JPH02212325A - 光ファイバ母材の脱水焼結炉 - Google Patents
光ファイバ母材の脱水焼結炉Info
- Publication number
- JPH02212325A JPH02212325A JP3345489A JP3345489A JPH02212325A JP H02212325 A JPH02212325 A JP H02212325A JP 3345489 A JP3345489 A JP 3345489A JP 3345489 A JP3345489 A JP 3345489A JP H02212325 A JPH02212325 A JP H02212325A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- lid
- optical fiber
- muffle
- holding material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、光ファイバ母材中の水分等を除去するため、
加熱焼成し、かつ同時に母材の透明ガラス化を図る脱水
焼結炉に関するものである。
加熱焼成し、かつ同時に母材の透明ガラス化を図る脱水
焼結炉に関するものである。
〈従来の技術〉
従来、このような脱水焼結炉としては、例えば第４図に
示した如き構造のものが使用されている。
示した如き構造のものが使用されている。
この焼結炉は、内部に、ＶＡＤ法等により作製された光
ファイバ母材１がガラス棒等の保持材２により懸架され
て収容される、石英製筒体等からなるマツフル３と、こ
のマツフル３の中に脱水剤を含むガスを供給するガス供
給系４と、マツフル３の外周に取り付けられ、このマツ
フル３内の光ファイバ母材１を加熱するヒータ等からな
る加熱部５と、このマツフル３上部に取り付けられ、上
記保持材２が貫通される蓋穴６ａを有する蓋６とからな
る。
ファイバ母材１がガラス棒等の保持材２により懸架され
て収容される、石英製筒体等からなるマツフル３と、こ
のマツフル３の中に脱水剤を含むガスを供給するガス供
給系４と、マツフル３の外周に取り付けられ、このマツ
フル３内の光ファイバ母材１を加熱するヒータ等からな
る加熱部５と、このマツフル３上部に取り付けられ、上
記保持材２が貫通される蓋穴６ａを有する蓋６とからな
る。
上記ガス供給系４は、脱水剤となる塩素ガス等を供給す
る経路４ａと、その濃度調整と空気を排除するためのヘ
リウムガス等を供給する経路４ｂとを有しており−１こ
れらの両経路４ａ、４ｂがらの各ガスは、夫々の流量コ
ントローラ７ａ、７ｂを通じて調整された後、合流され
て、上記マツフル３の下部に供給されるようになってい
る。
る経路４ａと、その濃度調整と空気を排除するためのヘ
リウムガス等を供給する経路４ｂとを有しており−１こ
れらの両経路４ａ、４ｂがらの各ガスは、夫々の流量コ
ントローラ７ａ、７ｂを通じて調整された後、合流され
て、上記マツフル３の下部に供給されるようになってい
る。
そして、このガス供給系４から供給されたガスは、マツ
フル３内を上昇した後、差入６ａと保持材２との環状の
隙間８から、この隙間８を一種の排気口として、排気さ
れるようになっている。
フル３内を上昇した後、差入６ａと保持材２との環状の
隙間８から、この隙間８を一種の排気口として、排気さ
れるようになっている。
また、上記マツフル３の上部には、通路３ａ。
３ｂを通じて差圧計９および風船バッファｌＯが接続さ
れており、焼結時には、マツフル３内の内圧が一定値の
範囲内で保持されるように差圧計９を監視しながら、ガ
スの供給をコントロールして行っている。
れており、焼結時には、マツフル３内の内圧が一定値の
範囲内で保持されるように差圧計９を監視しながら、ガ
スの供給をコントロールして行っている。
〈発明が解決しようとする課題〉
ところが、このような従来の脱水焼結炉では、マツフル
３内の内圧コントロールにおいて、以下のような点で未
だ不十分であった。
３内の内圧コントロールにおいて、以下のような点で未
だ不十分であった。
というのは、昨今、光ファイバに対する品質要求が高く
なり、母材の脱水焼結にあたっては、マツフル内の内圧
コントールを高精度で行う必要があり、また、同時に外
気の僅かな流入にも厳しく対処しなければならない。
なり、母材の脱水焼結にあたっては、マツフル内の内圧
コントールを高精度で行う必要があり、また、同時に外
気の僅かな流入にも厳しく対処しなければならない。
しかしながら、このような観点に立った場合、上記従来
の脱水焼結炉では、ガスの排気が行われる隙間８は、上
述したように単に保持材２の外径と、この外径に対して
少々余裕をもって作られた差入６ａの内径との径差から
なるものであり、その気密性は不十分で、とてもマツフ
ル内圧を高精度でコントロールすることはできない。
の脱水焼結炉では、ガスの排気が行われる隙間８は、上
述したように単に保持材２の外径と、この外径に対して
少々余裕をもって作られた差入６ａの内径との径差から
なるものであり、その気密性は不十分で、とてもマツフ
ル内圧を高精度でコントロールすることはできない。
しかも、上記保持材２にあっては、回転しながら上下動
するものあるため、あまり隙間８を狭くすることは機能
的にも無理であり、また、例え、この隙間８をうまく十
分調整したとして、保持材２の動きにより、微妙な振動
が生じる等の問題もある。さらに、使用する保持材２に
は、数種類のものがあり、かつその寸法精度にも多少の
バラ付きがあるため、やはり高い気密性の保持はあまり
望めない。
するものあるため、あまり隙間８を狭くすることは機能
的にも無理であり、また、例え、この隙間８をうまく十
分調整したとして、保持材２の動きにより、微妙な振動
が生じる等の問題もある。さらに、使用する保持材２に
は、数種類のものがあり、かつその寸法精度にも多少の
バラ付きがあるため、やはり高い気密性の保持はあまり
望めない。
本発明は、このような従来の実情に鑑みてなされたもの
であり、その大きな特徴は、蓋の他に別部材として、光
ファイバ母材の保持材が極めて小さい最適の隙間をもっ
て貫通されるスリーブを用意し、これを、例えば隔壁室
を有する蓋の内部に着脱自在に取り付けたことにある。
であり、その大きな特徴は、蓋の他に別部材として、光
ファイバ母材の保持材が極めて小さい最適の隙間をもっ
て貫通されるスリーブを用意し、これを、例えば隔壁室
を有する蓋の内部に着脱自在に取り付けたことにある。
〈課題を解決するための手段〉
か−る本発明を、より具体的に示すと、本発明は、保持
材により懸架された光ファイバ母材が収容されるマツフ
ルと、該マツフル中に脱水剤を含むガスを供給するガス
供給系と、前記マツフル内の光ファイバ母材を加熱する
加熱部と、前記マツフル上部に取り付けられ、前記保持
材が貫通される蓋とを備えた光ファイバ母材の脱水焼結
炉において、前記蓋に、前記保持材が貫通されるスリー
ブを着脱自在に取り付けた光ファイバ母材の脱水焼結炉
にある。
材により懸架された光ファイバ母材が収容されるマツフ
ルと、該マツフル中に脱水剤を含むガスを供給するガス
供給系と、前記マツフル内の光ファイバ母材を加熱する
加熱部と、前記マツフル上部に取り付けられ、前記保持
材が貫通される蓋とを備えた光ファイバ母材の脱水焼結
炉において、前記蓋に、前記保持材が貫通されるスリー
ブを着脱自在に取り付けた光ファイバ母材の脱水焼結炉
にある。
そして、この蓋の構造は、特に限定されないが、上述の
ように隔壁室（１つ、または２以上も可）を有する構造
として、それに１個のスリーブを設けたり、さらに隔壁
室内にガスを導入して、マツフル内への空気の流入、拡
散等を防止するものである。
ように隔壁室（１つ、または２以上も可）を有する構造
として、それに１個のスリーブを設けたり、さらに隔壁
室内にガスを導入して、マツフル内への空気の流入、拡
散等を防止するものである。
〈作用〉
上記のようにスリーブの設置により、マツフル内の気密
性の保持が十分に行われるため、マツフル内圧のコント
ールが極めて容易にできる。
性の保持が十分に行われるため、マツフル内圧のコント
ールが極めて容易にできる。
〈実施例〉
第１図〜第２図は本発明に係る光ファイバ母材の脱水焼
結炉の一実施例を示したものである。
結炉の一実施例を示したものである。
本実施例では、蓋１６の構造を２重構造（２段構造）と
し、その上下に２つの隔壁室Ｒ１，Ｒ２を作り、各室Ｒ
，，Ｒ，の底壁１６ａ、１６ｂには２個のスリーブ１７
．１８を挿入、設置させてあり、また、下段の隔壁室Ｒ
３にはガス供給口１９を、上段の隔壁室Ｒ１にはガス排
出口２０を夫々形成しである。なお、上記従来のものと
同一部分には同一符号を付しである。
し、その上下に２つの隔壁室Ｒ１，Ｒ２を作り、各室Ｒ
，，Ｒ，の底壁１６ａ、１６ｂには２個のスリーブ１７
．１８を挿入、設置させてあり、また、下段の隔壁室Ｒ
３にはガス供給口１９を、上段の隔壁室Ｒ１にはガス排
出口２０を夫々形成しである。なお、上記従来のものと
同一部分には同一符号を付しである。
上記スリーブ１７．１８は、例えば石英ガラス等で作り
、夫々十分な厚さとし、また、上記Ｊ３ＩＩ６の各隔壁
室Ｒ１，Ｒｚへの出し入れは、例えば上端の上蓋部１６
ｃを開閉して行う。そのため、下段の隔壁室Ｒ１に設置
されるスリーブ１７は、その外径の大きさを小さめに抑
え、上段の底壁（中底）１６ｂに開けた大きめの穴２１
を通るようにする。一方、上段の隔壁室Ｒｔに設置され
るスリーブ１８は、少なくとも上記穴２１よりその外径
を大きくして、上段の底壁１６ｂに載るようにする。
、夫々十分な厚さとし、また、上記Ｊ３ＩＩ６の各隔壁
室Ｒ１，Ｒｚへの出し入れは、例えば上端の上蓋部１６
ｃを開閉して行う。そのため、下段の隔壁室Ｒ１に設置
されるスリーブ１７は、その外径の大きさを小さめに抑
え、上段の底壁（中底）１６ｂに開けた大きめの穴２１
を通るようにする。一方、上段の隔壁室Ｒｔに設置され
るスリーブ１８は、少なくとも上記穴２１よりその外径
を大きくして、上段の底壁１６ｂに載るようにする。
そして、各スリーブ１７．１８の中央の貫通穴１７ａ、
１８ａは、夫々光ファイバ母材ｌの保持材２である、例
えばガラス棒が、極めて小さい最適の隙間をもって装着
される穴とする。また、必要に応じて、種々の寸法の保
持材２に対応できるように、幾つかの異なる穴径を有す
るスリーブ１７．１８を用意してお（とよい。
１８ａは、夫々光ファイバ母材ｌの保持材２である、例
えばガラス棒が、極めて小さい最適の隙間をもって装着
される穴とする。また、必要に応じて、種々の寸法の保
持材２に対応できるように、幾つかの異なる穴径を有す
るスリーブ１７．１８を用意してお（とよい。
従って、本焼結炉の場合、駆動時、各スリーブ１７．１
８と保持材２の隙間は十分に小さく、かつスリーブ１７
．１８自体の厚さも厚く、隙間巾が大きいため、この部
分での気密は、十分確保される。このため、マツフル３
内に供給されるガス量が少なくてもよく、マツフル内圧
のコントローまた、光ファイバ母材ｌの保持材２に多少
の振動等があっても、各スリーブ１７．１８が当該保持
材２と同一の動きをするため、スリーブ１７゜１８の貫
通穴１７ａ、１８ａとの隙間には変化はなく、さらに、
蓋１６の底壁１６ａ、１６ｂとの隙間２２．２３もスリ
ーブ１７．１８自体の重さにより常時密着されるため、
やはり高い気密性が保たれる。
８と保持材２の隙間は十分に小さく、かつスリーブ１７
．１８自体の厚さも厚く、隙間巾が大きいため、この部
分での気密は、十分確保される。このため、マツフル３
内に供給されるガス量が少なくてもよく、マツフル内圧
のコントローまた、光ファイバ母材ｌの保持材２に多少
の振動等があっても、各スリーブ１７．１８が当該保持
材２と同一の動きをするため、スリーブ１７゜１８の貫
通穴１７ａ、１８ａとの隙間には変化はなく、さらに、
蓋１６の底壁１６ａ、１６ｂとの隙間２２．２３もスリ
ーブ１７．１８自体の重さにより常時密着されるため、
やはり高い気密性が保たれる。
また、１１１６のガス供給口１９から、適量のヘリウム
等のガスを供給することにより、下段の隔壁室Ｒｔ内に
は当該ガスが充填されるため、マツフル３内および上段
の隔壁室Ｒ２に対して、一種のガスバリア層が形成され
るため、外部空気等のマツフル３内への流入を効果的に
防止することができる。さらに、また、マツフル３内の
充填ガスに対しても、漏れ抑止効果が期待できる。
等のガスを供給することにより、下段の隔壁室Ｒｔ内に
は当該ガスが充填されるため、マツフル３内および上段
の隔壁室Ｒ２に対して、一種のガスバリア層が形成され
るため、外部空気等のマツフル３内への流入を効果的に
防止することができる。さらに、また、マツフル３内の
充填ガスに対しても、漏れ抑止効果が期待できる。
この下段の隔壁室Ｒ２内に充填されたガスは上段の隔壁
室Ｒｔに適宜漏れていくため、この洩れたガスは、当該
隔壁室Ｒ：のガス排気口２０から外部に取り出す。
室Ｒｔに適宜漏れていくため、この洩れたガスは、当該
隔壁室Ｒ：のガス排気口２０から外部に取り出す。
この際、下段の隔壁室Ｒ８内に供給するガス圧をマツフ
ル３内の内圧より小さくし、また、この下段の隔壁室Ｒ
３の内圧より上段の隔壁室Ｒ２の内圧を小さくするよう
に、各内圧間に適当な圧力傾斜を設ければ、理想的なマ
ツフルの内圧コントロールが可能となる。
ル３内の内圧より小さくし、また、この下段の隔壁室Ｒ
３の内圧より上段の隔壁室Ｒ２の内圧を小さくするよう
に、各内圧間に適当な圧力傾斜を設ければ、理想的なマ
ツフルの内圧コントロールが可能となる。
第３図は本発明に係る光ファイバ母材の脱水焼結炉の他
の実施例を示したものである。
の実施例を示したものである。
この場合は、蓋１６の構造を１つの隔壁室Ｒ２有する１
重構造とし、その隔壁室Ｒ１の底壁１６ａに１個のスリ
ーブ１７を挿入、設置させ、また、この隔壁室Ｒ３にガ
ス供給口１９を形成したものであり、上記第１図〜第２
図の脱水焼結炉より少々劣るものの、略同様の作用、効
果を得ることが可能である。
重構造とし、その隔壁室Ｒ１の底壁１６ａに１個のスリ
ーブ１７を挿入、設置させ、また、この隔壁室Ｒ３にガ
ス供給口１９を形成したものであり、上記第１図〜第２
図の脱水焼結炉より少々劣るものの、略同様の作用、効
果を得ることが可能である。
なお、上記各実施例では、蓋１６が隔壁室を有する構造
としたが、本発明は、これに限定されるものではない。
としたが、本発明は、これに限定されるものではない。
〈発明の効果〉
本発明に係る光ファイバ母材の脱水焼結炉によれば、次
のような効果を得ることができる。
のような効果を得ることができる。
（１）光ファイバ母材の保持材が極めて小さい最適の隙
間をもって貫通されるスリーブを用いであるため、極め
て良好な気密性が得られ、高精度でのマツフル内圧コン
トロールができる。
間をもって貫通されるスリーブを用いであるため、極め
て良好な気密性が得られ、高精度でのマツフル内圧コン
トロールができる。
（２）また、予め貫通穴寸法の異なるスリーブを多数用
意しておけば、いろいろな寸法の光ファイバ母材の保持
材に迅速に対応することができる。
意しておけば、いろいろな寸法の光ファイバ母材の保持
材に迅速に対応することができる。
（３）このようなスリーブの高気密性保持機能により、
ガス供給系の使用ガス量を大幅に節約することができる
。
ガス供給系の使用ガス量を大幅に節約することができる
。
（４）蓋を隔壁室を存する構造とし、その中にスリーブ
を設置し、かつガスを充填するようにすれば、一種のガ
スバリア層が形成されるため、より良好なマツフル内の
気密性保持機能が得られると同時に、外部空気等の流入
阻止機能も得られる。
を設置し、かつガスを充填するようにすれば、一種のガ
スバリア層が形成されるため、より良好なマツフル内の
気密性保持機能が得られると同時に、外部空気等の流入
阻止機能も得られる。
（５）さらに、蓋を多重構造（多段構造）として複数の
隔壁室を設け、その各室にスリーブを設置し、また、ガ
ス供給口やガス排気口を適宜組み合わせて設ければ、よ
り一層優れたガスバリア層が形成され、略理想的なマツ
フル内圧コントロールができる。
隔壁室を設け、その各室にスリーブを設置し、また、ガ
ス供給口やガス排気口を適宜組み合わせて設ければ、よ
り一層優れたガスバリア層が形成され、略理想的なマツ
フル内圧コントロールができる。
（６）このような結果として、昨今、光ファイバに要求
されている高い水準の品質を得ることができる。
されている高い水準の品質を得ることができる。
第１図は本発明に係る光ファイバ母材の脱水焼結炉の一
実施例を示した概略縦断面図、第２図は第１図の要部を
示した部分拡大図、第３図は本発明に係る光ファイバ母
材の脱水焼結炉の他の実施例を示した要部の部分拡大図
、第４図は従来の光ファイバ母材の脱水焼結炉の一例を
示した概略縦断面図である。 図中、 １・・・・光ファイバ母材、 ２・・・・保持材、 ３・・・・マツフル、 ４・・・・ガス供給系、 ５・・・・加熱部、 第１図 ６ ・ ・ ６ ｃ ・ ７．１ ９ ・ ・ ０ ・ ・ 、 Ｒ１ 蓋、 ・上蓋部、 ・・・スリーブ、 ガス供給口、 ガス排気口、 ・・・隔壁室、 第２図 第 ３図 第 図
実施例を示した概略縦断面図、第２図は第１図の要部を
示した部分拡大図、第３図は本発明に係る光ファイバ母
材の脱水焼結炉の他の実施例を示した要部の部分拡大図
、第４図は従来の光ファイバ母材の脱水焼結炉の一例を
示した概略縦断面図である。 図中、 １・・・・光ファイバ母材、 ２・・・・保持材、 ３・・・・マツフル、 ４・・・・ガス供給系、 ５・・・・加熱部、 第１図 ６ ・ ・ ６ ｃ ・ ７．１ ９ ・ ・ ０ ・ ・ 、 Ｒ１ 蓋、 ・上蓋部、 ・・・スリーブ、 ガス供給口、 ガス排気口、 ・・・隔壁室、 第２図 第 ３図 第 図
Claims (2)
- （１）保持材により懸架された光ファイバ母材が収容さ
れるマツフルと、該マツフル中に脱水剤を含むガスを供
給するガス供給系と、前記マツフル内の光ファイバ母材
を加熱する加熱部と、前記マツフル上部に取り付けられ
、前記保持材が貫通される蓋とを備えた光ファイバ母材
の脱水焼結炉において、前記蓋に、前記保持材が貫通さ
れるスリーブを着脱自在に取り付けたことを特徴とする
光ファイバ母材の脱水焼結炉。 - （２）前記蓋を２重構造とし、内部に形成された各隔壁
室内に前記スリーブを着脱自在に取り付けると共に、ガ
フ供給口とガス排気口を設けたことを特徴とする請求項
１記載の光ファイバ母材の脱水焼結炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1033454A JP2791380B2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | 光ファイバ母材の脱水焼結炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1033454A JP2791380B2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | 光ファイバ母材の脱水焼結炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02212325A true JPH02212325A (ja) | 1990-08-23 |
| JP2791380B2 JP2791380B2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=12386984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1033454A Expired - Fee Related JP2791380B2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | 光ファイバ母材の脱水焼結炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2791380B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008105904A (ja) * | 2006-10-26 | 2008-05-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法及び製造装置 |
| US7866189B2 (en) * | 2003-12-08 | 2011-01-11 | Fujikura Ltd. | Dehydration-sintering furnace, a manufacturing method of an optical fiber preform utilizing the furnace and an optical fiber preform manufactured by the method |
| JP2016179934A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 信越化学工業株式会社 | 焼結装置および焼結方法 |
| JP2018020924A (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 信越化学工業株式会社 | 焼結装置 |
| CN108585471A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-09-28 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种低水峰光纤预制棒脱水烧结装置及方法 |
| CN112624600A (zh) * | 2021-01-12 | 2021-04-09 | 江苏法尔胜光子有限公司 | 一种光纤预制棒制备用烧结炉抽风罩及抽风压力在线调节方法 |
| CN113105111A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-07-13 | 通鼎互联信息股份有限公司 | 一种低氦预制棒外包烧结装置及其方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6212779A (ja) * | 1985-06-27 | 1987-01-21 | イ−・ア−ル・スクイブ・アンド・サンズ・インコ−ポレイテツド | 血栓崩壊病の治療に有用な５，６−エポキシ−７−オキサビシクロヘプタン置換アミノプロスタグランジン類縁体 |
| JPS62134717A (ja) * | 1985-12-06 | 1987-06-17 | Wacom Co Ltd | 位置検出方法およびその装置 |
-
1989
- 1989-02-13 JP JP1033454A patent/JP2791380B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6212779A (ja) * | 1985-06-27 | 1987-01-21 | イ−・ア−ル・スクイブ・アンド・サンズ・インコ−ポレイテツド | 血栓崩壊病の治療に有用な５，６−エポキシ−７−オキサビシクロヘプタン置換アミノプロスタグランジン類縁体 |
| JPS62134717A (ja) * | 1985-12-06 | 1987-06-17 | Wacom Co Ltd | 位置検出方法およびその装置 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7866189B2 (en) * | 2003-12-08 | 2011-01-11 | Fujikura Ltd. | Dehydration-sintering furnace, a manufacturing method of an optical fiber preform utilizing the furnace and an optical fiber preform manufactured by the method |
| JP2008105904A (ja) * | 2006-10-26 | 2008-05-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法及び製造装置 |
| JP2016179934A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 信越化学工業株式会社 | 焼結装置および焼結方法 |
| JP2018020924A (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 信越化学工業株式会社 | 焼結装置 |
| CN108585471A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-09-28 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种低水峰光纤预制棒脱水烧结装置及方法 |
| CN112624600A (zh) * | 2021-01-12 | 2021-04-09 | 江苏法尔胜光子有限公司 | 一种光纤预制棒制备用烧结炉抽风罩及抽风压力在线调节方法 |
| CN112624600B (zh) * | 2021-01-12 | 2023-06-23 | 江苏法尔胜光子有限公司 | 一种光纤预制棒制备用烧结炉抽风罩及抽风压力在线调节方法 |
| CN113105111A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-07-13 | 通鼎互联信息股份有限公司 | 一种低氦预制棒外包烧结装置及其方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2791380B2 (ja) | 1998-08-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0547560B2 (en) | Process for vitrification of a porous preform for glass optical fibers by heating under reduced pressure | |
| KR101186852B1 (ko) | 기포가 없고 기포 성장이 감소된 벽을 갖는 실리카 유리도가니 | |
| EP0380054B1 (en) | Furnace for heating highly pure quartz preform for optical fiber | |
| KR830002159B1 (ko) | 광도파관 수우트 프리폼 | |
| JP2791380B2 (ja) | 光ファイバ母材の脱水焼結炉 | |
| JP4615085B2 (ja) | 光ファイバ母材吊下げ支持装置 | |
| EP0231022B1 (en) | Apparatus for the production of porous preform of optical fiber | |
| US20020029592A1 (en) | Apparatus for dehydrating and consolidating an optical fiber preform and method of the same | |
| US20070271964A1 (en) | Method and Device for Producing a Hollow Quartz-Glass Cylinder | |
| MXPA02012520A (es) | Absorbente de sonido relleno con fibra de capas multiples y metodo de manufactura del mismo. | |
| KR100511936B1 (ko) | 수정화학기상증착용 광섬유 모재 제조장치 | |
| JP4087514B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPH0340932A (ja) | ガラス微粒子堆積装置 | |
| WO2002055443A3 (en) | Apparatus for silica crucible manufacture | |
| JP2831802B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPH0431237Y2 (ja) | ||
| JPS63159232A (ja) | 光フアイバ母材製造装置 | |
| JPH04106328U (ja) | 光フアイバ母材用脱水焼結炉 | |
| EP0509564B1 (en) | Furnace for production of optical fiber preform | |
| JP4737031B2 (ja) | ガラス母材の製造方法及び製造装置 | |
| JP7397169B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法および加熱炉 | |
| JPH033615B2 (ja) | ||
| JPH0629149B2 (ja) | 光フアイバ用多孔質母材焼結装置 | |
| JPS5849496B2 (ja) | ガラスフアイバ−の紡糸炉のシ−ル方法 | |
| JP2592355B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |