JPH02212361A - ポリシラザン系セラミック前駆体組成物とその熱分解により得られるセラミツクス - Google Patents

ポリシラザン系セラミック前駆体組成物とその熱分解により得られるセラミツクス

Info

Publication number
JPH02212361A
JPH02212361A JP1318722A JP31872289A JPH02212361A JP H02212361 A JPH02212361 A JP H02212361A JP 1318722 A JP1318722 A JP 1318722A JP 31872289 A JP31872289 A JP 31872289A JP H02212361 A JPH02212361 A JP H02212361A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
formula
precursor
composition according
weight
atom
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1318722A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH075839B2 (ja
Inventor
Christian Colombier
クリスチアン・コロンビエ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Arkema France SA
Original Assignee
Atochem SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Atochem SA filed Critical Atochem SA
Publication of JPH02212361A publication Critical patent/JPH02212361A/ja
Publication of JPH075839B2 publication Critical patent/JPH075839B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/589Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained from Si-containing polymer precursors or organosilicon monomers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L83/00Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon only; Compositions of derivatives of such polymers
    • C08L83/16Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon only; Compositions of derivatives of such polymers in which all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Silicon Polymers (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の分野) 本発明はポリシラザン系セラミック前駆体組成物に関す
る。さらに本発明は該組成物の成型および熱分解の結果
得られるセラミック材料に関する。
(発明の開示) 本発明のセラミック前駆体組成物は、式:%式% の単位を複数個含む少なくとも1種の前駆体と式:t−
18i−N (It) の単位を複数個含む少なくとも1種の前駆体[式中、ケ
イ素および窒素原子のとりつる原子価は、飽和もしくは
不飽和の脂肪族炭化水素基または単環もしくは多環のア
リール基、アルキルアリール基もしくはアリールアルキ
ル基と結合し、これらの置換基は同一または責なるもの
であり、式■のケイ素原子もしくは窒素原子および/ま
たは式■の窒素原子のとりつる原子価の少なくとも1個
は水素原子を有することができ、式■のケイ素原子は第
二の水素原子を有することができ、その場合同じ式■の
窒素原子はメチル基を有することができる]からなるこ
とを特徴とする。
ここで1とりうる原子価(available val
ency)”なる表現は前駆体のポリマ一連鎖配列にお
ける式Iまたは■の単位の間の結合を考慮して使用Wす
る。
上記式のケイ素または窒素原子の置換基の特定例として
、とくに、1個から8個の炭素原子を含有する飽和脂肪
族炭化水素基、不飽和基たとえばビニルまたはアリル、
3個から7個の炭素原子を含有する脂環式基、およびフ
ェニル、ベンジル、フェニルエチル、トリル、キシリル
またはナフチル基をあげることができる。
式■のケイ素原子は好ましくは水素原子またはメチル置
換基を有し、式■のケイ素原子の第二の置換基はメチル
、エチル、フェニル、または、さらに好ましくは、ビニ
ル置換基である。式■のケイ素原子はメチル基を有する
のが好ましい。
本発明の前駆体組成物は式Iの前駆体を10から90重
母%と式■の前駆体を90から10重Φ%含み得る。該
組成物は好ましくは式■の前駆体を10から70重量%
と式■の前駆体を90から30重M%含む。
これらの組成物のなかで、さらに式1の前駆体を10か
ら55重量%含むものを選択するのが好都合である。
式1の前駆体は、式: S + (Y ) a           (III
 )のハロシランの少なくとも1種と式: のヒドラジンの少なくとも1種[式中、Yはハロゲン、
とくに塩素原子、aは1〜4の数で、好ましくは約2で
あり、ケイ素および窒素原子の自由原子価(free 
valency or valencies)は、不飽
和脂肪族炭化水素基または式Iの記述で挙げた基に結合
し、窒素原子のとりうる原子価の少なくとも2個は水素
原子と結合する]との反応により調製できる。
式■の前駆体は、式: 5i(H)   (Y)6       (V)のハイ
ドロ八0シラン[式中、記号Yは上記と同じ、b=1.
2もしくは3、C−4−b1ケイ素および任意には窒素
の自由原子価は、上記炭化水素基の1個または水素原子
(ハイドロハロシランの場合)と結合する]と式■にお
いてC==2の場合アミン−NH2またはアンモニアと
の反応により調製できる。
式Iの前駆体は、別法として、例えば上記方法により得
られた式■の前駆体と式IVのヒドラジンとの反応によ
り調製することができる。
式(III)または([V )のへOシランの特定例と
して次式: %式% に対応する製品をあげることができる。
aについて与えられ°る好ましい意味から、1種以上の
ジハロシランまたは1種以上のジハロシランとモノもし
くはトリへロシランおよび/もしくはS+CX4とから
なる混合物を使用するのが本発用において好都合である
。ジハロシランとの混合物に対してトリへロシランがも
たらす塩素原子の百分率は10%を越えないのが好まし
い。モノハロシランまたは5tc14の場合、この百分
率は30%を越えないのが好ましい。
式(IV)ヒドラジンの特定例には、とくに、非置換の
ヒドラジン(N2H4)、メチルヒドラジン、エチルヒ
ドラジン、フェニルヒドラジン、シクロへキシルヒドラ
ジン、ジメチルヒドラジン、ジエチルヒドラジン、ジフ
ェニルヒドラジン、ジベンジルヒドラジン、α−ナフチ
ルヒドラジン、ジイソプロピルヒドラジン、ジトリルヒ
ドラジン、ジイソブチルヒドラジン、(2,3−ジメチ
ルフェニル)ヒドラジンおよびジ(α−ナフチル)ヒド
ラジンがあげられる。
上記第一の方法により式Iの前駆体を調製するには、ヒ
ドラジン■は、ケイ素原子のモル数に付加されたハロゲ
ンY原子のモル数を越えるヒドラジンのモル数を使用す
るのが好都合である。この過剰分は、例えば20%まで
とすることができる。
上記反応は、第三級アミン、たとえばトリエチルアミン
、トリメチルアミン、トリフェニルアミンまたはピリジ
ンの存在下に行うのが好都合である。
このアミンの主な作用は、このアミンのハロゲン化水素
付加物の形成によりヒドラジンハロゲン化水素の生成を
制限することである。
一般則として、このアミンの使用量は、ハロゲンY原子
当り、少なくともアミン1分子である。
この比率は過剰、例えば20%過剰が好ましい。アミン
を使用する場合、ヒドラジンのモル数はケイ素原子のみ
のモル数より大きくすることができる。
上記の限度内の過剰のハロシランを使用する場合、ハロ
シランとヒドラジンとの反応後、過剰の反応剤の導入が
好都合であり、これにより最終製品のハロゲン含有Mを
制限することができ、一般則として、例えばこの反応剤
にアミンまたはアンモニアをあげることができる。
この反応は、不活性雰囲気例えば窒素気流下に行うのが
好都合である。
この温度は、通常−10から100℃の範囲である。
上記反応剤(ハロシランおよびヒドラジン)は単独で使
用してもよいし、適切な場合には第三級アミンを添加す
ることができる。好ましくは最終ポリシラザンに対する
溶剤を使用することができ、これは任意にハロゲン化し
た脂肪族もしくは芳香族炭化水素例えばトルエン、メチ
レンクロリド、ベンゼン、キシレン、ヘキサン、または
エーテル例えばイソプロピルエーテルもしくはジエチル
エーテルからとくに選択することができる。
反応は、大気圧下、加圧下、または減圧下において行う
ことができる。大気圧で操作を行うのが好ましい。
反応時間は数十分から数時間とし得るが、この反応の最
後において、ハロゲン化水素を例えば減圧下または窒素
圧下濾過により除去し、使用した溶媒および過剰のヒド
ラジンまたは第三級アミンを例えば減圧不蒸発により除
去する。このようにして回収したポリシラザンの形状は
、硬質もしくは樹脂状固体または多少粘性を有する油状
である。
式■の前駆体をFA製するには、アンモニアまたはアミ
ンは、アンモニアまたはアミンのモル数がケイ素原子の
モル数に付加されたハロゲンY原子のモル数を越えるよ
うに使用するのが好都合である。この過剰分は20%ま
でであってもよい。アンモニアは、例えば窒素により希
釈して使用することができる。反応は、−20℃から 
100℃の温度で、または100℃未満の温度の場合は
任意の溶剤の温度で、大気圧下に行うことができる。こ
れはさらに減圧下でも加圧下でも行うことができる。
反応は有機媒体中で行うのが好都合である。特に挙げら
れるこの溶媒の例は、任意にハロゲン化された炭化水素
例えばメチレンクロリド、四塩化炭素、トルエンおよび
ベンゼンである。
この反応中生成するハロゲン化水素酸はハロゲン化アン
モニウムの形で沈降し、これは戸別することができる。
ポリシラザン用溶媒は蒸発除去される。
反応を数十分から数時間継続し、通常反応の最後におい
て、式■の単位を含有する1種以上の環状または線状の
ポリシラザンを回収することができる。
式■の前駆体の第二の調製方法の実施には、例えば上記
の方法により調製された式■の前駆体とヒドラジン■と
を反応させることができる。
一般に、充分量のヒドラジンを使用すると式■の−NH
−基を式■の−N−N−基に置換できる。
を 式■のヒドラジンは無水の形で使用するのが好都合であ
り、反応温度は、例えば大気圧下20から100℃の範
囲で変えることができる。反応はアンモニアの放出をと
もない、この放出の停止が反応の終結であり、その間の
反応時間は数十分から数時間である。反応混合物に有機
溶媒を導入するのが好都合であり、この溶媒は、例えば
上記の溶媒から選択することができる。過剰の未反応ヒ
ドラジンを含有する高密度相の分離および溶媒の蒸発除
去後、式■の単位を複数個含有するポリヒドロシラザン
を粘稠液体の形で採取できる。
本発明の組成物は、単に式1および■の前駆体を好まし
くは不活性雰囲気下例えば窒素下で混合することによっ
て調製することができる。この混合は室温で実施しても
よいが、より一般的にはOから100℃の範囲で実施す
ることができる。
次に本組成物は、室温でまたは300℃までの温度に加
熱した後成形できる。
該組成物の溶液を用いて基板例えば金属(金属ケイ素、
鋼、モリブデン、高ニツケル含有合金)またはセラミッ
クス上に塗膜を形成することができ、この塗膜層の厚さ
は0.01から100−とすることきができる。塗膜が
添加剤例えばシリコンカーバイドまたはニトリド粉末を
含有する場合、この厚さは数層にまでにすることができ
る。
節することができ、前者を使用すると粘度を増加でき、
後者を使用すると粘度を低下できる。さら′にこのよう
な前駆体により熱架橋可能製品を得ることができ、いく
つかの用途、例えば紡糸用には有用である。
形成した組成物は次に釣800から1500℃の範囲の
温度で加熱することによりSi、Nおよび任意にはOお
よび/またはCを含有するセラミックに熱分解できる。
熱分解は不活性雰囲気下、すなわち窒素もしくはアルゴ
ン下、または所望ならばアンモニア雰囲気で行いセラミ
ック中の炭素含有量を低下させあるいは除去することも
できる。
本発明の前駆体組成物は、熱分解後、2種の前駆体混合
物の算術平均より高く、場合によっては式1および■の
前駆体に別々に観察した収率より高いセラミック収率で
セラミックスを与える。
実施例において、セラミック収率値(得られたセラミッ
ク重量/使用した前駆体1lx100)は窒素パージ下
密閉しない熱重量分析により測定した。温度上界は10
0℃/時間で行い、その後最高温度1000℃で1時間
保持した。
ルエン800al!およびCH3S + HCl2 1
.2モルを仕込んだ。反応器を2℃に冷却し2.33モ
ルのN で希釈した4、66モルのNH3を一定の速度
で、攪拌しつつ6時間にわたり導入した。最後の1時間
は反応湿度を20℃に上昇させた。15℃で15時間ゆ
っくり攪拌を続けた。そして窒素上塩化アンモニウムを
戸別し2回300Idのトルエンで洗浄した。
次にロータリーエバポレーターを用い真空下60℃でア
ンモノリセード溶液から溶媒を蒸発した。約5jmHg
、60℃で172時間蒸発残渣を放置して蒸発を終了し
た。56gのアンモノリセードを採取し、これは下記単
位: 温度計、攪拌系およびコンデンサー(15℃)を備えた
ジャケット付反応器で反応させた。
の生成に基いて収率79.1%に相当した。このアン反
応器を窒素パージした侵、15℃で反応器にトモノリセ
ードは25℃で約0.4ボイズの粘度を有していた。
ラザン(、前駆体1B)約83gを採取した。これは上
記Aで述べた装置を用いた。室温にて反応器にトルエン
600m1!、メチルビニルレクロロシランCH5iC
H=CHC120,8モル、メチルトリクロロシラン0
.2モルおよびトリエチルアミン2.64モルを仕込ん
だ。攪拌しながら30分間にわたりヒドラジン1.2モ
ルを加え、反応器温度は15℃に保持した。攪拌を続け
ながら反応器を70℃に加熱した。6時間後アンモニア
0.5モルを導入し、さらに10℃で攪拌した。次に反
応器を15℃に冷却し、ゆっくり攪拌しながら15時間
放置した。
沈澱を窒素上戸別し、2回400〆のトルエンで洗浄し
た。次にロータリーエバボレーターで真空下60℃で溶
液を蒸発させた。約5#IH!II、 60℃で172
時間時間式漬を放置して蒸発を終了した。ポリシ製品1
00 g当りN−N結合約0.64モルを含有した。
C,rp’i駆休1A体よび1Bの混合物の調製と熱分
解 窒素上各種比率で前駆体1Aおよび1Bを混合した。次
に窒素下1000℃でのセラミック収率を測定した。結
果を下表に示した。
*比較例 のrA製 ジメチルジクロロシラン1モル、トリエチルアミン3モ
ルおよびヒドラジン 1.4モルを使用し、反応のR後
にアンモニアを導入しなかったことを除いて実施例1の
8のように操作した。混合物を6時間にわたり60℃に
加熱した。
溶媒を蒸発後、液状ポリシラザン73.59を採取し、
これを前駆体2Aと呼ぶ。
B、前駆体1ΔおJ:び2△の混合物の調製と包茎 窒素上前駆体1△および2Aを各秤比率で混合した。次
に窒素下1000℃でのヒラミック収率を測定した。そ
の結果を下表に示J0 *比較例 2つの前駆体1Aおよび2Aの組み合せも、2つの前駆
体の混合物の算術平均より高いセラミック収率を与える
ことがわかった。
実施例11 実施例1Aに述べた装置を用いた。室温にて反応器にト
ルエン600ate 、ヒドロメチルジクロロシラン(
CHS i HCl2)1モルおよびトリエチルアミン
2,4モルを仕込んだ。反応器ジャケットに15℃の水
を通した。1時間にわたり無水ヒドラジン1.2モルを
加え、反応器を攪拌した。16.5℃から23℃への温
度の上昇がみられた。ヒドラジン導入後、温度を70℃
に上げ、攪拌を6時間続けた。次に反応器温度を15℃
に戻し、ざらにゆつくり攪拌しながら15時間放置した
。窒素上沈澱をP別し3回トルエン300dにて洗浄し
た。
このようにして、濃度な4.6重量%のポリシラザンの
トルエン溶液を得た。前述の実施例のようにロータリー
エバポレーターにより該溶液の1009から溶媒を蒸発
し、不融不溶の架橋ポリシラザン固体4.6gを得た。
このポリシラザンはセラミック収率72%を与えた。
B、 躯体1Aおよび11Aの混合物の調製と熱分解 前駆体1Aと前駆体11Aのトルエン溶液を各種比率で
混合した。次に上記実施例に述べたようにロータリーエ
バポレーターを用い溶媒を蒸発した。次に粘度と窒素下
1000℃におけるセラミック収率を測定した。その結
果を下表に示した。
ここで注目すべきは、これらの混合物は室温での粘度が
連続的に高くなり、温度が高いほど、またポリシラザン
11Aの割合が高いほど、この変化は比例して早いこと
である。事実、1A25%と11A75%の混合物の7
0℃で粘度が30分間で1000 pからaooo p
に変化したことがI1g認できた。
このように熱架橋して不融になる高粘度ポリシラザン組
成物を得られることが示された。この性質はセラミック
411fflの製造に好都合である。というのは、紡糸
に前駆体の粘度が高いことが必要であり、さらに繊維の
形を固定し、熱分解初期にそれが融解しないようにする
ためにはポリマーの架橋は必須であるからである。
実施例12 結果を数表に示した。
の合成 とドロメチルジクロロシラン0.8モルとジメチルジク
ロロシラン0.2モルをヒドロメチルジクロロシラン1
モルの代りに用いたことを除いて実施例11Aのように
操作した。
B、前駆体1Aと12Aの混合物の:gl製と熱 解前
躯体1Aと前駆体12Aの溶液を各種比率で混合した。
次に上記実施例で述べたようにロータリーエバポレータ
ーを用いて溶媒を蒸発した。次に粘度および窒素下10
00℃でのセラミック収率を測定した。
硝駆 アFグA

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)式: ▲数式、化学式、表等があります▼(I) の単位を複数個含む少なくとも1種の前駆体と式:▲数
    式、化学式、表等があります▼(II) の単位を複数個含む少なくとも1種の前駆体[式中、ケ
    イ素および窒素原子のとりうる原子価は、飽和もしくは
    不飽和の脂肪族炭化水素基または単環もしくは多環のア
    リール基、アルキルアリール基もしくはアリールアルキ
    ル基と結合し、これらの置換基は同一または異なるもの
    であり、式Iのケイ素原子もしくは窒素原子および/ま
    たは式IIの窒素原子のとりうる原子価の少なくとも1個
    は水素原子を有することができ、式IIのケイ素原子は第
    二の水素原子を有することができ、その場合同じ式IIの
    窒素原子はメチル基を有することができる]からなるこ
    とを特徴とするセラミック前駆体組成物。 (2) 式IおよびIIにおけるケイ素原子の置換基が、
    1個から8個の炭素原子を含有する飽和脂肪族炭化水素
    基、不飽和基たとえばビニルもしくはアリル、3個から
    7個の炭素原子を含有する脂環式基、およびフェニル、
    ベンジル、フェニルエチル、トリル、キシリルまたはナ
    フチル基から選択されることを特徴とする請求項1に記
    載の組成物。 (3) 式Iのケイ素原子が水素原子またはメチル置換
    基を有し、さらにメチル、エチル、フェニルまたはビニ
    ル基から選択される第二の置換基を有することを特徴と
    する請求項1または2に記載の組成物。 (A)式IIのケイ素原子がメチル基を有することを特徴
    とする請求項1から3のいずれか1項に記載の組成物。 (5)式Iの前駆体を10から90重量%と式IIの前駆
    体を90から10重量%含むことを特徴とする請求項1
    から4のいずれか1項に記載の組成物。 (6)式Iの前駆体を10から70重量%と式IIの前駆
    体を90から30重量%含むことを特徴とする請求項1
    から4のいずれか1項に記載の組成物。 (7)式Iの前駆体を10から55重量%と式IIの前駆
    体を45から90重量%含むことを特徴とする請求項1
    から4のいずれか1項に記載の組成物。 (8)不活性雰囲気下0から100℃の温度で式Iおよ
    び式IIの前駆体を混合することからなることを特徴とす
    る請求項1から7のいずれか1項に記載の組成物の製造
    方法。 (9)フィラメント、繊維もしくはフィルムまたは被覆
    の形状にある請求項1から7のいずれか1項に記載の組
    成物。 (10)約800から1500℃の温度での請求項1か
    ら7または9のいずれか1項に記載の組成物の熱分解に
    より得られるセラミック材料。
JP1318722A 1988-12-07 1989-12-07 ポリシラザン系セラミック前駆体組成物とその熱分解により得られるセラミツクス Expired - Lifetime JPH075839B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8816065A FR2639937B1 (fr) 1988-12-07 1988-12-07 Compositions de precurseurs de ceramiques a base de polysilazanes et ceramiques obtenues par pyrolyse desdites compositions
FR8816065 1988-12-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02212361A true JPH02212361A (ja) 1990-08-23
JPH075839B2 JPH075839B2 (ja) 1995-01-25

Family

ID=9372684

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1318722A Expired - Lifetime JPH075839B2 (ja) 1988-12-07 1989-12-07 ポリシラザン系セラミック前駆体組成物とその熱分解により得られるセラミツクス

Country Status (13)

Country Link
US (1) US5066734A (ja)
EP (1) EP0373059B1 (ja)
JP (1) JPH075839B2 (ja)
CN (1) CN1043927A (ja)
AT (1) ATE90321T1 (ja)
AU (1) AU623951B2 (ja)
CA (1) CA2004758A1 (ja)
DE (1) DE68907030T2 (ja)
DK (1) DK613789A (ja)
ES (1) ES2055136T3 (ja)
FR (1) FR2639937B1 (ja)
IE (1) IE893689L (ja)
NO (1) NO894858L (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5194338A (en) * 1988-03-04 1993-03-16 Ethyl Corporation Preceramic composition containing silicon based powder
FR2635528A1 (fr) * 1988-08-17 1990-02-23 Atochem Procede de preparation de polyhydrosilazanes derives d'hydrazine et l'utilisation desdits silazanes comme precurseurs de ceramique
FR2693204A1 (fr) * 1992-08-27 1994-01-07 Atochem Elf Sa Procédé de préparation en milieu solvant de polysilylhydrazines.
US5459114A (en) * 1992-11-26 1995-10-17 Tonen Corporation Method for producing ceramic products
US7122222B2 (en) * 2003-01-23 2006-10-17 Air Products And Chemicals, Inc. Precursors for depositing silicon containing films and processes thereof
DE102006047070A1 (de) * 2006-09-26 2008-04-03 Siemens Ag Verfahren zum stoffschlüssigen Fügen von zwei metallischen Bauteilen

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4969717A (ja) * 1972-09-05 1974-07-05
JPS5546995A (en) * 1978-09-28 1980-04-02 Kyoto Ceramic Pen point in ceramics

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2218960A1 (de) * 1972-04-19 1973-11-08 Bayer Ag Formkoerper aus mogenen mischungen von siliciumcarbid und siliciumnitrid und verfahren zu ihrer erstellung
US4482669A (en) * 1984-01-19 1984-11-13 Massachusetts Institute Of Technology Preceramic organosilazane polymers
FR2579602B1 (fr) * 1985-03-29 1987-06-05 Rhone Poulenc Rech Composition polysilazane pouvant reticuler en presence d'un metal ou d'un compose metallique catalysant la reaction d'hydrosilylation
US4650837A (en) * 1985-09-30 1987-03-17 Massachusetts Institute Of Technology Method for converting Si-H containing polycarbosilanes to new and useful preceramic polymers and ceramic materials
US4720532A (en) * 1986-08-22 1988-01-19 Massachusetts Institute Of Technology Organopolysilazane precursors to silicon nitride-rich mixed SiC/Si3 N4

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4969717A (ja) * 1972-09-05 1974-07-05
JPS5546995A (en) * 1978-09-28 1980-04-02 Kyoto Ceramic Pen point in ceramics

Also Published As

Publication number Publication date
IE893689L (en) 1990-06-07
CA2004758A1 (fr) 1990-06-07
ATE90321T1 (de) 1993-06-15
DE68907030T2 (de) 1993-11-18
US5066734A (en) 1991-11-19
EP0373059A1 (fr) 1990-06-13
AU4589589A (en) 1990-06-14
DK613789D0 (da) 1989-12-06
ES2055136T3 (es) 1994-08-16
AU623951B2 (en) 1992-05-28
NO894858D0 (no) 1989-12-05
JPH075839B2 (ja) 1995-01-25
DK613789A (da) 1990-06-08
DE68907030D1 (de) 1993-07-15
EP0373059B1 (fr) 1993-06-09
FR2639937B1 (fr) 1991-03-22
CN1043927A (zh) 1990-07-18
NO894858L (no) 1990-06-08
FR2639937A1 (fr) 1990-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4840778A (en) Inorganic polysilazane and method of producing the same
JP2613787B2 (ja) 無機シラザン高重合体、その製造方法及びその用途
JP2700233B2 (ja) 共重合シラザンおよびその製造法
JPS60226890A (ja) プレセラミツク有機シラザン重合体
JPS6381122A (ja) 新規ポリチタノシラザン及びその製造方法
US5010158A (en) Process for preparing polysiloxazane compositions and the products formed thereby
JP2651464B2 (ja) 改質ポリシラザン、その製造方法及びその用途
KR100909215B1 (ko) 실리콘-수소 결합의 암모니아 치환을 감소시킨 폴리실라잔 및 폴리실라잔 용액의 제조방법
JPH01129033A (ja) 窒化ほう素を基にしたセラミック製品及び物品の製造に特に使用できるほう素と窒素を基にした重合体並びにその製造方法
US4730026A (en) Cross-linked organosilazane polymers
JPH02212361A (ja) ポリシラザン系セラミック前駆体組成物とその熱分解により得られるセラミツクス
JPH01203476A (ja) コーティング用組成物及びコーティング方法
JPS6239612B2 (ja)
JPH01129029A (ja) 重合体ヒドリドシラザン類およびその製造方法並びにその用途
JPH01129030A (ja) 重合体ヒドリドシラザン類およびその製造方法
US6242626B1 (en) Boron-containing carbosilanes, boron-containing oligo or polycarbosilazanes and silicon borocarbonitride ceramics
US5196556A (en) Polysubstituted chlorine-containing silazane polymers, process for their preparation, ceramic materials containing silicon nitride which can be manufactured therefrom, and their manufacture
US4946809A (en) Precursor for A1NBN ceramic and method of use
US5032663A (en) Chlorine-containing silazane polymers, process for their preparation, ceramic materials containing silicon nitride which can be prepared from them, and their preparation
JP2920159B2 (ja) コーティング用組成物
JPH0251530A (ja) ポリシラザン、その製造方法、そのセラミック前駆体としての使用及び前記セラミックス
US5187252A (en) Silazane polymers containing sicl groups, process for their preparation, silicon nitride-containing ceramic materials which can be prepared from them, and their preparation
US5182411A (en) Polymeric chlorosilazanes, process for their preparation, ceramic materials containing silicon nitride which can be manufactured therefrom, and their manufacture
US5260397A (en) Thermoset polymeric precursor for aluminum nitride
JPH03170533A (ja) ポリシラザン及びその製法