JPH02223009A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH02223009A JPH02223009A JP1870990A JP1870990A JPH02223009A JP H02223009 A JPH02223009 A JP H02223009A JP 1870990 A JP1870990 A JP 1870990A JP 1870990 A JP1870990 A JP 1870990A JP H02223009 A JPH02223009 A JP H02223009A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- magnetic recording
- film layer
- recording medium
- layer
- Prior art date
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明はＦｅを使用した金属薄膜型の磁気記録媒体の改
良に関する。
良に関する。
（従来技術）
非磁性基体上に、真空蒸着、スパッタリングイオンブレ
ーティング等の手段により強磁性金属の薄膜を形成した
、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体は、通常の、バイ
ンダーを使用する型の磁気記録媒体にくらべて記録密度
を高くとることができる他、種々の利点を有しているた
め、実用化への努力が払われている。
ーティング等の手段により強磁性金属の薄膜を形成した
、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体は、通常の、バイ
ンダーを使用する型の磁気記録媒体にくらべて記録密度
を高くとることができる他、種々の利点を有しているた
め、実用化への努力が払われている。
このような金属薄膜型の磁気記録媒体を作成するのに使
用される金属としてはＦａ、 Ｃｏ５Ｎｉ、Ｃｒ等の強
磁性金属や、これら強磁性金属を主体とする合金が使用
されることが多いが、その中でもＣｏの単独あるいはＣ
ｏを主体とする合金は磁気記録媒体として高性能である
のでしばしば使用される。
用される金属としてはＦａ、 Ｃｏ５Ｎｉ、Ｃｒ等の強
磁性金属や、これら強磁性金属を主体とする合金が使用
されることが多いが、その中でもＣｏの単独あるいはＣ
ｏを主体とする合金は磁気記録媒体として高性能である
のでしばしば使用される。
一方、上記の強磁性金属のうちでもＦｅは、Ｃ。
やＧｏの合金にくらべて材料費が安り、磁気記録媒体と
したときにＳ／Ｎ比がすぐれており、しかも歪率が低い
等の種々の利点がある反面、抗磁力（ｌｌｃ）の膜厚依
存性が大きく、かつ、角型比が小さく、しかも、耐腐食
性が充分でない欠点を有している。
したときにＳ／Ｎ比がすぐれており、しかも歪率が低い
等の種々の利点がある反面、抗磁力（ｌｌｃ）の膜厚依
存性が大きく、かつ、角型比が小さく、しかも、耐腐食
性が充分でない欠点を有している。
（発明の目的）
従って、本発明の目的は、安価である強磁性金属Ｆｅの
抗磁力の膜厚依存性の点を考慮し、所望の磁気的出力を
確保するとともに、角型比、抗磁力の劣化を少なくする
ためにＦｅ薄膜層を２層以上にすること、及びＦｅが上
記の必要な膜厚を得たとき、Ｆｅの角型比、抗磁力等の
特性低下を補うため強磁性体金属であるＣｏの単独ある
いはＣｏを主体とする合金を中間層として設けることに
より、Ｆｅ自体の有する上記特性低下を解消し、Ｆｅの
利点を最大限に引き出した磁気記録媒体を提供すること
にある。
抗磁力の膜厚依存性の点を考慮し、所望の磁気的出力を
確保するとともに、角型比、抗磁力の劣化を少なくする
ためにＦｅ薄膜層を２層以上にすること、及びＦｅが上
記の必要な膜厚を得たとき、Ｆｅの角型比、抗磁力等の
特性低下を補うため強磁性体金属であるＣｏの単独ある
いはＣｏを主体とする合金を中間層として設けることに
より、Ｆｅ自体の有する上記特性低下を解消し、Ｆｅの
利点を最大限に引き出した磁気記録媒体を提供すること
にある。
（発明の構成）
本発明の磁気記録媒体は、非磁性基体上に２以上のＦｅ
薄膜層と、各ＦｅＦｉｆｌｕ層間に挿入されたＣｏの単
独あるいはＣｏを主体とする合金の薄膜層とが積層され
ていることを特徴とするものである。
薄膜層と、各ＦｅＦｉｆｌｕ層間に挿入されたＣｏの単
独あるいはＣｏを主体とする合金の薄膜層とが積層され
ていることを特徴とするものである。
以下、図面を用いながら本発明の詳細な説明すると、第
１図に示すように本発明の磁気記録媒体１は例えば非磁
性基体２上に第１のＰｅ薄膜層３、ｃｏの単独あるいは
Ｃｏを主体とする合金薄膜層４、および第２のＦｅｆ！
ＷＡ１１５の各層が順次積層されている。この第１図の
例では２つのＰｅ薄膜層と、２つの薄膜層の間に挿入さ
れたＣｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金薄膜層と
からなっているが、Ｆｅ薄膜層を３層以上形成し、各Ｆ
ｅ ’ｉｉｉ ＠ｌｉ間にＧｏの単独あるいはＣｏを
主体とする合金薄膜層を挿入してもよい。
１図に示すように本発明の磁気記録媒体１は例えば非磁
性基体２上に第１のＰｅ薄膜層３、ｃｏの単独あるいは
Ｃｏを主体とする合金薄膜層４、および第２のＦｅｆ！
ＷＡ１１５の各層が順次積層されている。この第１図の
例では２つのＰｅ薄膜層と、２つの薄膜層の間に挿入さ
れたＣｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金薄膜層と
からなっているが、Ｆｅ薄膜層を３層以上形成し、各Ｆ
ｅ ’ｉｉｉ ＠ｌｉ間にＧｏの単独あるいはＣｏを
主体とする合金薄膜層を挿入してもよい。
上記における非磁性基体２としては耐熱性を有する合成
樹脂フィルム、例えばポリエチレンテレフタレートフィ
ルム、ポリイミドフィルムもしくはポリカーボネートフ
ィルム等、金属箔、例えばアルミニウム箔、非磁性二・
ンケル箔、銅箔もしくはステンレス箔等、或いはガラス
やセラミックを用いることができる。これらのうち、磁
気記録媒体をテープ状に製造する際には耐熱性、抗張力
、及び寸法安定性の点で厚み４μ〜２５μのポリエチレ
ンテレフタレートフィルムを用いるとよい。
樹脂フィルム、例えばポリエチレンテレフタレートフィ
ルム、ポリイミドフィルムもしくはポリカーボネートフ
ィルム等、金属箔、例えばアルミニウム箔、非磁性二・
ンケル箔、銅箔もしくはステンレス箔等、或いはガラス
やセラミックを用いることができる。これらのうち、磁
気記録媒体をテープ状に製造する際には耐熱性、抗張力
、及び寸法安定性の点で厚み４μ〜２５μのポリエチレ
ンテレフタレートフィルムを用いるとよい。
第１のＦｅ薄膜層と第２のＦｅ薄膜層とは原則的には同
様の条件のものである。また、第１のＦｓＥｌ膜層と第
２のＦｅ薄膜層を設ける理由としては、Ｆｅ薄膜の場合
、所望の磁気的出力を得るにはある一定の膜厚（少なく
とも５００Å以上、望ましくは２０００Å以上）が必要
であり、Ｆｅ薄膜層を一度に形成すると、所望の磁気的
出力を出す膜厚は確保されるが、角型比、抗６１力等の
特性で良い結果は得られないからである。その第１及び
第２のＰａ薄膜層は、Ｆｅを蒸着源とする蒸着等の手段
により設けることができ、所望の磁気的出力を得るため
の膜厚を確保しながら、角型比、抗磁力等の特性を満足
させる手段を用いる。
様の条件のものである。また、第１のＦｓＥｌ膜層と第
２のＦｅ薄膜層を設ける理由としては、Ｆｅ薄膜の場合
、所望の磁気的出力を得るにはある一定の膜厚（少なく
とも５００Å以上、望ましくは２０００Å以上）が必要
であり、Ｆｅ薄膜層を一度に形成すると、所望の磁気的
出力を出す膜厚は確保されるが、角型比、抗６１力等の
特性で良い結果は得られないからである。その第１及び
第２のＰａ薄膜層は、Ｆｅを蒸着源とする蒸着等の手段
により設けることができ、所望の磁気的出力を得るため
の膜厚を確保しながら、角型比、抗磁力等の特性を満足
させる手段を用いる。
すなわち、−度に所望の膜厚を形成せずに、上記角型比
、抗磁力等の特性の劣化しない範囲の膜厚を２回に分け
て形成する方法を用いる。また蒸着を行う際、被蒸着基
材の法線と金属蒸着流とのなす角度を０°よりも大きく
とって、いわゆる斜方蒸着とするのがよい。本発明者等
の研究によれば、前記の角度が４５°〜８０°の間で形
成されたＦｅ薄膜は膜厚が２００Å〜２０００人である
とき、より好ましくは３００Å〜１０００人であるとき
にその磁気特性がすぐれていることが判明した。ここで
２００人未満では薄膜の形成が未熟で充分な磁束が得ら
れず、その上、抗磁力の向上を左右する因子の１つであ
る形状異方性効果の働きが小さいので抗磁力が小さいし
、又、２０００人を越えるとＦｅｆｊｌ膜の傾斜柱が成
長しすぎ、隣接する傾斜柱の頂上どうしが癒着してしま
いいずれにせよ、上記の範囲外では角型比・抗磁力共低
下するものである。
、抗磁力等の特性の劣化しない範囲の膜厚を２回に分け
て形成する方法を用いる。また蒸着を行う際、被蒸着基
材の法線と金属蒸着流とのなす角度を０°よりも大きく
とって、いわゆる斜方蒸着とするのがよい。本発明者等
の研究によれば、前記の角度が４５°〜８０°の間で形
成されたＦｅ薄膜は膜厚が２００Å〜２０００人である
とき、より好ましくは３００Å〜１０００人であるとき
にその磁気特性がすぐれていることが判明した。ここで
２００人未満では薄膜の形成が未熟で充分な磁束が得ら
れず、その上、抗磁力の向上を左右する因子の１つであ
る形状異方性効果の働きが小さいので抗磁力が小さいし
、又、２０００人を越えるとＦｅｆｊｌ膜の傾斜柱が成
長しすぎ、隣接する傾斜柱の頂上どうしが癒着してしま
いいずれにせよ、上記の範囲外では角型比・抗磁力共低
下するものである。
上記第１のＦｅ薄膜層と第２のＦｅ薄膜層の間の中間層
であるＣｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金薄膜層
は、Ｆｅ薄膜層を分離する中間層となる。また、この時
併せて強磁性体金属であるＣｏの単独あるいはＣｏを主
体とする合金のもつ良い磁気特性（抗磁力及び角型比が
大きい等）が作用し、記録層全体の磁気特性が向上する
ため、第１のＰｅ薄膜層と第２のＦｅ薄膜層の間にこの
Ｃ。
であるＣｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金薄膜層
は、Ｆｅ薄膜層を分離する中間層となる。また、この時
併せて強磁性体金属であるＣｏの単独あるいはＣｏを主
体とする合金のもつ良い磁気特性（抗磁力及び角型比が
大きい等）が作用し、記録層全体の磁気特性が向上する
ため、第１のＰｅ薄膜層と第２のＦｅ薄膜層の間にこの
Ｃ。
の単独あるいはＣｏを主体とする合金中間層を設ける。
さらに、上記のＣｏの単独あるいはＧｏを主体とする合
金薄膜層はＣｏの単独の他、Ｇｏ−Ｎｉ、Ｇｏ−ＣｒＳ
Ｃｏ−Ｃｕ、 ｃｏ−Ａｕ、 Ｃｏ −Ｙ、、Ｃｏ−Ｌ
ａ、 Ｃ。
金薄膜層はＣｏの単独の他、Ｇｏ−Ｎｉ、Ｇｏ−ＣｒＳ
Ｃｏ−Ｃｕ、 ｃｏ−Ａｕ、 Ｃｏ −Ｙ、、Ｃｏ−Ｌ
ａ、 Ｃ。
−Ｐｒ、Ｇｏ−ＧｄＳ Ｃｏ−３ＩＩ、Ｃｏ−ＰＬ、Ｃ
ｏ−Ｄｙ、Ｃ。
ｏ−Ｄｙ、Ｃ。
訃、Ｃｏ Ｖ等のＣｏを一つの成分とする合金を使用
し、公知の手段により形成すればよいが、第１及び第２
のＰｅ薄膜層と同様、角度が４５°〜８０”の斜方蒸着
により、前記理由により厚み２００Å〜２０００人にな
るよう形成するとよい。なお、上記のうちでもＣｏを主
体とし、ＮｉをＣｏ／Ｎ１＝９５１５〜６５／３５＜重
量比）になるよう添加したものが価格面等を考慮すれば
好ましく、又、Ｃｏ系金属薄膜層の抗磁力が、他のＦｅ
薄膜層の抗磁力とほぼ一致するよう斜方蒸着の角度を適
宜に定めるのが好ましい。
し、公知の手段により形成すればよいが、第１及び第２
のＰｅ薄膜層と同様、角度が４５°〜８０”の斜方蒸着
により、前記理由により厚み２００Å〜２０００人にな
るよう形成するとよい。なお、上記のうちでもＣｏを主
体とし、ＮｉをＣｏ／Ｎ１＝９５１５〜６５／３５＜重
量比）になるよう添加したものが価格面等を考慮すれば
好ましく、又、Ｃｏ系金属薄膜層の抗磁力が、他のＦｅ
薄膜層の抗磁力とほぼ一致するよう斜方蒸着の角度を適
宜に定めるのが好ましい。
本発明はＦｅ薄膜層間にＣｏの単独あるいはＣｏを主体
とする合金薄膜層を設けたので磁気特性及び耐腐食性が
向上する。まず、抗磁力の特性が向上する理由は、各Ｆ
ｅ″Ｆｌ膜層が中間層を介することにより互いに独立す
るので、各Ｆｅｆｌ膜層の磁気特性が加算された効果を
生むためと考えられる。Ｆｅｎ膜層を単に厚くしても抗
磁力、角型比が低下してしまうのは前記した通りである
が、前記した厚みの範囲のＦｅｎ膜層を２工程に分けて
２層積層しても、やはり抗磁力、角型比が低下する。こ
れは、下層のＦｅ薄膜の傾斜柱状構造を延長する傾向で
次のＦｅ薄膜層が形成されるので、同じトータル厚みを
１工程で形成した場合と同様になってしまい、前記した
好ましい厚みの範囲を越えてしまうためであろうと考え
られる。
とする合金薄膜層を設けたので磁気特性及び耐腐食性が
向上する。まず、抗磁力の特性が向上する理由は、各Ｆ
ｅ″Ｆｌ膜層が中間層を介することにより互いに独立す
るので、各Ｆｅｆｌ膜層の磁気特性が加算された効果を
生むためと考えられる。Ｆｅｎ膜層を単に厚くしても抗
磁力、角型比が低下してしまうのは前記した通りである
が、前記した厚みの範囲のＦｅｎ膜層を２工程に分けて
２層積層しても、やはり抗磁力、角型比が低下する。こ
れは、下層のＦｅ薄膜の傾斜柱状構造を延長する傾向で
次のＦｅ薄膜層が形成されるので、同じトータル厚みを
１工程で形成した場合と同様になってしまい、前記した
好ましい厚みの範囲を越えてしまうためであろうと考え
られる。
又、本発明において抗磁力、角型比が向上する理由は、
Ｃｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金薄膜層自身の
抗磁力、角型比が良好であるため、磁気記録媒体全体の
抗磁力、角型比が向上するためと考えられる。
Ｃｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金薄膜層自身の
抗磁力、角型比が良好であるため、磁気記録媒体全体の
抗磁力、角型比が向上するためと考えられる。
更に、耐腐食性が向上する理由は、Ｇｏの単独あるいは
Ｃｏを主体とする合金とＰｅの電気化学的性質が似てお
り、かつ、Ｃｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金を
用いた方がＦｅの場合よりも傾斜柱が稠密に形成される
ためと考えられる。
Ｃｏを主体とする合金とＰｅの電気化学的性質が似てお
り、かつ、Ｃｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金を
用いた方がＦｅの場合よりも傾斜柱が稠密に形成される
ためと考えられる。
以上、第１図に示すものを中心に説明したが、更に磁気
記録媒体の表面に保護層を形成する等の手段を付加して
もよい。
記録媒体の表面に保護層を形成する等の手段を付加して
もよい。
（発明の効果）
本発明の磁気記録媒体はこのようにＦｅ薄膜層間に中間
層を介在させているので、従来Ｆｅ単独で一定の膜厚を
得たときに生じていた抗磁力低下を主に抑えることがで
き、さらに、角型比の低下も抑えられる。
層を介在させているので、従来Ｆｅ単独で一定の膜厚を
得たときに生じていた抗磁力低下を主に抑えることがで
き、さらに、角型比の低下も抑えられる。
さらに、中間層に強磁性体のＣｏの単独あるいはＣｏを
主体とする合金を用いたことにより、記録層全体として
の抗磁力、角型比の特性が向上し、また耐腐食性も向上
するという効果を得るものである。
主体とする合金を用いたことにより、記録層全体として
の抗磁力、角型比の特性が向上し、また耐腐食性も向上
するという効果を得るものである。
以下に本発明をより具体的に示すための実施例を掲げる
。
。
１１皇
基体としては厚み６μのポリエチレンテレフタレートフ
ィルムを用い、フィルム上に最低入射角を６５°とした
斜方蒸着法により、まず、厚み８５０人のＰｅ薄膜を設
けた。次に、Ｆｅ薄膜上にＣｏ ： Ｎｉ−８０： ２
０ （重量比）のＧｏ−Ｎｉ合金を用い、最低入射角を
４５°とする斜方蒸着法により厚み４００人のＣｏ−Ｎ
ｉ合金の中間膜を設けた。更に、Ｃｏ−Ｎｉ合金薄膜上
に前記したＦｅ薄膜形成と同様にしてＦｅ薄膜を設けた
。
ィルムを用い、フィルム上に最低入射角を６５°とした
斜方蒸着法により、まず、厚み８５０人のＰｅ薄膜を設
けた。次に、Ｆｅ薄膜上にＣｏ ： Ｎｉ−８０： ２
０ （重量比）のＧｏ−Ｎｉ合金を用い、最低入射角を
４５°とする斜方蒸着法により厚み４００人のＣｏ−Ｎ
ｉ合金の中間膜を設けた。更に、Ｃｏ−Ｎｉ合金薄膜上
に前記したＦｅ薄膜形成と同様にしてＦｅ薄膜を設けた
。
一比１Ｌ医」−
基体は実施例１におけるものと同様とし、実施例１にお
けるのと同様にして厚み８５０人のＰａ薄膜層を２度形
成した。
けるのと同様にして厚み８５０人のＰａ薄膜層を２度形
成した。
上１ｉＪＬＬ
中間膜を厚み３００人のアルミニウム蒸着膜トし、その
他は実施例１と同様にした。
他は実施例１と同様にした。
上記の実施例及び各比較例で得られた磁気記録媒体の磁
気特性・耐腐食性を評価した結果を表１および表２に示
す。
気特性・耐腐食性を評価した結果を表１および表２に示
す。
表
磁気特性
第
１図は本発明の磁気記録媒体の実施例の断面図である。
磁気記録媒体
非磁性基体
３ 。
Ｆａ薄膜層
・Ｃｏの単独あるいは
Ｃｏを主体とする合金薄膜層
Claims (2)
- （１）非磁性基体上に２以上のＦｅ薄膜層と、各Ｆｅ薄
膜層間に挿入されたＣｏの単独あるいはＣｏを主体とす
る合金の薄膜層とが積層されていることを特徴とする磁
気記録媒体。 - （２）各Ｆｅ薄膜層の厚みは２００Å〜２０００Åであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の磁
気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1870990A JPH02223009A (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1870990A JPH02223009A (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02223009A true JPH02223009A (ja) | 1990-09-05 |
| JPH0472286B2 JPH0472286B2 (ja) | 1992-11-17 |
Family
ID=11979182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1870990A Granted JPH02223009A (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02223009A (ja) |
-
1990
- 1990-01-29 JP JP1870990A patent/JPH02223009A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0472286B2 (ja) | 1992-11-17 |
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