JPS6334166U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6334166U JPS6334166U JP12596186U JP12596186U JPS6334166U JP S6334166 U JPS6334166 U JP S6334166U JP 12596186 U JP12596186 U JP 12596186U JP 12596186 U JP12596186 U JP 12596186U JP S6334166 U JPS6334166 U JP S6334166U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- viewport
- evaporation source
- reflecting mirror
- utility
- model registration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案のビユーポートの縦断面図。第
２図は公知の回転導入機の縦断面図。第３図は従
来例のビユーポートの縦断面図。 １……ガラス板、２……反射鏡、４……ビユー
ポート曲管、５……彎曲壁、６……回転軸、７…
…フランジ、８……ボルト、９……ナツト、１２
……壁面、１３……円筒壁部、１４……フランジ
、１７……フランジ、１８……取付枠、１９……
ボルト、２０……ナツト。
２図は公知の回転導入機の縦断面図。第３図は従
来例のビユーポートの縦断面図。 １……ガラス板、２……反射鏡、４……ビユー
ポート曲管、５……彎曲壁、６……回転軸、７…
…フランジ、８……ボルト、９……ナツト、１２
……壁面、１３……円筒壁部、１４……フランジ
、１７……フランジ、１８……取付枠、１９……
ボルト、２０……ナツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 容器内に設けた基板の上に薄膜を形成する
ために、容器内を真空にし、蒸発源の中に収容さ
れた原料を加熱し、蒸発又は昇華させ真空中を飛
んだ原料が基板の上に付着するようにした薄膜形
成装置に於て、蒸発源を観察するために設けられ
たビユーポートであつて、装置の壁面１２に設け
られたフランジ１４に一端のフランジ７が固着さ
れ中間に於て８０〜１２０°に彎曲したビユーポ
ート曲管４と、ビユーポート曲管４の他端に設け
られ蒸発源から見て壁面によつてさえぎられた位
置にあるガラス板１と、ビユーポート曲管４の彎
曲壁５の内部に設けられガラス板１から観察しう
る位置に蒸発源の像を映す反射鏡２と、反射鏡２
を回転可能に支軸する回転軸６とよりなる事を特
徴とする反射鏡付ビユーポート。 (2) 反射鏡２が平面鏡である事を特徴とする実
用新案登録請求の範囲第(1)項記載の反射鏡付ビ
ユーポート。 (3) 反射鏡２が凸面鏡である事を特徴とする実
用新案登録請求の範囲第(1)項記載の反射鏡付ビ
ユーポート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12596186U JPS6334166U (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12596186U JPS6334166U (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334166U true JPS6334166U (ja) | 1988-03-04 |
Family
ID=31019318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12596186U Pending JPS6334166U (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6334166U (ja) |
-
1986
- 1986-08-18 JP JP12596186U patent/JPS6334166U/ja active Pending
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