JPH02224261A - プロービング方法及びプローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、ＬＣＤ　（液晶デイスプレー）基板上の各液
晶駆動素子の検査を行うためのプローブ装置に関する。

（従来の技術） 例えば、ＬＣＤの電気的特性を検査するに際して、ＴＰ
Ｔのゲート、ソースとプローブ針との電気的接続を行う
ためには、基板端部に存在するソースリード電極、ゲー
トリード電極にそれぞれ検査用電極を接触させる必要が
ある。

また、ＴＰＴのゲートは画面を構成する各画素内の透明
電極に接続されているため、任意のＴＰＴの機能検査を
行うためには、そのＴＰＴの存在する画素上の透明電極
にも検査用電極を接触させる必要がある。

ここで、このようなＬＣＤの検査を行うプローブ装置と
して、特開昭６１−７０５７９．特開昭８２−２０４２
９１に開示されたものがある。

これらの公報に開示されているプローブ装置では、ＬＣ
Ｄを載置する載置台の一辺／及びまたは他辺の平行な方
向に移動可能な３つのプローブヘッドを設け、こ・れら
を載置台上で移動させることで、液晶駆動素子の機能検
査を行うものである。

（発明が解決しようとする課題） 上述したプローブ装置によれば、各プローブヘッドの移
動範囲が大きく、微少ピッチで形成された各電極にコン
タクトする際に、順次移動による累積誤差が大きくなり
、位置制御が極めて煩雑であるという問題があった。

ここで、上記プローブ装置は一枚の基板内に一つのＬＣ
Ｄが形成されているものについて開発されたものである
が、近年では複数のＬＣＤを一枚基板で形成した後にス
ライスするものもある。この場合に上記プローブ装置を
そのまま適用することも可能であるが、このような基板
を想定した装置ではないため、効率的な検査を実施する
ことが難しかった。

そこで、本発明の目的とするところは上述した従来の問
題点を解決し、−枚の基板内に複数のＬＣＤが形成され
ている被検査対象の検査に最適なプローブ装置を提供す
ることにある。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、多数の液晶駆動素子をマトリックス状に配線
したＬＣＤを複数形成して成る基板の、少なくとも信号
ライン電極、走査ライン電極に第１、第２のプローブヘ
ッドを接触させ、上記ＬＣＤの検査を行うにあたり、 第１．第２のプローブヘッドをそれぞれ一枚のＬＣＤの
縦、横サイズ内で移動させて、その全電極にコンタクト
して上記検査を実行し、上記基板を支持する載置台の移
動により他のＬＣＤを上記信号、走査ライン用プローブ
電極の移動範囲内に設定して、各ＬＣＤの検査を行う方
法及びこの方法を実現する装置として構成している。

（作　用） 本発明方法では、−枚の基板内に形成された各ＬＣＤの
検査を実行するにあたり、各ＬＣＤをプローブヘッドの
移動範囲内に設定する動作を載置台の移動によって実現
し、かつ、このＬＣＤの内の各電極へのコンタクトを実
現するために、第１、第２のプローブヘッドを移動する
ことで実現している。したがって、プローブヘッドの移
−動シーケンスは、−枚の基板内の複数のＬＣＤに共通
に使用でき、載置台の移動により検査すべきＬＣＤを検
査位置に設定するだけで実現できる。

（実施例） 以下、本発明をＬＣＤ基板のプローブ装置に適用した一
実施例について、図面を参照して具体的に説明する。

このプローブ装置の構成を説明する前に、ここでＬＣＤ
基板の構成について、基板面を模式化して表した第８図
を参照して説明する。

アクティブマトリックス方式の液晶基板７０上には、透
明電極、パッジベイト膜、配向膜などを備えた多数のビ
クセル８０が形成されている。

これらのピクセル８０には、それぞれれＭＯ８型ＴＦＴ
８１が配置されており、このＭＯ５型ＴＦＴ８１のソー
スは、それぞれソースライン（走査ラインとも称する）
８２ａ、８２ｂ、８２ｃ・・・に、ゲートは、それぞれ
ゲートライン（信号ラインとも称する）８３ａ、８３ｂ
、８３ｃ・・・に接続されている。また、ＭＯ３型ＴＦ
Ｔ８１のドレインは、それぞれビクセル８０内の透明電
極に接続されている。

さらに、前記ソースライン８２ａ、８２ｂ。

８２ｃ・・・は、基板１０の端部に形成したソースリー
ド電極８４　ａ　、　８４　ｂ　、　８４　ｃ　−と、
その対向電極８４ａ　＋、８４ｂ−、８４ｃｍ・・−に
それぞれ接続されている。また、前記ゲートライン８３
ａ。

８３ｂ、８３ｃも同様に、ゲートリード電極８５ａ１８
５ｂ、８５Ｃ・・・と、その対向電極８５ａ８５ｂ−８
５ｃ”・・・にそれぞれ接続されている。

尚、上記対向電極は各ライン、ライン間の短絡。

断線を検査するために用いるもので、一方、ＴＰＴの機
能検査に使用する電極としては、ＴＰＴのゲート、ソー
ス、ドレインに接続された各電極であり、すなわちソー
スリード電極８４　ａ、８４　ｂ。

８４ｃｍ−−、ゲートリード電極８５ａ、８５ｂ。

８５ｃ・・・及び透明電極である。

そして、本プローブ装・置の検査対象は、上記の構成の
ＬＣＤ７０を複数例えば第１図（Ａ）に示すように４つ
（ＬＣＤ７０ａ　〜７０ｄ）形成して成る基板９０とな
っている。

次に、上記基板９０内の各ＬＣＤ７０を検査するプロー
ブ装置の構成及び動作について説明する。

く第１実施例〉 この第１実施例装置は、前記ＬＣＤ７０の４辺にそれぞ
れ平行な方向に移動可能な４つのプローブヘッドを有し
て構成している。

第１図（Ｂ）に示すように、前記基板９０を載置して支
持する載置台１を有し、この載置台１はその載置面の直
交２軸方向であるＸ、Ｙ軸、このｘ、Ｙ軸に直交する高
さ方向の２軸、このＺ軸の周りの回転方向であるθ方向
にそれぞれ移動可能となっている。

次に、前記載置台１の上方に配置される４つのプローブ
ヘッドの構成について説明する。

この４つのプローブヘッドとして、第１の走査ライン用
プローブヘッド１０ａ、第２の走査ライン用プローブヘ
ッド１０ｂ、第１の信号ライン用プローブヘッド１２ａ
、第２の信号ライン用プローブヘッド１２ｂを設けてい
る。前記第１．第２の走査ライン用プローブヘッド１０
ａ、１０ｂは、前記ＬＣＤ７０の相対向する一辺に平行
な方向であるＸ方向にのみ移動可能となっていて、しか
も、その移動範囲はＬＣＤ７０の前記一辺の長さ分に相
当する範囲となっている。この第１．第２の走査ライン
用プローブヘッド１０ａ、１０ｂは、前記ＬｃＤ７０の
ソースリード電極にコンタクトするものであり、前記一
辺上のＬＣＤ７０のソースリード電極の数を例えば２４
０とした場合には、第１．第２の走査ライン用プローブ
ヘッド１０ａ。

１０ｂの電極数はその１／４である６０本となっている
。したがって、第１．第２の走査ライン用プローブヘッ
ド１０ａ、１０ｂは６０カ所のソースリード電極に一度
にコンタクト可能であり、その一辺の長さ分の全ソース
リード電極にコンタクトするために、この第１．第２の
走査ラインプローブヘッド１０ａ、１０ｂを上記Ｘ方向
に移動可能としている。尚、この第１．第２の走査ライ
ン用プローブヘッド１０ａ、１０ｂは、本発明の第２の
プローブヘッドに相当するものである−０一方、第１．
第２の信号ライン用プローブヘッド１２ａ、１２ｂは、
前記ＬＣＤ７０の他の辺に平行な方向であるＹ方向にの
み移動可能であって、しかも、その移動範囲は、前記Ｌ
ＣＤ７０の他の辺の長さ分に相当する範囲となっている
。この第１、第２の信号ライン用プローブヘッド１２ａ
。

１２ｂは、前記ＬＣＤ７０のゲートリード電極にコンタ
クトするものであり、例えば前記ＬＣＤ７０の他の辺上
のゲートリード電極数を２４０とした場合に、この第１
．第２の信号ライン用プローブヘッドの電極数はそれぞ
れその１／４である６０本となっている。したがって、
この第１．第２の信号ライン用プローブヘッド１２ａ、
１２ｂは、−度に６０本のゲートリード電極にコンタク
ト性、その他の辺の全ゲートリード電極にコンタクトす
るために、第１．第２の信号ライン用プローブヘッド１
２ａ、１２ｂを前記Ｙ方向に移動可能としている。尚、
第１．第２の信号ライン用プローブヘッド１２ａ、１２
ｂは、本発明の第１のプローブヘッドを構成する一例で
ある。

なお、各プローブヘッド１０ａ、１０ｂ、１２ａ、１２
ｂは、それぞれ各リード電極との接触。

非接触が独立して行えるように、ＵＰ／ＤＯＷＮ機能を
備えている。

ここで、前記４つの各プローブヘッド１０ａ。

１０ｂ、１２ｇ、１２ｂの電極コンタクト構造について
説明すると、例えば第２図（Ａ）に示すように、フレキ
シブルなフィルム電極（Ｆ　Ｐ　Ｃ）２０の一端をカー
ルさせ、基板２１との間に柔軟部材例えばフェルト２２
を介在させた電極構造を一例として挙げることができる
。あるいは、同図（Ｂ）に示すように、前記フェルト２
２を断面丸型の芯材とすることにより、丸型心材の下端
頂点に荷重が集中するためパターンとパッドとの位置合
せ性、及び小面積パッドへのコンタクト性を向上させる
ことができる。なお、心材を硬いものとすることにより
コンタクト性が向上することが確認できたため、基板に
よってはＳＵＳ材等で構成しても良い。この他、コンタ
クト構造としては種々のものを採用でき、例えば複数の
プローブ針を基板に支持したたらのなどであってもよい
。

次に、この第１実施例装置の動作について説明する。

まず、基板９０を載置した載置台１をＸ、Ｙ方向に移動
させ、第１図（Ａ）に示すように基板９０上の一つのＬ
ＣＤ例えばＬＣＤ７０ａが、前記４つのプローブヘッド
の移動範囲内に設定されるように位置決め動作を実行す
る。すなわち、上記４つのプローブヘッドは４辺の予め
定められた位置に停止されており、この状態で前記載置
台１をＺ方向に移動することで、上記４つのプローブヘ
ッドとＬＣＤ７０ａのゲートリード電極及びソースリー
ド電極とはコンタクトする。

次に、第１．第２の走査ライン用プローブヘッド１０ａ
、１０ｂにより、テスタからの測定信号を供給し、各ソ
ースラインの断線の有無、隣接するソースライン間の短
絡の有無を検査する。一方、第１．第２の信号ライン用
プローブヘッド１２ａ。

１２ｂの使用により、同様にテスタから選択的に通電し
、各ゲートラインの断線の有無及び隣接するゲートライ
ン間の短絡の有無を検査する。さらに、第１の走査ライ
ン用プローブヘッド１０ａ及び第１の信号ライン用プロ
ーブヘッド１２ａの使用により、テスタからの選択的な
通電によりゲートライン、ソースラインの交点における
絶縁抵抗の値の検査を実施する。

そして、本実施例では上記の各プローブヘッドを現在コ
ンタクトしている６０本の電極の隣りに存在する他の６
０本の電極にコンタクトできるように移動することで、
ＬＣＤ７０ａ上のすべてのソースリード電極及びゲート
リード電極にコンタクトでき、この各状態で上記のよう
な検査を行うことで、ＬＣＤ７０ａ上の全てのラインま
たはライン間あるいはライン交点での不良検査を実施す
ることが可能である。

そして、このように４つのプローブヘッドを各方向に移
動させる構成の最大のメリットとしては、一種類の検査
を行う場合には４つのプローブヘッドのうちの任意の２
つのプローブヘッドのみを使用スるので、この２つのプ
ローブヘッドを使−用しての検査実施中に他の２つのプ
ローブヘッドを移動することができる点にある。すなわ
ち、プローブヘッドの移動は他のプローブヘッドを使用
しての検査中に実施することができるので、このような
プローブヘッドの移動に要するインデックスタイムを、
−枚のＬＣＤ７０ａの検査中には実質的に零にすること
ができ、このため検査のスルーブツトを大幅に向上する
ことができる。

次に、前記基板９０上の他のＬＣＤ例えばＬＣＤ７０ｂ
の検査を行う場合について説明する。この場合には、本
実施例の載置台１がＸ、Ｙ方向に移動可能であるので、
次にＬＣＤ７０ｂの検査を行う場合には、載置台１をＸ
方向に、ＬＣＤの一面積分だけ移動することで、この次
の検査対象であるＬＣＤ７０ｂを上記４つのプローブヘ
ッドの移動範囲内に設定することができる。この設定後
は、上記ＬＣＤ７０ａの検査と同様に各プローブヘッド
を順次移動することで、ＬＣＤ７０ｂ上の全ての検査を
実施することができる。そして、このように異なるＬＣ
Ｄの検査を行う場合には、載置台１を移動することで対
応しているため、各プローブヘッドの移動範囲としては
、上述したようにＬＣＤ７０の一辺または他の辺の各長
さ分に対応する範囲のみで済む。したがって、各プロー
ブヘッドの移動距離を従来よりも短くすることができる
ため、プローブヘッドを長い範囲に亘って移動させた場
合の累積誤差に起因するコンクト不良を確実に防止する
ことができる。しかも、４つのプローブヘッドの移動シ
ーケンスについては、基板９０上の４つのＬＣＤ７０ａ
、７０ｂ、７０ｃ。

７０ｄについて全て共通に使用でき、同一基板９０上の
各ＬＣＤをプローブヘッドのみの移動により検査する場
合に比べて、その移動シーケンスが極めて部品となり、
このような移動のための制御部の構成を従来よりも大幅
に簡易化することができる。

なお、上記実施例の場合、４つのプローブヘッドの移動
位置が定められているので、基板９ｏ上に形成されるＬ
ＣＤ７０のインチサイズが異なる場合には対応できない
。そこで、各プローブヘッドの移動方向と直交する方向
にてプローブヘッドの取り付は位置を可変できるアダプ
ターを使用すれば、各サイズのＬＣＤ７０にも共用する
ことが可能となる。

く第２実施例〉 この第２実施例装置は、前記ＬＣＤ７０の一辺及び他の
辺にそれ４ぞれ平行な方向に移動可能な２つのプローブ
ヘッドを有して構成し、ている。

この２つのプローブヘッドとして、第１のプローブヘッ
ド３０と第２のプローブヘッド３２とを設けている。前
記第１のプローブヘッド３ｏは、第３図に示すように同
図のＸ方向に沿って所定の間隔で６０本の電極を備えた
第１の走査ライン用プローブヘッド３０ａと同図のＹ方
向に沿って所定の間隔で６０本の電極を備えた第１の信
号ライン用プローブヘッド３０ｂとを備え、Ｘ、Ｙ方向
に移動可能となっている。尚、このＸ、Ｙ方向の移動範
囲は、前記ＬＣＤ７０の一辺及び他の辺の長さ分に相当
する範囲となっている。また、前記第２のプローブヘッ
ドも同様に、第１のプローブヘッド３０と同じ電極数、
移動方向、移動範囲の第２の走査ライン用プローブヘッ
ド３２ａと信号ライン用プローブヘッド３２ｂとから構
成されている。

なお、上記各プローブヘラＦ３０ａ、３０ｂ。

３２ａ、３２ｂも、第１実施例と同様にＵＰ／ＤＯＷＮ
機能を備えている。。

また、この第２実施例装置の基板９０を載置する載置台
１は、前述した第１実施例と同様であり、載置面の直交
座標であるＸ、Ｙ方向及び高さ方向である２方向さらに
Ｙ軸の回りの回転方向であるθに移動可能となっている
。

次に、この第２実施例装置の動作について説明する。

まず、第１実施例と同様に載置台１の移動によって基板
９０のアラメント動作を実行し、この後載置台１をＺ方
向に上昇させて、ＬＣＤ７０ａの一部の電極と、前記第
１．第２のプローブヘッド３０．３２の電極とをコンタ
クトさせる。

このようなコンタクトの終了後、各プローブヘッド３０
ｇ、３０ｂ、３２ａ、３２ｂの位置を所定に設定するこ
とにより、下記の検査が実行可能となる。すなわち、両
プローブヘッド３０．３２の第１．第２の信号ライン用
プローブヘッド３０ｂ、３２ｂを使用することにより、
テスタから選択的に通電することによって各ゲートライ
ンの断線の有無及び隣接するゲートライン間の短絡の有
無を検査することができる。さらに、プローブヘッド３
０ｂ、３２ａの使用により、ゲートライン。

ソースラインの交点における絶縁抵抗の値の検査を実行
できる。

このようにして、基板９０上の一枚のＬＣＤ７０ａにつ
いての検査が終了した後には、第１実施例と同様に載置
台１をＸ及び／またはＹ方向に移動することで、次の検
査対象を上記第１．第２のプローブヘッド３０．３２の
移動範囲内に設定する。

〈第３実施例〉 この第３実施例装置は、前述した第２実施例装置と同様
に第１．第２プローブヘッド４０．４２を有することで
共通するが、相違する点は下記の通りである。

まず、第１のプローブヘッド４０は同様に第１の走査ラ
イン用プローブヘッド４０ａ、信号ライン用プローブヘ
ッド４０ｂを有するが、この第１のプローブヘッド４０
は第４図のＹ方向にのみ移動可能となってる。また、こ
の移動可能なＹ方向に沿って電極を有する第１の信号ラ
イン用プローブヘッド４０ｂの電極数は、第２実施例と
同様に６０本であるが、移動不可能なＸ方向に沿って電
極を有する第１の走査ライン用プローブヘッド４０ａは
、ＬＣＤ７０の一辺の全電極に同時にコンタクトできる
ように２４０個の電極を有している。

一方、第２のプローブヘッド４２は、第２の走査ライン
用プローブヘッド４２ａと第２の信号ライン用プローブ
ヘッド４２ｂとからなり、第４図のＸ方向にのみ移動可
能となっている。そして、移動可能なＸ方向に沿って電
極を有する第２の走査ライン用プローブヘッド４２ａは
６０個の電極を有し、−刃移動不可能なＹ方向に沿って
電極を有する第２の信号ライン用プローブヘッド４２ｂ
は、ＬＣＤ７０の他の辺の全電極に一括してコンタクト
できるように２４０個の電極を有している。

尚、上記各プローブヘッド４Ｑａ、４Ｑｂ。

４２ａ、４２ｂは、それぞれＵＰ／ＤＯＷＮ可能トナッ
ている。また、基板９０を載置する載置台１の移動につ
いては第１．第２実施例と同様である。

ここで、前記第１の走査ライン用プローブヘッド４０ａ
及び第２の信号ライン用プローブヘッド４２ｂについて
は、ＬＣＤ７０ａの一辺または他辺の全電極にコンタク
トする構成を要する。この場合の上記プローブヘッド４
０ａ、４２ｂの構成を、第５図（Ａ）に示すように、２
４０個の電極パターンを要するフィルム電極４６を基板
４４に支持する構成とすることもできるが、好ましくは
第５図（Ｂ）に示す構成とするものがよい。第５図（Ｂ
）に示すものは、−枚のフィルム電極４８には６０個の
パターン電極を形成しておき、このフィルム電極４８を
基板４４に４つ支持することで、結果的に２４０個の電
極パターンを要するプローブヘッドを構成することがで
きる。このように、−括コンタクトに要する多数の電極
を一枚のフィルム電極４６に形成するのではなく、第５
図（Ｂ）に示すように一つずつのフィルム電極の数は６
０個と少なくし、複数のフィルム電極４８を一枚の基板
４４上に支持して構成することで、枚のフィルム電極４
６に多数のパターン電極を形成した場合の累積誤差の問
題を解決することができる。また、分割された一枚のフ
ィルム電極４８は、前述した第１．第２実施例に使用さ
れるような各プローブヘッドの電極数と同じくなるので
、この＄ように分割したフィルム電極４８を組合せて使
用するようにすることで部品の標準化が達成でき、もっ
て装置のコストダウンを図ることができる。

〈第４実施例〉 この第４実施例は、第１〜第３の実施例に、第３のプロ
ーブヘッド５０を付加することによって、上述した各ラ
インの断線の有無、ライン間の短絡の有無及びライン交
点の抵抗値の検出の他に−、液晶駆動素子であるＭＯ３
型ＴＦＴ８１の機能検査をも実施するものである。

この第３のプローブヘッド５０は、第８図に示す透明電
極に接触し、すなわちＴＰＴ８１のドレインと導通する
ことで上記機能検査を可能とするものである。そして、
この第３のプローブヘッド５０は、第７図に示すように
マニピュレータ６０に支持された１本のプローブ針６２
を有する構成となっていて、上を己マニュピレータ６０
はプローブ針６２のＸ、Ｙ方向の位置及び高さ方向であ
る２方向の位置を微調整可能としている。

この第３のプローブヘッド５０を前記第１実施例に付加
した構成を、第６図（Ａ）示す。同図において、前記第
３のプローブヘッド５０は一枚のＬＣＤ７０、同図では
ＬＣＤ７０ａの範囲内で同図のＸ、Ｙ方向に移動可能と
なっている。

この第３のプローブヘッド５０を用いての上記ＴＦＴ８
１の機能検査について説明すると、まず載置台１のＸ、
Ｙ方向の移動により、各プローブヘッドの移動範囲内に
一枚目ＬＣＤ７０ａを設定する。次に、このＬＣＤ７０
ａ上の検査対象となるＴＰＴ８１の透明電極の上方に、
前記第３のプローブヘッド５０のプローブ針６２が配置
されるように、この第３のプローブヘッド５０をＸ、Ｙ
方向に移動する。この後、載置台１を上方に移動するこ
とで、各プローブヘッドの電極パターンあるいはプロー
ブ針をＬＣＤ７０ａの電極パッドにコンタクトする。こ
の後、第３のプローブヘッド５０のプローブ針６２が接
触されているＴＰＴ８１に通電できるように、対応する
ゲートリード電極及びソースリード電極に図示しないテ
スタからブローブヘッ下を介して通電し、その電流値を
テスタにて測定することによって、ＴＰＴの機能検査が
可能となる。そして、このような検査を第１．第２．第
３のプローブヘッド１０，１２゜５０の位置を変えて実
施することで、ＬＣＤ７０ａ上の全てのＴＰＴ８１の機
能検査を実施することができる。−枚のＬＣＤ７０Ｈに
ついての機能検査が終了した後には、上述した第１実施
例と同様に載置台１によって他のＬＣＤ７０ｂを、第１
〜第３のプローブヘッド１０，４２．５０の移動範囲内
に設定し、以後同様な動作を繰返すことによって基板９
０上の４つのＬＣＤの全てのＴＰＴ８１について、その
機能検査を実施することができる。

次に、前述した第３実施例に付加してＴＰＴ８１の機能
検査を実施する場合には、第６図ＣＣ）に示すように、
前記第３のプローブヘッド５０を同図の図示Ｘ、Ｙ方向
に移動可能とし、かつこの移動範囲を一枚のＬＣＤ７０
の全範囲をまかなう範囲とすることで、第６図（Ａ）に
示す実施例と同様に、短絡、断線検査等に加えてＴＰＴ
８１の機能検査を実施することが可能となる。

次に、前述した第２実施例に付加してＴＰＴ８１の機能
検査を行う場合には、第６図（Ａ）。

（Ｃ）に示すように第３のプローブヘッド５０をＸ、Ｙ
方向に移動可能に構成してもよいが、この第２実施例の
場合には第３のプローブヘッド５０を適宜位置に固定す
るものであってもよい（第６図（Ｂ）参照）。すなわち
、第３のプローブへ、ソド５０におけるプローブ針６２
を所望のＴＦＴ８１の透明電極に接触させる場合には、
載置台１をＸ、Ｙ方向に移動することで実現でき、これ
に追従して第１．第２のプローブヘッド３０．３２をこ
のＴＦＴ８１に接続するソースリード電極またはライン
リード電極に接触することで、上記のＴＦＴ８１の機能
検査を同様に実現することが可能である。

く第５実施例〉 この第５実施例は、信号ライン、走査ラインの対向電極
にコンタクトするプローブヘッドを、各電極パッド毎に
電気的に絶縁された個別的なコンタクトでなく、複数電
極パッドを一括シヨード状態でコンタクトするものであ
る。すなわち、第９図において、走査ライン用プローブ
ヘッド１０ａと信号ライン用プローブヘッド１２ａ以外
は、走査ライン用コモンコクタクタ−１００と、信号ラ
イン用コモンコンタクタ−１０２と成っていて、各コモ
ンコクタフタ−１００，１０２は対向側の電極パッドを
一括してショートさせる例えば−導電性ゴム部材で形成
されている。そして、例えばラインの断線検査を実施す
る場合には、信号ラインにあっては信号ライン用プロー
ブヘッド１２ａとこれに対向配置されたコモンコンタク
タ−１０２を用い、−画面内では信号ライン用プローブ
へ・ソド１２ａを一方向に移動させることで全信号ライ
ンの断線検査が実施できる。走査ラインについても同様
である。

〈第６実施例〉 この第６実施例は、基板上のＬＣＤのインチサイズがロ
フト毎に変った場合でも、容易に対応できる汎用型のも
のであり、第１０図、第１１図に示す方式を挙げること
ができる。

第１０図に示すものは、Ｘ方向ガイド１１４又はＹ方向
ガイド１１６に沿ってＸ、Ｙ方向に移動するプローブヘ
ッド１０４，１０６，１０８．１１０はそれぞれ、その
移動方向と直交する方向に取り付は位置を移動できるよ
うに、例えばＬＣＤサイズの３“、４’、６”、１０”
に対応する係止孔１１２を備えている。そして、上記各
ガイド上を走行する移動部の係止ビン（図示せず）に対
して係止孔１１２を所定に選択することで、各プローブ
ヘッドの対向間距離が可変され、各種サイズのに対して
対応可能となる。

第１１図に示すものは、対向電極パッドにコンタクトす
る第２の信号ライン用プローブヘッド１５０と、第２の
走査ライン用プローブヘッド１４０とを、これと対向す
る側のプローブヘッド１２０．１３０に対して対向間距
離を可変できるようにしたものである。

まず、第１１図に示すＬＣＤ７０ａの左辺に沿って配列
形成されている電極パッドにコンタクトするためのＦＰ
Ｃカード１２０が設けられている。

そして、このＦＰＣカード１２０は、ＬＣＤ７０ａの左
辺に存在する全電極パッドの総数と同一の数の電極パッ
ドを有して構成されている。

尚、前記ＦＰＣカード１２０は、所定位置に固定されて
いるが、ＬＣＤ７０ａのインチサイズが大きくなった場
合には、これに合わせて大型のサイズのＦＰＣカード１
２０が取り付けられる。

前記ＬＣＤ７０ａの第１１図での上辺及び下辺の電極パ
ッドにコンタクトするために、プローブ針を複数本固定
してなる第１のプローブカード１３０及び第２のプロー
ブカード１４０が設けられている。第１のプローブカー
ド１３０は、Ｘ方向ガイド１３２に沿ってＸ方向に移動
可能であって、第１のモータ１３４の駆動力をワイヤー
あるいはボールネジ等によって第１のプローブカード１
３０のＸ方向の駆動力に変換することによって、その移
動を可能としている。

一方、第２のプローブカード１４０の移動機構は下記の
ようになっている。すなわち、第１の可動ベース１６０
は、Ｘ方向ガイド１６２．１６２に沿ってＸ方向に移動
可能となっていて、第２のモータ１６４の駆動力によっ
てＸ方向に移動可能となっている。この第１の可動ベー
ス１６０上には、Ｙ方向ガイド１６６．１６６が平行に
設けられ、このＹ方向ガイド１６６．１６６に沿って第
２の可動ベース１７０が移動可能となっている。

そして、第１の可動ベース１６０上に設けられた第３の
モータ１６８の駆動力によって、前記第２の可動ベース
１７０をＹ方向に移動可能としている。前記第２のプロ
ーブカード１４０は、前記第２の可動ベース１７０に固
着され、この第１．第２の可動ベース１６０，１７０の
移動によって、第２のプローブカード１４０はＸ１Ｙ方
向共に移動可能となっている。

ＬＣＤ７０ａの右辺に存在する電極パッドにコンタクト
するための構成として、前記第２の可動ベース１７０に
は第２の信号ライン用プローブヘッドとしてコモンコン
タクタ−１５０が固定されている。このコモンコンタク
タ−１５０は、ＬＣＤ７０ａの右辺に存在する全電極パ
ッドに一括コンタクできる構成となっていて、例えば導
電性ゴム部材を第２図のＹ方向に沿って配列することで
構成している。

尚、上述した第１．第２のプローブカード１３０．１４
０及びコモンコンタクタ−１５０は、ＬＣＤ７０ａの電
極パッドに対する接触状態、非接触状態を切り換えでき
るように、アップダウン機構を備えている。

上記構成によれば、ＬＣＤのインチサイズが異なった場
合でも、その電極パッドピッチが異ならない限り、可動
ベース１６０，１７０の移動により、相対向するプロー
ブヘッド等の対向間距離を可変できるので、容易に各種
サイズのＬＣＤに対応可能である。尚、上記の可動ベー
ス１６０，１７０による移動機構は、第２のプローブカ
ード１４０を一枚のＬＣＤ７０ａ内でＸ方向に移動する
ことにも兼用している。

尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

例えば、上記の各実施例では各プローブヘッド電極パタ
ーンをＬＣＤ７０の全てのソースリード電極あるいはゲ
ートリード電極に接触可能とし、−枚のＬＣＤ７０上の
全ての電極パッドにコンタクト可能としたが、その全て
の電極パッドを使用して検査を行うものに限らず、例え
ば特に不良の生じゃすいＬＣＤ７０の周辺部の電極パッ
ドのみを利用して各種不良検査を実施するものでありも
よい。また、第４実施例のように、第３のプローブヘッ
ド５０を設ける場合には、このプローブヘッド５０にカ
メラを支持するように構成することもできる。そして、
このカメラを位置決めのためのアライメントに使用する
ことができる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、同一基板上に複数
のＬＣＤが形成された被検査対象を検査するに際して、
基板上の各ＬＣＤの検査を行う際には第１．第２のプロ
ーブヘッドをそのＬＣＤの範囲内において移動可能とす
ることで実現し、基板上の他のＬＣＤを検査する場合に
は、この基板を支持する載置台の移動により前記第１．
第２のプローブヘッドの移動範囲内に設定することで、
同一基板上の全てのＬＣＤの検査を実施することができ
る。従って、各プローブヘッドの移動範囲が従来よりも
狭くなり、この結果移動位置の累積誤差に伴うコンタク
ト不良を確実に防止することができる。また、同一基板
上の各ＬＣＤについての第１．第２のプローブヘッドの
移動シーケンスを、各ＬＣＤ毎に設定せずに共通化する
こともできるので、検査時の制御が大幅に簡易化される
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例装置を説明するためのもの
で、同図（Ａ）はプローブ装置の平面図、同図（Ｂ）は
側面図、第２図（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれプローブヘッ
ドのコンタクト部分の一例を説明する概略説明図、第３
図は、本発明の第２実施例装置を説明するための平面図
、第４図は、本発明の第３実施例装置を説明するための
平面図、第５図（Ａ）、ＣＢ）はそれぞれフィルム電極
の構成例を説明するための概略説明図、第６図（Ａ）。 （Ｂ）、（Ｃ）は、それぞれ第１実施例装置、第２実施
例装置、第３実施例装置に第３のプローブヘッドを付加
した第４実施例装置を説明するための概略説明図、第７
図は第３のプローブヘッドの−構成例を説明するための
概略説明図、第８図は、ＬＣＤのパターン構成を説明す
るための概略説明図、第９図は、対向電極パッドにコン
タクトする側のプローブをコモンコンタクタ−で構成し
た第５実施例装置を説明するための概略説明図、第１０
図、第１１図は、異種サイズのＬＣＤにも対応できる第
６実施例装置を説明するための概略説明図である。 １２．３０．４０・・・第１のプローブヘッド、１０．
３２．４２・・・第２のプローブヘッド、５０・・・第
３のプローブヘッド、 ７０・・・ＬＣＤ、９０・・・基板、１・・・載置台。 代理人　弁理士　井　　上　　　−（他１名）第 図 （Ａ） 第 図 （Ａ） 第 図 （Ａ） （Ｂ） 第 図 第 図

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）マトリックス状に配したＬＣＤを複数形成して成
   る基板の、少なくとも信号ライン電極、走査ライン電極
   に第１、第２のプローブヘッドを接触させ、上記ＬＣＤ
   の検査を行うにあたり、第１、第２のプローブヘッドを
   それぞれ一枚のＬＣＤの縦、横サイズ内で移動させて、
   その全電極にコンタクトして上記検査を実行し、 上記基板を支持する載置台の移動により他のＬＣＤを上
   記信号、走査ライン用プローブ電極の移動範囲内に設定
   して、各ＬＣＤの検査を行うことを特徴とするプロービ
   ング方法。
2. （２）第１のプローブヘッドは、ＬＣＤの一辺と平行な
   方向にこのＬＣＤの一辺の範囲内で移動可能であって、
   ＬＣＤの相対向する全信号ライン電極の一部にコンタク
   ト可能な２つの信号ライン用電極ヘッドとし、 第２のプローブヘッドは、ＬＣＤの他辺と平行な方向に
   そのＬＣＤの他辺の範囲内で移動可能であって、相対向
   する全走査ライン電極の一部にコンタクト可能な２つの
   走査ライン用電極ヘッドとして構成したことを特徴とす
   る特許請求の範囲第１の記載の方法を実施するためのプ
   ローブ装置。
3. （３）第１のプローブヘッドは、ＬＣＤの一辺、他辺と
   平行な方向にそのＬＣＤの各辺の範囲内で移動可能であ
   って、一辺の全電極の内の一部にコンタクト可能な信号
   ライン用又は走査ライン用電極、及び他辺の全電極の一
   部にコンタクト可能な走査ライン用又は信号ライン用電
   極の２種の電極を有するものとし、 第２のプローブヘッドは、ＬＣＤの他辺、一辺と平行な
   方向にそのＬＣＤの各辺の範囲内で移動可能であって、
   他辺の対向辺の全電極の内の一部にコンタクト可能な走
   査ライン用又は信号ライン用電極、及び一辺の対向辺の
   全電極の一部にコンタクト可能な信号ライン用又は走査
   ライン用電極の２種の電極を有するものとして構成した
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の方法を実
   施するためのプローブ装置。
4. （４）第１のプローブヘッドは、ＬＣＤの一辺と平行な
   方向にそのＬＣＤの一辺の範囲内で移動可能であって、
   一辺の全電極の内の一部にコンタクト可能な信号ライン
   用又は走査ライン用電極、及び他辺の全電極に一度にコ
   ンタクト可能な走査ライン用又は信号ライン用電極の２
   種の電極を有するものとし、 第２のプローブヘッドは、ＬＣＤ他辺と平行な方向にそ
   のＬＣＤの他辺の範囲内で移動可能であって、他辺の対
   向辺の全電極の内の一部にコンタクト可能な走査ライン
   用又は信号ライン用電極、及び一辺の対向辺の全電極に
   一度にコンタクト可能な信号ライン用又は走査ライン用
   電極の２種の電極を有するものとして構成したことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の方法を実施するた
   めのプローブ装置。
5. （５）信号ライン、走査ラインの対向電極群にコンタク
   トするプローブヘッドは、複数電極パッドを一括してシ
   ョートさせるコモンコンタクターで構成した特許請求の
   範囲第２項乃至第４項のいずれれか１項記載のプローブ
   装置。
6. （６）信号ライン、走査ラインの対向電極にコンタクト
   するプローブヘッドは、基板の一辺、他辺に平行な方向
   に移動する可動部材に取り付けられ、ＬＣＤの外形サイ
   ズに応じた位置に設定可能とした特許請求の範囲第２項
   乃至第４項のいずれか１項記載のプローブ装置。
7. （７）上記ＬＣＤの一辺、他辺の範囲内で両辺に平行な
   方向に移動可能であって、上記液晶駆動素子の画素電極
   にコンタクト可能な第３のプローブヘッドを設けた特許
   請求の範囲第２項乃至第４項のいずれか１項記載のプロ
   ーブ装置。
8. （８）第１、第２のプローブヘッドの移動範囲内の適宜
   位置にて固定され、上記液晶駆動素子の画素電極にコン
   タクト可能な第３のプローブヘッドを設けた特許請求の
   範囲第３項記載のプローブ装置。