JPH02236405A - 画像処理型測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、画像処理型測定機に係り、一層詳細には、光
源から出力された照明光を被測定物に対して所定の角度
傾斜した方向から照射して被測定物の端部（エッジ部）
の影を鮮明に措写可能とする画像処理型測定機に関する
． 〔背景技術〕 従来、被測定物の寸法、形状等を測定すーる際、照明光
を被測定物に照射してその寸法、形状等を測定する装置
として、例えば、工具顕微鏡、投影機、視認型三次元測
定機等の種々の画像処理型測定機が普及している． この種の画像処理型測定機の中に、被測定物に対して略
垂直上方から照明光を照射し、その照明光により画像を
表示装置等に描写することで、その寸法、形杖等を測定
する垂直落射照明方式を採用しているものがある．この
垂直落射照明方式は被測定物の形状が比較的簡単な物を
測定する時に用いられる場合が多ク、複雑な形状を呈す
る被測定物、例えばエッジ部を数多く有する被測定物（
階段状の物）を測定する場合には、そのエッジ部の影を
表示装置等に描写できないことがある。

そこで、前記エッジ部の影を描写するために、所定角度
傾斜した方向から照明光を被測定物に照射してその反射
光を受光することで、エッジ部の影を検出する斜め反射
方式を採用した画像処理型測定機が案出され、例えば、
米国特許第４５６７５５１号にその技術的思想が開示さ
れている．この技術的思想は、略水平方向に配設された
光源から発散光を出力して、固定ミラーでその発散光を
斜め下方に反射した後、ガラス板等でその発散光を屈折
させて被測定物に光を照明することで、寸法、形状等を
測定するものである． 〔発明が解決しようとする課題〕 然しなから、この場合、被測定物に対する照明角度は一
定の為、前記被測定物が例えば、コイン等のように浅い
エッジ部を有する場合には、前記エッジ部の影を鮮明に
描写できない．このため、表示装置等に描写された画像
は立体感を損なうものとなり、この結果、前記被測定物
の正確な形状を把握することが難しくなるとともに、寸
法等を正確に測定することが困難となる不都合が生しる
．本発明の目的は、浅いエッジ部等をも鮮明に描写でき
る画像処理型測定機を提供するにある．〔課題を解決す
るための手段） 本発明は、被測定物の照明にあたり、被測定物のエッジ
部の形状等に応じて照明角度を変更すればよいことに着
目してなされたものである．具体的には、本発明は、被
測定物を載置する載物台と、この載物台の一例に立設さ
れた支持台と、この支持台に配設された被測定物の形状
認識手段と、この形状！！識手段に対し昇降可能に配設
されるとともに、前記被測定物に対して所定角度傾斜し
た方向から照明光を照射し、かつ、その照射角度を変更
可能にされた照明手段と、この照明手段を昇降駆動する
昇降駆動手段と、この昇降駆動手段による前記照明手段
の昇降駆動に連動して駆動されるとともに、前記照明手
段の照射角度を変更する角度変更手段とを具備したこと
を特徴とする画像処理型測定機である． 本発明において、照明手段は、角度変更可能な可動ミラ
ーを備えていることが好ましい。

また、本発明において、角度変更手段は、カム機構を含
んで構成されるのが好ましい。

〔作用〕

このような本発明の画像処理型測定機において、載物台
上に被測定物を載置するとともに、この被測定物に対し
形状認識手段を対句させる。この状態で、昇降駆動手段
を駆動して照明手段を昇降させると、この照明手段の昇
降に連動して角度変更手段により、照明手段がその照射
角度を変更される。従って、この照明手段の照射角度が
被測定吻のエッジ部の形状等に応じた最適な角度となる
ように前記照明手段の昇降量を設定すれば、被測定物の
エッジ部も適正に照明でき、形状認識手段による描写も
鮮明にできる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する． 第１図〜第５図には本発明の第一実施例が示され、本実
施例の画像処理型測定機１０は、第１図に示されるよう
に、いわゆる工具顕微鏡からなる顕微鏡２０と、画像表
示装置９０とから構成されている。

前記顕微鏡２０は、側面Ｌ字形の支持台２ｌを含み、こ
の支持台２１の水平方向に延長された基部２ＬＡ上には
、いわゆるＸ−Ｙテーブルからなる載物台２２が設置さ
れている。この戴物台２２は、水平面内における直交二
軸、すなわち、左右方向であるＸ軸方同と、前後方向で
あるＹ軸方向との二軸方向に移動可能にされている．こ
の載物台２２のこれらＸ．Ｙ軸方向への移動量は、それ
ぞれＸ軸マイクロメータヘッド２３及びＹ軸マイクロメ
ータヘンド２４により、設定あるいは計測できるように
なっている．また、戴物台２２上にはコイン等の被測定
物２５が載置されている．前記支持台２ｌの前面上部に
は、上下動つまみ２６を有する上下動ガイド２７が取付
けられている．この上下動ガイド２７には側面コ字形の
支持枠３１が上下動可能に支持され、上下動つまみ２６
を回動操作することにより、図示しないラック、ビニオ
ン機構等により支持枠３１が上下動するようになってい
る．支持枠３１の前面開放端において左右両端にはそれ
ぞれ円柱体３２が介装されて支持枠３ｌの補強がなされ
るとともに、支持枠３ｌの開放側には千面コ字形のカバ
ー３３が取付けられるようになっている． 前記支持伜３１の中心部には、支持枠３１の下方に突出
された対物レンズ３４（第２図参照）、この対物レンズ
３４と同軸上に設けられた結像レンズ３５、この結像レ
ンズ３５と同軸上に設けられ、支持枠３１上に突出され
たＣＣＤカメラ３６とからなる光学系千段３７が設けら
れている．このＣＣＤカメラ３６には配線コード３８が
接続され、この配線コード３８は前記画像表示装置９０
へと連結されている．ここにおいて、前記支持枠３ｌ、
円柱体３２、カバー３３及び光学系千段３７により形状
認識手段３０が構成されている．前記支持枠３１には、
第２図にも示されるように、支持枠３１内に設けられた
軸受板４１と、支持枠３１の下面に突出して設けられた
軸受筒４２とを介して上下方向摺動自在に昇降軸４３が
支持され、この昇降軸４３の下端にはＬブラケット４４
を介して照明手段５０の照明本体５１が取付けられてい
●る。また、昇降軸４３の支持枠３ｌ内に位置する一側
面には、ラック４５が設けられるとともに、このラック
４５には回転駆動源としての減速機付のモータ４６の出
力軸に固定されたビニオン４７が噛合されている．ここ
において、軸受仮４１からビニオン４７に至るまでの一
連の番号の部材により、照明手段５０の昇降駆動手段４
０が構成されている． 前記照明手段５０の照明本体５ｌは、第２．３図にも示
されるように、中空円盤状に形成されるとともに、この
照明本体５１の上面には円環状のライト力バー５２が固
定されている．このライト力バー５２内には、９０′等
間隔位置に、それぞれリード線５３を接続された四つの
光源５４が設けられている．これらの光源５４の下方位
置において、照明本体５ｌには、それぞれ光Ｂ５４から
の放射光を平行光にするコリメートレンズ５５が設けら
れている．このコリメートレンズ５５の下方位置には、
水平面に対し４０゜の角度で傾斜された固定ミラー５６
が照明本体５１に支持され、コリメートレンズ５５を通
過してきた垂直方向の光を水平よりも下方の方向に反射
するようになっている．この固定ミラー５６により反射
された照明光の進行方向には、可動ミラー５７が配置さ
れ、この可動ミラー５７はミラーホルダ５日に支持され
ている．ミラーホルダ５日は、第５図にも示されるよう
に、前後両端に突出された支軸５９を介して保持ブラケ
ット６１の立上がり部６１Ａに、第５図中矢印方向に揺
動自在に支持されている．従って、ミラーホルダ５８を
介して可動ミラー５７は傾斜角度変更可能にされ、この
可動ミラー５７の傾斜角度を変更することにより、照明
手段５０の照射角度を変更できるようになっている．こ
こにおいて、前記固定ミラー５６を水平方向に対し約４
０゜の角度に設定したのは、光源５４から照射された光
が固定ミラー５６で反射してやや下方に向くようにする
ためである．これは、固定ミラー５６を水平方向に対し
４５゜以上に設定すると、固定ミラー５６から出て可動
ミラー５７で反射した照明光が、当該固定ミラー５６と
干渉する可能性があるからである．ただし、固定ミラー
５６と可動ミラー５７との距離を大きく設定すればこの
干渉は生じないが、装置が大型化してしまうという不利
な点が生じる． また、四つの光源５４は、それぞれ独立して構成されて
おり、各リードｍ５３を介して接続された図示しない調
光装置を操作することにより、それぞれの光量制御を自
在に行うことができる．なお、コリメートレンズ５５、
固定ミラー５６、可動ミラー５７、ミラーホルダ５８等
は、実際には同一要素のものが四組あるが、ここでは一
組だけ図示して説明し、他の三組についてはその詳細な
説明を省略した． 前記可動ミラー５７を保持しているミラーホルダ５８に
突設された軸部５８Ａには、可動ミラー５７を所定角度
に傾斜させて照明手段５０の照射角度を変更する角度変
更千段７０が関与するようになっている． すなわち、角度変更手段７０は、第３図〜第５図にも示
されるように、照明手段５０の照明本体５ｌに複数のボ
ール７ｌを介して回転自在に支持され、照明本体５１と
一体に昇降する断面コ字形の円環状の回転体７２と、こ
の回転体７２と前記形状認識手段３０の支持枠３１との
間に設けられ、形状認識手段３０に対する照明手段５０
の昇降移動を回転体７２の回転移動に変換する第１のカ
ム機構７５と、前記回転体７２と前記照明手段５０のミ
ラーホルダ５８との間に設けられ、回転体７２の回転移
動を照明手段５０の可動ミラー５７の角度変更、換言す
ると、照明角度の変更移動に変換する第２のカム機構８
０とを含んで構成されている． 前記第１のカム機構７５は、回転体７２に立設されると
ともに、支持枠３１の下辺に形成された孤状孔３１Ａを
貫通して支持枠３１内にまで延長された連動軸７６と、
この連動軸７６の上端に突設されたカムフォロワ７７と
、このカムフォロワ７７が係合されるとともにカムフォ
ロワ７７の上下方向の移動に伴い当該カムフオロワ７７
を回転体７２の回転方向に案内するカム溝７８Ａを有す
る彎曲したカム板７８とから構成されている．また、前
記第２のカム機構８０は、前記ミラーホルダ５８に突設
されるとともに、照明本体５１に形成された貫通孔５１
Ａを貫通して突設された軸部５８Ａの上端に回転自在に
支持されたカムフォロワ８１と、前記回転体７２の下面
に固定されるとともに、カムフォロワ８Ｉが係合される
カム溝８２Ａを有する円環板状のカム板８２と、照明本
体５１に突設された止めビン８３と軸部５８Ａとの間に
介装され、カムフオロワ８１を常時カム溝８２Ａの一側
縁に付勢する引張りばね８４とから構成されている．こ
の際、カム板８２のカム溝８２Ａは、円環板状のカム板
８２に対し、それぞれ９０゜間隔離間して四つ設けられ
、かつ、各カム溝８２Ａは、カム板８２の半径方向に対
して所定角度傾斜して内方から外方に指向するようにさ
れた溝とされ、回転体７２の回転に伴うカム板８２の回
転によって、カムフォロワ８工が第５図中、二点鎖線で
示すように支軸５９を介して引張りばね８４に抗して傾
斜するように形成されている。

従って、このカムフォロワ８１の傾斜に伴い、軸部５８
Ａを介してミラーホルダ５８が傾斜し、このミラーホル
ダ５日に支持されている可動ミラー５７も傾斜し、固定
ミラー５６からくる照明光の反射角度を変更できるよう
になっている．第１図において、画像表示装置９０は、
ＣＲＴ９Ｉと、前記モータ４６の駆動制御を行うととも
に、前記四つの光源５４の各ｈの光量制御を行い、かつ
、ＣＣＤカメラ３６からの信号をＣＲＴ９　１に表示さ
せる制御装置９２とから、構成されている．この制御装
置９２は、前記各制御を行うためのつまみ、スイッチ等
からなる操作部９３を、その前部に備えている． 次に、本実施例の作用につき説明する．第１図において
、載物台２２上に載置された被測定物２５が対物レンズ
３４の対向位置に配置されるように、載物台２２のＸ軸
及びＹ軸マイクロメータヘッド２３．２４を回して設定
する．次いで、上下動つまみ２６を動かして対物レンズ
３４の焦点位置に被測定物２５の所定畝位が位置するよ
うに設定する．これらの設定に当たり、予め操作部９３
を操作して照明手段５０の光源５４を点灯しておき、光
：ａ５４からの光をコリメートレンズ５５で平行光にし
、更に、固定ミラー５６を介して可動ミラー５７に照明
光を入力し、この可動ミラー５７から被測定物２５に向
って照明光を照射しておく． 前記各設定が終了した状態で、被測定物２５のエッジ部
等が適正な照明状態にない場合には、制ｔｎ装置９２の
操作部９３を操作して昇降駆動手段４０のモータ４６を
駆動し、ピニオン４７、ラック４５を介して昇降軸４３
を上下動させ、更に、Ｌブラケット４４を介して照明手
段５０を昇降させる．この際、照明手段５０は、第２図
中、実線で示される最上位置から二点鎖線で示す最下位
置まで昇降可能とされている．また、前記最上位置にお
いては、可動ミラー５７から被測定物２５に照射される
ときの照明光の水平方同に対する角度θ１　−６０゜と
されている． 前記照明千段５０が第２図の実線で示す位置にあり、可
動ミラー５７からの照明光が被測定物２５に対して水平
方向に対し６０゜の角度で照射されている場合であって
、被測定物２５のエッジ部が浅い等の理由により、ＣＲ
Ｔ９　１にエッジ部の映像が正確に描写されないときに
は、前述のように操作部９３を操作して前記モータ４６
を駆動し、昇降軸４３を介して照明手段５０を下降させ
る。

この照明手段５０の下降に伴い、照明本体５１に回転自
在に支持されている回転体７２も下降し、この回転体７
２に立設された連動軸７６も下降することとなる．この
連動軸７６の下降に伴い、カムフォロワ７７も下降しよ
うとするが、このカムフォロワ７７は、カム板７８のカ
ム溝７８Ａに係合されているため、カム溝７８Ａの形状
に沿って連動軸７６を介して回転体７２を、第３図中矢
印方向、上方からみて反時計方向に回転駆動することと
なる． 回転体７２の回転により、回転体７２と一体に設けられ
たカム板８２も回転する．このカム仮８２の回転により
カム板８２に形成されたカム溝８２Ａも回転するが、こ
のカム満８２Ａは、第４図にも示されるように、半径方
向に対し、｛頃斜した溝とされており、かつ、矢印方向
の回転に対してカム溝８２Ａがカム板８２の中心から遠
ざかる方向に形成されているため、このカム溝８２Ａに
係合されているカムフォロワ８１がカム板８２に対し、
カム板８２の回転に伴い半径方向の外側に向って変位さ
れることとなる．従って、第５図に示されるように、カ
ムフオロワ８１が取付けられたミラーホルダ５８の軸部
５８Ａは、支軸５９桑中心として第５図中実線位置から
二点鎖線位置へと傾斜し、可動ミラー５７は図中時計方
向に回動ずることとなる。この可動ミラー５７の回動に
より、固定ミラー５６から入射され、可動ミラー５７に
反射して出力される照明光は、水平方向に対して前記角
度θ１　＝６０゜よりも順次小さい角度となるようにさ
れる． このようにして、照明手段５０が順次下降すると、可動
ミラー５７が第５図中時計方向に傾斜し、可動ミラー５
７から反射される照明光は順次水平方向に近い照射角度
となり、第２図中二点鎖線で示す照明手段５０の最下位
宜にあっては、可動ミラー５７からの照明光は水平方向
に対し、角度θ！−３０”の角度とされる。従って、可
動ミラー５７により反射される照明光の傾斜角度θは角
度θ，〜θ，−６０°〜３０″の範囲で調整可能とされ
る．このため、照明光の傾斜角度θが水平方向に近づく
に従い、照明光の被測定物２５に対する入射角度が浅く
なるため、被測定物２５の工冫ジ部が浅い場合でも、Ｃ
ＲＴ９　１に被測定物２５のエッジ部の影が鮮明に描写
されることとなる．また、照明手段５０の下降操作によ
り、被測定物２５の浅いエッジ部の影もより鮮明に描写
することができるようになるが、光源５４の光が弱い場
合には、操作部９３を操作して四つの光源５４をそれぞ
れ独立に光量制御し、各部位の照度を適正に設定する。

このようにして照明角度及び照明光量の設定が適正に済
んだ場合には、画像表示装ＷＬ９０のＣＲＴ９１上には
被測定物２５の映像が鮮明に描写されるため、この表示
を見ながら所定の寸法測定等を行う。

なお、被測定物２５に照射された照明光は、被測定物２
５から反射され、対物レンズ３４、結像レンズ３５を介
してＣＣＤカメラ３６に入射され、ここで光電変換され
た電気信号は配線コード３８を介して画像表示装置９０
の制１′ｎ装置９２に人力されることにより、前述のよ
うにＣＲＴ９１にその画像が表示されるものである． 前述のような本実施例によれば、次のような効果がある
． 本実施例においては、照明手段５０を形状認識手段３０
に対し昇降可能に設けるとともに、照明手段５０の可動
ミラー５７を傾斜角度変更可能に設けて照明角度を変更
可能にしたから、被測定物２５のエッジ部の形状等に応
じて常に適正な角度から照明を行え、立体感を損なうこ
とな《エッジ部等の鮮明な画像を得ることができる。ま
た、可動ミラー５７の傾斜角度は、角度変更手段７０の
作用により、照明手段５０の昇降動作と関連して傾斜さ
せるようにしたから、可動ミラー５７による被測定物２
５への照明位置を常に一定にできるという効果がある．
更に、角度変更手段７０は、回転体７２及び第１、第２
のカム機構７５．８０によるカムを使った連動機構とし
たから、可動ミラー５７の角度変更を簡単な構造で実施
することができ、組立作業の簡易化、組立作業時間の短
縮化とも相俟って、顕微鏡２０を安価に提供できる。

また、照明手段５０の四つの光源５４は、それぞれ独立
に光量制御をできるため、被測定物２５の各部位に応じ
た適正な照明を行うことができる。

更に、ミラーホルダ５８の軸部５８Ａは引張りぱね８４
により常時付勢されているため、軸部５８Ａに設けられ
たカムフォロワ８１はカム板８２のカム溝８２Ａに常時
一方向から当接されており、カムフォロワ８１とカム溝
８２Ａとのバックラッシュを効果的に防止することがで
きる。

第６図には本発明の第二実施例が示されており、この第
二実施例は前記実施例と角度変更手段７０の構成が相違
するものである．ここにおいて、前記実施例と同一もし
くは相当構成部分には同一符号を用い、その説明を省略
もしくは簡略にする．本実施例における角度変更千段７
０は、形状認′識手段３０の支持枠３ｌと照明千段５０
の可動ミラー５７との間に設けられた一つのカム機構８
５により構成されている。このカム機構８５は、ミラー
ホルダ５８に突設された軸部５８Ａに回転可能に支持さ
れたカムフォロワ８６と、このカムフォロワ８６が当接
可能にされるとともに図中下方に至るに従い右下に傾斜
したカム面８７Ａを有し、形状認識手段３０の支持枠３
１の下面に直接固定されたカム８７と、前記軸部５８Ａ
と照明本体５１との間に介装され、カムフォロヮ８６を
カム８７のカム面８７Ａに常時当接するように付勢する
引張りばね８Ｂとから構成されている。

また、昇降駆動千段４ｏの昇降軸４３は、照明手段５０
の上面に直接固定されている。

なお、前記ミラーホルダ５Ｂは、前記実施例と同様に、
支持枠３Ｉの照明本体５１に固定された保持ブラケット
６１に支軸５９を介して傾斜可能に支持されている。

このような本実施例において、照明手段５ｏが昇ｒ４駆
動手段４０の作用により図示の状態がら下降方向に駆動
されると、カムフォロヮ８６がカム面８７Ａに沿って移
動し、カムフォロワ８６は、軸部５８Ａを介して支軸５
９を中心として図中時計方同に回動する。これによりミ
ラーホルダ５８も時計方向に回動し、このミラーホルダ
５８に保持された可動ミラー５７の反射面もその傾斜角
度が変更され、照明光の角度も前記実施例と同様に水平
方向に近くなるように変化する． このような本実施例においても、前記実施例と同様な効
果を達成でき、更に、角度変更手段７０の構成が一つの
カム機構８５により構成されているため、より構造を簡
易にでき、装置を安価に提供できるという効果を付加で
きる。

第７図には、本発明の第三実施例が示されており、本実
施例は照明角度の変更を電気的制御で行わせるものであ
る． すなわち、第７図において、ミラーホルーダ５８にはセ
クタギア９５が固定され、このセクタギア９５には中間
ギア９６を介して出力ギア９７が噛合されている。この
出力ギア９７は、角度変更用のモーク９８の出力軸に固
定され、これらのセクタギア９５、中間ギア９６、出力
ギア９７及び角度変更用のモータ９８により本実施例の
角度変更手段７０が構成されている。この角度変更手段
７０のモータ９８は、前記画像表示装置９０の制ＩＴＨ
ｌ装置９２により駆動制御されるようになっている．制
１１装置９２は、昇降駆動手段４０のモータ４６の駆動
制御もしており、このモータ４６の駆動制御と所定の関
係を保つように前記モーク９８を制御している。この制
御装置９２によるモータ９８の制御は、モータ９８の駆
動により、出力ギア９７、中間ギア９６及びセクタギア
９５を介してミラーホルダ５８を支軸５９を介して回動
させる角度が、前記第一、第二実施例と同欅な関係とな
るような制御とされている． 本実施例においても、照明手段５０の昇降に応じて可動
ミラー５７が角度変更され、被測定物２５への照射角度
を適正な角度に変更できる，このような本実施例によっ
ても前記実施例と同様な効果を得ることができ、かつ、
その制御をきわめて簡易にできるという効果を付加でき
る。

なお、本発明は、前記各実施例の構成に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々
の改良並びに設計変更ができる。

例えば、第一実施例において、第１のカム機構７５にお
けるカム板７８を回転体７２側に設け、カムフォロワ７
７を支持枠３ｌ側に設けてもよく、要するに、この第１
のカム機構７５は、回転体７２′と形状認識千段３０と
の間に設けられ、形状認識千段３０に対する照明手段５
０の昇降移動を回転体７２の回転移動に変換できる構造
のカムであればよい．この第１のカム機構７５における
考え方は、第２のカム機構８０においても同欅に適用で
き、カム板８２を軸部５８Ａ側に、カムフォロワ８１を
回転体７２側に設けてもよいことは勿論である。

また、前記第三実施例においては、角度変更用のモータ
９８の制御を昇降手段４０のモータ４６の駆動制１３′
ｇと関係づけているが、必ずしもモータ４６の駆動制Ｉ
Ｂと関係づけなくともよく、例えば、第７図中、二点鎖
線で示されるように、昇降軸４３の昇降量を検出するリ
ニアスケール（商ｔ１）等の変位検出器９９を設け、こ
の変位検出器９９からの検出信号を制御装置９２に入力
し、この検出信号に基づいてモータ９８の駆動制御を行
ってもよい．要するに、照明手段５０の昇降駆動に連動
してモータ９８が駆動されればよい． 更に、前記各実施例において、固定ミラー５６も回動可
能に設けてもよく、両ミラー５６．５７をともに駆動す
るようにしてもよい。更に、光源５４は四つをそれぞれ
独立に光量制御できるものでなくともよく、全体を一つ
の光源としてもよいが、前記実施例のように独立に制御
可能とすれば、被測定物２５の形状に合った光量制御を
できるという利点がある。

また、光源５４は前記実施例のように、照明本体５１に
直接取付けるものに限らず、照明本体５ｌとは別個の位
置に設け、照明本体５１の位置までには光ファイバ等を
用いて導いてもよく、要するに、固定ミラー５６に所定
の光を入射できるものであればよい．更に、照明手段５
０としては必ずしもミラー５６．５７を用いるものに限
らず、光源５４を照明本体５１に対し直接傾斜可能に設
け、この光源５４を傾斜させることにより被測定吻２５
に対する照明角度を変更するようにしたものであっても
よい。

また、照明手段５０の形状認識手段３０に対する昇降は
、照明千段５０が直接形状認識手段３０に支持された状
態でなされるものでなくともよ《、例えば、照明手段５
０が支持台２ｌに対し昇降可能に支持され、照明手段５
０の支持台２１に対する昇降が結果的に形状認識手段３
０に対して昇降されるものでもよい．更に、形状認識手
段３０の構成も前記実施例の構成に限らず、例えばＣＯ
Ｄカメラ３６はイメージオルシコン等を用いてもよい． また、本発明に係る画像処理型測定機としては、前記実
施例のように工具顕＠鏡に適用したものに限らず、投影
機、三次元測定機等の他の形式の光学式測定機にも通用
できるものである．〔発明の効果〕 前述のような本発明によれば、エッジ部が浅いようなＭ
ｌ測定物においても、鮮明な画像を得ることができ、か
つ、その構造も簡易で装置全体を安価に提供できるとい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図は本発明を工具顕微鏡に適用したー実施
例を示すもので、第１図はカバーを取外した状態の斜視
図、第２図は第１図の照明手段部分の拡大断面図、第３
図は同じく照明装置部分の一部を切り欠いた拡大斜視図
、第４図は回転体部分の分解斜視図、第５図は角度変更
手段の要部を示す拡大断面図、第６図は本発明の第二実
施例を示す要部の拡大断面図、第７図は本発明の第三実
施例を示す要部の拡大断面図である。 １０・・・画像処理型測定機、２ｏ・・・顕微鏡、２１
・・・支持台、２２・・・載物台、２５・・・被測定物
、３ｏ・・・形状認識手段、４ｏ・・・昇降駆動手段、
５ｏ・・・照明手段、５１・・・照明本体、５４・・・
光源、５６・・・固定ミラー　５７・・・可動ミラー　
７ｏ・・・角度変更手段、７２・・・回転体、７５・・
・第１のカム機構、８ｏ・・・第２のカム機構、８５・
・・カム機構、９ｏ・・・画像表示装置．

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定物を載置する載物台と、 この載物台の一側に立設された支持台と、 この支持台に配設された被測定物の形状認識手段と、 この形状認識手段に対し昇降可能に配設されるとともに
   、前記被測定物に対して所定角度傾斜した方向から照明
   光を照射し、かつ、その照射角度を変更可能にされた照
   明手段と、 この照明手段を昇降駆動する昇降駆動手段と、この昇降
   駆動手段による前記照明手段の昇降駆動に連動して駆動
   されるとともに、前記照明手段の照射角度を変更する角
   度変更手段と、 を具備したことを特徴とする画像処理型測定機。
2. （２）請求項第１項において、前記照明手段は、照明本
   体に設けられた光源と、前記照明本体に設けられ光源か
   らの光を所定角度に反射する固定ミラーと、この固定ミ
   ラーからの反射光を所定角度に反射するとともに照明本
   体に対し傾斜可能に支持された可動ミラーとを含んで構
   成されたことを特徴とする画像処理型測定機。
3. （３）請求項第１項または第２項において、前記角度変
   更手段は、照明手段に回転自在に支持された回転体と、
   この回転体と前記形状認識手段との間に設けられ形状認
   識手段に対する照明手段の昇降移動を回転体の回転移動
   に変換する第１のカム機構と、前記回転体と前記照明手
   段との間に設けられ回転体の回転移動を照明手段の照明
   角度の変更移動に変換する第２のカム機構とを含んで構
   成されたことを特徴とする画像処理型測定機。
4. （４）請求項第１項または第２項において、前記角度変
   更手段は、照明手段と形状認識手段との間に設けられ、
   形状認識手段に対する照明手段の昇降移動を照明手段の
   照明角度の変更移動に直接変換するカム機構を含んで構
   成されたことを特徴とする画像処理型測定機。