JPH02209316A

JPH02209316A - クリーンルーム間の搬送装置

Info

Publication number: JPH02209316A
Application number: JP3082089A
Authority: JP
Inventors: Takehide Hayashi; 武秀林
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 1989-02-09
Filing date: 1989-02-09
Publication date: 1990-08-20
Anticipated expiration: 2012-02-26
Also published as: JP2585091B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、例えば半導体のような塵埃を極端にきらう荷
（物品）をクリーンルーム間で搬送する搬送装置に関す
る。

従来の技術横方向に並設形成されたクリーンルーム間での荷の搬送
は搬送用自走台車などを利用して行なえる。しかし、ク
リーンルームが上下方向において複数階に亘って形成さ
れ、そしてこれらクリーンルーム間で荷の搬送や作業者
の移動を行なうときにはエレベータ形式の搬送装置が使
用される。

このような搬送装置は、たとえば第３図〜第４図に示す
ように、フィルター１を通してクリーンエヤ２を吹込ま
れるクリーンルーム３が複数階（図面では２１１１ｔ）
にわたってそれぞれ形成され、これら上下のクリーンル
ーム３間には適所に壁体４により区画されて密閉された
昇降路５がクリーンルーム３間に亘って形成される。こ
の昇降路５の上部には内部にクリーンエヤ６を吹込むク
リーンユニット７が配設されるとともに、昇降路５内に
立設された昇降用ボスト８に沿って昇降体９が昇降自在
に案内される。この昇降体９は、壁体４に形成された搬
入出口１０を介してクリーンルーム３側に出退自在で、
たとえばウェハーなどの搬送ボックス１１が積載可能な
プライマリフォーク１２が設けられる。前記昇降用ボス
ト８には昇降体９の昇降駆動装ｙ！１３が配設されてい
る。この昇降駆動装置１３は、昇降用ボスト８の上下端
部のスプロケット１４に巻張されて昇降体９に連結され
たチェノ１５と、このチェノ１５を駆動する昇降用モー
タ１６とを備えている。そして、これら昇降用ボスト８
および昇降駆動装ｙ１１３は、カバーフレーム１７に支
持された昇降部カバー１８に覆われており、この昇降部
カバー１８内は所定位置で複数の排気ダクト１９を介し
て昇降Ｂ５内に配設された排気通路２０に連通されて吸
引されている。前記昇降体９は、昇降部カバー１８内で
昇降用ボスト８に案内される昇降部２１と、昇降部カバ
ー１８に形成された上下方向のスリット１８ａを移動自
在な連結部材２２により昇降部２１に連結連動されるフ
ォーク駆動部２３とを備え、フォーク駆動部２３上部に
プライマリフォーク１２が配設されている。３３は搬入
出口１０に配設された自動式の開閉ドアで、搬入出口１
０に対応するクリーンルーム３には搬送ボックス１１の
受台３４が配設される。

前記フォーク駆動部２３は、第５図に示すように、駆動
モータ２４の出力軸に取付けられた駆動ギヤ２５が回転
されると、中間ギヤ２６を介してピニオン２７が回転さ
れてこのビニオン２７が噛合うラック２８を介してセカ
ンダリフォーク２９がスライドされる。

すると、セカンダリフォーク２９に配設された２個のス
プロケット３０と、フォーク駆動部２３のフレーム２３
ａおよびプライマリフォーク１２との間に連結されて中
間部にスプロケット３０が巻回される２本のチェノ３１
からなる倍速機構により、プライマリフォーク１２をセ
カンダリフォーク１９に対して２倍のストロークで出退
するように構成されている。

発明が解決しようとする課題しかし、上記従来構成によれば、前記フォーク駆動部２
３は周囲および底部を駆動部カバー３５によって覆われ
ているが、各フォーク　１２．２９と駆動部カバーとの
隙間Ａもあり、また各フォーク　１２．２９の突出状態
ではフォーク駆動部２３の上面が開放状態となり、内部
のギアなどの駆動部分から発生する塵埃が昇降路５やク
リーンルーム３に放出されることがあった。

本発明は昇降体に配設したフォーク駆動部からの塵埃の
放出を効果的に防止し得るクリーンルーム間の搬送装置
を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段上記問題点を解決するために本発明は、複数階のクリー
ンルーム間に亘って密閉された昇降路を形成するととも
に、この昇降路にクリーンユニットを設け、前記昇降路
内に昇降駆動装置により駆動される昇降体を設け、この
昇降体に前記クリーンルーム側に出退自在に配設されて
荷を積載可能なフォークを設け、このフォークの両側面
に出退方向に沿う凹部を全長にわたって形成し、前記フ
ォークの下部に配設されたフォーク駆動部の両側面に、
先端部が前記凹部内に挿入されたカバーを取付けるとと
もに、このカバー内に吸引装置を設けたものである。

作用上記構成により、カバー内と昇降路空間とは、フォーク
の後退位置においてフォークの凹部とカバーにより形成
される迂回された隙間を介して連通され、またフォーク
突出位置においてカバーの先端部間の空間を介して連通
され、しかもカバー内の吸引装置により昇降路内のエヤ
が前記間隙あるいは空間を介してカバー内に吸引される
ので、フォーク駆動部において発生する塵埃がカバー外
部に放出されるのを効果的に防止することができる。

実施例以下本発明の一実施例を第１図、第２図に基づいて説明
する。従来例と同一部材には同−将号を付し、説明は省
略する。

第１図に示すように、プライマリフォーク４１の上部は
、中央部でスライド方向に沿う幅の狭い支持部材４２を
介して一定間隔をあけて配置された上部グレート４３Ａ
および下部プレート４３Ｂとで断面工の字状に形成され
、両側部に全長に亘る凹部４４が形成される。前記下部
プレート４３Ｂにはラブク３２が固定されるとともにフ
ォーク駆動部２３を全幅にわたって覆う幅に設定され、
上部プレート４３Ａは下部プレート４３Ｂと重り合う同
一形状に設定される。フォーク駆動部２３の両側部には
、アングル状に折り曲げられて水平部４５ａがプライマ
リフォーク４１の凹部４４内にそれぞれ一定隙間をあけ
て挿入され先端が支持部材４２の近傍に達する左右一対
のフォーク部カバー４５がフォーク駆動部２３の全長に
亘って取付けられる。

フォーク駆動部２３を覆う駆動部カバー３５内には、駆
動部カバー３５内のエヤを吸引する吸引ファン４６が配
設され、この吸引ファン４６の吐出管４７は駆動部カバ
ー３５を貫通し昇降部カバー１８のスリット１８ａを通
って昇降部カバー１８内に開口される。

上記構成において、吸引ファン４６が作動されることに
より、プライマリフォーク４１の後退位置では、昇降路
５内のクリーンエヤ４８が、プライマリフォーク４１の
凹部４４とフォーク部カバー４５水平部４５ａとの隙間
を迂回して吸引されるとともに、フォーク駆動部２３の
前後端部において、プライマリフォーク４１およびセカ
ンダリフォーク２９ならびにフォーク部カバー４５のそ
れぞれの隙間から駆動部カバー３５内に吸引されて昇降
部カバー１８内へ排出される。また、第２図（ａ）（ｂ
）に示すプライマリフォーク４１の突出位置では、昇降
路５内のクリーンエヤ４８が、フォーク駆動部２３上面
における支持部材４２移動後のフォーク部カバー４５の
先端部間から吸引されるとともに、フォーク駆動部２３
の前後端部におけるセカンダリフォーク２９およびフォ
ーク部カバー３５ならびに駆動部カバー３５の隙間から
吸引されて昇降部カバー１８内に排出される。したがっ
て、フォーク駆動部２３の駆動部分から発生した塵埃は
、駆動部カバー３５内から昇降部カバー１８内へ排出さ
れ、昇降部カバー１８内から排気ダクト１９を介して排
気通路２０に排出される。このようにプライマリフォー
ク４１の後退位置では、プライマリフォーク４１の凹部
４４とフォーク部カバー４５の隙間を迂回させて形成し
たので、塵埃が吸引流に逆って昇降路５やクリーンルー
ムに放出されることはほとんどなく、またプライマリフ
ォーク４１の突出時でもフォーク駆動部２３の上面では
支持部材４４が移動したフォーク部カバー４５先端部間
の間隙だけが開放されしかも吸引ファン４６に吸引され
ているので、塵埃の放出をきわめて少くでき、クリーン
ルーム等の汚染を効果的に防止できる。

なお、上記実施例では駆動部カバー３５とフォーク部カ
バー４５とを別体としたが、一体構造であってもよい。

発明の効果以上に述べたごとく本発明によれば、フォーク後退位置
においてフォークの凹部内にはカバー先端部が挿入され
るので、カバー内と昇降路との間を連通する連通部をき
わめて小さくかつ長く迂回した間隙とし、しかも吸引装
置により昇降路のエヤを前記間隙を介してカバー内に吸
引するので、フォーク駆動部で発生する塵埃が外部に放
出されるのを効果的に防止できる。またフォークの突出
位置において、フォーク駆動部の上面はカバーに覆われ
てカバー間の空間のみがカバー内と昇降路との連通部と
なり、さらに吸引装置により吸引するので、従来の開放
構造に比べて放散する塵埃を大幅に低減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の一実施例を示し、第１図
はフォーク駆動部の横断面図、第２図（ａ）（ｂ）は突
出状態のフォークを示す平面図および正面図、第３図〜
第５図は従来例を示し、第３図および第４図は搬送装置
の正面断面図および側面断面図、第５図はフォーク駆動
部の横゛断面図である。３・・・クリーンルーム、５・・・昇降路、７・・・ク
リーンユニット、９・・・昇降体、１３・・・昇降駆動
装置、４１・・・プライマリフォーク、４４・・・凹部
、４５・・・フォーク部カバー、４６・・・吸引ファン
。代理人　　　森　　本　　義　　弘

Claims

【特許請求の範囲】

１、複数階のクリーンルーム間に亘つて密閉された昇降
路を形成するとともに、この昇降路にクリーンユニット
を設け、前記昇降路内に昇降駆動装置により駆動される
昇降体を設け、この昇降体に前記クリーンルーム側に出
退自在に配設されて荷を積載可能なフォークを設け、こ
のフォークの両側面に出退方向に沿う凹部を全長にわた
つて形成し、前記フォークの下部に配設されたフォーク
駆動部の両側面に、先端部が前記凹部内に挿入されたカ
バーを取付けるとともに、このカバー内に吸引装置を設
けたことを特徴とするクリーンルーム間の搬送装置。