JPH0220341U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0220341U JPH0220341U JP9815388U JP9815388U JPH0220341U JP H0220341 U JPH0220341 U JP H0220341U JP 9815388 U JP9815388 U JP 9815388U JP 9815388 U JP9815388 U JP 9815388U JP H0220341 U JPH0220341 U JP H0220341U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- back side
- horseshoe
- chucks
- printing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す正面図、第２
図は同平面図である。 １……バキユームチヤンバー、２……中継パイ
プ、３……弁、４……取手、５……つば、６……
チユーブ、７……支持台、８……サフアイアペン
、９……バキユーム穴、１０……半導体ウエーハ
。
図は同平面図である。 １……バキユームチヤンバー、２……中継パイ
プ、３……弁、４……取手、５……つば、６……
チユーブ、７……支持台、８……サフアイアペン
、９……バキユーム穴、１０……半導体ウエーハ
。
Claims (1)
- 半導体ウエーハ裏面の外周縁を真空吸着する馬
蹄形のバキユームチヤンバーを有することを特徴
とする半導体ウエーハ裏面印字用保持器具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9815388U JPH0220341U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9815388U JPH0220341U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0220341U true JPH0220341U (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=31324162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9815388U Pending JPH0220341U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0220341U (ja) |
-
1988
- 1988-07-25 JP JP9815388U patent/JPH0220341U/ja active Pending