JPH0472287B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

（技術分野） 本発明はFeを使用した金属薄膜型の磁気記録
媒体の改良に関する。 （従来技術） 非磁性基体上に、真空蒸着、スパツタリング、
イオンプレーテイング等の手段により強磁性金属
の薄膜を形成した、いわゆる金属薄膜型の磁気記
録媒体は、通常の、バインダーを使用する型の磁
気記録媒体にくらべて記録密度を高くとることが
できる他、種々の利点を有しているため、実用化
への努力が払われている。 このような金属薄膜型の磁気記録媒体を作成す
るのに使用される金属としてはFe、Co、Ni、Cr
等の強磁性金属や、これら強磁性金属を主体とす
る合金が使用されることが多いが、その中でも
Coの単独あるいはCoを主体とする合金は磁気記
録媒体として高性能であるのでしばしば使用され
る。 一方、上記の強磁性金属のうちでもFeは、Co
やCoの合金にくらべて材料費が安く、磁気記録
媒体としたときにＳ／Ｎ比がすぐれており、しか
も歪率が低い等の種々の利点がある反面、耐腐食
性が充分でない等の欠点を有している。 （発明の目的） 従つて、本発明の目的は、安価である強磁性金
属FeのFeの利点を最大限に引き出し、かつ弱点
を補うためにCoの単独あるいはCoを主体とする
合金を上記の多層にした最上層のFe層の上に設
けることによりFe自体の有する腐食しやすいと
いう欠点を解消すると共に磁気特性も優れた磁気
記録媒体を提供することにある。 （発明の構成） 本発明の磁気記録媒体は、非磁性基体上に２以
上のFe薄膜層と、更にその上にCoの単独あるい
はCoを主体とする合金の薄膜層とが積層されて
いることを特徴とするものである。 以下、図面を用いながら本発明を詳細に説明す
ると、第１図に示すように本発明の磁気記録媒体
１は例えば非磁性基体２上に第１のFe薄膜層３、
第２のFe薄膜層４、およびCoの単独あるいはCo
を主体とする合金薄膜層５の各層が順次積層され
ている。この第１図の例では２つのFe薄膜層の
上にCoの単独あるいはCoを主体とする合金薄膜
層が積層されているが、Fe薄膜層を３層以上形
成し、その上にCoの単独あるいはCoを主体とす
る合金薄膜層を挿入してもよい。 上記における非磁性基体２としては耐熱性を有
する合金樹脂フイルム、例えばポリエチレンテレ
フタレートフイルム、ポリイミドフイルムもしく
はポリカーボネートフイルム等の、金属箔、例え
ばアルミニウム箔、非磁性ニツケル箔、銅箔もし
くはステンレス箔等、或いはガラスやセラミツク
を用いることができる。これらのうち、磁気記録
媒体をテープ状に製造する際には耐熱性、抗張
力、及び寸法安定性の点で厚み4μ〜25μのポリエ
チレンテレフタレートフイルムを用いるとよい。 第１図のFe薄膜層と第２のFe薄膜層とは原則
的には同様である。また、第１のFe薄膜層と第
２のFe薄膜層を設ける理由としては、所望の磁
気的出力を得るにはある一定の膜厚（少なくとも
500Å以上、望ましくは2000Å以上）が必要であ
り、Fe薄膜層を一度に形成すると、所望の磁気
的出力を出す膜厚は確保されるが、角型比、抗磁
力等の特性で良い結果は得られないからである。
その第１及び第２のFe薄膜層は、Feを蒸着源と
する蒸着等の手段により設けることができ、所望
の磁気的出力を得るための膜厚を確保しながら、
角型比、抗磁力等の特性を満足させる手段を用い
る。すなわち、一度に所望の膜厚を形成せずに、
磁気特性の劣化しない範囲の膜厚を２回に分けて
形成する方法を用いる。また、蒸着を行う際の被
蒸着基材の法線と金属蒸着流とのなす角度を0°よ
りも大きくとつて、いわゆる斜方蒸着とするのが
よい。本発明者等の研究によれば、前記の角度が
45°〜80°の間で形成されたFe薄膜は膜厚が200Å
〜2000Åであるとき、より好ましくは300Å〜
1000Åであるときにその磁気特性がすぐれている
ことが判明した。ここで200Å未満では薄膜の形
成が未熟で充分な磁束が得られず、その上、抗磁
力の向上を左右する因子の１つである形状異方性
効果の働きが小さいので抗磁力が小さいし、又、
2000Åを越えるとFe薄膜の傾斜柱が成長しすぎ、
隣接する傾斜柱の頂上どうしが癒着してしまい、
いずれにせよ、上記の範囲外では角型比・抗磁力
共低下するものである。 上記第２のFe薄膜層上のCoの単独あるいはCo
を主体とする合金薄膜層は、強磁性体金属である
が、Coの単独あるいはCoを主体とする合金のも
つ良い磁気特性（抗磁力高い等）が作用し、記録
層全体の磁気特性が向上するため、第２のFe薄
膜層の上にこのCoの単独あるいはCoを主体とす
る合金中間層を設ける。さらに、上記のCoの単
独あるいはCoを主体とする合金薄膜層としては、
Coの単独の他、Co−Ni、Co−Cr、Co−Cu、Co
−Au、Co−Ｙ、Co−La、Co−Pr、Co−Gd、
Co−Sm、Co−Pt、Co−Dy、Co−Mn、Co−Ｖ
等のCoを一つの成分とする合金を使用し、公知
の手段により形成すればよいが、第１及び第２の
Fe薄膜層と同様、角度が45°〜80°の斜方蒸着によ
り、前記理由により厚み200Å〜2000Åになるよ
う形成するとよい。なお、上記のうちでもCoを
主体とし、NiをCo／Ni＝95／５〜65／35（重量
比）になるよう添加したものがよく、又、Coの
単独あるいはCoを主体とする合金薄膜層の抗磁
力が、他のFe薄膜層の抗磁力とほぼ一致するよ
う斜方蒸着の角度を適宜に定めるとよい。 本発明においてFe薄膜層を複数層積層し、そ
の上にCoの単独あるいはCoを主体とする合金薄
膜層を設けるので、各層の磁気特性が加算されて
磁気特性が向上する。つまり、各Feの薄膜層は
前記した好ましい厚みの範囲に形成しても、ただ
単にFe薄膜層を重ねた場合だと、下層のFe薄膜
の傾斜柱状構造を延長する傾向で次のFe薄膜層
が形成されるため、同じトータル厚みを１工程で
形成した場合に近づいてしまい、結局、Fe薄膜
層だけの積層では充分な磁気特性は得られないの
であるが、最表層に磁気特性のすぐれたCoの単
独あるいはCoを主体とする合金薄膜層を形成す
ることにより必要な磁気特性が得られるものであ
る。 又、本発明においては最表層のCoの単独ある
いはCoを主体とする合金薄膜層がFe薄膜層の傾
斜柱の上に稠密に形成されているので最上層の
Fe薄膜層を被覆する効果があり、またCo自身の
耐腐食性も優れているのでFe薄膜が表面に露出
する場合にくらべて耐腐食性が特に向上する。 （発明の効果） 本発明の磁気記録媒体はこのように多層のFe
薄膜層の上にCoの単独あるいはCoを主体とする
合金薄膜層を設けているので、従来磁気記録層と
してFe単独で使用していたときに比べて耐腐食
性を向上するという効果を得るものである。ま
た、Fe単独で所望の膜厚を得るときに生じてい
た角型比、抗磁力等の特性低下をおさえることが
でき、記録層全体としての磁気特性が向上すると
いう効果も得るものである。 以下に本発明をより具体的に示すための実施例
を掲げる。 実施例 基体としては厚み6μのポリエチレンテレフタ
レートフイルムを用い、フイルム上に最低入射角
を65゜とした斜方蒸着法により、まず、厚み850Å
のFe薄膜を設けた。次に、この第１のFe薄膜上
に第１のFe薄膜と同様にして同厚みの第２のFe
薄膜を設けた。更に第２のFe薄膜の上にCo：Ni
＝80：20（重量比）のCo−Ni合金を用い、最低入
射角を45゜とする斜方蒸着法によりCo−Ni合金薄
膜を厚み600Åになるよう設けた。 比較例 １ 基体は実施例１におけるものと同様とし、実施
例１におけるFe薄膜形成と同じ方法で厚み700Å
のFe薄膜層を３層積層した。 比較例 ２ 基体上に第１のFe薄膜、Co−Ni合金薄膜、及
び第２のFe薄膜をこの順に設けた。但し、基体、
Fe薄膜・Co−Ni合金薄膜の形成法・厚みは実施
例１におけるものと同様とした。 上記の実施例及び各比較例で得られた磁気記録
媒体の磁気特性・耐腐食性を評価した結果を表１
および表２に示す。

【表】

【表】 【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気記録媒体の実施例の断面
図である。 １……磁気記録媒体、２……非磁性基体、３，
４……Fe薄膜層、５……Coの単独あるいはCoを
主体とする合金薄膜層。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 非磁性基体上に２以上のFe薄膜層と、更に
   その上にCoの単独あるいはCoを主体とする合金
   の薄膜層とが積層されていることを特徴とする磁
   気記録媒体。 ２ 各Fe薄膜層の厚みは200Å〜2000Åであるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気
   記録媒体。