JPH02212057A - スライダーの研摩方法及び研摩装置 - Google Patents
スライダーの研摩方法及び研摩装置Info
- Publication number
- JPH02212057A JPH02212057A JP1029109A JP2910989A JPH02212057A JP H02212057 A JPH02212057 A JP H02212057A JP 1029109 A JP1029109 A JP 1029109A JP 2910989 A JP2910989 A JP 2910989A JP H02212057 A JPH02212057 A JP H02212057A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- vibration
- polishing
- polishing member
- pressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気ディスクからデータを読みだしたり、磁
気ディスクにデータを書き込んだりする磁気記録再生装
置に用いられるスライダーの研磨方法及び研磨装置に関
するものである。
気ディスクにデータを書き込んだりする磁気記録再生装
置に用いられるスライダーの研磨方法及び研磨装置に関
するものである。
従来の技術
浮動型磁気ヘッドには、スライダーとコア体で磁気回路
を構成するモノリシック型磁気ヘッドや、磁気回路を構
成するコアチップを非磁性体でできたスライダーに埋め
こんだコンポジット型磁気ヘッドや、又非磁性体ででき
たスライダーの後端面に薄膜コアを取り付けたもの等が
ある。以下この中の薄膜コアをスライダーの後端面に設
けたものを例にあげて説明する。第５図及び第６図にお
いて１は非磁性材料等で構成されたスライダーで、スラ
イダーｌにはレール状のスライダーパッド２，３と、こ
のスライダーパッド２，３によって挟まれた溝４を備え
ている。スライダーパッド２．３は浮上面５．６をそれ
ぞれ有している。又スライダーパッド２，３の一端部（
空気流入端部）には傾斜面７．８が形成されている。こ
の傾斜面７，８はスライダー１を磁気記録媒体（図示せ
ず）の上に浮かせるためのものであり、傾斜面７．８は
浮上面５．６に対する傾斜角は約５０分程である。又ス
ライダーパ・ラド２，３のそれぞれの角部には傾斜面９
，１０，１１．１２が形成されている。傾斜面９．１０
．１１．１２は浮上面５．６に対して約６０度の角度を
有している。この傾斜面９．１０．１１．１２は浮上面
５．６の幅を規制するために設けられている。１３．１
４はスライダー１の空気流出部側の端面に設けられたヘ
ッド素子部であり、ヘッド素子部１３．１４は二つの磁
性層でコイル層を挟んだ構造となっている。１５．１６
はそれぞれヘッド素子部１３゜１４のリードである。
を構成するモノリシック型磁気ヘッドや、磁気回路を構
成するコアチップを非磁性体でできたスライダーに埋め
こんだコンポジット型磁気ヘッドや、又非磁性体ででき
たスライダーの後端面に薄膜コアを取り付けたもの等が
ある。以下この中の薄膜コアをスライダーの後端面に設
けたものを例にあげて説明する。第５図及び第６図にお
いて１は非磁性材料等で構成されたスライダーで、スラ
イダーｌにはレール状のスライダーパッド２，３と、こ
のスライダーパッド２，３によって挟まれた溝４を備え
ている。スライダーパッド２．３は浮上面５．６をそれ
ぞれ有している。又スライダーパッド２，３の一端部（
空気流入端部）には傾斜面７．８が形成されている。こ
の傾斜面７，８はスライダー１を磁気記録媒体（図示せ
ず）の上に浮かせるためのものであり、傾斜面７．８は
浮上面５．６に対する傾斜角は約５０分程である。又ス
ライダーパ・ラド２，３のそれぞれの角部には傾斜面９
，１０，１１．１２が形成されている。傾斜面９．１０
．１１．１２は浮上面５．６に対して約６０度の角度を
有している。この傾斜面９．１０．１１．１２は浮上面
５．６の幅を規制するために設けられている。１３．１
４はスライダー１の空気流出部側の端面に設けられたヘ
ッド素子部であり、ヘッド素子部１３．１４は二つの磁
性層でコイル層を挟んだ構造となっている。１５．１６
はそれぞれヘッド素子部１３゜１４のリードである。
次にこの様に構成された従来の浮動型磁気ヘッドについ
て以下傾斜面９，１２と浮上面５，６のそれぞれの境界
部分にできた角部Ｍ及びＮの面取方法について説明する
。面取方法を説明する前に先ず角部Ｍ、Ｎに面取を行な
う訳を説明する。角部Ｍ、Ｎが尖っていると角部Ｍ、Ｎ
が磁気記録媒体に接触した時に、磁気記録媒体に傷が入
ったり、時には磁気記録媒体の磁性層まで傷が達し、デ
ータの記録再生が出来な（なるという事が発生していた
。すなわち面取を行なう事により、磁気記録媒体に入る
傷を軽減していた。以下面取方法について説明する。先
ず第６図に示す様に取付治具１７にスライダー１を貼り
付ける。この時スライダー１は面取したい角部が取付治
具１７の端部側に来るようにしかも、媒体対向面と反対
側の面と取付治具１７が対向する様に接着剤等で接着す
る。又取付治具１７のスライダーｌが取り付けられた方
とは反対側の端部は回動軸１８に取り付けられており、
取付治具１７は回動軸１８を中心に回動自在になってい
る。次に研摩シート１９を一定方向に走行させて、研摩
シート１９の上に取付治具１７を回動軸１８を中心に回
動させ少しずつ研摩シート１９にスライダーパッド２の
角部を押し当ててい（。この時研摩シート１９の走行方
向はスライダーパッド２．３の長手方向と垂直になる様
にスライダーｌを研摩シート１９に押し当てる。又他方
の角部を面取する時には取付治具１７からスライダー１
を取り外し、他方の角部が取付治具１７の端部側にくる
ように取付治具１７にスライダー１を取り付けていた。
て以下傾斜面９，１２と浮上面５，６のそれぞれの境界
部分にできた角部Ｍ及びＮの面取方法について説明する
。面取方法を説明する前に先ず角部Ｍ、Ｎに面取を行な
う訳を説明する。角部Ｍ、Ｎが尖っていると角部Ｍ、Ｎ
が磁気記録媒体に接触した時に、磁気記録媒体に傷が入
ったり、時には磁気記録媒体の磁性層まで傷が達し、デ
ータの記録再生が出来な（なるという事が発生していた
。すなわち面取を行なう事により、磁気記録媒体に入る
傷を軽減していた。以下面取方法について説明する。先
ず第６図に示す様に取付治具１７にスライダー１を貼り
付ける。この時スライダー１は面取したい角部が取付治
具１７の端部側に来るようにしかも、媒体対向面と反対
側の面と取付治具１７が対向する様に接着剤等で接着す
る。又取付治具１７のスライダーｌが取り付けられた方
とは反対側の端部は回動軸１８に取り付けられており、
取付治具１７は回動軸１８を中心に回動自在になってい
る。次に研摩シート１９を一定方向に走行させて、研摩
シート１９の上に取付治具１７を回動軸１８を中心に回
動させ少しずつ研摩シート１９にスライダーパッド２の
角部を押し当ててい（。この時研摩シート１９の走行方
向はスライダーパッド２．３の長手方向と垂直になる様
にスライダーｌを研摩シート１９に押し当てる。又他方
の角部を面取する時には取付治具１７からスライダー１
を取り外し、他方の角部が取付治具１７の端部側にくる
ように取付治具１７にスライダー１を取り付けていた。
発明が解決しようとする課題
第５図に示す浮上面５，６と傾斜面１０．１１のそれぞ
れの角部Ｈ，Ｌにはよくパリが生じる。
れの角部Ｈ，Ｌにはよくパリが生じる。
そしてそのパリが磁気記録媒体に傷を入れたり、又パリ
の部分が屑となって磁気記録媒体とスライダー１との間
に入り込んで双方を傷付けたりする事があった。従来の
面取の方法では、角部Ｍ、Ｎしか面取ができず上記の様
な不具合が起こっていた。又従来の面取の方法は面取す
る角部をかえるごとに取付治具１７にスライダー１を接
着したり、取付治具１７からスライダー１を剥がしたり
しなければならないので、作業性が悪く生産性を向上さ
せる妨げとなっていた。
の部分が屑となって磁気記録媒体とスライダー１との間
に入り込んで双方を傷付けたりする事があった。従来の
面取の方法では、角部Ｍ、Ｎしか面取ができず上記の様
な不具合が起こっていた。又従来の面取の方法は面取す
る角部をかえるごとに取付治具１７にスライダー１を接
着したり、取付治具１７からスライダー１を剥がしたり
しなければならないので、作業性が悪く生産性を向上さ
せる妨げとなっていた。
本発明は前記従来の問題点を解決するもので、従来でき
なかったスライダーパッドの内側の角部も面取する事が
できるとともに、スライダーパッドの角部全てを同時に
面取ができ、生産性を向上させる事ができるスライダー
の研磨方法及び研磨装置を提供する事を目的としている
。
なかったスライダーパッドの内側の角部も面取する事が
できるとともに、スライダーパッドの角部全てを同時に
面取ができ、生産性を向上させる事ができるスライダー
の研磨方法及び研磨装置を提供する事を目的としている
。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために、研磨部材を支持した振動発
生装置に上下振動とともに進行波振動を同時に発生させ
、研磨部材にスライダーを抑圧手段によって押し付けた
。
生装置に上下振動とともに進行波振動を同時に発生させ
、研磨部材にスライダーを抑圧手段によって押し付けた
。
作 用
この構成により、レールの全ての角部を同時に研磨手段
に押し当てて、研磨する事ができる。
に押し当てて、研磨する事ができる。
実施例
第１図及び第２図は本発明の一実施例におけるスライダ
ー研磨方法を用いた研磨装置を示す斜視図及び側面図で
ある。第１図及び第２図において２０は基台、２１は基
台２０の上に設けられ、上・下振動とともに進行波振動
を発生する振動発生装置で、振動発生装置２１は次の様
に構成されている。第３図は振動発生袋ｆｌｉ２１の概
略図である。
ー研磨方法を用いた研磨装置を示す斜視図及び側面図で
ある。第１図及び第２図において２０は基台、２１は基
台２０の上に設けられ、上・下振動とともに進行波振動
を発生する振動発生装置で、振動発生装置２１は次の様
に構成されている。第３図は振動発生袋ｆｌｉ２１の概
略図である。
第３図において２２は上板、２３は下板で、上板２２及
び下板２３は平行になるように配置する。
び下板２３は平行になるように配置する。
又下板２３には中央部付近に電磁石２４が設けられてお
り、上板２２には中央部付近に電磁石２４に吸着する吸
着板２５が設けられている。この電磁石２４には電流を
断続的に流したり止めたりする交流電源が設けられてい
る。２６．２７はそれぞれ上板２２及び下板２３の間に
設けられている板はねて、板はね２６．２７は電磁石２
４及び吸着板２５を挟む様に設けられしかも、上板２２
及び下板２３の端部付近に取り付けられているとともに
板はね２６．２７は互いに平行にしかも上板２２及び下
板２３に対して一定の傾斜角を持つ様に取り付けられて
いる。この様に構成された振動発生装置２１は電磁石２
４に一定周期で断続的に電流を流したり流さなかったり
する。すると電流が流れた時は電磁石２４に磁力が発生
し、吸着板２５は板ばね２６．２７の弾性力に打ち勝っ
て電磁石２４に吸着し、第３図に示す矢印Ｍ方向に上板
２２が移動する。次に電流を流すのを止めると板はね２
６．２７の復元力によって前記矢印Ｍ方向と逆の方向に
上板２２が移動し、上板２２は元の位置に戻る。この動
作を連続して行う七上板２２に対して垂直方向の振動と
ともに上板２２に対して水平方向の振動（進行波振動）
が同時に上板２２に発生する。又電磁石２４に加える電
流の周期を変える事によって所定の振動数の振動を発生
させる事ができる。今回使用した振動発生装置２１は振
動数を３６００回／分にした。再び第１図及び第２図に
戻って２８は上板２２の上に固定された研磨部材で、研
磨部材２８はゴム等の弾力性のある基板２８ａの上に研
磨シート２８ｂを張り付けた構成となっている。２９は
面取されるスライダー、３０は基台２０に固定されてい
るはね柱で、ばね柱３０の先端部にはビン３０ｂが固定
され、ビン３０ｂにはテンションはね３０ａが挿入され
ている。この時テンションはね３０ａは押え板３１に固
定されている。又ビン３０ｂは押え板３１に接触してお
らず、テンションはね３０ａが曲がったりするのを防止
している。テンションはね３０ａは押え板３１を介して
スライダー２９を研磨部材２８に押しつけている。この
時押え板３１にスライダー２９は固定されている。３２
は基台２０に立設された固定枠で、固定枠３２には貫通
孔３２ａが設けられており、この貫通孔３２ａ内に押え
板３１が位置する様に配置される。すなわち振動発生装
置２１に発生する進行波振動によって、スライダー°２
９は媒体対向面に平行な方向に移動しようとするけれど
も、特定位置から一定以上の範囲移動しようとすると、
押え板３１の外周部が固定枠３２の貫通孔３２ａの縁に
突き当たり、それ以上移動出来ない様になっており、ス
ライダーの動きを見るとスライダーが踊っている様に見
える。この方法で研磨したスライダーはレールの角部の
みに面取が施され、浮上面に傷は殆ど入っていなかった
。第３図は研磨部材２８にスライダー２９を押し付けた
時の断面図である。
り、上板２２には中央部付近に電磁石２４に吸着する吸
着板２５が設けられている。この電磁石２４には電流を
断続的に流したり止めたりする交流電源が設けられてい
る。２６．２７はそれぞれ上板２２及び下板２３の間に
設けられている板はねて、板はね２６．２７は電磁石２
４及び吸着板２５を挟む様に設けられしかも、上板２２
及び下板２３の端部付近に取り付けられているとともに
板はね２６．２７は互いに平行にしかも上板２２及び下
板２３に対して一定の傾斜角を持つ様に取り付けられて
いる。この様に構成された振動発生装置２１は電磁石２
４に一定周期で断続的に電流を流したり流さなかったり
する。すると電流が流れた時は電磁石２４に磁力が発生
し、吸着板２５は板ばね２６．２７の弾性力に打ち勝っ
て電磁石２４に吸着し、第３図に示す矢印Ｍ方向に上板
２２が移動する。次に電流を流すのを止めると板はね２
６．２７の復元力によって前記矢印Ｍ方向と逆の方向に
上板２２が移動し、上板２２は元の位置に戻る。この動
作を連続して行う七上板２２に対して垂直方向の振動と
ともに上板２２に対して水平方向の振動（進行波振動）
が同時に上板２２に発生する。又電磁石２４に加える電
流の周期を変える事によって所定の振動数の振動を発生
させる事ができる。今回使用した振動発生装置２１は振
動数を３６００回／分にした。再び第１図及び第２図に
戻って２８は上板２２の上に固定された研磨部材で、研
磨部材２８はゴム等の弾力性のある基板２８ａの上に研
磨シート２８ｂを張り付けた構成となっている。２９は
面取されるスライダー、３０は基台２０に固定されてい
るはね柱で、ばね柱３０の先端部にはビン３０ｂが固定
され、ビン３０ｂにはテンションはね３０ａが挿入され
ている。この時テンションはね３０ａは押え板３１に固
定されている。又ビン３０ｂは押え板３１に接触してお
らず、テンションはね３０ａが曲がったりするのを防止
している。テンションはね３０ａは押え板３１を介して
スライダー２９を研磨部材２８に押しつけている。この
時押え板３１にスライダー２９は固定されている。３２
は基台２０に立設された固定枠で、固定枠３２には貫通
孔３２ａが設けられており、この貫通孔３２ａ内に押え
板３１が位置する様に配置される。すなわち振動発生装
置２１に発生する進行波振動によって、スライダー°２
９は媒体対向面に平行な方向に移動しようとするけれど
も、特定位置から一定以上の範囲移動しようとすると、
押え板３１の外周部が固定枠３２の貫通孔３２ａの縁に
突き当たり、それ以上移動出来ない様になっており、ス
ライダーの動きを見るとスライダーが踊っている様に見
える。この方法で研磨したスライダーはレールの角部の
みに面取が施され、浮上面に傷は殆ど入っていなかった
。第３図は研磨部材２８にスライダー２９を押し付けた
時の断面図である。
この様にスライダー２９の角部のみが研磨部材２８に当
接していると思われる。
接していると思われる。
以上の様に本実施例によれば振動発生装置２１の上に研
磨部材２８を固定し、スライダー２９をテンションばね
３０ａで押え板３１を介して研磨部材２８に押しつけ、
振動発生装置２１に上下振動とともに進行波振動を発生
させる事により、スライダー２９のレールの角部を全て
同時に面取する事ができるので、磁気ヘッドの生産性が
向上する。
磨部材２８を固定し、スライダー２９をテンションばね
３０ａで押え板３１を介して研磨部材２８に押しつけ、
振動発生装置２１に上下振動とともに進行波振動を発生
させる事により、スライダー２９のレールの角部を全て
同時に面取する事ができるので、磁気ヘッドの生産性が
向上する。
発明の効果
本発明は、上下、振動とともに進行波振動を同時に発生
させながら振動発生手段の上に研磨部材を設け、スライ
ダーを研摩部材に押し付けた事により、レールの全ての
角部を同時に研磨部材に押し当てて、研磨する事ができ
るので、レール内側の角部に発生していたパリを取り除
（事ができるので、パリによって磁気記録媒体が傷付く
事はなくなった。又レールの全ての角部を同時に面取す
る事ができるので、磁気ヘッドの生産性が飛躍的に向上
した。
させながら振動発生手段の上に研磨部材を設け、スライ
ダーを研摩部材に押し付けた事により、レールの全ての
角部を同時に研磨部材に押し当てて、研磨する事ができ
るので、レール内側の角部に発生していたパリを取り除
（事ができるので、パリによって磁気記録媒体が傷付く
事はなくなった。又レールの全ての角部を同時に面取す
る事ができるので、磁気ヘッドの生産性が飛躍的に向上
した。
第１図は本発明の一実施例におけるスライダー研磨方法
を用いた研磨装置を示す斜視図、第２図は同側面図、第
３図は本実施例に用いる振動発生装置の概略図、第４図
は研磨部材とスライダーの当接関係を示す側面図、第５
図は従来のスライダーの研磨方法によって面取された浮
動型磁気ヘッドを示す斜視図、第６図は同側面図、第７
図は同研磨状態を示す側面図である。 ３０ｂ・・・・・・ ３ ｌ ・・・・・・ ３２ ・・・・・・ ３２ａ・・・・・・
を用いた研磨装置を示す斜視図、第２図は同側面図、第
３図は本実施例に用いる振動発生装置の概略図、第４図
は研磨部材とスライダーの当接関係を示す側面図、第５
図は従来のスライダーの研磨方法によって面取された浮
動型磁気ヘッドを示す斜視図、第６図は同側面図、第７
図は同研磨状態を示す側面図である。 ３０ｂ・・・・・・ ３ ｌ ・・・・・・ ３２ ・・・・・・ ３２ａ・・・・・・
Claims (2)
- （１）振動発生手段と、前記振動発生手段に支持された
研磨部材と、スライダーを前記研摩部材に押し付ける押
圧手段を備え、前記振動発生手段に上下振動とともに進
行波振動を同時に発生させながら、前記押圧手段によっ
てスライダーを前記研摩部材に押し付ける事を特徴とす
るスライダーの研摩方法。 - （２）基台と、前記基台に設けられ、上下振動と進行波
振動を同時に発生する振動発生装置と、前記振動発生装
置上に固定されているとともに、研磨シートを上面に有
する弾性部材と、スライダーを前記研磨シートに押し付
ける付勢力を発生する弾性体を設けた押圧部材を備えた
事を特徴とするスライダー研摩装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1029109A JPH02212057A (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | スライダーの研摩方法及び研摩装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1029109A JPH02212057A (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | スライダーの研摩方法及び研摩装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02212057A true JPH02212057A (ja) | 1990-08-23 |
Family
ID=12267166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1029109A Pending JPH02212057A (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | スライダーの研摩方法及び研摩装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02212057A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5301077A (en) * | 1992-06-26 | 1994-04-05 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head |
| CN102059598A (zh) * | 2010-09-17 | 2011-05-18 | 北京金龙腾飞科技开发有限责任公司 | 一种轴承套圈外圆超精机 |
-
1989
- 1989-02-08 JP JP1029109A patent/JPH02212057A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5301077A (en) * | 1992-06-26 | 1994-04-05 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head |
| CN102059598A (zh) * | 2010-09-17 | 2011-05-18 | 北京金龙腾飞科技开发有限责任公司 | 一种轴承套圈外圆超精机 |
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