JPH02205669A - スパッタ装置 - Google Patents
スパッタ装置Info
- Publication number
- JPH02205669A JPH02205669A JP1024973A JP2497389A JPH02205669A JP H02205669 A JPH02205669 A JP H02205669A JP 1024973 A JP1024973 A JP 1024973A JP 2497389 A JP2497389 A JP 2497389A JP H02205669 A JPH02205669 A JP H02205669A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- partition plate
- target
- backing plate
- cooling water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はスパッタ法によって金属等の薄膜を形成するス
パッタ装置に関し、特にスパッタ装置のカソードの構造
に関するものである。
パッタ装置に関し、特にスパッタ装置のカソードの構造
に関するものである。
従来の技術
従来よりスパッタ法によって金属等の薄膜を形成する方
法が公知である。この従来のカソードの構造を第２図で
説明する。第２図において１はカソード本体、２はマグ
ネットで、バッキングプレート３はＯ−リング４を介し
てカソード本体１に固定され密閉されている。このカソ
ード本体１とバッキングプレート３で構成されている空
間５にはスパッタを行う時に、継手６−ａと継手６−ｂ
より冷却水を循環させバッキングプレート３を介してタ
ーゲット７の冷却を行うものである。このターゲット７
はバッキングプレート３にボンディングされている。ス
パッタ法においてはこのような構造のカソードを用いて
薄膜を形成するのが一般的である。
法が公知である。この従来のカソードの構造を第２図で
説明する。第２図において１はカソード本体、２はマグ
ネットで、バッキングプレート３はＯ−リング４を介し
てカソード本体１に固定され密閉されている。このカソ
ード本体１とバッキングプレート３で構成されている空
間５にはスパッタを行う時に、継手６−ａと継手６−ｂ
より冷却水を循環させバッキングプレート３を介してタ
ーゲット７の冷却を行うものである。このターゲット７
はバッキングプレート３にボンディングされている。ス
パッタ法においてはこのような構造のカソードを用いて
薄膜を形成するのが一般的である。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、第２図の従来例で説明したカソード構造
の場合、ターゲットを交換する時に冷却水の排出及びカ
ソード内部と０−リングの清掃が必要であった。またタ
ーゲット交換の後、再度冷却水を入れた時に空気が混入
する場合があり、空気が混入した状態でスパッタをすれ
ばターゲットの冷却が不充分になって、ターゲットの割
れ等の原因となるためカソード内部の冷却水の牽気抜き
は確実に行う必要がある。またカソードの交換時に冷却
水がこぼれてチャンバを汚染すると言った課題もある。
の場合、ターゲットを交換する時に冷却水の排出及びカ
ソード内部と０−リングの清掃が必要であった。またタ
ーゲット交換の後、再度冷却水を入れた時に空気が混入
する場合があり、空気が混入した状態でスパッタをすれ
ばターゲットの冷却が不充分になって、ターゲットの割
れ等の原因となるためカソード内部の冷却水の牽気抜き
は確実に行う必要がある。またカソードの交換時に冷却
水がこぼれてチャンバを汚染すると言った課題もある。
特にこの水洩れについては第２図のようなターゲット７
が上側にある場合は大きな課題ではないが、例えばター
ゲット７が垂直方向に位置したような場合、バッキング
プレート３及びターゲット７だけの交換は非常に困難で
あり多くの場合はカソード本体を含めた交換が必要とな
り、その作業性は非常に悪いものであった。
が上側にある場合は大きな課題ではないが、例えばター
ゲット７が垂直方向に位置したような場合、バッキング
プレート３及びターゲット７だけの交換は非常に困難で
あり多くの場合はカソード本体を含めた交換が必要とな
り、その作業性は非常に悪いものであった。
このようにターゲットの交換は手間がかかり作業効率が
悪いといった課題があった。
悪いといった課題があった。
課題を解決するための手段
この課題を解決するために、本発明はバッキングプレー
トとカソードの空間との間に弾力性のある仕切り板を設
けるものである。
トとカソードの空間との間に弾力性のある仕切り板を設
けるものである。
作用
すなわちバッキングプレートとカソードの空間との間に
、冷却水を密閉するための弾力性のある仕切り板を設け
ることにより、ターゲット交換時における冷却水の排出
及びカソード内部、０−リングの清掃、またターゲット
交換後の空気抜きの作業を必要としない為、ターゲット
交換が容易にできるものである。
、冷却水を密閉するための弾力性のある仕切り板を設け
ることにより、ターゲット交換時における冷却水の排出
及びカソード内部、０−リングの清掃、またターゲット
交換後の空気抜きの作業を必要としない為、ターゲット
交換が容易にできるものである。
実施例
以下、本発明の一実施例を図面にもとづいて説明する。
第１図においてカソード本体の構造は、第２図の従来例
で説明したものと同一であり、同一番号で示す、第１図
において１２は本発明の仕切り板であり、仕切り板の厚
みはできるかぎり薄いほうが弾力性があり、バッキング
プレート３の底面への密着性がよく冷却効率がよい、但
し、ターゲット交換時にバッキングプレート３を取り外
す時に仕切り板１２に加わる水圧を考慮し、水圧をかけ
ない状態にするか、もしくは水圧に耐えれる厚みにして
構成すればよいものである０本実施例では、仕切り板１
２の厚みを０．２閣とし水圧１〜２ｋｇに耐えれる構成
で実施している。仕切り板１２は剛性のある枠１３に溶
接等の方法で密閉された一体的な構造になっているこの
仕切り板１２及び剛性のある枠１３を０−リング４を介
してカソード本体ｌにネジ締めして固定されている。そ
の上からターゲット材料１１をボンディングしたバッキ
ングプレート３をカソード本体ｌにネジで固定している
。また、仕切り板１２をカソード本体１に直接溶接した
構造にしてもよい、このような構成にすることによりタ
ーゲット交換時に冷却水の排出、０−リング等の清掃、
冷却水の空気抜きを必要とせず容易にターゲットの交換
ができるものである。また弾力性があり薄い仕切り板１
２あるいは、薄い金属板などを使用しているためにバッ
キングプレート３を固定して冷却水を流した時に、冷却
水の水圧によって仕切り板１２がバッキングプレート３
に押し付けられて、仕切り板１２とバッキングプレート
３が密着するものであるから冷却効率は第２図の従来例
で示した構造とほとんど差がないものであった。またカ
ソード本体１から仕切り板１２が取り外せるためマグネ
ット２についた錆や水垢などの汚れを定期的にクニ一二
ソグすることも容易である。
で説明したものと同一であり、同一番号で示す、第１図
において１２は本発明の仕切り板であり、仕切り板の厚
みはできるかぎり薄いほうが弾力性があり、バッキング
プレート３の底面への密着性がよく冷却効率がよい、但
し、ターゲット交換時にバッキングプレート３を取り外
す時に仕切り板１２に加わる水圧を考慮し、水圧をかけ
ない状態にするか、もしくは水圧に耐えれる厚みにして
構成すればよいものである０本実施例では、仕切り板１
２の厚みを０．２閣とし水圧１〜２ｋｇに耐えれる構成
で実施している。仕切り板１２は剛性のある枠１３に溶
接等の方法で密閉された一体的な構造になっているこの
仕切り板１２及び剛性のある枠１３を０−リング４を介
してカソード本体ｌにネジ締めして固定されている。そ
の上からターゲット材料１１をボンディングしたバッキ
ングプレート３をカソード本体ｌにネジで固定している
。また、仕切り板１２をカソード本体１に直接溶接した
構造にしてもよい、このような構成にすることによりタ
ーゲット交換時に冷却水の排出、０−リング等の清掃、
冷却水の空気抜きを必要とせず容易にターゲットの交換
ができるものである。また弾力性があり薄い仕切り板１
２あるいは、薄い金属板などを使用しているためにバッ
キングプレート３を固定して冷却水を流した時に、冷却
水の水圧によって仕切り板１２がバッキングプレート３
に押し付けられて、仕切り板１２とバッキングプレート
３が密着するものであるから冷却効率は第２図の従来例
で示した構造とほとんど差がないものであった。またカ
ソード本体１から仕切り板１２が取り外せるためマグネ
ット２についた錆や水垢などの汚れを定期的にクニ一二
ソグすることも容易である。
さらにターゲット７がチャンバに対して垂直あるいは上
部に取り付いている場合でも、取り付は方向に関係なく
ターゲット及びバッキングプレートだけの交換が可能と
なるものである。
部に取り付いている場合でも、取り付は方向に関係なく
ターゲット及びバッキングプレートだけの交換が可能と
なるものである。
発明の効果
本発明はターゲット交換時においてカソード本体とバッ
キングプレートとの間に弾力性のある仕切り板を設ける
ことによって、冷却水の排水及びターゲット交換後の空
気抜きの必要がない等ターゲットの交換が容易にできる
ものである。またカソード本体の取り付は方向に左右さ
れる事なくターゲット及びバッキングプレートだけを交
換する事が可能になるものである。
キングプレートとの間に弾力性のある仕切り板を設ける
ことによって、冷却水の排水及びターゲット交換後の空
気抜きの必要がない等ターゲットの交換が容易にできる
ものである。またカソード本体の取り付は方向に左右さ
れる事なくターゲット及びバッキングプレートだけを交
換する事が可能になるものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例におけるターゲット及びカソ
ード本体の断面図、第２図は従来のターゲットおよびカ
ソード本体の構造を示す断面図である。 ■・・・・・・カソード本体、２・・・・・・マグネッ
ト、３・・・・・・バッキングプレート、７・・・・・
・ターゲット、１２・・・・・・仕切り板、１３・・・
・・・剛性のある枠。
ード本体の断面図、第２図は従来のターゲットおよびカ
ソード本体の構造を示す断面図である。 ■・・・・・・カソード本体、２・・・・・・マグネッ
ト、３・・・・・・バッキングプレート、７・・・・・
・ターゲット、１２・・・・・・仕切り板、１３・・・
・・・剛性のある枠。
Claims (2)
- （１）スパッタ用カソードにおいて、円盤型あるいは角
型のカソード本体とバッキングプレートとの間に、弾力
性のある仕切り板を設けたことを特徴とするスパッタ装
置。 - （２）仕切り板の外周部に剛性のある枠を設け、前記枠
がカソード本体に着脱可能に密閉固定されてなる請求項
（１）記載のスパッタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1024973A JPH02205669A (ja) | 1989-02-03 | 1989-02-03 | スパッタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1024973A JPH02205669A (ja) | 1989-02-03 | 1989-02-03 | スパッタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02205669A true JPH02205669A (ja) | 1990-08-15 |
Family
ID=12152915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1024973A Pending JPH02205669A (ja) | 1989-02-03 | 1989-02-03 | スパッタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02205669A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2330591A (en) * | 1997-10-24 | 1999-04-28 | Leybold Ag | Sputtering cathode containing an elastomeric foil |
| EP1752557A1 (de) * | 2005-08-10 | 2007-02-14 | Applied Materials GmbH & Co. KG | Vakuumbeschichtungsanlage mit motorisch angetriebener Drehkathode |
| US7632383B2 (en) * | 2002-07-10 | 2009-12-15 | Tecmachine | Vacuum sputtering cathode |
-
1989
- 1989-02-03 JP JP1024973A patent/JPH02205669A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2330591A (en) * | 1997-10-24 | 1999-04-28 | Leybold Ag | Sputtering cathode containing an elastomeric foil |
| US7632383B2 (en) * | 2002-07-10 | 2009-12-15 | Tecmachine | Vacuum sputtering cathode |
| EP1752557A1 (de) * | 2005-08-10 | 2007-02-14 | Applied Materials GmbH & Co. KG | Vakuumbeschichtungsanlage mit motorisch angetriebener Drehkathode |
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