JPS6285332U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6285332U JPS6285332U JP17797785U JP17797785U JPS6285332U JP S6285332 U JPS6285332 U JP S6285332U JP 17797785 U JP17797785 U JP 17797785U JP 17797785 U JP17797785 U JP 17797785U JP S6285332 U JPS6285332 U JP S6285332U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air supply
- supply passage
- movable table
- supply hole
- clamped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
第1図はこの考案のスライドテーブル装置を示
す斜面図、第2図及び第3図は第1図のA―A線
及びB―B線に於ける断面図、第4図は移動テー
ブルの側板の平面図、第5図及び第6図はその側
面図及び正面図、第7図は移動テーブルの上下の
板の平面図、第8図及び第9図はその側面図及び
正面図、第10図はこの考案と従来のスライドテ
ーブルの軸受剛性の測定結果を示す線図、第11
図は従来のスライドテーブル装置を示す斜面図、
第12図及び第13図は第11図のC―C線及び
D―D線に於ける縦断面図、第14図は移動テー
ブルが変形した状態を示す縦断面図である。 20……テーブルガイド、21……ガイド部、
22……第1給気通路、23……第1給気孔、2
4……移動テーブル、25……側板、26……上
下の板、27,28……軸受スキマ、29……中
央溝、30……第2給気孔、31……第2給気通
路、32……軸受溝、33……連絡溝、34……
第3給気通路、35……排気溝、36……軸受部
、37……第4給気通路、38……第5給気通路
、39……第3給気孔、40……オリフイス、4
1……第4給気孔、42……軸受溝、43……補
助溝、44……エアーホース。
す斜面図、第2図及び第3図は第1図のA―A線
及びB―B線に於ける断面図、第4図は移動テー
ブルの側板の平面図、第5図及び第6図はその側
面図及び正面図、第7図は移動テーブルの上下の
板の平面図、第8図及び第9図はその側面図及び
正面図、第10図はこの考案と従来のスライドテ
ーブルの軸受剛性の測定結果を示す線図、第11
図は従来のスライドテーブル装置を示す斜面図、
第12図及び第13図は第11図のC―C線及び
D―D線に於ける縦断面図、第14図は移動テー
ブルが変形した状態を示す縦断面図である。 20……テーブルガイド、21……ガイド部、
22……第1給気通路、23……第1給気孔、2
4……移動テーブル、25……側板、26……上
下の板、27,28……軸受スキマ、29……中
央溝、30……第2給気孔、31……第2給気通
路、32……軸受溝、33……連絡溝、34……
第3給気通路、35……排気溝、36……軸受部
、37……第4給気通路、38……第5給気通路
、39……第3給気孔、40……オリフイス、4
1……第4給気孔、42……軸受溝、43……補
助溝、44……エアーホース。
Claims (1)
- 一対の挾持板間に一対の被挾持板を挾込んで矩
形状に形成した移動テーブルをテーブルガイドに
抱持させたスライドテーブル装置であつて、テー
ブルガイドの中心部に給気通路を形成し、この給
気通路から分岐してテーブルガイドの移動テーブ
ルの被挾持板に対向する表面に開口する給気孔を
形成すると共に前記移動テーブルの被挾持板表面
に前記給気孔を形成し、かつ、前記移動テーブル
の被挾持板表面に前記給気孔と対向させて、該給
気孔の直径より僅かに広い幅で、移動テーブルの
移動ストロールと同等或いはそれより僅かに長い
長さの溝を形成し、この溝と連通する表面絞り用
の浅い軸受溝を被挾持板表面全域に沿つて形成す
ると共に、前記溝と連通する給気通路を移動テー
ブルの被挾持板内部に形成し、この給気通路と連
通する給気通路を移動テーブルの移動方向に沿つ
て移動テーブルの挾持板内部に形成し、更にこの
給気通路の数個所に該給気通路から分岐して移動
テーブルの挾持板内面に開口され、その内端部に
絞りを設けた給気孔を形成したことを特徴とする
スライドテーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17797785U JPH0230186Y2 (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17797785U JPH0230186Y2 (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6285332U true JPS6285332U (ja) | 1987-05-30 |
| JPH0230186Y2 JPH0230186Y2 (ja) | 1990-08-14 |
Family
ID=31119677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17797785U Expired JPH0230186Y2 (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0230186Y2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6451241A (en) * | 1987-08-20 | 1989-02-27 | Toyoda Machine Works Ltd | Hydrostatic supporting device for slider |
| JPH02209620A (ja) * | 1989-02-04 | 1990-08-21 | Toyoda Mach Works Ltd | 角スライド静圧支承装置 |
| JP2009209962A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-17 | Nikon Corp | 流体軸受、ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| JP2010161926A (ja) * | 2010-04-21 | 2010-07-22 | Seiko Instruments Inc | アクチュエータ及びテーブル装置 |
| JP2011510229A (ja) * | 2008-01-14 | 2011-03-31 | ユーピーエム リミテッド | 静圧型空気軸受 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101857272B1 (ko) * | 2017-04-26 | 2018-05-14 | 덕흥 주식회사 | 스크류 가공장치의 클램핑 구조 |
-
1985
- 1985-11-19 JP JP17797785U patent/JPH0230186Y2/ja not_active Expired
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6451241A (en) * | 1987-08-20 | 1989-02-27 | Toyoda Machine Works Ltd | Hydrostatic supporting device for slider |
| JPH02209620A (ja) * | 1989-02-04 | 1990-08-21 | Toyoda Mach Works Ltd | 角スライド静圧支承装置 |
| JP2011510229A (ja) * | 2008-01-14 | 2011-03-31 | ユーピーエム リミテッド | 静圧型空気軸受 |
| JP2009209962A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-17 | Nikon Corp | 流体軸受、ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| JP2010161926A (ja) * | 2010-04-21 | 2010-07-22 | Seiko Instruments Inc | アクチュエータ及びテーブル装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0230186Y2 (ja) | 1990-08-14 |