JPH02227813A - 薄膜磁気ヘッド装置 - Google Patents

薄膜磁気ヘッド装置

Info

Publication number
JPH02227813A
JPH02227813A JP1047021A JP4702189A JPH02227813A JP H02227813 A JPH02227813 A JP H02227813A JP 1047021 A JP1047021 A JP 1047021A JP 4702189 A JP4702189 A JP 4702189A JP H02227813 A JPH02227813 A JP H02227813A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suspension
magnetic head
recording medium
head
thin film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1047021A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0782630B2 (ja
Inventor
Tsukasa Matsuura
司 松浦
Atsushi Fujita
淳 藤田
Manabu Uchisawa
学 内澤
Shigehisa Suzuki
栄久 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP1047021A priority Critical patent/JPH0782630B2/ja
Priority to KR1019890017384A priority patent/KR930001706B1/ko
Priority to US07/484,796 priority patent/US5065271A/en
Publication of JPH02227813A publication Critical patent/JPH02227813A/ja
Publication of JPH0782630B2 publication Critical patent/JPH0782630B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3103Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/484Integrated arm assemblies, e.g. formed by material deposition or by etching from single piece of metal or by lamination of materials forming a single arm/suspension/head unit

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は磁気ディスク装置に関するものであり、特に
その磁気ヘッドの改良に関する。
〔従来の技術〕
磁気ディスク装置は多量の情報を記録し、ランダムアク
セスが可能なメモリとして情報処理システムや計算機シ
ステムのファイルメモリの中心的役割を果たしている。
磁気ディスク装置の主要性能は面記優密度と平均アクセ
ス時間(磁気ヘッドを所定のトラックに位置決めするの
に要する時間)とで評価される。この平均アクセス時間
は可動部質量の平方根に比例して短縮できる。また、磁
気ヘッドが磁気記録媒体面に近接する程高い記録密度と
大きな出力を得ることができる。
第5図及び第6図はそれぞれ、例えば日本機械学会誌第
87巻第791号昭和59年lO月に示された従来のバ
ルク型浮動磁気ヘッド装置の側面図及び薄膜型浮動磁気
ヘッド装置の側面図である。図に2いて、(1)は矢印
方向(a)に回転走行する磁気記録媒体、(2)は浮動
ヘッドスライダで、磁気へンド(3)を支持して、g!
ス流(b)によって磁気ヘッド(3)に押し上げる力を
付勢する。(4)は磁気ヘッド(3)に形成されたヘン
ドギャップ、(5)は可とう性材料からなり浮動へラド
スライダ(2)を先端で保持するサスペンション、 (
6)はサスペンションt5)を保持スるアームである。
従来の磁気ヘッド装置は上記のように構成され。
磁気記録媒体11)が一定速度で回転すると磁気ヘッド
スライダ(2)下面で空気ff1(b)が生じて飛行体
と同様押し上げ力が磁気ヘッドスライダ(2)に対して
付勢される。他方、サスペンション(5)は可トう性の
材料からなり、磁気ヘントスライダ(2)の後端に設け
た磁気ヘッド(3)を磁気記録媒体(1)に押しあてる
方向に付勢するので、サスペンション(5)による押し
下げ力と浮動ヘッドスライダ(2)による押し上ケ力と
のつり合いにより、上記磁気ヘッド(3)のヘッドギャ
ップ(4)と磁気記録媒体(1)とは一定距離fh)を
保って書込読出が行なわれる。磁気ヘッド(3)と磁気
記録媒体(1)との隙間は記録再生特性の基準になるも
ので、わずかの隙間変動が書込・読出エラーの原因とな
るため、磁気媒体面の振動番こ対する追従性を優先させ
た形状で、浮上隙間の微小化が進められ現在(J、2μ
mの隙間が実用されるようになった0 〔発明が解決しようとする!!lB〕 上記のような、従来の磁気ヘッド装置においては、浮動
ヘッドスライダ(2)の浮力を利用してヘッドキャンプ
(4)と磁気記録媒体(1)との距離市)を一定に保っ
ていたが、上記浮動ヘントスライダ(2)の重さをこれ
以上軽く小型化することは現在の機械加工技術では限界
の域に達して8す、このためこれ以上アクセス速度を速
くできないという問題があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ヘッドスライダ(2)をなくしてアクセス時
間を大幅に短縮出来るとともに、磁気ヘッド(2)の浮
上距離(h)を略0にして高い記録密度と大きな出力を
得ることのできる磁気ヘッド装置を提供することを目的
とする。
〔8I題を解決するための手段〕 この発明に係る薄膜磁気ヘッド装置は、アームによって
保持されたサスペンションと、このサスペンションの先
端部分に一体的に形成され磁気記録媒体に情報の書込を
行うとともに磁気記録媒体から情報の読出を行う薄膜磁
気ヘッドを備えたものである。
〔作用〕
この発明に係る薄膜磁気ヘッド装置シこおける薄膜磁気
ヘッドは、磁気記録媒体に略接触した状態で情報の書込
・読出を行う。
〔実施例〕
第1図はこの発明の一実施例を示す側面図であり、(1
)は磁気記録媒体、(5)は可とう性材料°でできたサ
スペンション、 (3)はこのサスペンション(5)の
先端部分に直接薄膜形成された磁気ヘッドで、全体が北
磁性材料の保護膜で覆われている。(4)は磁気ヘン)
(3) +こ形成されたヘッドギャップ、(6)はサス
ペンション(5)8保持するアームである。
第2図(a)、 (b)は磁気ヘッド(3)が形成され
ている一枚板から形成されたサスベンショ/(5)の先
端部の平面図で、fa)は実用化されている丸形ジンバ
ル構造を示し、(b)はよりシンプルな形状例として首
を細くしγこ形を示すが、これらの1llitに限定さ
れるものでなく、HLg用いられている他の形状例えば
つづンチェスタ形、ワトラス形等に対して適用しても勿
論よい。
上記のように構成された磁気ヘッド装置1こ2いては、
浮動ヘッドスライダをナクシてサスペンション(5)の
先端の重さを低下でき、ヘッドギャップ(4)と磁気記
録媒体(1)との間隔(h)をほとんど0にできる。
第3図はこの発明の他の実施例を示したものである。上
記一実施例に2いては、サスペンション(5)に直接磁
気ヘッド(3)を形成したものを示したが。
ヘッドアンプ(力も磁気ヘッド(3)と同様番こ薄膜形
成できるので、ヘッドアンプ(力を磁気ヘッド(3)と
−度にサスペンション(51の先端に形成すると効率的
である。
この場合、ヘッドアンプ(7)と磁気ヘッド(3)との
配線が短くC無し番こ)できるのでノイズを拾うことを
避けれる。
第4図はこの発明の異なる他の実施例を示したものであ
る。図番こ示すように、磁気ヘッド(3)あるいはヘッ
ドアンプ(7)とサスペン7:3ン(5)の間にシリコ
ンウェハあるいはセラミックなどの層(8)を挾んだも
のである。7リコンあるいはセラミックの層を挾み込む
ことにより、磁気ヘッド(3)、ヘッドアンプ(7)ト
サンベンンヨン(5)の密着力が良くなる。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明によれば、アームによツテ保持
されたサスペンションと、このサスペンションの先端部
分に一体的に形成され磁気記@媒体に情報の書込を行う
とともに磁気記録襄体から情報の読出を行う薄膜磁気ヘ
ッドを備えたので。
アクセス時間を大幅に短縮出来るとともに高い記録密度
と大きな出力を得る磁気ヘッド装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
@l因はこの発明の一実施例を示す側面図、第2 図(
a) 、 (b)は第1図−実施例のサスペンション先
端部の拡大平面図、第3因はこの発明の他の実施例を示
す側面図、第4図はこの発明のさらに他の実施例を示す
側面図、第5図は従来のバルク型磁気ヘッド装置を示す
側面図、第6図は従来の薄膜型磁気ヘッド装置を示す側
面図である。 図に2いて、(1)は磁気記優媒体、(3)は薄膜磁気
ヘン)’i5)はサスペンション、(6)はアームテア
ル。 な81図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. アームによつて保持されたサスペンション、このサスペ
    ンションの先端部分に一体的に形成され磁気記録媒体に
    情報の書込を行うとともに磁気記録媒体から情報の読出
    を行う薄膜磁気ヘッドを備えたことを特徴とする薄膜磁
    気ヘッド装置。
JP1047021A 1989-02-28 1989-02-28 薄膜磁気ヘッド装置 Expired - Lifetime JPH0782630B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1047021A JPH0782630B2 (ja) 1989-02-28 1989-02-28 薄膜磁気ヘッド装置
KR1019890017384A KR930001706B1 (ko) 1989-02-28 1989-11-29 박막자기헤드장치
US07/484,796 US5065271A (en) 1989-02-28 1990-02-26 Thin film magnetic head apparatus and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1047021A JPH0782630B2 (ja) 1989-02-28 1989-02-28 薄膜磁気ヘッド装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02227813A true JPH02227813A (ja) 1990-09-11
JPH0782630B2 JPH0782630B2 (ja) 1995-09-06

Family

ID=12763529

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1047021A Expired - Lifetime JPH0782630B2 (ja) 1989-02-28 1989-02-28 薄膜磁気ヘッド装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5065271A (ja)
JP (1) JPH0782630B2 (ja)
KR (1) KR930001706B1 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0362375A (ja) * 1989-07-31 1991-03-18 Nec Corp 磁気ヘッド装置
JPH06504646A (ja) * 1991-01-22 1994-05-26 ハッチンソン テクノロジー インコーポレイテッド 積層形負荷ビーム
US5335126A (en) * 1991-05-23 1994-08-02 Hitachi, Ltd. Magnetic disk device without slider and having magnetic head mounted directly on magnetic head support including integral gas pressure generating structure
JPH06511164A (ja) * 1991-06-14 1994-12-15 サイベロニクス インク 迷走神経刺激の音声による抑制
EP0508565B1 (en) * 1991-04-10 1997-08-20 Censtor Corporation Wear-resistant head for contact reading and writing magnetic media
US6002548A (en) * 1992-11-27 1999-12-14 Fujitsu Limited Magnetic head supporting mechanism
US6522505B1 (en) 1992-11-27 2003-02-18 Fujitsu Limited Magnetic head supporting mechanism
JP2006024354A (ja) * 2004-07-07 2006-01-26 Samsung Electronics Co Ltd ベースプレート及びそれを備えるハードディスクドライブ

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5483025A (en) * 1989-11-27 1996-01-09 Censtor Corporation Unitary micro-flexure structure
US5453315A (en) * 1989-11-27 1995-09-26 Censtor Corp. Unitary micro-flexure structure and method of making same
US5476131A (en) * 1989-11-27 1995-12-19 Censtor Corporation Unitary micro-flexure structure and method of making same
US6411470B1 (en) * 1991-10-28 2002-06-25 Censtor Corporation Durable, low-vibration, dynamic-contact hard disk drive system
US6600631B1 (en) * 1989-11-27 2003-07-29 Censtor Corp. Transducer/flexure/conductor structure for electromagnetic read/write system
US5550691A (en) * 1989-11-27 1996-08-27 Censtor Corp. Size-independent, rigid-disk, magnetic, digital-information storage system with localized read/write enhancements
US6493191B1 (en) 1989-11-27 2002-12-10 Censtor Corporation Planar magnetic ring head for contact recording with a rigid disk
US20020176210A1 (en) * 1989-11-27 2002-11-28 Hamilton Harold J. Durable, low-vibration, dynamic-contact hard disk drive system
US5198945A (en) * 1990-11-09 1993-03-30 Hutchinson Technology Incorporated Magnetic head suspension
US5912788A (en) 1990-11-09 1999-06-15 Hutchinson Technology Inc. Flexure region for one-piece flexure-load beam structure
EP0911809A3 (en) * 1992-01-20 2006-11-15 Fujitsu Limited Magnetic head assembly, method of manufacturing the same, and magnetic disk apparatus
CA2090708A1 (en) * 1992-04-30 1993-10-31 Jeffrey Merritt Mckay Combination transducer/slider/suspension and method for making
JP2767666B2 (ja) * 1992-06-01 1998-06-18 富士通株式会社 磁気ヘッド用スプリングアーム
JP2721783B2 (ja) * 1992-08-19 1998-03-04 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 薄膜磁気ヘッド変換器/懸架部の組合せシステム並びにその製造方法
US5282103A (en) 1992-10-07 1994-01-25 Read-Rite Corporation Magnetic head suspension assembly fabricated with integral load beam and flexure
JP2943579B2 (ja) * 1992-10-20 1999-08-30 三菱電機株式会社 磁気構造体並びにこれを用いた磁気ヘッドおよび磁気記録ヘッド
US6084743A (en) * 1992-12-14 2000-07-04 Maxtor Corporation Magnetic recorder apparatus with reduced debris accumlation on the recorder head and slider
MY121535A (en) * 1993-01-08 2006-02-28 Hitachi Global Storage Tech Nl Integral transducer-suspension assemblies for longitudinal recording
FR2718557B1 (fr) * 1994-04-06 1996-06-21 Silmag Sa Patin de vol à moyens de suspension flexibles intégrés.
US5801909A (en) * 1994-08-26 1998-09-01 Aiwa Research And Development, Inc. Thin film magnetic head including durable wear layer and non-magnetic gap structures
US5748417A (en) * 1994-08-26 1998-05-05 Aiwa Research And Development, Inc. Thin film magnetic head including layered magnetic side poles
US5754377A (en) * 1994-08-26 1998-05-19 Aiwa Research And Development, Inc. Thin film magnetic head including an elevated gap structure
US5490028A (en) * 1994-08-26 1996-02-06 Aiwa Research And Development, Inc. Thin film magnetic head including an integral layered shield structure
US5563754A (en) * 1994-08-26 1996-10-08 Aiwa Research And Development, Inc. Thin film magnetic head including a durable wear layer and gap structure
US5673474A (en) * 1994-08-26 1997-10-07 Aiwa Research And Development, Inc. Method of fabricating a thin film magnetic head including layered magnetic side poles
JPH08171712A (ja) * 1994-08-26 1996-07-02 Aiwa Co Ltd 側面露出型薄膜磁気ヘッド並びにその製造方法
US5909346A (en) * 1994-08-26 1999-06-01 Aiwa Research & Development, Inc. Thin magnetic film including multiple geometry gap structures on a common substrate
US6091581A (en) * 1994-08-26 2000-07-18 Aiwa Co., Ltd. Thin film magnetic head including a separately deposited diamond-like carbon gap structure and magnetic control wells
US5544774A (en) * 1994-08-26 1996-08-13 Aiwa Research And Development, Inc. Method of eliminating pole recession in a thin film magnetic head
JPH08212516A (ja) * 1995-01-31 1996-08-20 Masaaki Matsui 支持ビームに対する接触型薄膜磁気ヘッド素子の接合方法
JP3383455B2 (ja) * 1995-02-10 2003-03-04 正顯 松井 支持ビームに対する磁気ヘッド素子の接合方法
US5621594A (en) * 1995-02-17 1997-04-15 Aiwa Research And Development, Inc. Electroplated thin film conductor coil assembly
US6313972B1 (en) * 1995-05-22 2001-11-06 Maxtor Corporation Flex circuit flexure with integral high compliance gimbal
US6215622B1 (en) * 1996-01-02 2001-04-10 International Business Machines Corporation Laminated hard disk head suspension and etching process
US6069015A (en) * 1996-05-20 2000-05-30 Aiwa Research And Development, Inc. Method of fabricating thin film magnetic head including durable wear layer and non-magnetic gap structure
JP3130860B2 (ja) * 1997-03-04 2001-01-31 ティーディーケイ株式会社 磁気ヘッド装置及び該磁気ヘッド装置を備えた磁気ディスク装置
US6735049B1 (en) 2002-03-28 2004-05-11 Mark A. Lauer Electromagnetic heads, flexures and gimbals formed on and from a wafer substrate
US7289302B1 (en) 2001-10-04 2007-10-30 Maxtor Corporation On slider inductors and capacitors to reduce electrostatic discharge damage
JP4222882B2 (ja) * 2003-06-03 2009-02-12 日東電工株式会社 配線回路基板

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2426943A1 (fr) * 1978-05-26 1979-12-21 Cii Honeywell Bull Plate-forme d'au moins un transducteur de lecture et/ou d'enregistrement d'un support d'informations
JPS5821329A (ja) * 1981-07-31 1983-02-08 Hitachi Ltd フオトマスクの白点欠陥修正用組成物
FR2559297B1 (fr) * 1984-02-03 1990-01-12 Commissariat Energie Atomique Nouveau patin de vol pour tetes magnetiques d'enregistrement
JPS61104313A (ja) * 1984-10-22 1986-05-22 Sharp Corp 薄膜磁気ヘツド装置
FR2604021B1 (fr) * 1986-09-17 1988-10-28 Commissariat Energie Atomique Procede de realisation de tetes magnetiques en couches minces et a structure planaire et tete obtenue par ce procede

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0362375A (ja) * 1989-07-31 1991-03-18 Nec Corp 磁気ヘッド装置
JPH06504646A (ja) * 1991-01-22 1994-05-26 ハッチンソン テクノロジー インコーポレイテッド 積層形負荷ビーム
EP0508565B1 (en) * 1991-04-10 1997-08-20 Censtor Corporation Wear-resistant head for contact reading and writing magnetic media
US5335126A (en) * 1991-05-23 1994-08-02 Hitachi, Ltd. Magnetic disk device without slider and having magnetic head mounted directly on magnetic head support including integral gas pressure generating structure
US5757573A (en) * 1991-05-23 1998-05-26 Hitachi, Ltd. Magnetic disk device without slider and having magnetic head mounted directly on magnetic head support
JPH06511164A (ja) * 1991-06-14 1994-12-15 サイベロニクス インク 迷走神経刺激の音声による抑制
US6002548A (en) * 1992-11-27 1999-12-14 Fujitsu Limited Magnetic head supporting mechanism
US6212041B1 (en) 1992-11-27 2001-04-03 Fujitsu Limited Magnetic head supporting mechanism
US6522505B1 (en) 1992-11-27 2003-02-18 Fujitsu Limited Magnetic head supporting mechanism
US6560073B1 (en) 1992-11-27 2003-05-06 Fujitsu Limited Magnetic head supporting mechanism
US7221541B2 (en) 1992-11-27 2007-05-22 Fujitsu Limited Magnetic head supporting mechanism
JP2006024354A (ja) * 2004-07-07 2006-01-26 Samsung Electronics Co Ltd ベースプレート及びそれを備えるハードディスクドライブ

Also Published As

Publication number Publication date
US5065271A (en) 1991-11-12
JPH0782630B2 (ja) 1995-09-06
KR900013464A (ko) 1990-09-05
KR930001706B1 (ko) 1993-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0782630B2 (ja) 薄膜磁気ヘッド装置
EP0218811B1 (en) Magnetic head slider assembly
US7515384B2 (en) Method and apparatus for providing a three stepped air bearing having a funnel structure for controlling air flow to improve fly height performance
JPH05303730A (ja) 磁気ヘッド
CN100356449C (zh) 在具有旋转促动器的磁盘驱动器中抑制振动的系统和方法
US5541789A (en) Magnetic recording apparatus with magnetic head on slider having applied load larger than buoyant force acting on slider so that gap between magnetic head and magnetic disk is smaller than total thickness of protective layer and lubricating layer on disk
JPS63195883A (ja) 磁気ヘツド支持体
US11069375B1 (en) Suspension standoff arrangement for confining adhesive
US20060082926A1 (en) Head shock resistance and head load/unload protection for reducing disk errors and defects, and enhancing data integrity of disk drives
US11081130B1 (en) Suspension standoff arrangement for confining adhesive
JPH04255977A (ja) 磁気ディスク装置
JPS59221872A (ja) 磁気デイスク装置の磁気ヘツド・ジンバル構成体
JPS6151678A (ja) デイスク駆動装置の改良回転アクチユエ−タ
JPS63304429A (ja) 光テ−プによるデ−タ記憶装置
JPS6353710A (ja) 磁気デイスク装置
US7251107B2 (en) Method and apparatus for providing an air bearing pad having improved roll angle sigma
US6118635A (en) Magnetic storage apparatus having a head with sliding pads
JP2503627B2 (ja) フレキシブルディスク装置用磁気ヘッド
JPH0221470A (ja) 磁気ディスク装置
JPH08321027A (ja) 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置
JPH045109Y2 (ja)
JPH01128278A (ja) 磁気デイスク用ヘッド支持体
JPH10275436A (ja) 磁気記録装置及びそのスライダ
JPH0362375A (ja) 磁気ヘッド装置
JPH01146175A (ja) ヘッド浮動装置