JPH0223659A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents
Semiconductor integrated circuitInfo
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- JPH0223659A JPH0223659A JP63173003A JP17300388A JPH0223659A JP H0223659 A JPH0223659 A JP H0223659A JP 63173003 A JP63173003 A JP 63173003A JP 17300388 A JP17300388 A JP 17300388A JP H0223659 A JPH0223659 A JP H0223659A
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- block
- capacitors
- semiconductor
- capacitor
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D89/00—Aspects of integrated devices not covered by groups H10D84/00 - H10D88/00
- H10D89/10—Integrated device layouts
Landscapes
- Bipolar Integrated Circuits (AREA)
- Structure Of Receivers (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明は、半導体集積回路に関し、特にカスタムICの
要求に答えられる様に、機種展開の容易なパターン・レ
イアウトに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (A) Field of Industrial Application The present invention relates to semiconductor integrated circuits, and in particular to a pattern layout that can be easily expanded to meet the demands of custom ICs.
(ロ)従来の技術
一般に、特開昭59−84542号公報(HOI L
21/76)の如く、複数個の回路ブロックを同一の半
導体基板上に形成する半導体集積回路技術は、第8図の
構成となっている。(b) Conventional technology in general is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-84542 (HOI L
21/76), a semiconductor integrated circuit technology in which a plurality of circuit blocks are formed on the same semiconductor substrate has the configuration shown in FIG.
第8図は、半導体チップ(101)の概略平面図であり
、a乃至fは回路ブロックを示す。これらの回路ブロッ
クは、夫々取り扱う周波数および信号レベルが異なり、
機能も夫々異なる。FIG. 8 is a schematic plan view of the semiconductor chip (101), and a to f indicate circuit blocks. These circuit blocks handle different frequencies and signal levels, and
The functions are also different.
この回路ブロックは、第9図の如くP−型の半導体基板
(102)上のN型の領域(103)に形成され、各回
路ブロックは、その周辺に隣接する高濃度のP+型の領
域(104)によって区画されている。ここではブロッ
クbとブロックCで示しである。This circuit block is formed in an N-type region (103) on a P- type semiconductor substrate (102) as shown in FIG. 9, and each circuit block is formed in a highly doped P+-type region ( 104). Here, block b and block C are shown.
この区画用のP1型の領域(104)は、その一端をP
型の半導体基板(102)に接するとともに、他端は半
導体表面の酸化膜(105)を通してグランドライン(
106)にオーミック接続される。The P1 type area (104) for this partition has one end connected to P1.
The other end is connected to the ground line (102) through the oxide film (105) on the semiconductor surface.
106).
グランドライン(106)は、各ブロックから集積回路
の中央部にまとめ、左端にあるグランドポンディングパ
ッドGNDに延在されている。A ground line (106) extends from each block to the ground bonding pad GND located at the left end of the integrated circuit.
次に各ブロック回路の電源ライン(Vcc)は、第8図
に示すように、集積回路の外周部にまとめ夫々個別に電
源ポンディングパッドに接続される。一方、回路ブロッ
クa乃至fは、機能が異なるため、ブロック内に存在す
る素子数が異なり、ブロック・サイズが夫々異なってし
まう構成となっている。Next, as shown in FIG. 8, the power lines (Vcc) of each block circuit are gathered around the outer periphery of the integrated circuit and individually connected to power supply bonding pads. On the other hand, since the circuit blocks a to f have different functions, the number of elements present in each block is different, and the block sizes are different.
(ハ)発明が解決しようとする課題
前述の如く、回路ブロックa乃至rのサイズが異なるの
で、この回路ブロック全てを効率良く、半導体チップ(
101>内に収めるためには、各回路ブロックの大きさ
が相互的に働いてしまい、同一チップ内への集積を難し
くしている問題があった。(c) Problems to be Solved by the Invention As mentioned above, since the circuit blocks a to r have different sizes, all of these circuit blocks can be efficiently integrated into a semiconductor chip (
101>, the sizes of each circuit block interact with each other, making it difficult to integrate them into the same chip.
また回路ブロックaを削除し、例えば特性を改良した別
の回路ブロックa′を入れたり、第8図の回路ブロック
構成に、更に別の機能を有する回路ブロックgを追加し
ようとした場合、各プロ・ツクの大きさが異なるので全
てのパターンを作り直す必要があった。Also, if you delete circuit block a and insert another circuit block a' with improved characteristics, or if you try to add circuit block g with a different function to the circuit block configuration shown in Figure 8, each program -Since the size of the Tsuku was different, it was necessary to recreate all the patterns.
一方、回路ブロックに含まれるMOS型のコンデンサは
、面積が非常に大きいため、この回路ブロックへの配置
を難しくしていた。On the other hand, the MOS type capacitor included in the circuit block has a very large area, making it difficult to arrange it in the circuit block.
従って近年、製品の寿命が非常に短かくなって来ている
中で、ユーザの希望する独自回路を、あるチップ内に組
み込もうとすると、ユーザは短納期を希望するにもかか
わらず、回路パターンを作り直すために非常に長い納期
を必要としなければならない問題を有していた。Therefore, in recent years, the lifespan of products has become extremely short, and when a user tries to incorporate a unique circuit desired by a chip into a certain chip, even though the user wants a short delivery time, the circuit The problem was that it required a very long lead time to remake the pattern.
またMOS型のコンデンサは、一般にP+型の分=4
踵領域やN+型の埋込み領域で囲まれたN型の島領域内
に形成されるため、PN接合容量を生じる。Furthermore, since a MOS type capacitor is generally formed in an N type island region surrounded by a P+ type heel region or an N+ type buried region, a PN junction capacitance is generated.
乙のPN接合容量は、N型の島領域とP“型の分割領域
との接合やN型の島領域あるいはN+型の埋込み領域と
P型の半導体基板との接合で生じる。The PN junction capacitance B occurs at the junction between the N-type island region and the P"-type divided region, or at the junction between the N-type island region or the N+ type buried region and the P-type semiconductor substrate.
方、このMOS型のコンデンサは、非常に面積が大きい
ため、自ずと前記PN接合面積も増大し、容量値が非常
に大きくなる。従って半導体基板へこのコンデンサから
のリーク電流が流れ、他の電子回路ブロックへ悪影響を
与える問題を有していた。On the other hand, since this MOS type capacitor has a very large area, the PN junction area naturally increases, and the capacitance value becomes very large. Therefore, there has been a problem in that leakage current from this capacitor flows into the semiconductor substrate, adversely affecting other electronic circuit blocks.
(ニ)課題を解決するための手段
本発明は、斯る課題に鑑みてなされ、区画ライン〈4)
で半導体チップ(1)上面を実質的に同一のサイズの多
数のマットに分割し、複数の機能の異なる電子回路ブロ
ックを1つ以上の整数個のマット内に収容し、この電子
回路ブロックに含まれるコンデンサ(7)を特定のマッ
トに集積することで解決するものである。(d) Means for solving the problem The present invention has been made in view of the problem, and solves the problem by
The top surface of the semiconductor chip (1) is divided into a large number of mats of substantially the same size, and a plurality of electronic circuit blocks with different functions are accommodated in one or more integral number of mats, and the electronic circuit blocks include This problem can be solved by integrating the capacitors (7) that are connected to each other on a specific mat.
またコンデンサ(7)が集積される特定のマットの周辺
やマットの領域内に、分離領域(18)とコンタクトす
る電極(26> 、 (27) 、 (28)を設け、
この電極によりリーク電流を吸い出して解決するもので
ある。Further, electrodes (26>, (27), (28) are provided in contact with the separation region (18) around the specific mat where the capacitor (7) is integrated or in the region of the mat,
This problem is solved by sucking out the leakage current with this electrode.
(ホ)作用
本発明に依れば、区画ラインリ)で半導体チ・ンブ(1
)上面を実質的に同一サイズの多数のマットに分割し、
複数の機能の異なる電子回路ブロックを整数個のマット
内に収容し、また前記電子回路ブロックに含まれるコン
デンサ(7)を、前記整数個のマット内の特定マットに
集積し、このコンデンサ(7)を多層で所望の回路につ
なぐので、コンデンサのレイアウトが非常に容易となり
、また電子回路ブロック毎の設計を行え且つ電子回路ブ
ロックを一定の素子数で分割しマ・ント毎の設計が行え
る様になる。従って電子回路ブロック毎に分割して並行
設計が可能であり、設計期間の大幅短縮を図れる。また
回路変更も電子回路プロ・ツク毎に且つマット毎に行え
るので、IC全体の設計変更は不要となる。(E) Function According to the present invention, the semiconductor chip (1
) dividing the top surface into a number of mats of substantially the same size;
A plurality of electronic circuit blocks having different functions are housed in an integral number of mats, and a capacitor (7) included in the electronic circuit block is integrated in a specific mat within the integral number of mats, and the capacitor (7) Since the capacitors are connected to the desired circuit in multiple layers, the layout of the capacitor is very easy, and it is also possible to design each electronic circuit block and divide the electronic circuit block into a fixed number of elements to design each component. Become. Therefore, parallel design can be performed by dividing each electronic circuit block, and the design period can be significantly shortened. Furthermore, since circuit changes can be made for each electronic circuit program and for each mat, there is no need to change the design of the entire IC.
一方、コンデンサが集積きれる特定のマットの周辺には
、第2図A乃至第2図Cのように、P+型の分離領域(
18)とコンタクトするグランドライン(27)や、P
+型の分離領域(18)とコンタクトするグランドライ
ン(26)と櫛歯状に配置される吸出し電極(28)を
形成し、前記MOS型のコンデンサ(7)の下層より生
じるリーク電流を、この電極(26)。On the other hand, around a specific mat where capacitors can be integrated, as shown in FIGS. 2A to 2C, a P+ type isolation region (
18) and the ground line (27) in contact with P
A ground line (26) in contact with the + type isolation region (18) and a suction electrode (28) arranged in a comb-teeth shape are formed to drain the leakage current generated from the lower layer of the MOS type capacitor (7). Electrode (26).
(27) 、 (28>で吸い出している。またコンデ
ンサが特定のマットに集積されているため、この特定の
マット周囲で集中的にリーク電流を吸い出すことができ
る。従って他の電子回路ブロックへ影響を及ぼすリーク
電流を無くすことができる。(27), (28>).Also, since the capacitor is integrated in a specific mat, leakage current can be concentrated around this specific mat.Therefore, it affects other electronic circuit blocks. It is possible to eliminate leakage current that causes
(へ)実施例
先ず第1図を参照して本発明の第1の実施例を詳述する
。(F) Embodiment First, a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.
半導体チップ(1)上面はA−Jの10個のマットに分
割されている。A−Jの各マット間には電源ライン(2
)とゲランドラインク3)を隣接して並列に延在させた
区画ライン(すで区分されている。The upper surface of the semiconductor chip (1) is divided into 10 mats A to J. There is a power line (2
) and Guérande lines 3) are extended in parallel and adjacent to each other (already divided).
区画ライン(4)を形成する電源ライン(2)およびグ
ランドライン(3)の配列は各マットA−Jの左側に実
線で示す電源ライン(2)を設け、右側に一点鎖線で示
すグランドライン(3)が設けられる。The arrangement of the power supply line (2) and ground line (3) forming the division line (4) is such that the power supply line (2) shown as a solid line is provided on the left side of each mat A-J, and the ground line (shown as a dashed line) is provided on the right side. 3) is provided.
従って両端に当るマットAとマットJの区画ラインのみ
が電源ライン(2)またはグランドライン(3)の一方
で形成され、中間の区画ラインは両方で構成されている
。各マットA−Jに隣接する電源ライン(2)およびグ
ランドライン(3)は、夫々のマットに集積され、回路
ブロックへの電源供給を行っている。Therefore, only the division lines of mat A and mat J at both ends are formed of either the power supply line (2) or the ground line (3), and the intermediate division line is formed of both. A power line (2) and a ground line (3) adjacent to each mat A-J are integrated in each mat and supply power to the circuit blocks.
また各区画ライン(4)の電源ライン(2)とグランド
ライン(3)は、マットの上方と下方に形成された第1
の供給ライン(5)と第2の供給ライン(6)に夫々対
向して櫛歯状に接続され、この第1および第2の供給ラ
イン(5) 、 <6)は、ペレットの周辺に設けられ
たパッドの中の電源パッド■。。およびグランドパッド
GNDに導かれている。In addition, the power supply line (2) and ground line (3) of each division line (4) are connected to the first line formed above and below the mat.
are connected to a supply line (5) and a second supply line (6) in a comb-teeth shape, respectively, and the first and second supply lines (5) and <6) are provided around the pellets. ■Power supply pad among the pads. . and is led to the ground pad GND.
後で明らかとなるが、各電源ライン(2)、グランドラ
イン(3)、および第1および第2の供給ライン(5)
、 (6)は、原則的には2層配線の内の1層一
配線で実現されている。As will become clear, each power line (2), ground line (3), and first and second supply lines (5)
, (6) is basically realized by one wiring in one layer of two-layer wiring.
上述した区画ライン(4)で区分される各マットA−J
は、実質的に同一の大きさの形状に形成跡れ、具体的に
は幅をNPNトランジスタ6個が並べられるように設定
され、長さは、設計上容易な一定の素子数、例えば約1
00素子がレイアウトできるように設定されている。こ
のマットの大きさについては、IC化する電子回路ブロ
ックにより、設計し易い素子数に応じて任意に選択でき
る。Each mat A-J divided by the above-mentioned division line (4)
are formed into a shape of substantially the same size, specifically, the width is set so that six NPN transistors are lined up, and the length is set to a certain number of elements that is easy to design, for example, about 1
The settings are such that 00 elements can be laid out. The size of this mat can be arbitrarily selected depending on the number of elements that can be easily designed depending on the electronic circuit block to be integrated.
マット内に集積される回路素子は、トランジスタ、ダイ
オード、抵抗およびコンデンサにより構成され、通常の
PN分離によって分離され、各素子の結線は、2層配線
の1層目の電極層によって接続され、例外的に2層目の
電極でクロスオーバーされている。また後で明らかとな
るが、マットE乃至マットJの電子回路ブロックに含ま
れる主なコンデンサ(7)を、破線の四角形をマットE
に集積化している。The circuit elements integrated within the mat are composed of transistors, diodes, resistors, and capacitors, and are separated by normal PN isolation, and the connections of each element are connected by the first electrode layer of the two-layer wiring. Generally, there is crossover at the second layer of electrodes. Also, as will become clear later, the main capacitors (7) included in the electronic circuit blocks of Mat E to Mat J are represented by the rectangles with broken lines on Mat E.
are concentrated in
次に第3図Aおよび第3図Bを参照して、マット内に集
積される回路素子と区画ライン(4)について具体的に
説明する。Next, with reference to FIGS. 3A and 3B, the circuit elements integrated within the mat and the partition lines (4) will be specifically described.
第3図AはマットB付近の拡大上面図である。FIG. 3A is an enlarged top view of the vicinity of mat B.
左の一点鎖線で示した区画ライン(8)は、第1図のマ
ットAとマットBの間に設けられる区画ライン(4)で
あり、右の1点鎖線で示した区画ライン(9)は、第1
図のマットBとマットCの間に設けられる区画ライン(
4)である。そしてこの区画ライン(8) 、 (9)
の間には、点線で示したトランジスタ(10)、ダイオ
ード(11)、抵抗(12)およびコンデンサ(13)
が集積されている。図面ではこれらの素子が粗になって
いるが、実際は高密度に集積されている。またマット内
の素子間の配線は、1点鎖線で示す第1層目の電極層(
14)で実質的に形成され、マットAとマットBおよび
マットBとマットCのマット間の配線、例えば信号ライ
ンやフィードバックラインが実線で示す第2層目の電極
層(15〉で形成されている。そしてこれらの第1層目
および第2層目の電極層(14) 、 (15)はX印
で示したコンタクト領域で接続されている。The division line (8) shown by the dashed-dotted line on the left is the division line (4) provided between mat A and mat B in Fig. 1, and the division line (9) shown by the dashed-dotted line on the right is , 1st
The division line provided between mat B and mat C in the figure (
4). And this division line (8), (9)
In between, there is a transistor (10), a diode (11), a resistor (12) and a capacitor (13) indicated by dotted lines.
are accumulated. Although these elements are shown sparsely in the drawing, they are actually densely integrated. In addition, the wiring between elements within the mat is the first layer of electrode layer (shown by a dashed line).
14), and wiring between mats A and B and between mats B and C, such as signal lines and feedback lines, is formed of the second electrode layer (15) shown by solid lines. These first and second electrode layers (14) and (15) are connected at contact regions indicated by X marks.
第3図Bは第3図AにおけるA−A’線の断面図である
。P型の半導体基板(16)上にN型のエピタキシャル
層(17〉が積層されており、このエピタキシャル層(
17)表面より前記半導体基板(16)に到達するP+
型の分離領域(18)が形成され、多数のアイランド領
域が形成されている。このアイランド領域(19)内に
はNPN トランジスタ(10)、ダイオード(11)
、抵抗(12)およびコンデンサ(13)等が作られて
おり、NPNトランジスタ(10)のコレクタ領域(2
0)と前記半導体基板(16)との間、またはアイラン
ドと基板(19)との間には、N+型の埋込み領域(2
1)が形成されている。前記エピタキシャル層(17)
の表面には例えばCVD法によりシリコン酸化膜(22
)が形成され、このシリコン酸化膜(22)上には、第
1層目の電極層(14)が形成されている。またこの第
1層目の電極層(14)を覆うように、例えばPIX等
の絶縁膜(23)が形成され、この絶縁膜(23)上に
第2層目の電極層(15)が形成されている。また電源
ライン(2)およびグランドライン(3)は、前記分離
領域(18)上に設けられ、グI
ランドライン(3)はこの分離領域(18)とオーミッ
クコンタクトしており、基板電位の安定化をはかってい
る。FIG. 3B is a sectional view taken along line AA' in FIG. 3A. An N-type epitaxial layer (17) is laminated on a P-type semiconductor substrate (16), and this epitaxial layer (
17) P+ reaching the semiconductor substrate (16) from the surface
A mold isolation region (18) is formed and a number of island regions are formed. Inside this island region (19) are an NPN transistor (10) and a diode (11).
, a resistor (12), a capacitor (13), etc. are made, and the collector region (2) of the NPN transistor (10) is
0) and the semiconductor substrate (16) or between the island and the substrate (19).
1) is formed. The epitaxial layer (17)
For example, a silicon oxide film (22
) is formed, and a first electrode layer (14) is formed on this silicon oxide film (22). Further, an insulating film (23) such as PIX is formed to cover this first electrode layer (14), and a second electrode layer (15) is formed on this insulating film (23). has been done. Further, the power supply line (2) and the ground line (3) are provided on the isolation region (18), and the ground line (3) is in ohmic contact with this isolation region (18) to stabilize the substrate potential. We are trying to change the world.
次に、本構成に組み込む電子回路ブロックとマットとの
関係について述べる。ここでは第6図に示す2つの電子
回路ブロック、例えばステレオ信号をステレオ復調する
マルチプレックスデコーダーブロック(24)と、中間
周波信号を増幅し、その後検波しオーディオ信号を得る
FM−IFブロック(25)が組み込まれる。Next, the relationship between the electronic circuit block incorporated in this configuration and the mat will be described. Here, two electronic circuit blocks shown in FIG. 6 are used, for example, a multiplex decoder block (24) that demodulates a stereo signal, and an FM-IF block (25) that amplifies an intermediate frequency signal and then detects it to obtain an audio signal. will be incorporated.
このマルチプレックスデコーダーブロック(24)の素
子数は約390個であり、FM−IFブロック(25)
は約430個である。従って前者は、1゜O素子以下を
目安にして4つの部分に分け、A〜Dまでのマットに夫
々を集積化してゆき、各マット間の機能は、前述の如く
2層目の電極層(15)を設けて電子回路ブロックを実
現している。また後者も、100素子以下を目安にして
5つの部分に分け、E〜工までのマットに夫々を集積化
してゆき、各マット間の機能は、前述の如く2層目の電
極層(15)を設けて電子回路ブロックを実現している
。またマットJは、ユーザからのオプション回路を集積
化するものであり、例えば本ICの性能を更に向上させ
るための回路が集積化されている。The number of elements in this multiplex decoder block (24) is approximately 390, and the FM-IF block (25)
There are approximately 430 pieces. Therefore, the former is divided into four parts with 1°O elements or less as a guide, and each part is integrated into mats A to D, and the function between each mat is determined by the second electrode layer (as described above). 15) is provided to realize an electronic circuit block. The latter is also divided into five parts with 100 elements or less as a guide, and each part is integrated into mats from E to E, and the function between each mat is determined by the second electrode layer (15) as described above. is provided to realize an electronic circuit block. Furthermore, the mat J integrates optional circuits provided by the user, such as circuits for further improving the performance of the present IC.
一方、FM−IFブロック(25)に組み込まれるコン
デンサ(7)は、マットEに集積されている。On the other hand, the capacitor (7) incorporated in the FM-IF block (25) is integrated in the mat E.
第1図には、破線で示すコンデンサが11個形成されて
いる。そしてこのマットEのコンデンサが形成される領
域から生じるリーク電流を、マットEの両側に形成した
一点鎖線で示すグランドライン(26) 、 (27)
や、グランドライン(26)と櫛歯状に配置された吸出
し電極(28)で吸い出している。このマットEの部分
拡大図を第2図Aに示す。In FIG. 1, 11 capacitors are formed, which are indicated by broken lines. The leakage current generated from the area of mat E where the capacitor is formed is shown by the ground lines (26) and (27) indicated by dashed lines formed on both sides of mat E.
The air is sucked out using a ground line (26) and a suction electrode (28) arranged in a comb-like shape. A partially enlarged view of this mat E is shown in FIG. 2A.
−点鎖線で示した一番太い電極(29) 、 (30)
が、第1図のマットEの両側に形成したグランドライン
(26) 、 (27)である。この2本のグランドラ
イン(29) 、 (30)の間にはMOS型のコンデ
ンサ(7)が形成されており、点でハツチングした部分
がコンデンサの上層電極(31)に相当し、第1層目に
形成されている。またこの上層電極(31)は、右側の
X印で示したコンタクト(32)を介して第2層目の電
極(33)とオーミックコンタクトし、この電極(33
)は右側へ延在されて、本電子回路ブロックに含まれる
回路素子と接続されている。また前記上層電極(31)
の上下または左右にX印で示したコンタクト(34)は
、第2図Bに示すこの上層電極(31)の下層に形成さ
れたP型の拡散領域(35)とコンデンサの下層電極に
該当する電極(36)とのコンタクト部分を示す。ここ
で前記電極(36)は以下下層電極と呼ぶ、この下層電
極(36)は、前記上層電極(31)と同様に、コンタ
クト(37)を介して2層目の電極(38)とコンタク
トし、この2層目の電極(38)は、右側へ延在されて
、本電子回路ブロックに含まれる回路素子と接続されて
いる。-The thickest electrode (29), (30) shown by the dotted chain line
are the ground lines (26) and (27) formed on both sides of mat E in FIG. A MOS type capacitor (7) is formed between these two ground lines (29) and (30), and the hatched part corresponds to the upper layer electrode (31) of the capacitor, and the first layer formed into eyes. Further, this upper layer electrode (31) is in ohmic contact with the second layer electrode (33) via the contact (32) indicated by the X mark on the right side, and this electrode (33)
) extends to the right and is connected to the circuit elements included in the electronic circuit block. Further, the upper layer electrode (31)
The contacts (34) indicated by X marks on the top and bottom or left and right sides correspond to the P-type diffusion region (35) formed in the lower layer of this upper layer electrode (31) shown in FIG. 2B and the lower layer electrode of the capacitor. The contact portion with the electrode (36) is shown. Here, the electrode (36) is hereinafter referred to as a lower layer electrode. Like the upper layer electrode (31), this lower layer electrode (36) is in contact with the second layer electrode (38) via a contact (37). This second layer electrode (38) extends to the right and is connected to the circuit elements included in the present electronic circuit block.
ここで上層電極(31)のコンタクト(32)は、グラ
ンドライン(30)の左側近傍に設けてあり、ここから
マットFの方向へ延在される2層目の電極(33)の交
差を防止するために直線状に設けられている。Here, the contact (32) of the upper layer electrode (31) is provided near the left side of the ground line (30) to prevent the second layer electrode (33) extending from there in the direction of the mat F from crossing. It is provided in a straight line for this purpose.
また回路の信号の流れは、マットFの上から下へ流れる
ようになっているので、このコンデンサも、実質的に回
路類に上から下へ設けられている。Further, since the signal flow in the circuit is from the top to the bottom of the mat F, this capacitor is also substantially provided in the circuits from top to bottom.
次に本ICの断面図を説明する。第2図AのA−A’線
およびB−B’線の断面図を第2図Bおよび第2図Cに
説明する。Next, a cross-sectional view of this IC will be explained. Cross-sectional views taken along lines AA' and BB' in FIG. 2A are illustrated in FIGS. 2B and 2C.
先ずP型の半導体基板(16)があり、この半導体基板
(16)上にN型のエピタキシヤルJ!(17)が積層
されている。このエピタキシャル層(17)の表面から
半導体基板(16)に到達するP型の分離領域(18)
があり、この分離領域(18)で囲まれたアイランドに
、夫々のコンデンサ(7)が形成される。このアイラン
ド(39)の主領域にはN+型の埋込み層(40)があ
り、この埋込み層(40)の上層にはP+型の拡散領域
(41)が形成され、この拡散領域(41)と重畳する
P型の拡散領域(35)が形成されている。そしてこの
エピタキシャル層(17)上には絶縁膜であるSiOx
膜(22)があり、このSin、膜(22)上には、上
層電極(31)、下層電極(36)、グランドライン(
29) 、 (30)および吸出し電極り28)が形成
されている。このグランドライン(29) 、 (30
)と吸出し電極(28)は、第2図Aにおいて斜線でハ
ツチングされたコンタクト領域の如く、実質的に略全面
でコンタクトされている。そして第2層目の絶縁膜、例
えばPIX(23)が被覆され、マットFへ延在される
電極(33) 、 (38)が形成されている。First, there is a P-type semiconductor substrate (16), and on this semiconductor substrate (16) there is an N-type epitaxial J! (17) are stacked. A P-type isolation region (18) reaching the semiconductor substrate (16) from the surface of this epitaxial layer (17)
Each capacitor (7) is formed in an island surrounded by this isolation region (18). There is an N+ type buried layer (40) in the main region of this island (39), a P+ type diffusion region (41) is formed in the upper layer of this buried layer (40), and this diffusion region (41) and Overlapping P-type diffusion regions (35) are formed. And on this epitaxial layer (17) is an insulating film of SiOx.
There is a film (22), and on this Sin film (22) are an upper layer electrode (31), a lower layer electrode (36), and a ground line (
29), (30) and suction electrode plate 28) are formed. This ground line (29), (30
) and the suction electrode (28) are in contact with each other over substantially the entire surface, as shown in the hatched contact area in FIG. 2A. Then, a second layer of insulating film, for example, PIX (23) is coated, and electrodes (33) and (38) extending to the mat F are formed.
従って、このMOS型のコンデンサ(7〉の周囲や下層
に形成される接合コンデンサ、例えばアイランド(39
〉と分離領域(18)、アイランド(39)と半導体基
板(16)や埋込み層(40)で成るPN接合が逆バイ
アスされて形成される接合コンデンサのり−ク寛流は、
分離領域(18)を介してグランドライン(29) 、
(30)や吸出し電極(28)で吸い取ることができ
る。Therefore, a junction capacitor formed around or below this MOS type capacitor (7), such as an island (39
>, the isolation region (18), the island (39), the semiconductor substrate (16), and the buried layer (40).
A ground line (29) through the isolation region (18),
(30) or suction electrode (28).
次に第4図を参照して本発明の第2の実施例を詳述する
。本実施例では、半導体チップ(42)上面を2点鎖線
で示す分割領域(43)を用いて実質的に同一形状で、
第1および第2の領域(44) 、 (45)に2等分
し、夫々の領域(44) 、 (45)に多数のマット
を設けた点に特徴がある。この結果、マット数が多いの
で半導体チップ(42)のレイアウトが第1の実施例よ
りやり易くなる利点を有している。Next, a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. In this embodiment, the upper surface of the semiconductor chip (42) is divided into regions (43) indicated by two-dot chain lines, so that the upper surface of the semiconductor chip (42) has substantially the same shape.
It is characterized in that it is divided into two equal parts, the first and second regions (44) and (45), and a large number of mats are provided in each region (44) and (45). As a result, since the number of mats is large, the layout of the semiconductor chip (42) is easier than in the first embodiment.
具体的には、第1の領域(44)にはA−Jの10個の
マットを形成し、第2の領域(45)にはに−Tの10
個のマットを形成し、各マットの構成は第1の実施例と
同様に、マットを約100素子集積できる実質的に同一
スペースにし、各マット間は区画ライン(4)で区分し
ている。Specifically, 10 mats of A-J are formed in the first region (44), and 10 mats of N-T are formed in the second region (45).
The structure of each mat is the same as in the first embodiment, with substantially the same space capable of integrating about 100 elements, and each mat is separated by a partition line (4).
ただしマットEには、基板へのリーク電流を集中的に吸
収するために、この電子回路ブロックに含まれるコンデ
ンサを集積している。However, the capacitor included in this electronic circuit block is integrated in the mat E in order to intensively absorb leakage current to the substrate.
斯上した20個のマット内には第6図に示すAM/FM
ステレオチューナー用1チップICが形成される。第6
図はこの電子ブロック回路を説明するブロック図であり
、2Mフロントエンドブロック(46)、FM−I F
ブロック(25)、ノイズキルンセラーブロック(47
)、マルチプレックスデコーダーブロック(24)、A
Mチューナーブロック(48)の計5つの電子回路ブロ
ックから構成されるいる。各回路ブロックは周知のもの
であるが、その機能を簡単に説明する。The 20 mats listed above contain AM/FM as shown in Figure 6.
A 1-chip stereo tuner IC is formed. 6th
The figure is a block diagram explaining this electronic block circuit, and includes a 2M front end block (46), an FM-I F
block (25), noise kiln cellar block (47)
), multiplex decoder block (24), A
It is composed of a total of five electronic circuit blocks, including an M tuner block (48). Although each circuit block is well known, its function will be briefly explained.
先ずFMフロントエンドブロック(46)はFM放送の
選局部分であり、数十MHz〜数百MHzのFM放送信
号を受信し、10.7MHzの中間周波信号に周波数変
換するものであり、素子数としては約250個を有する
のでに−Mのマットに集積されている。次にFM−IF
ブロック(25)は、この中間周波信号を増幅し、その
後検波しオーディオ信号を得るものであり、素子数とし
ては約430個を有するのでE〜工のマットに集積され
ている。続いてノイズキャンセラーブロック(47)は
、イグニッションノイズ等のパルスノイズを除去するも
ので、約270個の素子を有するのでN−Pのマットに
集積されている。更にマルチプレックスデコーダーブロ
ック(24)は、ステレオ信号をステレオ復調するブロ
ックであり、約390個の素子を有するためQ−Tのマ
ットに集積きれている。最後に、AMチューナーブロッ
ク(48)は、AM放送の選局部分であり、アンテナ受
信したAM放送信号を中間周波数(a 50KHz)に
変換し、検波してオーディオ出力を得るものであり、約
350個の素子を有するのでA−Dのマットで集積され
る。First, the FM front end block (46) is a channel selection part for FM broadcasting, and receives an FM broadcasting signal of several tens of MHz to several hundred MHz and converts the frequency into an intermediate frequency signal of 10.7MHz. There are about 250 of them, so they are integrated into the -M mat. Next, FM-IF
The block (25) amplifies this intermediate frequency signal and then detects it to obtain an audio signal, and has about 430 elements, so it is integrated in the mats E to E. Next, the noise canceller block (47) removes pulse noise such as ignition noise, and has about 270 elements, so it is integrated into an NP mat. Furthermore, the multiplex decoder block (24) is a block for demodulating stereo signals, and has about 390 elements, so it can be integrated into a QT mat. Finally, the AM tuner block (48) is a channel selection part for AM broadcasting, and converts the AM broadcasting signal received by the antenna to an intermediate frequency (a 50KHz), detects it, and obtains an audio output. Since it has several elements, it is integrated in mats A to D.
更には第7図A1第7図Bおよび第7図Cに、夫々AM
チューナーブロック(48)、フロントエンドブロック
(46〉とFM−I Fブロック(25)およびマルチ
プレックスデコーダーブロック(24)を更にブロック
化した図を示す。Furthermore, in FIG. 7 A1, FIG. 7 B, and FIG. 7 C,
A diagram in which a tuner block (48), a front end block (46), an FM-IF block (25), and a multiplex decoder block (24) are further divided into blocks is shown.
先ず第7図AのAMチューナーブロック(48)内の局
部発振回路(OS C) (49)がマットAに、混合
回路(M I X ) (50)がマットBに、自動利
得制御回路(A G C) (51)、高周波増幅回路
(RF)(52)および中間周波増幅回路(IF)(5
3)がマットCに、検波回路(DET]54)がマット
Dに実質的に集積され、第4図の如く電源パッド■。o
lよりたこ足状に4本延在された三点鎖線で示す第3の
電源ライン(55) 、 (56) 、 (57) 、
(58)を介し、A〜Dのマットの第1の電源ライン
(59)に■。0を供給している。またグランドバッド
GND 1はマットMとマットNの間に設けられたたこ
足状の3木の!9−
電極(60)を介して一端分割領域(43)上の三点鎖
線で示す第2のグランドライン(61) 、 (62)
、 (63)に接続され、夫々の第2のグランドライ
ン(61) 、 (62) 、 (63)はA−Dのマ
ットの第1のグランドライン(64)に接続されている
。First, the local oscillation circuit (OS C) (49) in the AM tuner block (48) in FIG. 7A is connected to mat A, the mixing circuit (MI G C) (51), high frequency amplification circuit (RF) (52) and intermediate frequency amplification circuit (IF) (5
3) is substantially integrated into the mat C, a detection circuit (DET) 54) is substantially integrated into the mat D, and the power supply pad (2) is connected as shown in FIG. o
The third power supply line (55), (56), (57), which is shown by the three-dot chain line and extends from the l in a cylindrical shape with four lines,
(58) to the first power supply line (59) of the mats A to D. 0 is supplied. Also, the ground bad GND 1 has three octopus-like trees installed between mat M and mat N! 9- Second ground lines (61), (62) indicated by three-dot chain lines on one end divided region (43) via electrode (60)
, (63), and the respective second ground lines (61), (62), (63) are connected to the first ground lines (64) of the A-D mats.
次に第7図Bの高周波増幅回路(65)、混合回路(6
6)および局部発振回路(67)で構成されるフロント
エンドブロック<46)は、数μ■と極めて小さいレベ
ルの信号を扱うため、他の回路ブロック特にFM−I
Fブロック(25)からの干渉を嫌い、またこのブロッ
ク内にある局部発振回路<67)がそれ自身発振し、不
要輻射を発生させる。そのため特にFM−I Fブロッ
ク(25)ト離間させ、oSCブロックが一番干渉を嫌
うため別の電源V。C81VCC41GND3 、 G
ND4を用いている。Next, the high frequency amplification circuit (65) and the mixing circuit (65) in Fig. 7B are shown.
6) and a local oscillation circuit (67), the front end block <46) handles extremely small level signals of several μ■, so it
It dislikes interference from the F block (25), and the local oscillation circuit <67) within this block oscillates itself, generating unnecessary radiation. Therefore, the FM-IF block (25) is particularly spaced apart, and since the oSC block hates interference the most, a separate power supply V is provided. C81VCC41GND3, G
ND4 is used.
すなわちFM−I Fブロック(25)と対角線状にあ
るに−Mのマットに集積され、一番コーナとなるマット
Kに局部発振回路(67)を集積し、その両側には別の
パッド■。o4およびGND4を通して第1の電源ライ
ンクロ8)およびグランドライン(69)が設けである
。また他のり、Mのマットは、VCC3およびGND3
を通して、夫々の第1の電源ラインおよびグランドライ
ン(70) 、 (71)が設けである。That is, the FM-IF block (25) is diagonally diagonally integrated with the -M mat, the local oscillation circuit (67) is integrated on the cornermost mat K, and on both sides there are other pads (2). A first power line 8) and a ground line (69) are provided through o4 and GND4. In addition, the mat of M is connected to VCC3 and GND3.
Through these, respective first power and ground lines (70) and (71) are provided.
一方、中間周波増幅回路(72)、検波回路(73)お
よびSメータ(74〉等で構成されるFM−I Fブロ
ック(25)は、E−Iのマットに集積され、検波回路
(73)がマットIに、Sメータ(74)等がマットG
に、更には中間周波増幅回路(72)中のリミッタ回路
およびミュート回路等が、E、FとGのマットに実質的
に集積されている。On the other hand, the FM-IF block (25), which is composed of an intermediate frequency amplification circuit (72), a detection circuit (73), an S meter (74), etc., is integrated on the E-I mat, and the detection circuit (73) is on mat I, S meter (74) etc. is on mat G
Furthermore, the limiter circuit, mute circuit, etc. in the intermediate frequency amplification circuit (72) are substantially integrated on the E, F, and G mats.
ここでは第1の実施例に於いても説明したように、マッ
トEにリミッタ回路に含まれるコンデンサが集積されて
いる。このマットEは、第2図A、第2図Bおよび第2
図Cと実質的には同じであるが、マットEの周囲に形成
されるグランドライン(75) 、 (76)が異なっ
ている。グランドライン(75)は、半導体チップ(4
2)の右周辺を回り、GND2とつながり、この下の分
離領域とコンタクトして、マットEのコンデンサおよび
チップ周辺のメータ電流を吸収している。またグランド
ライン(76)は、マットFに入っているコンデンサ以
外のノミツタ回路とGNDを共用しており、マットEか
らマットF方向のリーク電流を、電極(60)を介して
GNDIへ流している。Here, as explained in the first embodiment, the capacitor included in the limiter circuit is integrated in the mat E. This mat E is shown in Fig. 2 A, Fig. 2 B, and Fig. 2
Although it is substantially the same as Figure C, the ground lines (75) and (76) formed around the mat E are different. The ground line (75) connects the semiconductor chip (4
2), connects to GND2, contacts the isolation region below, and absorbs the meter current around the mat E capacitor and chip. In addition, the ground line (76) shares GND with a chisel circuit other than the capacitor included in the mat F, and allows leakage current from the mat E in the direction of the mat F to flow through the electrode (60) to GNDI. .
またチップ(42)の左周辺の電極(77)も同様にリ
ーク電流を吸い出している。Further, the electrode (77) on the left periphery of the chip (42) also sucks out leakage current.
ここでは利得が80〜100dBと極めて高いリミッタ
回路と信号レベルの大きい検波回路(73)、前記リミ
ッタ回路と信号レベルの大きいSメータ(74)は帰還
による発振を生じ、検波回路(73)とSメータ(74
)は相互干渉による特性悪化が生じるため、マットF、
Gの第1の電源ライン(78)は、本の3点鎖線で示す
第3の電源ライン(57)に、マットH,Iの第1の電
源ライン(79)は、−本の第3の電源ライン(56)
に接続されている。またマットJはユーザからのオプシ
ョン回路を集積されるものであり、この電源ライン(8
0)も−本の第3の電源ラインク55)に接続□されて
いる。Here, the limiter circuit with an extremely high gain of 80 to 100 dB, the detection circuit (73) with a large signal level, the limiter circuit and the S meter (74) with a large signal level generate oscillation due to feedback, and the detection circuit (73) and the S meter (74) have a high signal level. Meter (74
), the characteristics deteriorate due to mutual interference, so matte F,
The first power line (78) of G is connected to the third power line (57) shown by the three-dot chain line in the book, and the first power line (79) of mats H and I is connected to the third power line (57) shown by the three-dot chain line in the book. Power line (56)
It is connected to the. Mat J also integrates optional circuits provided by the user, and this power line (8
0) is also connected to the negative third power supply line 55).
またE−Jのマットにある一点鎖線で示す第1のグラン
ドラインは、グランドパッドGNDIからたと足状に延
在されて一端接続された第2のグランドライン(61)
、 (62) 、 (63)と、前述と同様に接続さ
れている。Also, the first ground line shown by the dashed line on the E-J mat is a second ground line (61) that extends from the ground pad GNDI in a leg shape and is connected at one end.
, (62), and (63) are connected in the same manner as described above.
続いて、第7図Cのマルチブレックスデコーダーブロッ
クク24)の直流増幅回路り81)、デコーダ回路(8
2)、ランプドライバー回路(83)がマットQとマッ
トRに、また位相比較回路(84)、ローパスフィルタ
回路(85)、電圧制御発振器(86)および分周回路
(87)等がマットSとマットTに実質的に集積されて
いるiまた電源バッドVCC1よりたこ足状に3本延在
された電極(88) 、 (89) 、 (90)は、
AMチューナーブロック(48)とFM−I Fブロッ
ク(25)との間を通り、分割領域(43)上の第2の
電源ライン(91) 、 (92) 、 (93)へ一
端接続される。そして1木がマットQとRへ、1本がマ
ットSとTへ、更に1本がノイズキャンセラーブロック
(47)となるN−Pのマットへ伸びている。Next, the DC amplifier circuit 81) and the decoder circuit (81) of the multiplex decoder block 24) in FIG.
2), the lamp driver circuit (83) is connected to mat Q and mat R, and the phase comparator circuit (84), low-pass filter circuit (85), voltage controlled oscillator (86), frequency dividing circuit (87), etc. are connected to mat S. The three electrodes (88), (89), and (90) that are substantially integrated in the mat T and extend from the power supply pad VCC1 in an octopus-like shape are as follows:
It passes between the AM tuner block (48) and the FM-IF block (25) and is connected at one end to the second power lines (91), (92), (93) on the divided area (43). One tree extends to the mats Q and R, one tree extends to the mats S and T, and one tree extends to the N-P mat that becomes the noise canceller block (47).
一方、グランドパッドGND2はたこ足状に3本の第3
のグランドライン(94) 、 (95) 、 (96
)に接続され、前述と同様に、N−Pのマット、Q、R
のマット、S、Tのマットへ伸びている。On the other hand, the ground pad GND2 has three third
The ground lines of (94), (95), (96
), and as before, the N-P mat, Q, R
mat, S and T mats.
以上説明した如く、第1の実施例と同様に、第1の電源
ラインと第1のグランドラインで構成される区画ライン
(4)によってA−J、に−Tのマットが区分されてい
る。またこの第1の電源ラインと第1のグランドライン
が実質的に櫛歯状に形成されているため、マット間のス
ペースや周辺のスペースを有効に活用でき、チップ(4
2)周辺のバッドV。ct 、 GNDI 、 GND
2を最短距離でつなぐことができる。As described above, similarly to the first embodiment, the mats A-J and -T are divided by the division line (4) consisting of the first power supply line and the first ground line. In addition, since the first power supply line and the first ground line are formed in a substantially comb-like shape, the space between the mats and the surrounding space can be effectively utilized.
2) Surrounding bad V. ct, GNDI, GND
2 can be connected in the shortest distance.
次にFMフロントエンド(46)とFM−IFブロック
(25)の干渉対策について述べる。従来では個別IC
を夫々使っていたためセット基板上の問題であったが、
今回は1チツプ化のために更にこの干渉が問題となった
が次の対策により解決している。Next, countermeasures against interference between the FM front end (46) and the FM-IF block (25) will be described. Conventionally, individual IC
It was a problem with the set board because I was using each of them, but
This time, because of the single-chip configuration, this interference became a problem, but it was solved by the following measures.
先ず前述した如く、FMフロントエンドブロック(46
)は、数μVと極めて小さいレベルの信号を扱うため、
他の回路ブロック特にFM−IFブロック(25)から
の干渉を嫌い、またこのブロック内に構成される局部発
振回路(67)がそれ自身発振し、不要輻射を発生させ
るため、他のブロックと離間したり別の電源を設けたり
する必要がある。First, as mentioned above, the FM front end block (46
) handles extremely small level signals of several μV, so
Because it dislikes interference from other circuit blocks, especially the FM-IF block (25), and because the local oscillation circuit (67) configured within this block oscillates itself and generates unnecessary radiation, it must be separated from other blocks. or provide a separate power source.
これ等の理由により、先ずFMフロントエンドブロック
とFM−I Fブロックを対角線上に設け、またこのブ
ロックの中の局部発振回路をマットKに集積させ離間さ
せた。次にAMチューナーブロック(48)とFM−I
Fブロック(25)、FMフロントエンドブロック(
46)とノイズキャンセラーブロック(47)との間、
すなわちマットpとマットE1マットMとマットNの区
画ライン幅を広く取ることでFMフロントエンドブロッ
ク(46)を他のブロック特にFM−I Fブロック(
25)から遠ざけている。またマットDとマットEおよ
びマットMとマットNとの間に、電源パッドVCC*よ
り第2の領域(45)へ延在される電極(88) 、
(89) 、 (90)とグランドパッドGND1より
第1の領域(44〉へ延在される電極(60)とを設け
、更に分割領域(43)上に第2の電源ライン(91)
、 (92) 、 (93)と第2のグランドライン
(61) 、 (62) 、 (63)を設けている。For these reasons, first, the FM front end block and the FM-IF block were provided diagonally, and the local oscillation circuits in these blocks were integrated on the mat K and separated from each other. Next, AM tuner block (48) and FM-I
F block (25), FM front end block (
46) and the noise canceller block (47),
In other words, by widening the partition line widths of mat P, mat E1, mat M and mat N, the FM front end block (46) can be separated from other blocks, especially the FM-IF block (
25). Further, between the mat D and the mat E and between the mat M and the mat N, an electrode (88) extending from the power supply pad VCC* to the second region (45),
(89), (90) and an electrode (60) extending from the ground pad GND1 to the first region (44>), and furthermore, a second power line (91) is provided on the divided region (43).
, (92), (93) and second ground lines (61), (62), (63).
従ってFMフロントエンドブロック(46)は、隣接す
るFM−IFブロック(25)、AMチューナーブロッ
ク(48)およびノイズキャンセラーブロック(47)
と分離され、特に電源ライン(88) 、 (89)
、 (90>は不要輻射を防止し、グランドライン(6
0)は、分離領域とコンタクトしているので基板電流を
吸い出すことができ干渉を防止している。Therefore, the FM front end block (46) is connected to the adjacent FM-IF block (25), AM tuner block (48) and noise canceller block (47).
Especially the power line (88), (89)
, (90> prevents unnecessary radiation and connects the ground line (6
0) is in contact with the isolation region, so it can suck out the substrate current and prevent interference.
またこのFMフロントエンドブロック(25)の中の局
部発振回路(67)は、干渉を嫌うので、電源バッドV
。c4とグランドパッドGND4を別に設け、外の回路
は電源バッドvccsとグランドパッドGND3で供給
されている。Also, since the local oscillation circuit (67) in this FM front end block (25) dislikes interference, the power supply bad V
. c4 and a ground pad GND4 are provided separately, and external circuits are supplied by a power supply pad VCCs and a ground pad GND3.
更にはFM−IFブロック(25)は、FM信号のAM
部を除去するためのリミッタ回路を有し、この回路はマ
ットEとマットFで集積されている。Furthermore, the FM-IF block (25)
This circuit is integrated with mat E and mat F.
このリミッタ回路に有るコンデンサは前述の如く基板へ
リークを生じ、このリーク電流がFMフロントエンドへ
流れ誤動作を起こす。そのためコンデンサをマットEに
一括し、このマットEの両側辺の区画ライン(4)の第
1のグランドライン(75)。The capacitor in this limiter circuit causes leakage to the substrate as described above, and this leakage current flows to the FM front end, causing malfunction. Therefore, the capacitors are grouped together in the mat E, and the first ground line (75) of the division lines (4) on both sides of the mat E.
(76〉で集中的に吸い出している。更にほこの第1の
グランドライン(75)は、FM−IFブロック(25
)、マルチプレックスデコーダーブロック(24)およ
びノイズキャンセラーブロック(47)の外周辺に延在
されて、これらから生じるリーク電流も吸い出している
。The first ground line (75) is connected to the FM-IF block (25).
), are extended around the outer periphery of the multiplex decoder block (24) and noise canceller block (47) to also suck out leakage current arising from these.
また配線の都合上第3の電源ライン(55) 、 (5
6) 、 (57) 、 (58)、分割領域(43)
上の第2の電源ライン(91) 、 (92) 、 (
93)および第2のグランドライン(61) 、 (6
2) 、 (63)等は、黒丸で示したスルーホールを
介して、点線で示す2層目の電極層を介してクロスオー
バーしている。特にAMチューナーブロック(48)は
外のブロック回路と同時に動作しないので、AMチュー
ナーブロック(48)とFM−I Fブロックク25)
を1つのパッドV。olを共用しており、このためクロ
スオーバーしている。またグランドバラl−″GND
1も同様である。Also, due to wiring reasons, the third power supply line (55), (5
6), (57), (58), divided area (43)
Upper second power line (91), (92), (
93) and the second ground line (61), (6
2), (63), etc. cross over via the through holes shown by black circles and the second electrode layer shown by dotted lines. In particular, the AM tuner block (48) does not operate simultaneously with other block circuits, so the AM tuner block (48) and FM-IF block 25)
One pad V. They share the ol, so there is a crossover. Also, Grand Rose l-”GND
The same applies to 1.
第5図は、前述したように、FMフロントエンドブロッ
ク(46)とFM−I Fブロック(25)を遠ざける
事、クロスオーバーしている事を説明するために具体的
に電極の構成を示した。X印で示した所は、黒丸で示し
たスルーホールである。 −ゝ最後に本発明の特徴点を
一例してみる。例えばAMチューナーブロック(48)
が不要であれば、A〜Dのマットに、マルチプレックス
デコーダーブロック(24)となる4つのマットをその
まま集積化し、余ったマットQとマットRに例えばマッ
トIとJを集積化する。従ってI、J、S、Tのマット
が余分となるので、このマットを削除すればマットの配
置が四角形のチップ内に整然と収納することができる。Figure 5 specifically shows the configuration of the electrodes to explain that the FM front-end block (46) and FM-IF block (25) are separated and crossed over, as described above. . The area indicated by the X mark is the through hole indicated by the black circle. - Finally, let's take a look at an example of the features of the present invention. For example, AM tuner block (48)
If it is not necessary, the four mats forming the multiplex decoder block (24) are directly integrated into the mats A to D, and mats I and J, for example, are integrated into the remaining mats Q and R. Therefore, since the I, J, S, and T mats are redundant, by deleting these mats, the mats can be arranged neatly in a rectangular chip.
ここではマット内の1層目の配線はそのまま使い、マッ
ト間の配線およびブロック間の配線のみを考えれば良い
。Here, the first layer wiring within the mat can be used as is, and only the wiring between mats and the wiring between blocks need be considered.
またFM−I Fブロック(25)の一部改良の際は、
例えば改良部となるマットFのみを取り出して改良すれ
ば良く、他のマットE、G、Hはそのまま使うことがで
きる。またユーザのオプションとなる別のブロックを追
加する時は、全部のマットはそのまま使い、このブロッ
クに必要な数だけマットを追加すれば良いし、またここ
ではマットJをこのオプション用マットとしている。Also, when partially improving the FM-IF block (25),
For example, it is only necessary to take out the mat F, which is the improved part, and improve it, and the other mats E, G, and H can be used as they are. Also, when adding another block that is an option for the user, all the mats can be used as is and only the required number of mats can be added to this block, and in this case mat J is used as the mat for this option.
つまり同一寸法のマットをマトリックス状に形成しであ
るため、入替え、追加、および削除が非常に容易となる
。In other words, since mats of the same size are formed in a matrix, replacement, addition, and deletion are very easy.
(ト)発明の効果
以上の説明からも明らかな如く、第1に区画ライン(4
)で半導体チップ(1)上面を実質的に同一サイズの多
数のマットに分割し、複数の機能の異なる電子回路ブロ
ックを整数個のマットに収容すると、電子回路ブロック
毎に並行して設計ができ、設計期間を大幅に短縮できる
。また電子回路ブロックを一定の素子数で分割し、マッ
ト毎の設計が行えるので、マット毎の並行設計もできる
。また削除、追加および修正等の回路変更も電子回路ブ
ロック毎またはブロック毎に設計できるので、ブロック
毎またはマット毎の変更のみで足り、IC全体の設計変
更が不要となる。更にはマットを基本ブロックとしてセ
ル化できるので、一端設計を終了すれば、この後の回路
変更の際、変更するマットのみの修正だけで、他のマッ
トはそのまま使え信頼性が非常に高くなる。(g) Effects of the invention As is clear from the above explanation, the first effect is the division line (4
), the top surface of the semiconductor chip (1) is divided into a number of mats of substantially the same size, and electronic circuit blocks with different functions are accommodated in an integral number of mats, making it possible to design each electronic circuit block in parallel. , the design period can be significantly shortened. Furthermore, since the electronic circuit block can be divided into a fixed number of elements and designed for each mat, parallel design for each mat can be performed. Further, since circuit changes such as deletion, addition, and modification can be designed for each electronic circuit block or each block, it is sufficient to make changes for each block or each mat, and there is no need to change the design of the entire IC. Furthermore, since mats can be made into cells as basic blocks, once the design is completed, when changing the circuit afterwards, only the mats to be changed need to be modified, and the other mats can be used as is, resulting in extremely high reliability.
また電子回路ブロックに含まれるコンデンサを、この電
子回路ブロックを形成するマットの中の特定マットに集
積することで設計が容易となる。これは特定マット内に
コンデンサを集積すると、トランジスタ、ダイオード、
および抵抗の形状による制約を受けないためである。し
かも他のマットはコンデンサを含まなくなるので、コン
デンサとの相互作用が無くなり、その分これらのマット
の設計も容易となる。Further, by integrating the capacitors included in the electronic circuit block in a specific mat among the mats forming the electronic circuit block, the design becomes easy. This means that by integrating capacitors within a specific mat, transistors, diodes,
and because it is not restricted by the shape of the resistor. Moreover, since the other mats do not contain capacitors, there is no interaction with the capacitors, and the design of these mats becomes easier.
第2に、コンデンサを集積したマットを分離領域で囲む
と、このマット部分から流出する接合容量のリーク電流
を、マットの周囲の分離領域で吸い出すことができる。Second, if a mat in which capacitors are integrated is surrounded by a separation region, the leakage current of the junction capacitance flowing out from this mat portion can be sucked out by the separation region around the mat.
第3に、この分離領域をグランドラインと、略全面でコ
ンタクトすることで、コンデンサから生じるリーク電流
を他のマットへ流すことなく、全てグランドラインを介
して外部へ吸い出すことができる。Thirdly, by bringing this separation region into substantially entire contact with the ground line, leakage current generated from the capacitor can be sucked out to the outside via the ground line without flowing to other mats.
第4に、コンデンサを分離領域で囲むと、コンデンサ毎
にリーク電流を吸い出すことができ、マットの周囲と、
コンデンサの周囲を囲むことで2重の吸い出しができる
。Fourth, by surrounding the capacitor with a separation area, leakage current can be sucked out for each capacitor, and the surrounding area of the mat can be
Double suction can be achieved by surrounding the capacitor.
第5に、グランドラインと吸い出し電極を櫛歯状に設け
ることで、整数1個のコンデンサを、との櫛歯の間に設
けることができ、コンデンサのリーク電流を、整数個の
コンデンサ毎に吸い出すことができる。また第4図のよ
うに、左側のグランドラインと櫛歯状に形成することで
、左方向へのリーク電流を集中的に吸い出せ、特にフロ
ントエンドブロックへの帰還を防止できる。Fifth, by providing the ground line and the suction electrode in a comb-teeth shape, an integer number of capacitors can be installed between the comb-teeth, and the leakage current of the capacitor can be sucked out for each integer number of capacitors. be able to. Furthermore, as shown in FIG. 4, by forming a comb-like shape with the left ground line, leakage current to the left can be intensively sucked out, and in particular, it can be prevented from returning to the front end block.
第6に、特定マットのコンデンサの上層電極および下層
電極は、原則的に1層目に形成するので、区画ライン(
4)を超えて行う他のマットとの配線は、2層目を用い
ることができ、コンデンサの配線と他の素子の配線の区
別ができ、設計が極めて容易となる。Sixth, since the upper and lower electrodes of a capacitor of a specific mat are, in principle, formed in the first layer, the partition line (
The second layer can be used for wiring with other mats beyond 4), and the wiring for the capacitor and the wiring for other elements can be distinguished, making the design extremely easy.
第7に、コンデンサの上層電極(31)と電極(33)
とのコンタクト(32)を、マットの右側に配置するこ
とで、前記2層目の電極(33)は、右隣りのマツトに
直線状に設けることができ、この右隣りのマットの2層
目の電極のレイアウトを極めて容易にすることができる
。Seventh, the upper layer electrode (31) and electrode (33) of the capacitor
By arranging the contact (32) with the mat on the right side of the mat, the second layer electrode (33) can be provided in a straight line on the mat on the right, and the second layer of the mat on the right The layout of the electrodes can be made extremely easy.
第8に、電子回路ブロックの回路の順番通りに、コンデ
ンサを特定マットの上方または下方より、下方または上
方へ設けることで、右隣りのマットへ延在する2層目の
電極(33) 、 (3B>のパターン・レイアウトを
容易にすることができる。Eighth, by providing the capacitors from above or below to below or above a specific mat in accordance with the order of the circuits in the electronic circuit block, the second layer electrode (33) extending to the mat on the right ( 3B> pattern layout can be facilitated.
第9に、コンデンサを集積した特定のマットを、電子回
路ブロックを構成する領域の一端のマットに設けること
で、他のマットとの接続電極(33) 、 (3B>を
一方向のみに延在でき、パターン・レイアウトを容易に
できる。Ninth, by providing a specific mat with integrated capacitors on the mat at one end of the area constituting the electronic circuit block, the connection electrodes (33) and (3B> with other mats can be extended in only one direction. This makes pattern layout easier.
第1図は本発明の半導体集積回路の第1の実施例を示す
上面図、第2図Aは、第1図に於いてコンデンサを集積
した特定のマットを示す上面図、第2図Bは、第2図A
のA−A’線の断面図、第2図Cは、第2図AのB−B
’線の断面図、第3図Aは、通常のマットを示す上面図
、第3図B−32=
は、第3図AのA−A’線の断面図、第4図は、本発明
の半導体集積回路の第2の実施例を示す上面図、第5図
は、第4図の実際の電極パターンを示す上面図、第6図
は本発明の半導体集積回路に組み込まれる電子回路ブロ
ック図、第7図AはAMチューナーブロックを説明する
図、第7図BはFMフロントエンドブロックとFM−I
Fブロックを説明する図、第7図Cはマルチプレック
スデコーダーブロックを説明する図、第8図は従来の半
導体集積回路の上面図、第9図は第8図におけるブロッ
クbとブロックCの間の断面図である。
(1) 、 (42>・・・半導体チップ、 (2)・
・・電源ライン、(3)・・・グランドライン、り4)
・・・区画ライン、 (5)・・・第1の供給ライン、
(6)・・・第2の供給ライン、 (7〉・・・コン
デンサ (43)・・・分割領域、 (44)・・・第
1の領域、 (45)・・・第2の領域、(55) 、
(56) 、 (57) 、 (5B)・・・第3の
電源ライン、(61) 、 (62) 、 (63)・
・・第2のグランドライン、 (91) 、 (92)
、 (93)・・・第2の電源ライン、 (94)
、 (95) 、 (96)・・・第3のグランドライ
ン。
第7図△
第
7図B
第81
第7!ticFIG. 1 is a top view showing a first embodiment of the semiconductor integrated circuit of the present invention, FIG. 2A is a top view showing a specific mat in which capacitors are integrated in FIG. , Figure 2A
A cross-sectional view taken along line A-A' in Figure 2C is BB-B in Figure 2A.
3A is a top view showing a normal mat, FIG. 3B-32= is a sectional view taken along line A-A' in FIG. 3A, and FIG. 5 is a top view showing the actual electrode pattern of FIG. 4, and FIG. 6 is a block diagram of an electronic circuit incorporated in the semiconductor integrated circuit of the present invention. , FIG. 7A is a diagram explaining the AM tuner block, and FIG. 7B is a diagram explaining the FM front end block and FM-I.
FIG. 7C is a diagram explaining the multiplex decoder block, FIG. 8 is a top view of a conventional semiconductor integrated circuit, and FIG. 9 is a diagram explaining the block B and C in FIG. FIG. (1) , (42>...semiconductor chip, (2)
...Power line, (3)...Ground line, 4)
... compartment line, (5) ... first supply line,
(6)...Second supply line, (7>...Capacitor (43)...Divided area, (44)...First area, (45)...Second area, (55),
(56), (57), (5B)...Third power supply line, (61), (62), (63)...
...Second ground line, (91), (92)
, (93)...second power line, (94)
, (95), (96)...Third ground line. Figure 7△ Figure 7B 81 7th! tic
Claims (9)
せて延在した区画ラインを、複数本同一方向に配列して
、半導体チップを実質的に同一サイズの複数個の領域に
分割して形成したマットと、前記半導体チップの整数個
のマットに組み込まれる複数の機能の異なる電子回路ブ
ロックより構成された電子回路とを備え、この電子回路
ブロックに含まれるコンデンサを前記電子回路ブロック
を形成する特定のマットに集積することを特徴とした半
導体集積回路。(1) A semiconductor chip is formed by dividing a semiconductor chip into a plurality of regions of substantially the same size by arranging a plurality of division lines in the same direction, each of which is a set of power supply lines and ground lines extending adjacent to each other. a mat, and an electronic circuit composed of a plurality of electronic circuit blocks having different functions incorporated in an integral number of the mats of the semiconductor chip, and a capacitor included in the electronic circuit block is connected to a specific circuit forming the electronic circuit block. A semiconductor integrated circuit characterized by being integrated into a mat.
形成される分離領域で囲まれる請求項第1項記載の半導
体集積回路。(2) The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the mat in which the capacitors are integrated is surrounded by an isolation region formed within the semiconductor substrate.
グランドラインと分離領域は、略全面でコンタクトする
請求項第2項記載の半導体集積回路。(3) The semiconductor integrated circuit according to claim 2, wherein the ground line formed around the mat in which the capacitors are integrated and the isolation region are in contact over substantially the entire surface.
域で囲まれる請求項第1項記載の半導体集積回路。(4) The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the capacitor is surrounded by an isolation region formed within the semiconductor substrate.
は、上下に隣接するコンデンサ間に設けられ、このコン
デンサ間に設けられた分離領域と略全面でコンタクトす
る請求項第1項記載の半導体集積回路。(5) The semiconductor according to claim 1, wherein the extraction electrode arranged in a comb shape with the ground line is provided between vertically adjacent capacitors, and is in substantially entire surface contact with the isolation region provided between the capacitors. integrated circuit.
、実質的に2層目に形成される請求項第1項記載の半導
体集積回路。(6) The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the wiring between the capacitor and the element formed on the mat is substantially formed in the second layer.
コンデンサ以外の半導体素子が形成されるマットと接す
る一側辺近傍で、2層目の配線と実質的にコンタクトす
る請求項第6項記載の半導体集積回路。(7) Claim 6, wherein the upper electrode of the first layer constituting the capacitor substantially contacts the wiring of the second layer near one side that contacts the mat on which semiconductor elements other than the capacitor are formed. The semiconductor integrated circuit described.
り、コンデンサが集積されるマットの上端または下端よ
り下端または上端へ設けられる請求項第1項記載の半導
体集積回路。(8) The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the capacitors are provided from the upper end or lower end of the mat on which the capacitors are integrated in accordance with the order of the circuits of the electronic circuit block to the lower end or upper end of the mat.
ロックを構成する領域の一端のマットに設ける請求項第
1項記載の半導体集積回路。(9) The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the mat on which the capacitors are integrated is provided at one end of the area constituting the electronic circuit block.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63173003A JPH0223659A (en) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Semiconductor integrated circuit |
| EP89111233A EP0347853B1 (en) | 1988-06-21 | 1989-06-20 | Semiconductor integrated circuit |
| DE68929148T DE68929148T2 (en) | 1988-06-21 | 1989-06-20 | Integrated semiconductor circuit |
| KR1019890008631A KR930004982B1 (en) | 1988-06-21 | 1989-06-21 | Semiconductor integrated circuit |
| US07/675,031 US5155570A (en) | 1988-06-21 | 1991-01-25 | Semiconductor integrated circuit having a pattern layout applicable to various custom ICs |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63173003A JPH0223659A (en) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Semiconductor integrated circuit |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14228890A Division JPH0316163A (en) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | Semiconductor integrated circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0223659A true JPH0223659A (en) | 1990-01-25 |
| JPH0474866B2 JPH0474866B2 (en) | 1992-11-27 |
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ID=15952388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63173003A Granted JPH0223659A (en) | 1988-06-21 | 1988-07-12 | Semiconductor integrated circuit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0223659A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993005537A1 (en) * | 1991-09-02 | 1993-03-18 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP63173003A patent/JPH0223659A/en active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993005537A1 (en) * | 1991-09-02 | 1993-03-18 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0474866B2 (en) | 1992-11-27 |
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