JPH0219965Y2

JPH0219965Y2 -

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Publication number: JPH0219965Y2
Application number: JP1985018217U
Authority: JP
Priority date: 1985-02-12
Filing date: 1985-02-12
Publication date: 1990-05-31
Also published as: JPS61136538U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案はICチツプ等のワークをワイヤーによ
りボンデイングするワイヤーボンデイング装置に
関し、特にボンデイングにおけるワイヤのループ
高さを一定に保つことが可能な装置を備えたボン
デイング装置に関するものである。

（従来の技術）リードフレームに等間隔で配置された複数のワ
ークとしてのICチツプを自動的に１ピツチづつ
ボンデイングステーシヨン位置へ間欠移送し、
ICチツプと周囲のリードとをワイヤによりボン
デイング接続するワイヤーボンデイング装置は周
知である。

この種の装置は、ボンデイング用のワイヤを挿
通支持しワイヤをボンデイング位置に移動するボ
ンデイングツールを備えており、例えば、第２図
ａに示すようにワイヤ１をボンデイングツール２
によりICチツプ３に超音波振動を与えて加圧す
ることによりワイヤ１およびICチツプ３の接続、
すなわち第１ボンド接続が行われる。次にボンデ
イングツール２を上方へ移動し（同図ｂ）、この
位置からリード４の直上位置へ水平移動し（同図
ｃ）、さらにこの位置からクランプ５を閉じてワ
イヤ１を固定した状態でボンデイングツール２を
降下しワイヤ１をリード４に超音波振動を与えて
加圧することにより、ワイヤ１およびリード４の
ボンデイング接続、すなわち第２ボンド接続が達
成される（同図ｄ）。この結果、ICチツプ３とリ
ード４とのワイヤ接続が完了する。

このICチツプ３とリード４との接続に際して、
第２図ｄの如くワイヤ１にループ６が形成される
が、このループ６の高さ、すなわち、ICチツ３
の表面からループ６の最高点までの高さｈは樹脂
モールド成形時等における短絡および断線防止等
を図る観点から最適な一定の高さに維持する必要
がある。このループ６の高さは主に第１ボンド接
続位置から第２ボンド接続位置へ移動するボンデ
イングツール２の軌跡に依存する。このため、ボ
ンデイングツール２の移動を制御する制御装置に
はループ６の高さの最適設定値が与えられてお
り、この最適設定値を確保するためのボンデイン
グツール２の移動プログラムが前記制御装置にイ
ンプツトされ、この移動プログラムによつてボン
デイングツール２のボンデイング動作が行われて
いる。

（考案が解決しようとする問題点）しかしながら、湿度、温度、塵埃等の環境変化
によるワイヤ１の送り抵抗の変化やその他の何ら
かの原因により、ボンデイングツール２が移動プ
ログラム通りの動作をしたい場合であつてもルー
プ６の高さが変化し、最適設定値からずれてしま
うという問題があり、特に、無人化による自動ボ
ンデイングを行つている場合には、このループ６
の高さの変化に気ずくのが遅れ、大量の製品不良
を産出してしまうという弊害があつた。

本考案は上記従来の問題点をかえりみてなされ
たものであり、たとえ環境変化等に起因してワイ
ヤのループ高さが最適設定値からずれた場合にあ
つても、直ちにこれを検出修正して常時最適設定
値に等しいループ高さを確保することができるワ
イヤーボンデイング装置を提供するものである。

（問題点を解決するための手段）本考案は上記問題点を解決するために次のよう
に構成されている。すなわち、本考案はボンデイ
ングツールの移動を制御する制御装置を備え、１
ピツチづつ間欠移送されるワークを順次ワイヤに
よりボンデイングするワイヤーボンデイング装置
において、ボンデイングされた所望個所のワイヤ
のループ高さを検出するループ検出装置と、ルー
プ検出装置の検出値とループ高さ設定値とを比較
しその差信号を前記制御装置へ供給してワイヤル
ープの高さを調整するための比較回路とを有する
ワイヤーボンデイング装置である。

（作用）上記構成からなる本考案において、ボンデイン
グツールの移動は制御装置によつて制御され、１
ピツチづつ間欠移送されて来るワークのボンデイ
ングが順次行われる。そして、ボンデイング完了
後の所望個所におけるワイヤのループの高さはル
ープ検出装置によつて検出され、その検出値とル
ープ高さ設定値との比較が比較回路によつて行わ
れる。ループの高さが何らかの原因により変化し
た場合には、その比較によつて検出値と設定値間
に差が生じ、この差信号が比較回路から前記制御
装置に出力される。制御装置は差信号に基づいて
ボンデイングツールの動作に修正を与え、ボンデ
イングされたワイヤのループ高さを設定値に一致
させる。本考案はこのように、ワイヤのループの
高さを常時設定値に一致させることができるので
不良製品の発生を確実に防止することが可能とな
るものである。

（実施例）以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。なお、本実施例の説明において前記従来例
において説明した事項と同一部材には同一符号を
付してその説明を省略する。

第１図には本考案の一実施例を示すブロツク図
が示され、ボンデイング装置の本体部にはワーク
搬送装置７が設けられている。このワーク搬送装
置７は複数のワークとしてのICチツプ３が等間
隔で配設されたリードフレーム８を１ピツチ、す
なわちICチツプ３の配設間隔ごとにボンデイン
グステーシヨンへ間欠移送する。ボンデイングス
テーシヨンの対向位置にはボンデイングツール２
が配置されており、このボンデイングツール２は
ボンデイングアーム９を介してボンデイングヘツ
ド１０に連結されている。ボンデイングヘツド１
０は第１のXYテーブル１１に装着されており、
その第１のXYテーブル１１のＸ方向およびＹ方
向の移動と、ボンデイングヘツド１０自体の上下
方向の移動とによつてボンデイングヘツド１０、
すなわちボンデイングツール２は三次元方向の移
動が可能になつている。このボンデイングツール
２の三次元方向の移動制御は制御装置１２によつ
て行われている。すなわち、制御装置１２にはボ
ンデイングされたワイヤ１のループ６の最適高さ
を与える設定値と、前述した第１のボンド接続位
置から第２のボンド接談位置へボンデイングツー
ル２を移動させるプログラムとが記録されてお
り、このプログラムに沿つてボンデイングツール
２を移動させることによりワイヤ１のループ６の
高さが設定値に一致するようにされている。

しかし環境の変化等がある場合には、従来例に
おいて説明したように、ボンデイングツール２を
プログラム通りに動作させてもワイヤ１のループ
６の高さが変動してしまうという問題がある。本
実施例はかかる弊害を解消するためにボンデイン
グが完了したICチツプ３についてのループ高さ
を検出して設定値との差を求め、これによりボン
デイングツール２の動作を修正するようにしてい
る。

すなわち、第１図において、第１のXYテーブ
ル１１の隣り位置には第２のXYテーブル１３が
設けられており、この第２のXYテーブル１３に
は上下動自在にオートフオーカス装置１４が配設
されている。オートフオーカス装置１４ににはフ
レーム１５が固定されており、フレーム１５の先
端部にはループ検出カメラ１６が取り付けられて
いる。このループ検出カメラ１６はボンデイング
が完了したICチツプ３と対向されており、ワイ
ヤ１のループ６を結像する。そして、この結像の
焦点はオートフオーカス装置１４を上下動するこ
とにより求められる。

これら第２のXYテーブル１３、オートフオー
カス装置１４および検出カメラ１６はループ高さ
を検出するループ検出装置１７を構成する。な
お、本実施例では、オートフオーカス装置１４の
上下動位置を検出するセンサ（図示せず）が設け
られ被検出ループ６の結像焦点位置に対応するオ
ートフオーカス装置１４の上下動位置が検出され
る。そしてこのセンサの検出信号は比較回路１８
に供給される。

一方、比較回路１８にはループ６の設定高さに
対応するオートフオーカス装置１４の上下動位置
が設定値として与えられており、したがつて、こ
の設定値と前記検出信号の検出値との比較が比較
回路１８によつて行われ、その差信号が制御装置
１２に出力される。

制御装置１２には演算回路が設けられており、
比較回路１７からの差信号に基づいて所望の演算
処理が行われ、ボンデイングツール２の移動動作
に修正が加えられる。この結果、たとえ環境変化
等によりボンデイングに際してワイヤループの高
さに変化が生じてもその変化は直ちに修正され、
ループ６の高さを常時設定値と等しい一定した値
に維持することが可能となる。

なお、本実施例においては、オートフオーカス
装置１４およびループ検出カメラ１６は第２の
XYテーブル１３に塔載されているので、このオ
ートフオーカス装置１４およびループ検出カメラ
１６をボンデイングが完了した任意のチツプ３の
位置へ移動することが可能であり、検出したいル
ープ６を自由に選択することができる。

また、周知のように、１個のICチツプ３には
多数のワイヤがボンデイング接続されることとな
るが、このループ６の検出はそのICチツプ３に
ボンデイングされている全部のワイヤについて行
つてもよく、場合により全数のワイヤから代表的
なワイヤを選択的にピツクアップして行つてもよ
く、さらにはボンデイングされた複数のICチツ
プ３ごとに適当数のループについて検出を行い、
これらの各検出の平均値を検出値として採用して
もよく、このように、ループ高さの検出について
は種々の態様を選定することができる。

（変形例）上記実施例ではオートフオーカス装置１４およ
びループ検出カメラ１６を第２のXYテーブル１
３に塔載してループ検出カメラ１６等を検出した
いループ６の位置に移動可能に構成したが、この
オートフオーカス装置１４およびループ検出カメ
ラ１６をボンデイング装置の本体等に固定的に設
け、ボンデイングステーシヨン位置から定間隔離
れた位置のICチツプ３についてのループ高さを
検出するようにすることも可能である。

（考案の効果）本考案は上述したように構成されているので、
環境の変化等何らかの原因によりボンデイングさ
れたワイヤのループ高さが設定値から変化したと
しても、その変化が直ちに検出され、かつ自動的
に修復される。この結果、ボンデイングされたワ
イヤのループ高さを設定値に一致させることが可
能となり、製品の大量不良品の発生を防止できる
ばかりでなく、ボンデイング作業の省力化および
安定化を効果的に図れ、信頼性の高いボンデイン
グ無人化操業を行うことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示すブロツク構成
図、第２図ａ〜ｄはワイヤーボンデイングの作用
説明図である。１２……制御装置、１３……第２のXYテーブ
ル、１４……オートフオーカス装置、１６……ル
ープ検出カメラ、１７……ループ検出装置、１８
……比較回路。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】 (1) ボンデイングツールの移動を制御する制御装
置を備え、１ピツチづつ間欠移送されるワーク
を順次ワイヤによりボンデイングするワイヤー
ボンデイング装置において、ボンデイングされ
た所望個所のワイヤのループ高さを検出するル
ープ検出装置と、ループ検出装置の検出値とル
ープ高さ設定値とを比較しその差信号を前記制
御装置へ供給してワイヤループの高さを調整す
るための比較回路とを有することを特徴とする
ワイヤーボンデイング装置。 (2) ループ検出装置は検出するワイヤループを結
像するループ検出カメラと、ループ検出カメラ
の結像をフオーカスするオートフオーカス装置
とからなることを特徴とする実用新案登録請求
の範囲第(1)項記載のワイヤーボンデイング装
置。 (3) ループ検出装置は検出するワイヤループを結
像するループ検出カメラと、ループ検出カメラ
の結像をフオーカスするオートフオーカス装置
と、ループ検出カメラおよびオートフオーカス
装置を被検出ワイヤのループ位置へ移動するテ
ーブルとからなることを特徴とする実用新案登
録請求の範囲第(1)項記載のワイヤーボンデイン
グ装置。