JPH02216477A - コンタクト検査方法及びプロービング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、コンタクト検査方法に関する。

（従来の技術） プリント基板あるいは液晶デイスプレィ（ＬＣＤ）基板
の電気的特性検査を行う場合には、この基板上の電極パ
ッドにプローブ針またはフレシキブル印刷回路（ＦＰＣ
）の電極をコンタクトさせて実施している。

ここで、ＬＣＤを例に挙げれば、このＬＣＤは液晶駆動
素子であるＴＰＴをマトリックス状に多数配置し、その
各列毎にＴＰＴのソースを横方向に配線した共通のソー
スライン（画面のソースラインに対応する）に接続し、
このラインを基板の横方向の端部に設けたソースリード
電極に接続している。一方、各行毎にＴＰＴのゲートを
縦方向に配線した共通のゲートライン（画面の信号ライ
ンに対応する）に接続し、このラインを基板の縦方向の
端部に設けたゲートリード電極に接続している。そして
、上記ＬＣＤの電気的特性検査を実施する場合には、基
板の横方向、縦方向の両端部に設けられた前記ソースリ
ード電極及びゲートリード電極に、プローブ針あるいは
ＦＰＣをコンタクトさせることで実施している。

この検査は、上記各電極の１つより通電し、他の電極を
介して出力される電流をモニターすることによって行わ
れ、所定のモニター出力が得られない場合に不良があっ
たものと判別される。

（発明が解決しようとする課題） 基板上の配線ラインに断線あるいは短絡が生じている場
合、または基板上の素子自体に故障がある場合には、適
正なモニター出力が得られないため不良と判別されるこ
とになるが、このような適正なモニター出力が得られな
い場合の他のケースとしては、基板上の電極パッドにプ
ローブ針が正しくコンタクトされていない場合がある。

従って、上記のような検査を行うにあっては、基板上の
電極パッドに正しくコンタクトされいて、尚かつ適正な
モニター出力が得られない場合にのみ、不良と判別すべ
きである。

しかしながら、特にＬＣＤのように多数の電極パッドを
有するものについては、この電極パッドに対するコンタ
クトが正しくなされているか否かを目視にて判別するこ
とは困難であり、従って、従来は検査前のコンタクトの
ためのアライメント動作を実施することによって、この
アライメント動作実施後は正しくコンタクトされている
ものと仮定して、適正なモニター出力を得られないもの
は全て不良と判別していた。

そこで、本発明の目的とするところは、導電体のコンタ
クト状態を部品に検出できるコンタクト検査方法を搗供
することにある。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、第１及び第２の導電体に正しくコンタクトさ
れているか否かを検査するにあたり、矩形波状測定信号
を印加し、応答特性波形をモニタしてコンタクトの良否
を判別するものである。

（作　用） 導電体のコンタクト状態を検査する際、一方の導電体に
矩形波状測定信号を印加し、他方の導電体よりこの応答
波形をモニタすると、両導電体間には浮遊容量が存在す
るため、正しくコンタクトされていれば、その浮遊容量
に基づく応答波形が得られ、コンタクトの良否を制御す
ることを特徴する。

（実施例） 以下、本発明をＬＣＤの電気的特性に用いられるブロー
ビング装置でのコンタクト検査方法に適用した一実施例
について、図面を参照して具体的に説明する。

まず、ＬＣＤ検査用のブロービング装置の概要について
、第２図を参照して説明する。

同図において、載置台１０は、各種サイズのＬＣＤ１２
を搭載して支持可能であり、同図のＸ方向、Ｙ方向及び
Ｘ、Ｙ軸に相直交する２方向（図示せず）、このＺ方向
の周りの回転方向であるθ方向にそれぞれ移動可能とな
っている。

上記ＬＣＤ１２は、その外形辺である４辺に沿ってそれ
ぞれ電極パッドを有しており、従ってこのブロービング
装置においてもＬＣＤ１２の４辺の各電極パッドにコン
タクトするための構成を備えている。

まず、第２図に示すＬＣＤ１２の左辺に沿って配列形成
されている電極パッドにコンタクトするためのＦＰＣカ
ード２０が設けられている。このＦＰＣカード２０は、
第３図に示すように回路基板２２の下面側に形成される
電極パターンに一端を電気的に接続したフィルム電極２
４を有し、このフィルム電極２４の先端側は柔軟部材２
６に沿ってカールされ、このカールされた部分の下面側
が前記ＬＣＤ１２の左辺に存在する電極パッドにコンタ
クト可能となっている。そして、このＦＰＣカード２０
は、最小インチサイズのＬＣＤ１２の左辺に存在する全
電極パッドの総数と同一の数の電極パッドを有して構成
されている。

尚、前記ＦＰＣカード２０は、所定位置に固定されてい
るが、ＬＣＤ１２のインチサイズが大きくなった場合に
は、前記載置台１０のＹ方向への移動によって、大型サ
イズのＬＣＤ１２の全電極パッドに順次コンタクト可能
である。

前記ＬＣＤ１２の第２図での上辺及び下辺の電極パッド
にコンタクトするために、プローブ針を複数本固定して
なる第１のプローブカード３０及び第２のプローブカー
ド４０が設けられている。

第１のプローブカード３０は、Ｘ方向ガイド３２に沿っ
てＸ方向に移動可能であって、第１のモータ３４の駆動
力をワイヤーあるいはボールネジ等によって第１のプロ
ーブカード３０のＸ方向の駆動力に変換することによっ
て、その移動を可能としている。

一方、第２のプローブカード４０の移動機構は下記のよ
うになっている。すなわち、第１の可動ベース６０は、
Ｘ方向ガイド６２．６２に沿ってＸ方向に移動可能とな
っていて、第２のモータ６４の駆動力によってＸ方向に
移動可能となっている。この第１の可動ベース６０上に
は、Ｙ方向ガイド６６．６６が平行に設けられ、このＹ
方向ガイド６６．６６に沿って第２の可動ベース７０が
移動可能となっている。そして、第１の可動ベース６０
上に設けられた第３のモータ６８の駆動力によって、前
記第２の可動ベース７０をＹ方向に移動可能としている
。前記第２のプローブカード４０は、前記第２の可動ベ
ース７０に固着され、この第１．第２の可動ベース６０
．７０の移動によって、第２のプローブカード４０はＸ
、Ｙ方向共に移動可能となっている。

ＬＣＤ１２の右辺に存在する電極バ・ラドにコンタクト
するための構成として、前記第２の可動ベース７０には
コモンコンタクタ−５０が固定されている。このコモン
コンタクタ−５０は、ＬＣＤ１２の右辺に存在する全電
極パッドに一括コンタクできる構成となっていて、例え
ば導電性ゴム部材を第２図のＹ方向に沿って配列するこ
とで構成している。

尚、上述した第１．第２のプローブカード３０゜４０及
びコモンコンタクタ−５０は、ＬＣＤ１２の電極パッド
に対する接触状態、非接触状態を切り換えできるように
、アップダウン機構を備えている。

次に、上記実施例装置におけるＬＣＤ１２の電気的特性
検査方法及びその際のコンタクトの良不良判別方法につ
いて説明する。

上記の実施例装置では、下記のような各テストが可能と
なっている。

■ゲートオーブンテスト 第２図に示すＬＣＤ１２のＹ方向に伸びる各ラインをゲ
ートラインとすると、このゲートラインのオープンテス
トは、ＦＰＣカード２０とコモンコンタクタ−５０とを
、ＬＣＤ１２の左右両辺にプローブ針をコンタクトし、
導通状態すなわち抵抗値を１１−１定することで可能で
ある。

ここで、ＬＣＤ１２のインチサイズが最小サイズの場合
には、このＬＣＤ１２の左辺に存在する全電極パッドに
ついてはＦＰＣカード２０によって個別的にコンタクト
され、一方、ＬＣＤ１２の右辺に存在する全電極パッド
についてはコモンコンタクタ−５０によってこれらがシ
ョート状態にて一括コンタクトされることになる。従っ
て、例えばＦＰＣカード２０側の各電極パターンを介し
て選択的にゲートラインに通電し、この出力をコモンコ
ンタクタ−５０を介してテスタにてモニタすることによ
って、各ゲートラインの断線の有無を検査可能となる。

尚、ＬＣＤ１２のサイズがこれよりも大きい場合には、
載置台１０をＹ方向に移動することによって、ＬＣＤ１
２の左右両辺１と存在する全電極パッドにコンタクトす
ることができ、以降は同様にしてゲートラインのオーブ
ン検査を行うことが可能となる。

■ドレインラインのオープンテスト ＬＣＤ１２の縦方向に沿ってそれぞれ形成されているド
レインラインについては、第１．第２のプローブカード
３０．４０を使用することによって可能である。そじて
、ＬＣＤ１２の上下の全電極パッドに第１．第２のプロ
ーブカード３０゜４０のプローブ針をコンタクとするた
めには、この各プローブカード３０．４０を第２図のＸ
方向に順次移動することによって実現することができる
。

■ゲート、ドレイン間のショートテストゲート、ドレイ
の交点における短絡状態のテストは、ＦＰＣカード２０
と第１のプローブカード３０または第２のプローブカー
ド４０とを用いることによって可能である。すなわち、
例えばＦＰＣカード２０の一つの電極パターンを介して
ゲートラインに通電し、これと交差するドレインライン
にコンタクトされているプローブ針を介して電流がモニ
ターされるか否かをチエツクすることによって、上記交
点における短絡の有無を検出することが可能である。

上記の各テストにおいては、テスタにて所定の出力がモ
ニターされていない場合にオープンまたはショート不良
が判別されることになるが、これはＦＰＣカード２０．
第１．第２のプローブカード３０．４０の全電極パッド
に対するコンタクトが正しくなされていることが前提と
なっている。

従って、上記の検査の信頼性を高めるためには、コンタ
クト不良であるか否かをもチエツクすることが必要であ
る。

そこで、本実施例では、下記の方法によってＦＰＣ（ま
たはプローブ針）を電極パッドにコンタクトさせ、それ
ぞれのコンタクトの良、不良を判別している。すなわち
、第１図（Ｃ）に示すように、平行ラインの一端側の電
極をそれぞれ電極パッドｇｏ、８２とすると、この電極
パッド８０゜８２あるいはこれに接続された平行ライン
は、−種の平行電極と見なすことができ、従ってこの間
には必ず高周波的に浮遊容量Ｃが存在することになる。

このような容量ｃの存在する平行ラインの一方にΔｔ１
定信号例えば矩形波状電圧（第１図（Ａ）参照）を印加
すると、その他方の電極には、浮遊容量Ｃの大きさによ
り、第１図（Ｂ）に示すような電流をモニターする。す
なわち、浮遊容量Ｃの大きさにより立上り特性が悪くな
る。この立上り特性が所望する容量Ｃの許容範囲を第１
図（Ｂ）の波形かをモニタし判断する。

そこで、第１図（Ｃ）に示す一方の電極パッド８０に第
１図（Ａ）の電圧を印加し、これに隣接する電極パッド
８２からの電流をモニターし、これが同図（Ｂ）に示す
所定のＣＲ左カーブ呈していれば、画電極パッド８０．
８２に対して正しくＦＰＣと電極パッドとがコンタクト
されていることが確認できる。もし、いずれか一方の、
電極パッドに対するコンタクトが不良であると、同図（
Ｂ）に示すようなＣＲ左カーブモニター出力は得られず
、コンタクト不良による浮遊容量ｃが重畳し、立上り特
性が悪くなって生ずることになる。

本実施例では、上記のような原理に基づいて電極パッド
に対するＦＰＣカード２０とのコンタクトの良不良を判
別している。すなわち、ゲートラインの端部に存在する
電極パッドへのコンタクトの良不良を検出するためには
、ＦＰＣカード２０の相隣接する電極パターンの一方よ
り電圧を印加し、他方から出力される電流をモニターす
ることによって、上記と同様の原理に基づきこの２つの
電極パッドに対するコンタクトの良不良を判別できる。

このような判別を、ＦＰＣカード２０の各電極について
実施することによって、ＦＰＣカード２０の全ての電極
についてのコンタクトの良。

不良が判別可能となる。このような検査は、プローブ針
を有してなる第１．第２のプローブカード３０．４０に
ついても同様に実施することができる。

ここで、このようなコンタクト不良を行うプログラムと
しては、第４図（Ａ）、（Ｂ）に示す２種の方式を採用
することができる。

まず第４図（Ａ）に示す方式について説明すると、各ラ
インのオープン検査を実施しくステップ１）、その際の
モニター出力によってオープンであるか否かを判別する
（ステップ２）。オープンかない場合には、直ちに良品
と判別することが可能である（ステップ３）。一方、ス
テップ２にてオープンが生じていると判別された場合に
は、上記のような原理に基づきコンタクト検査を実施す
る（ステップ４）。そして、その際のモニター出力に基
づきコンタクトが正常であるか否かを判別をしくステッ
プ５）、第１図（Ａ）に示すようなＣＲ左カーブ呈した
モニター出力が得られた場合には、直ちにそのラインに
オープンが生じていると判別することができる（ステッ
プ６）。一方、ステップ５の判断にてコンタクト不良が
生じていると判別された場合には、コンタクト調整を行
い（ステップ７）、その後再度ステップ１に戻ってオー
プン検査を実施することになる。

第４図（Ｂ）に示す方式では、まず最初にコンタクト検
査を実施しくステップ１）、その際の出力モニターに基
づきコンタクトの良不良を判別する（ステップ２）。そ
して、コンタクト不良と判別された場合には、コンタク
ト調整を実施しくステップ３）、ステップ１に戻って再
度コンタクト検査を実施することになる。ステップ２に
おいてコンタクトが良好であると判別された場合には、
次にオーブン検査を実施しくステップ４）、その際の出
力モニターによってオーブンの良、不良を判別しくステ
ップ５）、その結果に基づき良品あるいはオーブン不良
を判別することになる（ステップ６．７）。

尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

上記実施例はＬＣＤの電極パッドに対するコンタクト検
査について適用したものを説明したが、これに限らず少
なくとも隣接する電極パッドを有するものであれば、他
の種々の被検査体に適用することができる。さらに、通
常配線パターンは基板上の表面に形成され、その電極パ
ッドも基板上の表面にて隣接配置されるものであるが、
このような場合に限らず例えば回路基板の厚み方向にて
隣接配置されている電極パッド同士のコンタクト良不良
の判別についても本発明を同様に適用することが可能で
ある。すなわち、このような場合にも隣接電極パッドを
平行電極とみなすことができ、この平行電極間には必ず
浮遊容量が存在するからである。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、コンタクト行為後
、矩形波状信号を印加し、応答波形からコンタクト状態
を判断できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、それぞれ本発明の詳
細な説明するための概略説明図、第２図は、本発明方法
の一実施例を適用したＬＣＤのブロービング装置の概略
平面図、第３図は、ＦＰＣの構成を説明する概略説明図
、第４図（Ａ）。 （Ｂ）は、それぞれコンタト検出方法を含む電気的特性
検査のフローを説明するためのフローチャートである。 ８０．８２・・・隣接電極パッド、Ｃ・・・浮遊容量。 代理人　弁理士　井　　上　　　−（他１名）第１図 （Ａ） 第２図 （Ｂ） ）＝テアＪ１ ｂす （Ｃ） 昆３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）第１及び第２の導電体に正しくコンタクトされて
   いるか否かを検査するにあたり、 矩形波状測定信号を印加し、応答特性波形をモニタして
   コンタクトの良否を判別することを特徴とするコンタク
   ト検査方法。