JPS63185704A - 搬送用ハンドリング装置 - Google Patents
搬送用ハンドリング装置Info
- Publication number
- JPS63185704A JPS63185704A JP1222487A JP1222487A JPS63185704A JP S63185704 A JPS63185704 A JP S63185704A JP 1222487 A JP1222487 A JP 1222487A JP 1222487 A JP1222487 A JP 1222487A JP S63185704 A JPS63185704 A JP S63185704A
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- Japan
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- arm member
- handling device
- handling
- constitution
- laminar flow
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、複数枚の半導体ウェハを格納したキャリア或
はその他の被搬送物を搬送する際に用いる搬送用ハンド
リング装置に関するものである。
はその他の被搬送物を搬送する際に用いる搬送用ハンド
リング装置に関するものである。
（従来技術とその問題点）
一般に、複数枚の半導体ウェハを格納したキャリアをス
トッカに収納したり、また、ストッカから取り出す場合
、ハンドリング装置を用いている。
トッカに収納したり、また、ストッカから取り出す場合
、ハンドリング装置を用いている。
この種のハンドリング装置は、ストッカとの投入払出用
のハンド機構と上下動機構及び水平移送機構より構成さ
れている。
のハンド機構と上下動機構及び水平移送機構より構成さ
れている。
然し乍ら、従来の上記ハンドリング装置は、軸数が多く
なるため°、構造が複雑となるばかりでなく、コスト高
となり、また、キャリアの上方にハンド機構が位置する
ため、クリーンエアの層流を乱してしまい、クリーン度
の低下を来す等の問題点が存在している。
なるため°、構造が複雑となるばかりでなく、コスト高
となり、また、キャリアの上方にハンド機構が位置する
ため、クリーンエアの層流を乱してしまい、クリーン度
の低下を来す等の問題点が存在している。
本発明は、上記の従来の問題点を解決するために開発し
たもので、その目的とするところは、ハンドリング装置
の軸数を極力少なくして構造を簡素化し、かつ、アーム
部材をキャリア等の被搬送物の下方に位置させるように
すると共に、アーム部材の形状を層流を乱さないような
形状に構成し、もって、クリーン度を著しく向上させる
ようにすることにある。
たもので、その目的とするところは、ハンドリング装置
の軸数を極力少なくして構造を簡素化し、かつ、アーム
部材をキャリア等の被搬送物の下方に位置させるように
すると共に、アーム部材の形状を層流を乱さないような
形状に構成し、もって、クリーン度を著しく向上させる
ようにすることにある。
（問題点を解決するための手段）
上記の目的を達成するため、本発明は、垂直軸を有する
ハンドリング機構を水平ガイド機構に沿って水平方向に
移動可能に設け、該垂直軸に沿って昇降する昇降機構に
、回転軸を介してアーム部材を設け、該アーム部材は、
上記水平方向の移動方向と直交する面内に回転するよう
に構成し、該アーム部材の先端にキャリア等の被搬送物
保持用の保持部を設け、また、同保持部に、他の機器と
の接触防止用のセンサを設け、更には、ハンドリング機
構の外形を流線形に形成し、かつ、アーム部材の外形を
滑らかな翼状に形成して層流を乱しにくい形状にする構
成を採用した。
ハンドリング機構を水平ガイド機構に沿って水平方向に
移動可能に設け、該垂直軸に沿って昇降する昇降機構に
、回転軸を介してアーム部材を設け、該アーム部材は、
上記水平方向の移動方向と直交する面内に回転するよう
に構成し、該アーム部材の先端にキャリア等の被搬送物
保持用の保持部を設け、また、同保持部に、他の機器と
の接触防止用のセンサを設け、更には、ハンドリング機
構の外形を流線形に形成し、かつ、アーム部材の外形を
滑らかな翼状に形成して層流を乱しにくい形状にする構
成を採用した。
（作用）
依って、本発明によると、ストッカ等に収納されている
キャリア等の被搬送物を取り出す場合、・ハンドリング
機構を、水平ガイド機構に沿って水平方向目標位置に向
かって移動させると共に、昇降機構を垂直軸に沿って垂
直方向の目標位置下方手前に向かって昇降させ、次いで
、昇降機構を上昇させながら回転軸を中心にアーム部材
を回転させて保持部を所定の軌跡を描きながら移動させ
、キャリア等の被搬送物の下面に位置させたところで垂
直軸を用いて被搬送物を微小に持ち上げ、続いてアーム
部材を反対方向に回転させながら、下降させることによ
り所定の軌跡を描きながら被搬送物を取り出す。この後
、被搬送物を所定の払出し場所に移動させる。この場合
、ハンドリング機構の外形を流線形に形成し、かつ、ア
ーム部材の外形を滑らかな翼状に形成したので、層流を
乱すおそれがなくクリーンな層流を保持させることがで
きる。
キャリア等の被搬送物を取り出す場合、・ハンドリング
機構を、水平ガイド機構に沿って水平方向目標位置に向
かって移動させると共に、昇降機構を垂直軸に沿って垂
直方向の目標位置下方手前に向かって昇降させ、次いで
、昇降機構を上昇させながら回転軸を中心にアーム部材
を回転させて保持部を所定の軌跡を描きながら移動させ
、キャリア等の被搬送物の下面に位置させたところで垂
直軸を用いて被搬送物を微小に持ち上げ、続いてアーム
部材を反対方向に回転させながら、下降させることによ
り所定の軌跡を描きながら被搬送物を取り出す。この後
、被搬送物を所定の払出し場所に移動させる。この場合
、ハンドリング機構の外形を流線形に形成し、かつ、ア
ーム部材の外形を滑らかな翼状に形成したので、層流を
乱すおそれがなくクリーンな層流を保持させることがで
きる。
（実施例）
本発明における搬送用ハンドリング装置を半導体ウェハ
を格納したキャリアを搬送する場合に適用した実施の一
例を図面に従って説明する。
を格納したキャリアを搬送する場合に適用した実施の一
例を図面に従って説明する。
ハンドリング機構１を水平ガイド機構２に沿って水平方
向に移動自在に設け、かつ、ハンドリン機構１に沿って
昇降する昇降機構３に、回転軸４を介して設けたアーム
部材５を上記水平方向の移動方向と直交する面内に回転
するように構成したことを特徴とするものであるが、具
体的には、次の通りである。
向に移動自在に設け、かつ、ハンドリン機構１に沿って
昇降する昇降機構３に、回転軸４を介して設けたアーム
部材５を上記水平方向の移動方向と直交する面内に回転
するように構成したことを特徴とするものであるが、具
体的には、次の通りである。
第１１において、ハンドリング機構１は、垂直方向に設
けたボールスクリュー軸６（垂直軸）の下部にベルト車
６ａを設け、このベルト車６ａとモータ７を減速用ベル
ト６ｂを介して連結し、ボールスクリュー軸６の回動に
より途中に螺合したスクリューナツト８を昇降可能に設
け、このスクリューナツト８に固着した昇降機構３でア
ーム部材５をハンドリング機構１に沿って昇降させる。
けたボールスクリュー軸６（垂直軸）の下部にベルト車
６ａを設け、このベルト車６ａとモータ７を減速用ベル
ト６ｂを介して連結し、ボールスクリュー軸６の回動に
より途中に螺合したスクリューナツト８を昇降可能に設
け、このスクリューナツト８に固着した昇降機構３でア
ーム部材５をハンドリング機構１に沿って昇降させる。
更に、この昇降機構３にベアリングを介して設けたリニ
アガイド３ａを、ハンドリング機構１に設けたリニアガ
イドレール３ｂに沿って昇降機構３をガイドするように
設ける。また、上記したハンドリング機構１のカバー１
ａの外形を流線形に形成して層流を乱しにくい形状にし
ている。
アガイド３ａを、ハンドリング機構１に設けたリニアガ
イドレール３ｂに沿って昇降機構３をガイドするように
設ける。また、上記したハンドリング機構１のカバー１
ａの外形を流線形に形成して層流を乱しにくい形状にし
ている。
更に、アーム部材５は、昇降機構３に設けた回転軸４に
より回転可能に設け、この回転軸４は、モータ９に設け
た減速用ベルト１０ｂを介して、ベルト車１０ａにより
回転駆動する。また、アーム部材５の外形を滑らかな翼
状に形成して層流を乱しにくい形状にすると共に、アー
ム部材５の上部に形成したキャリア等の被搬送物１１を
移載するためキャリア保持部１２を形成し、このキャリ
ア保持部１２には、他の機器との接触防止用のセンサ１
３を設ける。このセンサ１３は、光センサ等のセンサを
用いて、キャリア保持部１２が他の機器と接触しないよ
うにしている。
より回転可能に設け、この回転軸４は、モータ９に設け
た減速用ベルト１０ｂを介して、ベルト車１０ａにより
回転駆動する。また、アーム部材５の外形を滑らかな翼
状に形成して層流を乱しにくい形状にすると共に、アー
ム部材５の上部に形成したキャリア等の被搬送物１１を
移載するためキャリア保持部１２を形成し、このキャリ
ア保持部１２には、他の機器との接触防止用のセンサ１
３を設ける。このセンサ１３は、光センサ等のセンサを
用いて、キャリア保持部１２が他の機器と接触しないよ
うにしている。
水平移動機構２は、ストッカ１４の一側又は双方或は適
宜の面に設置するものとし、第１図において、ストッカ
１４の側部の上下部に設けている。
宜の面に設置するものとし、第１図において、ストッカ
１４の側部の上下部に設けている。
また、ハンドリング機構１の上部と下部に設けたフレー
ム１５ａ、１５ｂに、上下端にドライブギヤ１６ａ、１
６ｂを設けたドライブシャフト１７を取付け、このドラ
イブシャフト１７の途中に設けた減速ギヤ１８とモータ
１９に設けた減速ギヤ２０と噛み合わせ、上記ドライブ
ギヤ１６ａを上部ラック２１ａに噛み合わせると共に、
ドライブギヤ１６ｂを下部ラック２１ｂに噛み合わせて
ハンドリング機構１を水平方向に移動可能に設ける。
ム１５ａ、１５ｂに、上下端にドライブギヤ１６ａ、１
６ｂを設けたドライブシャフト１７を取付け、このドラ
イブシャフト１７の途中に設けた減速ギヤ１８とモータ
１９に設けた減速ギヤ２０と噛み合わせ、上記ドライブ
ギヤ１６ａを上部ラック２１ａに噛み合わせると共に、
ドライブギヤ１６ｂを下部ラック２１ｂに噛み合わせて
ハンドリング機構１を水平方向に移動可能に設ける。
この水平移動機構２には、リニアガイドレール２２ａ・
、２２ｂとリニアガイド２３ａ、２３ｂを設けている。
、２２ｂとリニアガイド２３ａ、２３ｂを設けている。
第２図及び第３図は、本発明における搬送用ハンドリン
グ装置を、複数枚の半導体ウェハｌｌａを格納したキャ
リア１１を収納したストッカ１４に適用した例であり、
このストッカ１４は、多段に設けた収納棚２４の中央部
に開口部２５を形成し、この開口部２５に下方よりファ
ン２６から空気を送り、高性能エアフィルタを通し、清
浄にした空気をそれぞれの収納棚２４より放射状にを送
給すると共に、収納Ｗ２４を回動可能に設け、この収納
棚２４に四角形状の枠部２７を設け、この四角形状の枠
部２７の適宜の側面に搬送用ハンドリング装置を設けた
ものである。
グ装置を、複数枚の半導体ウェハｌｌａを格納したキャ
リア１１を収納したストッカ１４に適用した例であり、
このストッカ１４は、多段に設けた収納棚２４の中央部
に開口部２５を形成し、この開口部２５に下方よりファ
ン２６から空気を送り、高性能エアフィルタを通し、清
浄にした空気をそれぞれの収納棚２４より放射状にを送
給すると共に、収納Ｗ２４を回動可能に設け、この収納
棚２４に四角形状の枠部２７を設け、この四角形状の枠
部２７の適宜の側面に搬送用ハンドリング装置を設けた
ものである。
第６図は、上記した円筒型ストッカ１４から出入ポート
Ｐに出し入れする場合に応用した例を説明する説明図で
あり、第７図は、ブックシェルフ型ストッカ１４ａに応
用した例を説明する説明図で、双方の例とも第８図に示
すように、キャリア１１と層流との関係が、ウェハ出入
口１１ｂ側からウェハｌｌａに平行に入っており、その
ため、渦の発生が少なく、常にクリーン度を保持させる
ことが可能である。
Ｐに出し入れする場合に応用した例を説明する説明図で
あり、第７図は、ブックシェルフ型ストッカ１４ａに応
用した例を説明する説明図で、双方の例とも第８図に示
すように、キャリア１１と層流との関係が、ウェハ出入
口１１ｂ側からウェハｌｌａに平行に入っており、その
ため、渦の発生が少なく、常にクリーン度を保持させる
ことが可能である。
次に、上記実施例の作用を説明する。
ストッカ１４等に収納されているキャリア１１等の被搬
送物を取り出す場合、ハンドリング機構１を、上下部に
設けた水平ガイド機構２．２に沿って水平方向目標位置
に向かって移動させると共に、昇降機構３をボールスク
リュー軸６に沿って垂直方向の目標位置下方手前に向か
って昇降させ、次いで、第５図に示すように、昇降機構
３を上昇させながら回転軸４を中心にアーム部材５を時
計回り方向に回転させて保持部１２を所定の軌跡を描き
ながら移動させ、キャリア１１等の被搬送物の下面に位
置させたところでボールスクリュー軸６を用いて被搬送
物１１を微小に持ち上げ、続いて同図に示すように、ア
ーム部材５を半時針目り方向に回転させながら、下降さ
せることにより所定の軌跡を描きながら被搬送物を取り
出す。この後、被搬送物１１を所定の払出し場所に移動
させる。
送物を取り出す場合、ハンドリング機構１を、上下部に
設けた水平ガイド機構２．２に沿って水平方向目標位置
に向かって移動させると共に、昇降機構３をボールスク
リュー軸６に沿って垂直方向の目標位置下方手前に向か
って昇降させ、次いで、第５図に示すように、昇降機構
３を上昇させながら回転軸４を中心にアーム部材５を時
計回り方向に回転させて保持部１２を所定の軌跡を描き
ながら移動させ、キャリア１１等の被搬送物の下面に位
置させたところでボールスクリュー軸６を用いて被搬送
物１１を微小に持ち上げ、続いて同図に示すように、ア
ーム部材５を半時針目り方向に回転させながら、下降さ
せることにより所定の軌跡を描きながら被搬送物を取り
出す。この後、被搬送物１１を所定の払出し場所に移動
させる。
この場合、ハンドリング機構１の外形を流線形に形成し
、かつ、アーム部材５の外形を滑らかな翼状に形成した
ので、層流を乱すおそれがなくクリーンな層流を保持さ
せることが可能となる。
、かつ、アーム部材５の外形を滑らかな翼状に形成した
ので、層流を乱すおそれがなくクリーンな層流を保持さ
せることが可能となる。
第４図は、本発明における搬送用ハンドリング装置の他
の実施例を示したもので、ハンドリング機構３１の下部
にモータ３２を介して駆動する駆動軸３３ａと補助輪３
３ｂを設け、駆動軸３３ａはガイドレール３４を転動し
てハンドリング機構３１を水平方向に移動させる。また
、モータ３５を介してボールスクリュー軸３６を回動可
能に設け、昇降機構３７に固着したボールスクリューナ
ツト３８をボールスクリュー軸３６に螺合して昇降機構
３７を昇降させるようにしている。この昇降機構３７に
は、回転軸３９を介してアーム部材４０取付け、モータ
４１によりアーム部材４０を回転駆動させて、保管装置
４２などに被搬送物を移載するようにしている。なお、
昇降機構３７に設けたリニアガイド４３と、これと対を
なすリニアガイドレール４４を一側又は双方に設けるも
のとする。
の実施例を示したもので、ハンドリング機構３１の下部
にモータ３２を介して駆動する駆動軸３３ａと補助輪３
３ｂを設け、駆動軸３３ａはガイドレール３４を転動し
てハンドリング機構３１を水平方向に移動させる。また
、モータ３５を介してボールスクリュー軸３６を回動可
能に設け、昇降機構３７に固着したボールスクリューナ
ツト３８をボールスクリュー軸３６に螺合して昇降機構
３７を昇降させるようにしている。この昇降機構３７に
は、回転軸３９を介してアーム部材４０取付け、モータ
４１によりアーム部材４０を回転駆動させて、保管装置
４２などに被搬送物を移載するようにしている。なお、
昇降機構３７に設けたリニアガイド４３と、これと対を
なすリニアガイドレール４４を一側又は双方に設けるも
のとする。
（発明の効果）
以上のことから明らかなように１本発明によると、ハン
ドリング装置の軸数を極力少なくして構造を簡素化し、
かつ、アーム部材の保持部をキャリア等の被搬送物°の
下方に位置させ、アーム部材とハンドリング機構の外形
の形状を層流を乱さないような形状に構成したので、従
来に比してクリーン度を著しく向上させることができ、
しかも、コストの低減を図ることができ、更には、水平
方向のストロークの拡張も極めて容易に行なえる等の効
果がある。
ドリング装置の軸数を極力少なくして構造を簡素化し、
かつ、アーム部材の保持部をキャリア等の被搬送物°の
下方に位置させ、アーム部材とハンドリング機構の外形
の形状を層流を乱さないような形状に構成したので、従
来に比してクリーン度を著しく向上させることができ、
しかも、コストの低減を図ることができ、更には、水平
方向のストロークの拡張も極めて容易に行なえる等の効
果がある。
図面は本発明における搬送用ハンドリング装置の実施例
を示したもので、第１図はハンドリング装置をストッカ
に配置した状態で、カバー類を取り除いて示した斜視図
、第２図はハンドリング装置をストッカに配置した状態
を示す一部切欠き側面図、第３図は同上の平面図、第４
図は他の実施例を示したハンドリング装置を保管装置に
設置した状態の斜視図、第５図はアーム機構とキャリア
との投入払出の軌跡を示した軌跡図、第６図は円筒型ス
トッカへの応用例を示した説明図、第７図はブックシェ
ルフ型ストッカへの応用例を示した説明図、第８図Ａは
ウェハを格納したキャリアの保管状態を示す斜視図、第
８図Ｂは第８図Ａの移動中の姿勢を示す斜視図、第８図
Ｃは出し入れボート上でのキャリアの姿勢を示す斜視図
である。 １．３１・・・ハンドリング機構 ２．３４・・・水平ガイド機構 ３．３７・・・昇降機構 ４．３９・・・回転軸 ５．４０・・・アーム部材 ６．３６・・・垂直軸 １１・・・キャリア等の被搬送物 １２・・・キャリア保持部 １３・・・センサ １４．１４ａ・・・ストッカ 第１図 第５図 第６図 第７図 第８図
を示したもので、第１図はハンドリング装置をストッカ
に配置した状態で、カバー類を取り除いて示した斜視図
、第２図はハンドリング装置をストッカに配置した状態
を示す一部切欠き側面図、第３図は同上の平面図、第４
図は他の実施例を示したハンドリング装置を保管装置に
設置した状態の斜視図、第５図はアーム機構とキャリア
との投入払出の軌跡を示した軌跡図、第６図は円筒型ス
トッカへの応用例を示した説明図、第７図はブックシェ
ルフ型ストッカへの応用例を示した説明図、第８図Ａは
ウェハを格納したキャリアの保管状態を示す斜視図、第
８図Ｂは第８図Ａの移動中の姿勢を示す斜視図、第８図
Ｃは出し入れボート上でのキャリアの姿勢を示す斜視図
である。 １．３１・・・ハンドリング機構 ２．３４・・・水平ガイド機構 ３．３７・・・昇降機構 ４．３９・・・回転軸 ５．４０・・・アーム部材 ６．３６・・・垂直軸 １１・・・キャリア等の被搬送物 １２・・・キャリア保持部 １３・・・センサ １４．１４ａ・・・ストッカ 第１図 第５図 第６図 第７図 第８図
Claims (4)
- （１）垂直軸を有するハンドリング機構を水平ガイド機
構に沿って水平方向に移動可能に設け、該垂直軸に沿っ
て昇降する昇降機構に、回転軸を介してアーム部材を設
け、該アーム部材は、上記水平方向の移動方向と直交す
る面内に回転するように構成し、該アーム部材の先端に
被搬送物保持用の保持部を設けたことを特徴とする搬送
用ハンドリング装置。 - （２）上記した保持部に、他の機器との接触防止用のセ
ンサを設けた特許請求の範囲第１項記載の搬送用ハンド
リング装置。 - （３）ハンドリング機構の外形を流線形に形成して層流
を乱しにくい形状にした特許請求の範囲第１項又は第２
項記載の搬送用ハンドリング装置。 - （４）アーム部材の外形を滑らかな翼状に形成して層流
を乱しにくい形状にした特許請求の範囲第１項乃至第３
項記載の搬送用ハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1222487A JPS63185704A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 搬送用ハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1222487A JPS63185704A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 搬送用ハンドリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63185704A true JPS63185704A (ja) | 1988-08-01 |
Family
ID=11799403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1222487A Pending JPS63185704A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 搬送用ハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63185704A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01106409U (ja) * | 1988-01-11 | 1989-07-18 | ||
| JPH0428700A (ja) * | 1990-05-22 | 1992-01-31 | Investronica Sa | プログラム制御による箱、コンテナ等の操作・移送装置 |
| CN103332424A (zh) * | 2013-05-28 | 2013-10-02 | 山西东杰智能物流装备股份有限公司 | 高密度仓储堆垛机挡板与货架挡板同步开闭装置 |
| CN105398814A (zh) * | 2015-11-23 | 2016-03-16 | 东莞市冠佳电子设备有限公司 | 一种电源老化线的移动送料装置 |
| JP2016184691A (ja) * | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 株式会社ダイフク | 半導体容器保管設備 |
| CN113023210A (zh) * | 2021-02-26 | 2021-06-25 | 山东瑞邦自动化设备有限公司 | 一种手套生产行业用智能仓储设备 |
Citations (4)
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| JPS5135752A (en) * | 1974-09-17 | 1976-03-26 | Aisin Seiki | Teamiki no senshinsochi |
| JPS529914A (en) * | 1975-07-14 | 1977-01-25 | Giken Koei Kk | Method of preventing destruction of subsoil |
| JPS5320266A (en) * | 1976-08-06 | 1978-02-24 | Komatsu Ltd | Cargo loading method in use of unmanned fork lift |
| JPS58167308A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-10-03 | Hitachi Ltd | ピツキング装置 |
-
1987
- 1987-01-23 JP JP1222487A patent/JPS63185704A/ja active Pending
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