JPH02202375A - 電力用半導体モジュール - Google Patents
電力用半導体モジュールInfo
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- JPH02202375A JPH02202375A JP1021685A JP2168589A JPH02202375A JP H02202375 A JPH02202375 A JP H02202375A JP 1021685 A JP1021685 A JP 1021685A JP 2168589 A JP2168589 A JP 2168589A JP H02202375 A JPH02202375 A JP H02202375A
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- transistor
- current
- transistors
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- diode
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/90—Bond pads, in general
- H10W72/921—Structures or relative sizes of bond pads
- H10W72/926—Multiple bond pads having different sizes
Landscapes
- Bipolar Integrated Circuits (AREA)
- Inverter Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、インバータ回路やチョッパ回路などの電力
変換回路に使用される電力用半導体モジュールに関する
ものである。
変換回路に使用される電力用半導体モジュールに関する
ものである。
近年、電力変換装置に使用される主要素子は、オン機能
しか持たないかってのサイリスタからオン機能およびオ
フ機能の両方を持つGTO,バイポーラ・トランジスタ
、<Gar、 Bt・MOSトランジスタなどの自己消
弧形半導体素子に取って替わられている。この自己消弧
形半導体素子はサイリスタよりも動作速度が速いので、
これを主要素子として使用した電力変換装置の場合、電
力変換効率を上げることができ部品構成も簡単になるば
かりでなく、動作シーケンスも単純化できる。
しか持たないかってのサイリスタからオン機能およびオ
フ機能の両方を持つGTO,バイポーラ・トランジスタ
、<Gar、 Bt・MOSトランジスタなどの自己消
弧形半導体素子に取って替わられている。この自己消弧
形半導体素子はサイリスタよりも動作速度が速いので、
これを主要素子として使用した電力変換装置の場合、電
力変換効率を上げることができ部品構成も簡単になるば
かりでなく、動作シーケンスも単純化できる。
第4図は典型的な電力変換装置の一例である単相ブリッ
ジ電圧型PWMインバータの基本的な動作原理を示す回
路図である。同図において、スイッチA、B、C,Dは
それぞれ上記した自己消弧型半導体素子である例えばバ
イポーラ・トランジスタにフライホイール・ダイオード
を逆並列に接続して構成されており、スイッチA、Bの
直列回路とスイッチC2Dの直列回路を並列に接続し、
その並列回路の両端子間に定電圧電源■を接続するとと
もに、スイッチA、Bの接続点とスイッチC1Dの接続
点との間にインダクタンスLが接続されている。スイッ
チA、DおよびスイッチB。
ジ電圧型PWMインバータの基本的な動作原理を示す回
路図である。同図において、スイッチA、B、C,Dは
それぞれ上記した自己消弧型半導体素子である例えばバ
イポーラ・トランジスタにフライホイール・ダイオード
を逆並列に接続して構成されており、スイッチA、Bの
直列回路とスイッチC2Dの直列回路を並列に接続し、
その並列回路の両端子間に定電圧電源■を接続するとと
もに、スイッチA、Bの接続点とスイッチC1Dの接続
点との間にインダクタンスLが接続されている。スイッ
チA、DおよびスイッチB。
Cはそれぞれ対になってオン・オフ動作する。すなわち
スイッチAのトランジスタがオン・オフするときスイッ
チDのトランジスタもオン・オフとなり、またスイッチ
Bのトランジスタがオン・オフするときスイッチCのト
ランジスタもオン・オフとなるように各トランジスタは
制御される。
スイッチAのトランジスタがオン・オフするときスイッ
チDのトランジスタもオン・オフとなり、またスイッチ
Bのトランジスタがオン・オフするときスイッチCのト
ランジスタもオン・オフとなるように各トランジスタは
制御される。
第5図は上記インバータの動作を示すタイミングチャー
トであり、そのうち第5図(1)は上記各スイッチA−
Dのオン・オフ動作を制御する制御信号の波形(変調波
a、信号波b1.b2)を示し、第5図(2)は信号波
が高電圧時の出力電圧Eoutの波形を示し、第5図(
3)は信号波が低電圧時の出力電圧E。utの波形を示
している。第5図(1)に示す変調波aのレベルが信号
波bl、b2のレベルよりも低い区間(例えば第5図(
2)、 (3)に示すtl、t2の区間)ではスイッチ
A、Dのトランジスタのベースにオン信号が与えられ、
変調波aのレベルが信号波b1.b2のレベルよりも高
い区間(例えば第5図(2) 、 (3)に示すt3゜
t4の区間)ではスイッチB、Cのトランジスタのベー
スにオン信号が与えられている。信号波b1の場合のよ
うにその振幅が大きいときには、第5図(2)の点線に
示すようにインバータの出力電力が大きくなり、信号波
b2の場合のようにその振幅が小さいときには、第5図
(3)の点線に示すようにインバータの出力電力が小さ
くなる。またインバータ出力の周波数は信号波b1.b
2の周波数に対応する。
トであり、そのうち第5図(1)は上記各スイッチA−
Dのオン・オフ動作を制御する制御信号の波形(変調波
a、信号波b1.b2)を示し、第5図(2)は信号波
が高電圧時の出力電圧Eoutの波形を示し、第5図(
3)は信号波が低電圧時の出力電圧E。utの波形を示
している。第5図(1)に示す変調波aのレベルが信号
波bl、b2のレベルよりも低い区間(例えば第5図(
2)、 (3)に示すtl、t2の区間)ではスイッチ
A、Dのトランジスタのベースにオン信号が与えられ、
変調波aのレベルが信号波b1.b2のレベルよりも高
い区間(例えば第5図(2) 、 (3)に示すt3゜
t4の区間)ではスイッチB、Cのトランジスタのベー
スにオン信号が与えられている。信号波b1の場合のよ
うにその振幅が大きいときには、第5図(2)の点線に
示すようにインバータの出力電力が大きくなり、信号波
b2の場合のようにその振幅が小さいときには、第5図
(3)の点線に示すようにインバータの出力電力が小さ
くなる。またインバータ出力の周波数は信号波b1.b
2の周波数に対応する。
ところで、第4図に示すインバータ回路において、例え
ばスイッチA、Dのトランジスタがオンして矢印■で示
す負荷電流が流れている状態から、一定の休止期間を経
てスイッチA、Dのトランジスタがオフに切り替わる一
方、スイッチB、Cのトランジスタにオン信号が与えら
れたとする。このとき、インダクタンスしに流れていた
矢印■方向の電流が減少するので、インダクタンスLに
逆起電力が生じ、矢印■で示すような環流電流が流れる
。この環流電流はスイッチB、Cにおいて、それらのト
ランジスタに逆並列に接続されたフライホイール・ダイ
オードを通じて流れるので、スイッチB、Cのトランジ
スタには通常の動作時と逆方向の電圧が印加される。し
たがって、この期間はスイッチB、Cのトランジスタの
通常のオン動作を期待できないが、それにもかかわらず
これらのトランジスタに対してオン信号が入力される状
態となっている(このような状態を、以下「空打ちモー
ド」と呼ぶ)。スイッチB、Cのトランジスタにオン信
号が与えられる期間が第5図(2)に示す区間t5のよ
うにごく短い場合には、スイッチB、Cのトランジスタ
がオンしても上述した環流電流のため第4図に示す矢印
■の負荷電流は流れず「空打ちモード」のみが生じる。
ばスイッチA、Dのトランジスタがオンして矢印■で示
す負荷電流が流れている状態から、一定の休止期間を経
てスイッチA、Dのトランジスタがオフに切り替わる一
方、スイッチB、Cのトランジスタにオン信号が与えら
れたとする。このとき、インダクタンスしに流れていた
矢印■方向の電流が減少するので、インダクタンスLに
逆起電力が生じ、矢印■で示すような環流電流が流れる
。この環流電流はスイッチB、Cにおいて、それらのト
ランジスタに逆並列に接続されたフライホイール・ダイ
オードを通じて流れるので、スイッチB、Cのトランジ
スタには通常の動作時と逆方向の電圧が印加される。し
たがって、この期間はスイッチB、Cのトランジスタの
通常のオン動作を期待できないが、それにもかかわらず
これらのトランジスタに対してオン信号が入力される状
態となっている(このような状態を、以下「空打ちモー
ド」と呼ぶ)。スイッチB、Cのトランジスタにオン信
号が与えられる期間が第5図(2)に示す区間t5のよ
うにごく短い場合には、スイッチB、Cのトランジスタ
がオンしても上述した環流電流のため第4図に示す矢印
■の負荷電流は流れず「空打ちモード」のみが生じる。
スイッチB、Cのトランジスタにオン信号が与えられる
期間が短くない場合にも、「空打ちモード」を経て、ス
イッチB、Cのトランジスタは定常状態になる。
期間が短くない場合にも、「空打ちモード」を経て、ス
イッチB、Cのトランジスタは定常状態になる。
一方、スイッチA、Dのトランジスタに再びオン信号が
与えられるとき、これらのトランジスタはオフ時に保持
していた電圧(電源電圧)を保持したままオン動作に移
る。このとき、スイッチB。
与えられるとき、これらのトランジスタはオフ時に保持
していた電圧(電源電圧)を保持したままオン動作に移
る。このとき、スイッチB。
Cのトランジスタにオン信号が与えられていた期間がご
く短かった場合には、スイッチAのトランジスタと、ス
イッチ8のトランジスタに逆並列に接続されたフライホ
イール・ダイオードを通じて大電流が流れる。同様に、
スイッチCのトランジスタと、スイッチDのトランジス
タに逆並列に接続されたフライホイール・ダイオードを
通じて大電流が流れる。なぜなら、少なくともこの段階
の直前までスイッチB、Cのフライホイール・ダイオー
ドには還流電流が流れていたため、これらのフライホイ
ール・ダイオードの内部に蓄積された電荷が取り去られ
るまでの間は、フライホイール・ダイオードは短絡状態
にあると見做されるからである。これらフライホイール
・ダイオードが短絡状態となっている期間の最後に、そ
れまでスイッチA、Dのトランジスタが保持していた電
圧は、替ってスイッチB、Cのトランジスタによって保
持されることになり、この電圧の分担の切替わりは一般
的に撞く短時間のうちに起る。
く短かった場合には、スイッチAのトランジスタと、ス
イッチ8のトランジスタに逆並列に接続されたフライホ
イール・ダイオードを通じて大電流が流れる。同様に、
スイッチCのトランジスタと、スイッチDのトランジス
タに逆並列に接続されたフライホイール・ダイオードを
通じて大電流が流れる。なぜなら、少なくともこの段階
の直前までスイッチB、Cのフライホイール・ダイオー
ドには還流電流が流れていたため、これらのフライホイ
ール・ダイオードの内部に蓄積された電荷が取り去られ
るまでの間は、フライホイール・ダイオードは短絡状態
にあると見做されるからである。これらフライホイール
・ダイオードが短絡状態となっている期間の最後に、そ
れまでスイッチA、Dのトランジスタが保持していた電
圧は、替ってスイッチB、Cのトランジスタによって保
持されることになり、この電圧の分担の切替わりは一般
的に撞く短時間のうちに起る。
以上の動作において、スイッチA、Dのトランジスタで
は、l!m電圧を保持したままで大電流が流されること
から、これらのトランジスタにおいて破壊が生じ易いこ
とが予測される。このモードのトランジスタの安全作動
領域は、「短路SO△」という指標で示される。
は、l!m電圧を保持したままで大電流が流されること
から、これらのトランジスタにおいて破壊が生じ易いこ
とが予測される。このモードのトランジスタの安全作動
領域は、「短路SO△」という指標で示される。
ところが実際には、「空打ちモード」の動作が行われる
スイッチB、C側のトランジスタの方の破壊がはるかに
起り易いことが経験的に知られている。また、このとき
スイッチB、C側のトランジスタのベース駆動において
、順方向ベース電流が大きい場合の方がより破壊し易い
ことも経験的に知られている。
スイッチB、C側のトランジスタの方の破壊がはるかに
起り易いことが経験的に知られている。また、このとき
スイッチB、C側のトランジスタのベース駆動において
、順方向ベース電流が大きい場合の方がより破壊し易い
ことも経験的に知られている。
なお、スイッチB、Cのトランジスタがオンし、矢印■
の負荷電流が流れていたとき、スイッチ△。
の負荷電流が流れていたとき、スイッチ△。
Dのトランジスタにオン信号が与えられた場合、「空打
ちモード」はスイッチA、t)のトランジスタに生じ、
大電流は、スイッチB、Cのトランジスタに流れる。
ちモード」はスイッチA、t)のトランジスタに生じ、
大電流は、スイッチB、Cのトランジスタに流れる。
上記した「空打ちモード」に対応するトランジスタの破
壊耐量を改善する対策として、トランジスタのマージン
を大きくしたり、ベース駆動回路に必要以上のベース電
流を流さないようにする回路を付加するなどの経験的対
応が行われていた。
壊耐量を改善する対策として、トランジスタのマージン
を大きくしたり、ベース駆動回路に必要以上のベース電
流を流さないようにする回路を付加するなどの経験的対
応が行われていた。
なお、上記した「空打ちモード]の動作の解析はこれま
で十分なされていないが、以下のようなメカニズムが働
いていると予想されている。
で十分なされていないが、以下のようなメカニズムが働
いていると予想されている。
すなわち、「空打ちモード」の動作では、トランジスタ
にコレクタ電流が流れなくても、与えられる順方向ベー
ス電流によってトランジスタ内部にわずかではあるが電
荷の存在する状態が出現するく少なくとも、トランジス
タが典型的にオンしたと見做せる飽和状態では、与えら
れた順方向ベース電流はベースからコレクタへと流れる
)。このトランジスタに逆並列に接続されているフライ
ホイール・ダイオードが短絡状態を呈する期間の最後に
おいては、上述したように、このような内部状態のトラ
ンジスタに電源電圧に相当する高電圧が極く短時間に印
加されることになる。このように内部に電荷を保有する
トランジスタに、電圧が急峻に印加される状況は一般的
にトランジスタの安定動作にとってはなはだ良くないと
いうことが、参考文献<11.N15hiua+i e
t al、”tligh VoltaaeHiah P
ower Transistor Modules f
or 440V ACLine Vo目age Inv
erter Application” Confer
encerecord of IPECTokyo°8
3〉によっても知られているところである。
にコレクタ電流が流れなくても、与えられる順方向ベー
ス電流によってトランジスタ内部にわずかではあるが電
荷の存在する状態が出現するく少なくとも、トランジス
タが典型的にオンしたと見做せる飽和状態では、与えら
れた順方向ベース電流はベースからコレクタへと流れる
)。このトランジスタに逆並列に接続されているフライ
ホイール・ダイオードが短絡状態を呈する期間の最後に
おいては、上述したように、このような内部状態のトラ
ンジスタに電源電圧に相当する高電圧が極く短時間に印
加されることになる。このように内部に電荷を保有する
トランジスタに、電圧が急峻に印加される状況は一般的
にトランジスタの安定動作にとってはなはだ良くないと
いうことが、参考文献<11.N15hiua+i e
t al、”tligh VoltaaeHiah P
ower Transistor Modules f
or 440V ACLine Vo目age Inv
erter Application” Confer
encerecord of IPECTokyo°8
3〉によっても知られているところである。
このような「空打ちモード]のメカニズムを考慮して、
第6図に示すように「空打ちモード」を起さないベース
駆動回路の構成も、トランジスタ破壊耐量を改善する1
つの対策として提案されている。第6図において、2つ
のNPNトランジスタQ1.Q2はダーリントン接続さ
れており、NPNトランジスタQ1のコレクタ・エミッ
タ間にフライホイール・ダイオードDが逆並列に接続さ
れている。NPNトランジスタQ1.Q2のコレクタ側
の電路には逆方向電流(還流電流)を検出する電流検出
コイル1が挿入され、この電流検出コイル1の検出出力
が逆方向電流を示す間はベース・アンプAMPを非活性
化し、NPNトランジスタQ2に対して順方向ベース電
流を流さない構成とされている。
第6図に示すように「空打ちモード」を起さないベース
駆動回路の構成も、トランジスタ破壊耐量を改善する1
つの対策として提案されている。第6図において、2つ
のNPNトランジスタQ1.Q2はダーリントン接続さ
れており、NPNトランジスタQ1のコレクタ・エミッ
タ間にフライホイール・ダイオードDが逆並列に接続さ
れている。NPNトランジスタQ1.Q2のコレクタ側
の電路には逆方向電流(還流電流)を検出する電流検出
コイル1が挿入され、この電流検出コイル1の検出出力
が逆方向電流を示す間はベース・アンプAMPを非活性
化し、NPNトランジスタQ2に対して順方向ベース電
流を流さない構成とされている。
しかしながら、上述したようにトランジスタのマージン
を大きくしたり、ベース駆動回路に必要以上のベース電
流を流さないようにする回路を付加するなどの対策では
、コストが増大してしまうという問題点があった。
を大きくしたり、ベース駆動回路に必要以上のベース電
流を流さないようにする回路を付加するなどの対策では
、コストが増大してしまうという問題点があった。
また、電流検出コイル1を用いる方法では、電流検出コ
イル1として主電流を流し得る大きざのものが必要とな
り、トランジスタごとにそのような大きなコイルを接続
するのに手間がかかるとともにコストも増大するなどの
問題点を有する。
イル1として主電流を流し得る大きざのものが必要とな
り、トランジスタごとにそのような大きなコイルを接続
するのに手間がかかるとともにコストも増大するなどの
問題点を有する。
この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、構成が簡単で自己消弧形半導体素子の破壊耐
量を改善することのできる電力用半導体モジュールを得
ることを目的とする。
たもので、構成が簡単で自己消弧形半導体素子の破壊耐
量を改善することのできる電力用半導体モジュールを得
ることを目的とする。
この発明に係る電力用半導体モジュールは、自己消弧形
半導体素子と、この自己消弧形半導体素子に逆並列に接
続されて自己消弧形半導体素子の導通方向とは逆方向の
還流電流を流すフライホイール・ダイオードとを含むも
のであって、第2のダイオードとシャント抵抗との直列
回路からなる分路を上記フライホイール・ダイオードに
並列に接続して、シャント抵抗の端子間電圧の極性から
還流電流の有無を検出するようにしたものである。
半導体素子と、この自己消弧形半導体素子に逆並列に接
続されて自己消弧形半導体素子の導通方向とは逆方向の
還流電流を流すフライホイール・ダイオードとを含むも
のであって、第2のダイオードとシャント抵抗との直列
回路からなる分路を上記フライホイール・ダイオードに
並列に接続して、シャント抵抗の端子間電圧の極性から
還流電流の有無を検出するようにしたものである。
この発明においては、還流電流が流れているときシャン
ト抵抗の端子間電圧は逆極性になるので、この極性の間
、自己消弧形半導体素子へオン信号を与えないように制
御することによって、還流電流に起因する自己消弧形半
導体素子の破壊が防止される。
ト抵抗の端子間電圧は逆極性になるので、この極性の間
、自己消弧形半導体素子へオン信号を与えないように制
御することによって、還流電流に起因する自己消弧形半
導体素子の破壊が防止される。
第1図はこの発明による電力用半導体モジュールの一実
施例を示す回路図である。この電力用半導体モジュール
は、例えば上述した第4図に示すインバータ回路のスイ
ッチとして使用される回路であって、自己消弧形半導体
素子であるNPNトランジスタQ3に対して、逆並列に
還流電流を流すためのフライホイール・ダイオードD1
が接続されるとともに、上記フライホイール・ダイオー
ドD1と基本的な電気的特性がほぼ同等で寸法が小さい
第2のダイオードD2とシャント抵抗R8とからなる直
列回路をフライホイール・ダイオードD1に対して並列
に接続し、シャント抵抗R8とダイオードD2の接続点
からシャント抵抗R3の端子間電圧の極性を検出するた
めの検出用端子Tを引き出したものである。
施例を示す回路図である。この電力用半導体モジュール
は、例えば上述した第4図に示すインバータ回路のスイ
ッチとして使用される回路であって、自己消弧形半導体
素子であるNPNトランジスタQ3に対して、逆並列に
還流電流を流すためのフライホイール・ダイオードD1
が接続されるとともに、上記フライホイール・ダイオー
ドD1と基本的な電気的特性がほぼ同等で寸法が小さい
第2のダイオードD2とシャント抵抗R8とからなる直
列回路をフライホイール・ダイオードD1に対して並列
に接続し、シャント抵抗R8とダイオードD2の接続点
からシャント抵抗R3の端子間電圧の極性を検出するた
めの検出用端子Tを引き出したものである。
第2図は上記電力用半導体モジュールのフライホイール
・ダイオードD1と第2のダイオードD2とを1つのチ
ップ上に形成した例を示す断面図である。このように、
同一チップ上に2つのダイオードDI、D2を形成する
ことによって、電気特性が同じで寸法の異なるダイオー
ドD1.D2を容易に得ることができる。第2のダイオ
ードD2に直列に接続されるシャント抵抗R8について
も、ダイオードD1.D2と同じチップ上に従来より周
知の技術によって容易に形成することができる。第2図
において、2はダイオードoi、。
・ダイオードD1と第2のダイオードD2とを1つのチ
ップ上に形成した例を示す断面図である。このように、
同一チップ上に2つのダイオードDI、D2を形成する
ことによって、電気特性が同じで寸法の異なるダイオー
ドD1.D2を容易に得ることができる。第2のダイオ
ードD2に直列に接続されるシャント抵抗R8について
も、ダイオードD1.D2と同じチップ上に従来より周
知の技術によって容易に形成することができる。第2図
において、2はダイオードoi、。
2に共通の裏面電極である。
この電力用半導体モジュールでは、還流電流がフライホ
イール・ダイオードD1を流れるとき、このフライホイ
ール・ダイオードD1と第2のダイオ゛−ドD2の面積
化に相当する電流が還流電流から分岐してダイオードD
2、シャント抵抗R3の直列回路からなる分路に分流さ
れ、シャント抵抗R5の端子間電圧は逆極性となる。し
たがって、検出用端子Tから検出されるこの逆極性の検
出出力に基づき、この間NPNトランジスタQ3のベー
スに順方向ベース電流を与えないように制御することに
よって、「空打ちモード」が生じることを防ぎ、還流電
流に起因するNPNt−ランジスタQ3つまり自己消弧
形半導体素子の破壊が防止されることになる。
イール・ダイオードD1を流れるとき、このフライホイ
ール・ダイオードD1と第2のダイオ゛−ドD2の面積
化に相当する電流が還流電流から分岐してダイオードD
2、シャント抵抗R3の直列回路からなる分路に分流さ
れ、シャント抵抗R5の端子間電圧は逆極性となる。し
たがって、検出用端子Tから検出されるこの逆極性の検
出出力に基づき、この間NPNトランジスタQ3のベー
スに順方向ベース電流を与えないように制御することに
よって、「空打ちモード」が生じることを防ぎ、還流電
流に起因するNPNt−ランジスタQ3つまり自己消弧
形半導体素子の破壊が防止されることになる。
なお、上記した第2のダイオードD2は還流電流を検出
するためのセンサとして働くものであり、その逆回復時
間が短い方が主能動素子であるNPNトランジスタQ3
に与える影響を小さくできるので好ましい。このような
逆回復時間の制御は、ダイオードDI、D2を同じチッ
プ上に形成する場合でも別々のチップに分けて形成する
場合でも、−殻内なライフタイム制御技術を用いること
によって容易に行うことができる。
するためのセンサとして働くものであり、その逆回復時
間が短い方が主能動素子であるNPNトランジスタQ3
に与える影響を小さくできるので好ましい。このような
逆回復時間の制御は、ダイオードDI、D2を同じチッ
プ上に形成する場合でも別々のチップに分けて形成する
場合でも、−殻内なライフタイム制御技術を用いること
によって容易に行うことができる。
また、近年、電力用半導体素子の高機能化に伴って、モ
ジュール内部に駆動回路を取り込む構成のものが試みら
れているが、この実施例の電力用半導体モジュールは上
述したように同一チップ上へのダイオードDi、D2、
シャント抵抗R8の形成が容易なことから、駆動回路も
同じチップ上に形成するといった構成を容易に実現する
ことができる。
ジュール内部に駆動回路を取り込む構成のものが試みら
れているが、この実施例の電力用半導体モジュールは上
述したように同一チップ上へのダイオードDi、D2、
シャント抵抗R8の形成が容易なことから、駆動回路も
同じチップ上に形成するといった構成を容易に実現する
ことができる。
なお、上記実施例では自己消弧形半導体素子として1つ
のNPNt−ランジスタQ3を用いた場合について説明
したが、ダーリントン・トランジスタを用いても同様の
動作を行わせることができる。
のNPNt−ランジスタQ3を用いた場合について説明
したが、ダーリントン・トランジスタを用いても同様の
動作を行わせることができる。
また、カソード・ショートのGTOやコレクタ・ショー
トのIGBTを自己消弧形半導体素子として用いる場合
にも、これらの自己消弧形半導体素子には通常動作と逆
の方向に主電圧が印加されている状態でオン信号が与え
られると、トランジスタの場合と同様に通常時と逆の方
向に主電流を流す機能があるので、これらの自己消弧形
半導体素子に対して本実滴例と同様の構成を適用するこ
とによって、上述した場合と同様の動作を行わせること
ができる。
トのIGBTを自己消弧形半導体素子として用いる場合
にも、これらの自己消弧形半導体素子には通常動作と逆
の方向に主電圧が印加されている状態でオン信号が与え
られると、トランジスタの場合と同様に通常時と逆の方
向に主電流を流す機能があるので、これらの自己消弧形
半導体素子に対して本実滴例と同様の構成を適用するこ
とによって、上述した場合と同様の動作を行わせること
ができる。
さらに、第3図に示すように、バイポーラ・トランジス
タQ4の前段にMOSトランジスタQ5がダーリントン
・トランジスと同様にカスコード接続されたB1・MO
8素子の場合には、前段のMOSトランジスタQ5がそ
の内蔵ダイオードの働きによってゲート信号に関係なく
逆方向に電流を流す機能を持つほか、このMOSトラン
ジスタQ5にはバイポーラ・トランジスタが本質的に寄
生していることが知られている。一方、この81・MO
3素子の後段のバイポーラ・トランジスタQ4のベース
・エミッタ間には抵抗Rが接続されているため、このB
i −MO8素子を電力用半導体モジュールの自己消
弧形半導体素子として用いる場合、「空打ちモード」の
動作時にわずかではあるが、前段のMOSトランジスタ
Q5に通常と逆の方向の電流が流れることになり、Bi
−MO8素子以外の上述した他の素子では「空打ちモー
ド」の動作時にオフ信号を与えると、素子内部への電荷
の流入が抑えられるのと状況が多少異なってくる。すな
わち、Bi−MO8素子では素子内部への電荷の流入を
積極的に抑えることはできない。しかし、このB1・M
O8素子の場合でも、還@電流の検出期間の間に、後段
のバイポーラ・トランジスタ04にオフ信号を送ること
はできるわけで、少なくとも主トランジスタである後段
のバイポーラ・トランジスタQ4の動作を阻止すること
は可能となり、この場合も破壊に結び付くような大電流
動作を抑えることができる。
タQ4の前段にMOSトランジスタQ5がダーリントン
・トランジスと同様にカスコード接続されたB1・MO
8素子の場合には、前段のMOSトランジスタQ5がそ
の内蔵ダイオードの働きによってゲート信号に関係なく
逆方向に電流を流す機能を持つほか、このMOSトラン
ジスタQ5にはバイポーラ・トランジスタが本質的に寄
生していることが知られている。一方、この81・MO
3素子の後段のバイポーラ・トランジスタQ4のベース
・エミッタ間には抵抗Rが接続されているため、このB
i −MO8素子を電力用半導体モジュールの自己消
弧形半導体素子として用いる場合、「空打ちモード」の
動作時にわずかではあるが、前段のMOSトランジスタ
Q5に通常と逆の方向の電流が流れることになり、Bi
−MO8素子以外の上述した他の素子では「空打ちモー
ド」の動作時にオフ信号を与えると、素子内部への電荷
の流入が抑えられるのと状況が多少異なってくる。すな
わち、Bi−MO8素子では素子内部への電荷の流入を
積極的に抑えることはできない。しかし、このB1・M
O8素子の場合でも、還@電流の検出期間の間に、後段
のバイポーラ・トランジスタ04にオフ信号を送ること
はできるわけで、少なくとも主トランジスタである後段
のバイポーラ・トランジスタQ4の動作を阻止すること
は可能となり、この場合も破壊に結び付くような大電流
動作を抑えることができる。
以上のように、この発明によれば、シャント抵抗の端子
間電圧が逆極性となる期間を還流電流が流れている期間
として検出し、この期間の間、自己消弧形半導体素子へ
オン信号を与えないようにυノ御するようにしたので、
簡単な構成によって還流電流に起因する自己消弧形半導
体素子の破壊を防止することができる。
間電圧が逆極性となる期間を還流電流が流れている期間
として検出し、この期間の間、自己消弧形半導体素子へ
オン信号を与えないようにυノ御するようにしたので、
簡単な構成によって還流電流に起因する自己消弧形半導
体素子の破壊を防止することができる。
第1図はこの発明による電力用半導体モジュールの一実
施例を示す回路図、第2図はその電力用半導体モジュー
ルにおけるフライホイール・ダイオードと第2のダイオ
ードとを同一チップ上に形成した構成を示す断面図、第
3図はその電力用半導体モジュールの自己消弧形半導体
素子として適用可能なり1−MO8素子の構成を示す回
路図、第4図は典型的な電力変換装置の一例の動作原理
を示す回路図、第5図はその電力変換装置の動作を示す
タイミングチャート、第6図は電力変換装置における自
己消弧形半導体素子の破壊耐量を改善するための回路構
成の提案例を示す回路図である。 図において、Q3はNPNトランジスタ(自己消弧形半
導体素子)、Dlはフライホイール・ダイオード、D2
は第2のダイオード、R8はシャント抵抗、王は検出用
端子である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
施例を示す回路図、第2図はその電力用半導体モジュー
ルにおけるフライホイール・ダイオードと第2のダイオ
ードとを同一チップ上に形成した構成を示す断面図、第
3図はその電力用半導体モジュールの自己消弧形半導体
素子として適用可能なり1−MO8素子の構成を示す回
路図、第4図は典型的な電力変換装置の一例の動作原理
を示す回路図、第5図はその電力変換装置の動作を示す
タイミングチャート、第6図は電力変換装置における自
己消弧形半導体素子の破壊耐量を改善するための回路構
成の提案例を示す回路図である。 図において、Q3はNPNトランジスタ(自己消弧形半
導体素子)、Dlはフライホイール・ダイオード、D2
は第2のダイオード、R8はシャント抵抗、王は検出用
端子である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- (1)自己消弧形半導体素子と、この自己消弧形半導体
素子に逆並列に接続されて自己消弧形半導体素子の導通
方向とは逆方向の還流電流を流すフライホイール・ダイ
オードとを含む電力用半導体モジュールにおいて、 第2のダイオードとシャント抵抗との直列回路からなる
分路を前記フライホイール・ダイオードに並列に接続し
て、シャント抵抗の端子間電圧の極性から前記還流電流
の有無を検出するようにしたことを特徴とする電力用半
導体モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1021685A JPH07108098B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 電力用半導体モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1021685A JPH07108098B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 電力用半導体モジュール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02202375A true JPH02202375A (ja) | 1990-08-10 |
| JPH07108098B2 JPH07108098B2 (ja) | 1995-11-15 |
Family
ID=12061922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1021685A Expired - Lifetime JPH07108098B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 電力用半導体モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07108098B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006149195A (ja) * | 1995-06-21 | 2006-06-08 | Cree Inc | 変換器回路、少なくとも1つのスイッチング・デバイスを有する回路および回路モジュール |
| JP2008072848A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
| JP2009268336A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-11-12 | Denso Corp | 半導体装置 |
| JP2009268054A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-11-12 | Denso Corp | 半導体装置 |
| JP2010246175A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Denso Corp | 電力変換回路の駆動装置 |
| US8072241B2 (en) | 2007-09-05 | 2011-12-06 | Denso Corporation | Semiconductor device having diode-built-in IGBT and semiconductor device having diode-built-in DMOS |
| JP2014529239A (ja) * | 2011-08-26 | 2014-10-30 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 逆導通モード自己ターンオフゲートドライバ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5206541B2 (ja) * | 2008-04-01 | 2013-06-12 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57129169A (en) * | 1981-02-03 | 1982-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | Arm shortcircuit detector |
| JPS61295876A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-26 | Matsushita Electric Works Ltd | インバ−タ装置 |
-
1989
- 1989-01-31 JP JP1021685A patent/JPH07108098B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57129169A (en) * | 1981-02-03 | 1982-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | Arm shortcircuit detector |
| JPS61295876A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-26 | Matsushita Electric Works Ltd | インバ−タ装置 |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006149195A (ja) * | 1995-06-21 | 2006-06-08 | Cree Inc | 変換器回路、少なくとも1つのスイッチング・デバイスを有する回路および回路モジュール |
| JP2008072848A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
| JP2009268336A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-11-12 | Denso Corp | 半導体装置 |
| JP2009268054A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-11-12 | Denso Corp | 半導体装置 |
| US8072241B2 (en) | 2007-09-05 | 2011-12-06 | Denso Corporation | Semiconductor device having diode-built-in IGBT and semiconductor device having diode-built-in DMOS |
| JP2012019550A (ja) * | 2007-09-05 | 2012-01-26 | Denso Corp | 半導体装置 |
| US8451023B2 (en) | 2007-09-05 | 2013-05-28 | Denso Corporation | Semiconductor device having diode-built-in IGBT and semiconductor device having diode-built-in DMOS |
| US8988105B2 (en) | 2007-09-05 | 2015-03-24 | Denso Corporation | Semiconductor device having diode-built-in IGBT and semiconductor device having diode-built-in DMOS |
| US9184158B2 (en) | 2007-09-05 | 2015-11-10 | Denso Corporation | Semiconductor device having diode-built-in IGBT and semiconductor device having diode-built-in DMOS |
| JP2010246175A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Denso Corp | 電力変換回路の駆動装置 |
| JP2014529239A (ja) * | 2011-08-26 | 2014-10-30 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 逆導通モード自己ターンオフゲートドライバ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07108098B2 (ja) | 1995-11-15 |
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