製造された磁気ヘッド装置の斜視図、第５図は
マスクの斜視図、第６図は磁気ヘッド素子の製造工程図
、第７図は磁気ヘッド素子の端面図である。 １・・・・・・スライダ、３．３ａ、３ｂ・・・・・・
磁気ヘッド素子、６ａ、　６ｂ・・・・・・上コア、７
ａ、７ｂ・・・・・・ギレツブ、８ａ、３ｂ・・・・・
・下コア、９・・・・・・ニウム、２２・・・・・・下
コア形成用マスク、２３ａ、２３ｂ・・・・・・成形開
口部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の成形開口部を設けた下コア形成用マスク、ギャッ
   プ形成用マスク、コイル形成用マスク、上コア形成用マ
   スクを、ウェハ表面に順次適用して、ウェハ上に下コア
   とギャップとコイルと上コアとから成る磁気ヘッド素子
   を複数個形成した後、これ等磁気ヘッド素子を切出して
   スライダに貼着するようにした磁気ヘッド装置の製造方
   法において、上記各マスク毎に寸法、形状の異なる成形
   開口部を複数種類設け、一枚のウェハ上に寸法、形状等
   の特性の異なる複数品種の磁気ヘッド素子を形成したこ
   とを特徴とする磁気ヘッド装置の製造方法。