JPH0395630U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の着脱式の放電電極の底板の
一例を示す斜視図であり、第２図、第３図、第４
図、第５図、第６図、第７図は、本考案で使用す
る型材と底板の一例を示す斜視図である。第８図
は、凹凸形状を構成するための溝１３と底板に型
材を固定するための差し込み突起１４を持つ型材
５の斜視図であり、第９図は型材２を底板上及び
型材５の溝に差し込み固定した一例を示す斜視図
である。第１０図は、底板の溝に型材７を差し込
み底板の平坦性を保つた状態を示す斜視図である
。第１１図は本考案の着脱式の放電電極を従来の
既設の放電電極に取り付けた状態を示す断面図で
あり、第１２図は同じく、その斜視図である。第
１３図及び第１４図は、本考案の着脱式の放電電
極を形成した実施例を示す斜視図である。第１５
図は従来のプラズマＣＶＤ装置を示す模式図であ
り、第１６図は、本考案の着脱式の放電電極を、
従来のプラズマＣＶＤ装置に取り付けた状態を示
す模式図である。 図において、１……底板、２〜７……型材、８
……既設放電電極、９……基板、１０……貫通孔
、１１……溝、１２……原料ガス供給穴を示す、
１３……溝、１４……差し込み突起、１５……皿
ねじ、１６……切り欠き、１７……高周波電源を
示す。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 少なくとも主表面上に複数の型材を装着し
   うる溝が設けられている底板と、該底板に装脱着
   自在に設けられうる複数の型材より構成される着
   脱式プラズマ放電電極。 (2) 装着された複数の型材により底板上に凹凸
   形状が形成される請求項１記載の放電電極。 (3) 既設の放電電極上に底板を介して着脱自在
   にとりつけられる請求項１記載の放電電極。 (4) 底板を既設の放電電極上に堅結するための
   貫通穴が設けられている請求項１記載の放電電極
   。