JPH0221245A - 網状物の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は網状物の検査装置に関し、更に詳しくはレーザ
光を用いたフライングスポット方式の表面検査装置を改
良した網状物の検査装置に関するものである。

〔従来の技術］ 従来のフライングスポット方式の表面検査装置としては
、例えば特開昭６０−２０９１５０号公報に公開された
ものがある。このような表面検査装置を示した第４図に
おいて、レーザ発振器を内蔵したスキャナｌＯは、レー
ザ光１１を右から左に走査しながら照射する。この走査
によりレーザ光１１は被検査物１４上に走査線１４ａを
描く。

−回の走査の最初のレーザ光１１は光検出器１２によっ
て受光され、光電変換される。受光器１３は矢印Ｘ方向
に移送される被検査物１４の背後に配設され、被検査物
１４を透過してきたレーザ光１１を受光して光電変換す
る。

フィルタ回路１６は受光器１３からの光電信号のうち特
定の周波数範囲のものだけを通過させ欠陥信号を強調す
る。二値化回路１７は予め設定されたしきい値電圧を越
える入力信号についてのみ「１」を与え、その他の入力
信号に対しては「０」を与えてディジタル化する。検査
幅設定回路１８は前記光検出器１２からの信号により、
レーザ光１１の走査のうち、最初の部分と最後の部分を
除外した有効検査範囲を定め、有効検査範囲にある間は
「１」を出力し、その他の期間は「Ｏ」を出力している
。ＡＮＤ回路１９は二値化回路１７及び検査幅設定回路
１８の出力信号がともにｒｌ」の期間のみ欠陥検出信号
（「１」に相当する）を出力する。

第５図は上記の各回路からの出力波形を表している。同
図（Ａ）は受光器１３からの出力を示し、被検査物に欠
陥部がある場合には図示のような異常信号Ｓが現れる。

フィルタ回路１６は高周波成分のみを通過させるため、
受光器出力の直流分はカットされ、（Ｂ）のように受光
器出力が急激に変化した立上がり部分、立下がり部分及
び異常信号部分だけを抽出し、これをパルス信号として
出力する。このパルス信号は、一定レベルのしきい値が
与えられた二値化回路１７で二値化され、同図（Ｃ）の
二値化出力が得られる。

光検出器１２からの出力信号は、第５図（Ｄ）に示した
ように、レーザ光１１が被検査物１４に照射される直前
にパルス状のスタート信号を発生する。検査幅設定回路
１８は時計機能を有しており、開始パルスの供給があっ
た時点から時間ｋを経過するとハイレベル（「Ｉ」に相
当する）となり、これは開始パルス供給時から時間に２
を経過するまで継続される。時間に２を経過すると出力
信号はローレベル（「０」に相当する）となる。

この動作は周期的に継続される。

したがって、ＡＮＤ回路１９は有効検査範囲において欠
陥の存在を示すノイズについてのみ正しく欠陥検出信号
（出力信号「１」に相当する）を出力することができる
。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら上記のような表面検査装置では、被検査物
１４が平面状の紙やフィルム等である場合には問題はな
いが、金網、ネット、目のあらい不織布等の網状物には
使えない。

例えば第３図に示したような合成樹脂ネット２１にでき
る穴である“抜け”２２や、合成樹脂がよじれて接着し
あった部分である゛°カタマリ゛２３を検出する場合に
おけるレーザ光１１の走査線２１ａが図示の位置にある
ときの処理回路各部の波形を示した第６図において、受
光器１３からの７出力信号を示した（Ａ）は“カタマリ
”欠陥に対応した凹部と、“°抜け”欠陥に対応した台
形部とを有している。その他の部分は正常な網目によっ
て生じる周期的な散乱、透過に対応した減衰、伸長を繰
り返す周期部分である。フィルタ回路１７の出力信号を
示した（Ｂ）において、しきい値は周期部分を出力しな
いために高く設定され、前記四部及び台形部は周波数が
低すぎるため消失している。したがって、これに基づく
欠陥検出信号を示した（Ｆ）において、“カタマリ”欠
陥、°“抜け”欠陥の存在を示す信号は含有されていな
い。

これは上記のような方法では°“カタマリ゛°欠陥や“
抜け”欠陥が検出不可能であることを示している。

〔発明の目的〕

本発明は上記のような問題点を解決するためになされた
もので、網状物に存在する゛カタマリ゛欠陥や″抜け”
欠陥を検出できる網状物の検査装置を提供することを目
的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成するために、受光手段による光
電信号が所定レベルを越えたときには異常信号を、それ
以下のときには正常信号を出力する二値化手段と、異常
信号が所定の幅以上に継続して発生したときには欠陥部
の存在を報知する判別手段とを設けるようにして網状物
の検査装置を構成しである。

また、二値化手段の出力信号を反転する反転手段を設け
てこの反転手段から出力される異常信号が所定の幅以上
に継続したときには欠陥部の存在を報知する構成として
もよい。

〔作用〕

網状物の透過したレーザ光を受光するようにした場合の
二値化回路において、しきい値は網目に対応した大きな
振幅のノイズが十分に引っ掛かるレベルに設定する。こ
れにより二値化回路からは通常は周期的な多数の出力信
号が出力されるようにしている。そして、例えば“抜け
″欠陥が存在する場合には出力信号が設定値以上に継続
されるから、これを検出して欠陥検出信号を出すことが
できる。

また反転手段を設けた場合には二値化手段の出力信号が
正常信号→異常信号、異常信号→正常信号と反転して判
別手段に供給されるから、判別手段が異常信号の継続が
所定幅以上に達したことを検知することにより、“カタ
マリ°゛欠陥を検出することもできる。

以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。

〔実施例〕

本発明に係る網状物の検査装置の概略を示した第１図に
おいて、スキャ”す３０からはレーザ光３１が上下方向
に移送される網状物３２に対して右から左に走査しなが
ら照射される。これによりし−ザ光３１の先端は網状物
３２上に走査線３２ａを描く。−回の走査が開始される
所定角度で照射されるレーザ光３１を受光する位置に配
設された光検出器３３は光電変換を行う。網状物３２の
後方には受光器３４が配設され、レーザ光３１を受光し
て光電変換を行う。

受光器３４の出力信号はフィルタ回路３６を介して二値
化回路３７に供給される。二値化回路３７でしきい値を
越えたものは「１」を、それ以下のものは「０」をそれ
ぞれ対応付けされる。ここまでは前述した従来例と同様
なので詳細は省略する。

二値化回路３７の出力信号はＮＯＴ回路３８において反
転される。光検出器３３の出力信号は検査幅設定回路３
９に供給される。

ＡＮＤ回路４１は検査幅設定回路３９及びＮ。

Ｔ回路３８からの出力信号ともに「１」であるときのみ
欠陥候補信号（出力信号「１」に相当する）を出力する
。

基準クロック発生回路４２はハイレベルにおいて「１」
となる周期的なパルス信号である基準パルスを出力する
。ＡＮＤ回路４３は基準パルス。

欠陥候補信号及びコンパレータ４４からの出力を受け、
入力が全て「１」のときには「１」を出力し、その他の
場合には「０」を出力する。カウンタ４６は欠陥候補信
号が「１」のときにＡＮＤ回路４３を介して供給される
基準パルスの数をカランＩ−する。基準パルスの供給が
所定期間中断されるとカウント数は０にリセットされ、
再度基準パルスの供給があるとＯからカウントを開始す
る。

コンパレータ４４はこのカウント数を予めデジタルスイ
ッチ４７から設定された比較値と比較する。

カウント数が比較値より小さいときにはコンパレータ４
４はＡＮＤ回路４３に信号「１」を供給し、カウント数
が比較値に達したときにはＡＮＤ回路４３へは信号「０
」を供給するとともに欠陥検出信号を出力する。基準ク
ロック発生回路４２．ＡＮＤ回路４３．カウンタ４６．
コンパレータ４４及びデジタルスイッチ４７から幅弁別
回路４８が構成されている。

以下、上記のような構成からなる本実施例の作用につい
て説明する。

第２図は上記の各回路からの出力波形を表している。同
図（Ａ）は受光器３４からの出力を示している。凹部を
形成した異常信号Ａは“′カタマリ゛′欠陥の存在を示
し、台形状の凸部を形成した異常信号Ｂは°“抜け″°
大欠陥存在を示すものである。フィルタ回路３６は高周
波成分のみを通過させるため異常信号Ａ及びＢはカット
され、（Ｂ）のように正常信号のみを抽出する。二値化
回路３７では、所定のしきい値を越える信号には「１」
を対応付けし、その他の部分には「０」を対応付けて（
Ｃ，）のような出力信号を出す。この出力信号はＮＯＴ
回路３８に供給される。ＮＯＴ回路３８では入力信号「
１」→出力信号「０」、入力信号「０」→出力信号「１
」と反転して（Ｃ２）に示す出力を出す。

検査幅設定回路３９からの出力信号は光検出器３３から
の光電信号の供給時から所定期間経過後に立上がり、そ
の後所定期間経過後に立下がって（Ｅ）に示す波形とな
る。この出力信号も二値化済みで、立上がり後のハイレ
ベル部分は「１」となり、立上がり前及び立下がり後の
ローレベル部分は「０」である。この出力信号はレーザ
光３１の走査に応じて周期的に発生する。

ＡＮＤ回路４１の出力信号（欠陥候補信号という）は、
検査幅設定回路３９とＮＯＴ回路３８の出力がともに「
１」のときのみ「１」となって（Ｆ）に示すようになる
。

「１」の欠陥候補信号は異常信号Ａ又はＢの発生してい
る期間継続される。この期間がカウンタ４６による基準
パルスのカウント数が比較値ｎ（デジタルスイッチ４７
に予め設定しておく）に到達する時点まで継続されるこ
とにより、コンパレーク４４が（Ｇ）に示すように欠陥
検出信号を発する。これにより゛カタマリ°”欠陥及び
“抜け“欠陥の検出が可能となる。

なお、幅弁別回路４８は必ず必要であるが、第１図に破
線で囲んだものと同等な機能を果たすものであれば構成
の限定はない。またフィルタ回路を設けなくても同じ原
理で使用できる。

（発明の効果〕 以上のように、本発明では受光手段による光電信号が所
定レベルを越えたときには異常信号を、それ以下のとき
には正常信号を出力する二値化手段と、異常信号が所定
の幅以上に継続して発生したときには欠陥部の存在を報
知する判別手段とを設けたから、゛抜け″欠陥の存在を
検出することができる。

また、二値化手段の出力信号を反転する反転手段と、こ
の反転手段から出力される異常信号が所定の幅以上に継
続したときには欠陥部の存在を報知する判別手段とを設
けた場合には、二値化手段から出る正常信号を判別手段
では異常信号として検出できるから、“カタマリ′°欠
陥の存在を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る網状物の検査装置の概略を示した
説明図である。 第２図は第１図の実施例の処理回路の各部における波形
を示した作用説明図である。 第３図は検査対象となる網状物に存在する“カタマリ′
″欠陥及びパ抜け″′大欠陥示した概略図である。 第４図は従来の表面検査装置の概略を示した説明図であ
る。 第５図は第４図に示した従来例の処理回路の各部におけ
る波形を示した作用説明図である。 第６図は第４図の表面検査装置を用いて網状物を検査し
たときの各部における波形を示した作用説明図である。 ３９　・ ４１゜ ４２　・ ４４　・ ４８　・ 検査幅設定回路 ３・・ＡＮＤ回路 基準クロック発生回路 コンパレータ 幅弁別回路。 ３０　・ ３２　・ ２ａ ３３　・ ３４　・ ３６　・ ３７　・ ３８　・ ・スキャナ ・網状物 ・・走査線 ・光検出器 ・受光器 ・フィルタ回路 ・二値化回路 ・ＮＯＴ回路 褒 や− ヘ 第２図 ｎハ２ルス ｎｔＸ′（レス

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）網状物に対しレーザ光を照射しながらその幅方向
   に走査し、網状物を透過したレーザ光を受光手段によっ
   て受光することにより網状物の検査を行う装置において
   、 前記受光手段による光電信号が所定レベルを越えたとき
   には異常信号を、それ以下のときには正常信号を出力す
   る二値化手段と、異常信号が所定の幅以上に継続して発
   生したときには欠陥部の存在を報知する判別手段とを設
   けたことを特徴とする網状物の検査装置。
2. （２）前記二値化手段の出力信号を反転する反転手段を
   設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の網
   状物の検査装置。