JPS6334165U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6334165U JPS6334165U JP12596086U JP12596086U JPS6334165U JP S6334165 U JPS6334165 U JP S6334165U JP 12596086 U JP12596086 U JP 12596086U JP 12596086 U JP12596086 U JP 12596086U JP S6334165 U JPS6334165 U JP S6334165U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation source
- view port
- reflecting mirror
- viewport
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案のビユーポートの縦断面図。第
２図は従来例に係るビユーポートの縦断面図。 １…ガラス板、２…反射鏡、３…ベロー、４…
ビユーポート曲管、５…彎曲壁、６…取付枠、７
…フランジ、８…ボルト、９…ナツト、１２…壁
面、１３…円筒壁部、１４…フランジ。
２図は従来例に係るビユーポートの縦断面図。 １…ガラス板、２…反射鏡、３…ベロー、４…
ビユーポート曲管、５…彎曲壁、６…取付枠、７
…フランジ、８…ボルト、９…ナツト、１２…壁
面、１３…円筒壁部、１４…フランジ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 容器内に設けた基板の上に薄膜を形成する
ために、容器内を真空にし、蒸発源の中に収容さ
れた原料を加熱し、蒸発又は昇華させ真空中を飛
んだ原料が基板の上に付着するようにした薄膜形
成装置に於て、蒸発源を観察するために設けられ
たビユーポートであつて、装置の壁面１２に設け
られたフランジ１４に一端のフランジ７が固着さ
れ中間に於て８０〜１２０°に彎曲したビユーポ
ート曲管４と、ビユーポート曲管４の他端に設け
られ蒸発源から見て壁面によつてさえぎられた位
置にあるガラス板１と、ビユーポート曲管の彎曲
壁５の内部に設けられガラス板１から観察しうる
位置に蒸発源の像を映す反射鏡２と、ビユーポー
ト曲管４の一部をなし反射鏡２より蒸発源に近い
位置に設けたベロー３とよりなる事を特徴とする
反射鏡付ビユーポート。 (2) 反射鏡２が平面鏡である事を特徴とする実
用新案登録請求の範囲第(1)項記載の反射鏡付ビ
ユーポート。 (3) 反射鏡２が凸面鏡である事を特徴とする実
用新案登録請求の範囲第(1)項記載の反射鏡付ビ
ユーポート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12596086U JPS6334165U (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12596086U JPS6334165U (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334165U true JPS6334165U (ja) | 1988-03-04 |
Family
ID=31019316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12596086U Pending JPS6334165U (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6334165U (ja) |
-
1986
- 1986-08-18 JP JP12596086U patent/JPS6334165U/ja active Pending
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