JPH0221665Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0221665Y2 JPH0221665Y2 JP1984106200U JP10620084U JPH0221665Y2 JP H0221665 Y2 JPH0221665 Y2 JP H0221665Y2 JP 1984106200 U JP1984106200 U JP 1984106200U JP 10620084 U JP10620084 U JP 10620084U JP H0221665 Y2 JPH0221665 Y2 JP H0221665Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- electrostrictive element
- air space
- bag
- valve seat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、電歪素子に設けられた弁体で直接弁
座の開閉を行なう電子弁、さらに詳しく言えば、
前記電歪素子を可撓性のある袋状体に被覆して、
水分、油分あるいは急激な温度変化等から保護す
るようにした電子弁に関する。
座の開閉を行なう電子弁、さらに詳しく言えば、
前記電歪素子を可撓性のある袋状体に被覆して、
水分、油分あるいは急激な温度変化等から保護す
るようにした電子弁に関する。
空気圧回路に用いられている方向制御弁として
電歪素子を用いて弁座を直接開閉する電子弁が注
目されている。
電歪素子を用いて弁座を直接開閉する電子弁が注
目されている。
まず、本件出願人が既に提案している電子弁の
基本構成を説明する。第3図は電子弁の基本構成
を示す断面図、第4図はその電子弁に用いられて
いる電歪素子の例を示した斜視図である。
基本構成を説明する。第3図は電子弁の基本構成
を示す断面図、第4図はその電子弁に用いられて
いる電歪素子の例を示した斜視図である。
弁本体1は中央部に上方が開口した空気空間1
00が形成されている。また、本体1にはインポ
ートIN、アウトポートOUT、排気ポートEXH
が設けられている。インポートINは、流路10
1を介して円環状の空気空間102に連通してい
る。アウトポートOUTは、空気空間100に直
接連通している。排気ポートEXHは流路106
を介して円環状の空気空間107に連通してい
る。
00が形成されている。また、本体1にはインポ
ートIN、アウトポートOUT、排気ポートEXH
が設けられている。インポートINは、流路10
1を介して円環状の空気空間102に連通してい
る。アウトポートOUTは、空気空間100に直
接連通している。排気ポートEXHは流路106
を介して円環状の空気空間107に連通してい
る。
本体1には弁座部材11,12が設けられてい
る。弁座部材11,12は先端に弁座11a,1
2aを有する円筒形の部材であつて、円筒外周に
ねじ部11b,12bが設けられている。弁座部
材11,12の後端は埋金13,14で封止され
ており、内部に空気空間104,109を形成
し、空気空間104,109には外周の空気空間
102,107にそれぞれ連通する流路103,
108と弁座11a,12aの開口に連通する流
路105,110が設けられている。弁座部材1
1,12には永久磁石21を位置決め固定するた
めの押圧面11c,12cが設けられている。
る。弁座部材11,12は先端に弁座11a,1
2aを有する円筒形の部材であつて、円筒外周に
ねじ部11b,12bが設けられている。弁座部
材11,12の後端は埋金13,14で封止され
ており、内部に空気空間104,109を形成
し、空気空間104,109には外周の空気空間
102,107にそれぞれ連通する流路103,
108と弁座11a,12aの開口に連通する流
路105,110が設けられている。弁座部材1
1,12には永久磁石21を位置決め固定するた
めの押圧面11c,12cが設けられている。
弁座部材11,12はOリング91,91a,
92,92aを介して本体1に気密を保ちなが
ら、ねじ部11b,12bで位置決め固定されて
いる。このとき、インポートINに連通する空気
空間102は弁座部材11の流路103、空気空
間104、流路105介して本体1の空気空間1
00に連通する。同様に、排気ポートEXHに連
通する空気空間107は弁座部材12の流路10
8、空気空間109、流路110を介して本体1
の空気空間100に連通する。なお、弁座部材1
1,12の弁座11a,12aは対面して設けら
れている。
92,92aを介して本体1に気密を保ちなが
ら、ねじ部11b,12bで位置決め固定されて
いる。このとき、インポートINに連通する空気
空間102は弁座部材11の流路103、空気空
間104、流路105介して本体1の空気空間1
00に連通する。同様に、排気ポートEXHに連
通する空気空間107は弁座部材12の流路10
8、空気空間109、流路110を介して本体1
の空気空間100に連通する。なお、弁座部材1
1,12の弁座11a,12aは対面して設けら
れている。
電歪素子3は、第4図aに示すように2枚の圧
電磁器31,32と異種材料からなる金属板33
とを貼り合わせたバイモルフ構造を有する素子で
ある。圧電磁器31,32の表面には焼付により
銀電極が設けられている。圧電磁器31,32は
圧電係数の比較的大きなものが適しており、例え
ばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系の磁器が用
いられる。金属板33は電極として用いられてお
り、例えば黄銅が適している。第4図bのように
電歪素子3を2枚重ね合せれば、歪による力を2
倍にすることができる。
電磁器31,32と異種材料からなる金属板33
とを貼り合わせたバイモルフ構造を有する素子で
ある。圧電磁器31,32の表面には焼付により
銀電極が設けられている。圧電磁器31,32は
圧電係数の比較的大きなものが適しており、例え
ばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系の磁器が用
いられる。金属板33は電極として用いられてお
り、例えば黄銅が適している。第4図bのように
電歪素子3を2枚重ね合せれば、歪による力を2
倍にすることができる。
電歪素子3はリード線6に接続されており、2
枚の圧電磁器の表面側および金属板33側に半田
付けされている。リード線6には抵抗体7が接続
されている。電歪素子3の上端とリード線6と抵
抗体7との接続部は高分子材料8により一体的に
モールドされている。これは電歪素子3の高速作
動に対して接触不良や断線などの事故を防止して
バルブの信頼性を向上させるためである。抵抗体
7が挿入されているのは、非導通にしたときには
電歪素子3に蓄積された電荷を放電して、電歪素
子3を復帰しやすくするためである。蓋54はね
じ55,55で本体1に固定され、蓋54の中央
部はブツシユ53で封止されている。電歪素子3
の先端には弁体41,42が弁座部材11,12
の弁座11a,12aに対面して設けられてい
る。素子ホルダ51は空気空間100の上部と外
部との空気をシールし、さらに高分子材料8で完
全にシールした。素子ホルダ51はゴム等の弾性
体で電歪素子3に沿つた長方形に形成され、本体
1に嵌装されている。これはバルブ形状を小さく
して、空気空間100の容量を小さくし負荷の応
答性を向上させるためである。
枚の圧電磁器の表面側および金属板33側に半田
付けされている。リード線6には抵抗体7が接続
されている。電歪素子3の上端とリード線6と抵
抗体7との接続部は高分子材料8により一体的に
モールドされている。これは電歪素子3の高速作
動に対して接触不良や断線などの事故を防止して
バルブの信頼性を向上させるためである。抵抗体
7が挿入されているのは、非導通にしたときには
電歪素子3に蓄積された電荷を放電して、電歪素
子3を復帰しやすくするためである。蓋54はね
じ55,55で本体1に固定され、蓋54の中央
部はブツシユ53で封止されている。電歪素子3
の先端には弁体41,42が弁座部材11,12
の弁座11a,12aに対面して設けられてい
る。素子ホルダ51は空気空間100の上部と外
部との空気をシールし、さらに高分子材料8で完
全にシールした。素子ホルダ51はゴム等の弾性
体で電歪素子3に沿つた長方形に形成され、本体
1に嵌装されている。これはバルブ形状を小さく
して、空気空間100の容量を小さくし負荷の応
答性を向上させるためである。
空気空間100の下面には案内凹溝10が設け
られており、その案内凹溝10には永久磁石21
が載置されている。永久磁石21は上面と両側面
の角には弁座部材11,12の押圧面11c,1
2cに押圧される傾斜面21a,21bが設けら
れており、下面には本体1の案内凹溝10と嵌合
する凸部21cが設けられている。一方、電歪素
子3の下端には永久磁石22が貼着されている。
永久磁石21,22の極性は、互いに反発するよ
うに配置されている。永久磁石21,22の力が
電歪素子3の力を越えないように両磁石間の間隙
と永久磁石の磁極の強さが決定されている。永久
磁石21,22はゴム永久磁石が用いられてい
る。永久磁石21にゴム永久磁石を用いる理由
は、主に弁座部材11,12の押圧面11c,1
2cでゴム永久磁石21を挟持して固定するた
め、位置決め調整時に撓み代を与えて寸法誤差を
吸収するのに弾性が必要となるためである。ま
た、ゴム永久磁石を用いれば、錆防止の役割も果
たす。永久磁石22にゴム永久磁石をを用いる理
由は、主に電歪素子3との接着性がよく取付やす
いからである。
られており、その案内凹溝10には永久磁石21
が載置されている。永久磁石21は上面と両側面
の角には弁座部材11,12の押圧面11c,1
2cに押圧される傾斜面21a,21bが設けら
れており、下面には本体1の案内凹溝10と嵌合
する凸部21cが設けられている。一方、電歪素
子3の下端には永久磁石22が貼着されている。
永久磁石21,22の極性は、互いに反発するよ
うに配置されている。永久磁石21,22の力が
電歪素子3の力を越えないように両磁石間の間隙
と永久磁石の磁極の強さが決定されている。永久
磁石21,22はゴム永久磁石が用いられてい
る。永久磁石21にゴム永久磁石を用いる理由
は、主に弁座部材11,12の押圧面11c,1
2cでゴム永久磁石21を挟持して固定するた
め、位置決め調整時に撓み代を与えて寸法誤差を
吸収するのに弾性が必要となるためである。ま
た、ゴム永久磁石を用いれば、錆防止の役割も果
たす。永久磁石22にゴム永久磁石をを用いる理
由は、主に電歪素子3との接着性がよく取付やす
いからである。
つぎに、本考案の電子弁の実施例の動作を説明
する。
する。
リード線6に通電されていないときには、電歪
素子3は歪んでいないので、電歪素子3に設けら
れている弁体41が弁座11aを閉じている。こ
のとき、永久磁石22は永久磁石21との反発力
と吸引力で弁座11aの押圧力を増している。こ
のため、インポートINから流路101、空気空
間102、流路103、空気空間104、流路1
05を介して供給される空気圧は遮断されてい
る。
素子3は歪んでいないので、電歪素子3に設けら
れている弁体41が弁座11aを閉じている。こ
のとき、永久磁石22は永久磁石21との反発力
と吸引力で弁座11aの押圧力を増している。こ
のため、インポートINから流路101、空気空
間102、流路103、空気空間104、流路1
05を介して供給される空気圧は遮断されてい
る。
いま、リード線6に通電されたとすると、電歪
素子3は右側に歪む。電歪素子3の歪により永久
磁石22が永久磁石21と釣合う点を過ぎると永
久磁石22が永久磁石21に反発されて、電歪素
子3の歪と永久磁石21,22の反発力と吸引力
により右側に瞬時に移動する。したがつて、電歪
素子3に設けられている弁体41は弁座11aを
開き、弁体42が弁座12aを閉じる。このた
め、インポートINから流路101、空気空間1
02、流路103、空気空間104、流路105
を介して供給されてきた空気圧は、空気空間10
0を通り、アウトポートOUTに流れる。
素子3は右側に歪む。電歪素子3の歪により永久
磁石22が永久磁石21と釣合う点を過ぎると永
久磁石22が永久磁石21に反発されて、電歪素
子3の歪と永久磁石21,22の反発力と吸引力
により右側に瞬時に移動する。したがつて、電歪
素子3に設けられている弁体41は弁座11aを
開き、弁体42が弁座12aを閉じる。このた
め、インポートINから流路101、空気空間1
02、流路103、空気空間104、流路105
を介して供給されてきた空気圧は、空気空間10
0を通り、アウトポートOUTに流れる。
リード線6への通電が停止されると、電歪素子
3は自らの剛性により元の状態に復帰する。電歪
素子3の歪により永久磁石22が永久磁石21と
釣合う点を過ぎると永久磁石22が永久磁石21
に反発および吸引されて、電歪素子3の剛性と永
久磁石21,22の反発力と吸引力により左側に
瞬時に移動する。したがつて、弁体41が弁座1
1aを閉じ、弁体42が弁座12aを開く。この
ため、アウトポートOUTからの空気圧は、空気
空間100、流路110、空気空間109、流路
108、空気空間107、流路106を介して排
気ポートEXHから排気される。
3は自らの剛性により元の状態に復帰する。電歪
素子3の歪により永久磁石22が永久磁石21と
釣合う点を過ぎると永久磁石22が永久磁石21
に反発および吸引されて、電歪素子3の剛性と永
久磁石21,22の反発力と吸引力により左側に
瞬時に移動する。したがつて、弁体41が弁座1
1aを閉じ、弁体42が弁座12aを開く。この
ため、アウトポートOUTからの空気圧は、空気
空間100、流路110、空気空間109、流路
108、空気空間107、流路106を介して排
気ポートEXHから排気される。
〔考案が解決しようとしている問題点)
このような電子弁に用いられている電歪素子に
動作流体の中に含まれている水分、油分あるいは
ゴミ等が付着すると、つぎのような不都合が生ず
る。
動作流体の中に含まれている水分、油分あるいは
ゴミ等が付着すると、つぎのような不都合が生ず
る。
水分が付着した場合には、絶縁抵抗が低下し、
駆動時に必要以上の電力を消費する。また、セラ
ミツク素子の内部に水分がしみ込んだ場合には、
印加電圧によつて生ずる内部電束密度が乾燥時よ
りも低下するため、圧電諸特性が低下する。さら
に、電極が純銀のため酸化腐食のの危険性があ
る。さらにまた、銀電極間に水分があると、その
両端に直流電圧を長時間加えた場合、電気分解に
似た現象であるシルバー・マイグレーシヨン(銀
結晶の成長移動現象)が生じ、両電極間がシヨー
トする危険性がある。
駆動時に必要以上の電力を消費する。また、セラ
ミツク素子の内部に水分がしみ込んだ場合には、
印加電圧によつて生ずる内部電束密度が乾燥時よ
りも低下するため、圧電諸特性が低下する。さら
に、電極が純銀のため酸化腐食のの危険性があ
る。さらにまた、銀電極間に水分があると、その
両端に直流電圧を長時間加えた場合、電気分解に
似た現象であるシルバー・マイグレーシヨン(銀
結晶の成長移動現象)が生じ、両電極間がシヨー
トする危険性がある。
油分が付着した場合には、油に混入している不
純分により前述の水分と同じような悪影響が生ず
る。ゴミの場合にも、そのゴミが水分を吸収し、
同様の悪影響がある。ゴミが金属粉のように導電
性がある場合には、電極間シヨートの危険性があ
る。
純分により前述の水分と同じような悪影響が生ず
る。ゴミの場合にも、そのゴミが水分を吸収し、
同様の悪影響がある。ゴミが金属粉のように導電
性がある場合には、電極間シヨートの危険性があ
る。
また、動作流体に急激な温度変化があつた場合
には、電歪素子に悪影響を与えていた。つまり、
温度が高くなつた場合でも圧電体のキユーリ点以
下で使用することが必要であり、アクチユエータ
の場合は接着層があるため高温でも100℃以下で
使用することが望ましいからである。
には、電歪素子に悪影響を与えていた。つまり、
温度が高くなつた場合でも圧電体のキユーリ点以
下で使用することが必要であり、アクチユエータ
の場合は接着層があるため高温でも100℃以下で
使用することが望ましいからである。
このような問題点を解決するために、電歪素子
に樹脂塗装をすることも考えられるが、歪に対す
る自由度が阻害される恐れがあるとともに、エア
シールが厄介であるという欠点があつた。
に樹脂塗装をすることも考えられるが、歪に対す
る自由度が阻害される恐れがあるとともに、エア
シールが厄介であるという欠点があつた。
本考案は、水分、油分あるいは急激な温度変化
から電歪素子を保護することができる電子弁を提
供することを目的とする。
から電歪素子を保護することができる電子弁を提
供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段)
前記目的を達成するために、本考案による電子
弁は、第1のポートが空気空間に向かう第1の弁
座に第2のポーが前記第1の弁座に対向する第2
の弁座に第3のポートが前記空気空間にそれぞれ
接続されている弁本体と、先端が前記第1および
第2の弁座を越えるように前記本体に基部で固定
されているバイモルフ構造の電歪素子と、前記電
歪素子にかぶせられ基部で密封された耐水性、耐
油性および断熱性の可撓性の袋状体と、前記第1
および第2の弁座に対面するように前記袋状体を
介して前記電歪素子に設けられた第1および第2
の弁体とからなり前記電歪素子を駆動して第1お
よび第2の弁座を開閉することにより動作流体の
方向を切換えるように構成されている。
弁は、第1のポートが空気空間に向かう第1の弁
座に第2のポーが前記第1の弁座に対向する第2
の弁座に第3のポートが前記空気空間にそれぞれ
接続されている弁本体と、先端が前記第1および
第2の弁座を越えるように前記本体に基部で固定
されているバイモルフ構造の電歪素子と、前記電
歪素子にかぶせられ基部で密封された耐水性、耐
油性および断熱性の可撓性の袋状体と、前記第1
および第2の弁座に対面するように前記袋状体を
介して前記電歪素子に設けられた第1および第2
の弁体とからなり前記電歪素子を駆動して第1お
よび第2の弁座を開閉することにより動作流体の
方向を切換えるように構成されている。
(実施例)
以下、図面等を参照して本考案をさらに詳しく
説明する。
説明する。
第1図は本考案による電子弁の実施例を示した
断面図、第2図は本考案による電子弁に用いられ
る袋状体の一例を示した斜視図である。なお、前
述の基本構成と同様の部分には同一の符号が付し
てある。
断面図、第2図は本考案による電子弁に用いられ
る袋状体の一例を示した斜視図である。なお、前
述の基本構成と同様の部分には同一の符号が付し
てある。
電歪素子3は、第1図に示すように袋状体30
で被覆されている。
で被覆されている。
袋状体30は、第2図に示すように、袋部30
aと、鍔部30bと、リブ30cとから構成され
ている。
aと、鍔部30bと、リブ30cとから構成され
ている。
袋部30aは電歪素子3を密着して覆うための
ものである。袋部30aき厚さは0.3mm位が最適
である。なお、袋部30aに弁体41,42を一
体に形成してもよい。
ものである。袋部30aき厚さは0.3mm位が最適
である。なお、袋部30aに弁体41,42を一
体に形成してもよい。
鍔部30bは袋部30aを本体1に取り付ける
ためのものである。
ためのものである。
リブ30cは鍔部30bの本体1側に設けられ
ている。リブ30cは長手方向に両側に2条ずつ
設けられており、短手方向には両側に1条ずつ設
けられている。リブ30cが設けられているの
は、本体1との滑り止めになるとともに、気密を
保持するためである。
ている。リブ30cは長手方向に両側に2条ずつ
設けられており、短手方向には両側に1条ずつ設
けられている。リブ30cが設けられているの
は、本体1との滑り止めになるとともに、気密を
保持するためである。
袋状体30の材質は、耐水性、耐油性、断熱性
のある可撓性の材料であればよい。本実施例で
は、袋状体30はゴム製の袋が用いられている。
のある可撓性の材料であればよい。本実施例で
は、袋状体30はゴム製の袋が用いられている。
なお、ゴムには硫黄分が入つていないことが必
要である。この理由は、圧電素子の銀電極が、硫
黄と化合して硫化銀となるからである。硫化銀は
導電性がないので電極としての役目を果たさなく
なつてしまう。
要である。この理由は、圧電素子の銀電極が、硫
黄と化合して硫化銀となるからである。硫化銀は
導電性がないので電極としての役目を果たさなく
なつてしまう。
つぎに、袋状体30の組立手順を説明する。
先端に永久磁石22が貼着されている電歪素子
3を袋状体30に挿入し、袋状体30の両側の表
面に弁体41,42を貼着する。永久磁石22は
電歪素子3に接着により固定されるが、さらにそ
の固定を保護するために、袋状体30の中に入れ
てある。
3を袋状体30に挿入し、袋状体30の両側の表
面に弁体41,42を貼着する。永久磁石22は
電歪素子3に接着により固定されるが、さらにそ
の固定を保護するために、袋状体30の中に入れ
てある。
この袋状体30の袋部30aを本体1の空気空
間100に挿入し、鍔部30bのリブ30cを本
体1側に対向して配置し、上側から押え具56で
押さえる。電歪素子3の充電部および抵抗体7は
高分子材料8で一体にモールドされる。
間100に挿入し、鍔部30bのリブ30cを本
体1側に対向して配置し、上側から押え具56で
押さえる。電歪素子3の充電部および抵抗体7は
高分子材料8で一体にモールドされる。
(考案の効果)
以上詳しく説明したように、本考案によれば、
電歪素子を耐水性、耐油性、断熱性のある可撓性
のある袋状体に挿入してあるので、電歪素子を水
分、油分および急激な温度変化から保護すること
ができ、前述の不都合はすべて解消することがで
きる。
電歪素子を耐水性、耐油性、断熱性のある可撓性
のある袋状体に挿入してあるので、電歪素子を水
分、油分および急激な温度変化から保護すること
ができ、前述の不都合はすべて解消することがで
きる。
第1図は本考案による電子弁の実施例を示した
断面図、第2図は本考案による電子弁に用いられ
る袋状体の一例を示した斜視図である。第3図は
電子弁の基本構成を示す断面図、第4図はその電
子弁に用いられている電歪素子の例を示した斜視
図である。 1……本体、10……案内凹溝、11,12…
…弁座部材、11a,12a……弁座、11b,
12b……ねじ部、11c,12c……押圧面、
21,22……永久磁石、3……電歪素子、30
……袋状体、31,32……圧電磁器、33……
金属板、41,42……弁体、51……素子ホル
ダ、53……ブツシユ、54……蓋、55……ね
じ、56……押え具、6……リード線、7……抵
抗体、8……高分子材料、91,91a,92,
92a……Oリング。
断面図、第2図は本考案による電子弁に用いられ
る袋状体の一例を示した斜視図である。第3図は
電子弁の基本構成を示す断面図、第4図はその電
子弁に用いられている電歪素子の例を示した斜視
図である。 1……本体、10……案内凹溝、11,12…
…弁座部材、11a,12a……弁座、11b,
12b……ねじ部、11c,12c……押圧面、
21,22……永久磁石、3……電歪素子、30
……袋状体、31,32……圧電磁器、33……
金属板、41,42……弁体、51……素子ホル
ダ、53……ブツシユ、54……蓋、55……ね
じ、56……押え具、6……リード線、7……抵
抗体、8……高分子材料、91,91a,92,
92a……Oリング。
Claims (1)
- 第1のポートが空気空間に向かう第1の弁座に
第2のポートが前記第1の弁座に対向する第2の
弁座に第3のポートが前記空気空間にそれぞれ接
続されている弁本体と、先端が前記第1および第
2の弁座を越えるように前記本体に基部で固定さ
れているバイモルフ構造の電歪素子と、前記電歪
素子にかぶせられ基部で密封された耐水性、耐油
性および断熱性の可撓性の袋状体と、前記第1お
よび第2の弁座に対面するように前記袋状体を介
して前記電歪素子に設けられた第1および第2の
弁体とからなり前記電歪素子を駆動して第1およ
び第2の弁座を開閉することにより動作流体の方
向を切換えるように構成した電子弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10620084U JPS6122973U (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 電子弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10620084U JPS6122973U (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 電子弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6122973U JPS6122973U (ja) | 1986-02-10 |
| JPH0221665Y2 true JPH0221665Y2 (ja) | 1990-06-11 |
Family
ID=30665497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10620084U Granted JPS6122973U (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 電子弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6122973U (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0314617Y2 (ja) * | 1986-05-08 | 1991-04-02 | ||
| JPH0332863Y2 (ja) * | 1986-06-03 | 1991-07-11 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5920074U (ja) * | 1982-07-28 | 1984-02-07 | 住友電気工業株式会社 | 圧電効果を利用した開閉弁 |
| JPS59112527A (ja) * | 1982-12-17 | 1984-06-29 | 株式会社デンソー | 圧電型駆動装置 |
-
1984
- 1984-07-13 JP JP10620084U patent/JPS6122973U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6122973U (ja) | 1986-02-10 |
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