JPS6285332U - - Google Patents

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JPS6285332U
JPS6285332U JP17797785U JP17797785U JPS6285332U JP S6285332 U JPS6285332 U JP S6285332U JP 17797785 U JP17797785 U JP 17797785U JP 17797785 U JP17797785 U JP 17797785U JP S6285332 U JPS6285332 U JP S6285332U
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JP
Japan
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air supply
supply passage
movable table
supply hole
clamped
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JP17797785U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案のスライドテーブル装置を示
す斜面図、第2図及び第3図は第1図のA―A線
及びB―B線に於ける断面図、第4図は移動テー
ブルの側板の平面図、第5図及び第6図はその側
面図及び正面図、第7図は移動テーブルの上下の
板の平面図、第8図及び第9図はその側面図及び
正面図、第10図はこの考案と従来のスライドテ
ーブルの軸受剛性の測定結果を示す線図、第11
図は従来のスライドテーブル装置を示す斜面図、
第12図及び第13図は第11図のC―C線及び
D―D線に於ける縦断面図、第14図は移動テー
ブルが変形した状態を示す縦断面図である。 20……テーブルガイド、21……ガイド部、
22……第1給気通路、23……第1給気孔、2
4……移動テーブル、25……側板、26……上
下の板、27,28……軸受スキマ、29……中
央溝、30……第2給気孔、31……第2給気通
路、32……軸受溝、33……連絡溝、34……
第3給気通路、35……排気溝、36……軸受部
、37……第4給気通路、38……第5給気通路
、39……第3給気孔、40……オリフイス、4
1……第4給気孔、42……軸受溝、43……補
助溝、44……エアーホース。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一対の挾持板間に一対の被挾持板を挾込んで矩
    形状に形成した移動テーブルをテーブルガイドに
    抱持させたスライドテーブル装置であつて、テー
    ブルガイドの中心部に給気通路を形成し、この給
    気通路から分岐してテーブルガイドの移動テーブ
    ルの被挾持板に対向する表面に開口する給気孔を
    形成すると共に前記移動テーブルの被挾持板表面
    に前記給気孔を形成し、かつ、前記移動テーブル
    の被挾持板表面に前記給気孔と対向させて、該給
    気孔の直径より僅かに広い幅で、移動テーブルの
    移動ストロールと同等或いはそれより僅かに長い
    長さの溝を形成し、この溝と連通する表面絞り用
    の浅い軸受溝を被挾持板表面全域に沿つて形成す
    ると共に、前記溝と連通する給気通路を移動テー
    ブルの被挾持板内部に形成し、この給気通路と連
    通する給気通路を移動テーブルの移動方向に沿つ
    て移動テーブルの挾持板内部に形成し、更にこの
    給気通路の数個所に該給気通路から分岐して移動
    テーブルの挾持板内面に開口され、その内端部に
    絞りを設けた給気孔を形成したことを特徴とする
    スライドテーブル装置。
JP17797785U 1985-11-19 1985-11-19 Expired JPH0230186Y2 (ja)

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JPS6285332U true JPS6285332U (ja) 1987-05-30
JPH0230186Y2 JPH0230186Y2 (ja) 1990-08-14

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6451241A (en) * 1987-08-20 1989-02-27 Toyoda Machine Works Ltd Hydrostatic supporting device for slider
JPH02209620A (ja) * 1989-02-04 1990-08-21 Toyoda Mach Works Ltd 角スライド静圧支承装置
JP2009209962A (ja) * 2008-02-29 2009-09-17 Nikon Corp 流体軸受、ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法
JP2010161926A (ja) * 2010-04-21 2010-07-22 Seiko Instruments Inc アクチュエータ及びテーブル装置
JP2011510229A (ja) * 2008-01-14 2011-03-31 ユーピーエム リミテッド 静圧型空気軸受

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KR101857272B1 (ko) * 2017-04-26 2018-05-14 덕흥 주식회사 스크류 가공장치의 클램핑 구조

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JPH0230186Y2 (ja) 1990-08-14

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