JPH0223684A - 高周波レーザ発振器 - Google Patents
高周波レーザ発振器Info
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- JPH0223684A JPH0223684A JP63174484A JP17448488A JPH0223684A JP H0223684 A JPH0223684 A JP H0223684A JP 63174484 A JP63174484 A JP 63174484A JP 17448488 A JP17448488 A JP 17448488A JP H0223684 A JPH0223684 A JP H0223684A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、産業用あるいは医療用などの高周波放電励起
を行う高周波レーザ発振器に関するものである。
を行う高周波レーザ発振器に関するものである。
従来の技術
第５図（ａ）〜（ｄ）に従来の高周波放電励起を行う高
周波レーザ発振器の一般的な構造の概要を示す。
周波レーザ発振器の一般的な構造の概要を示す。
第５図（ａ）は従来の高周波レーザ発振器の概略正面図
、第５図（ｂ）は第５図（ａ）のＡ−Ａ断面図、第５図
（ｅ）は放電管の管軸心方向の放電状態図、第５図（ｄ
）〜（ｒ）は放電管における管軸心に直角なｘ、ｙ方向
を説明する図および管軸心方向に平均化したときのｘ、
ｙ方向の電子密度の分布特性図である。
、第５図（ｂ）は第５図（ａ）のＡ−Ａ断面図、第５図
（ｅ）は放電管の管軸心方向の放電状態図、第５図（ｄ
）〜（ｒ）は放電管における管軸心に直角なｘ、ｙ方向
を説明する図および管軸心方向に平均化したときのｘ、
ｙ方向の電子密度の分布特性図である。
第５図（＆）において、１は誘電体よりなる管状の放電
管、２．８は放電管】の外壁に密着し、放電管１の管軸
心を中心として相対向するように設けられた対向電極、
４は高周波電源で、対向電極２゜８に接続されている。
管、２．８は放電管】の外壁に密着し、放電管１の管軸
心を中心として相対向するように設けられた対向電極、
４は高周波電源で、対向電極２゜８に接続されている。
５は全反射鏡、６は一部透過の出力鏡で、放電管１の長
手方向の両端に対向して取り付けられ、出力鏡６から、
矢印】】で示される方向にレーザ光を発振させる。そし
て、この放電管】は内部に送風機９および熱交換器１ｏ
を備えた送気管７・８に接続されて循環的に連通されて
いる。放電管１内にはＣｏ２． Ｎ、、 Ｈａ などの
混合ガスが充填されている。この放電管】において、対
向電極２．８に高周波電源４より電圧が印加されると、
放電管１内に放電が起り、その結果００２分子が励起さ
れ、全反射鏡５と一部透過の出力鏡６で構成される光共
振器内でレーザ発振が起る。レーザ光の一部は、矢印】
１で示されるように一部透過の出力鏡６より外部に出力
される。放電によりガス温度が上昇するとレーザ出力が
低下するので送風機９によりガスを循環させて熱交換器
】０で冷却を行う。この構造では、第５図（（１）に示
すように、放電管】内において放電方向が一定方向に限
定され、第５図（ｄ）に示すようにＸおよびｙ座標を設
定して放電管】の管軸心方向に平均化すると、第５図（
１１）（ｒ）に示す電子密度分布となる。
手方向の両端に対向して取り付けられ、出力鏡６から、
矢印】】で示される方向にレーザ光を発振させる。そし
て、この放電管】は内部に送風機９および熱交換器１ｏ
を備えた送気管７・８に接続されて循環的に連通されて
いる。放電管１内にはＣｏ２． Ｎ、、 Ｈａ などの
混合ガスが充填されている。この放電管】において、対
向電極２．８に高周波電源４より電圧が印加されると、
放電管１内に放電が起り、その結果００２分子が励起さ
れ、全反射鏡５と一部透過の出力鏡６で構成される光共
振器内でレーザ発振が起る。レーザ光の一部は、矢印】
１で示されるように一部透過の出力鏡６より外部に出力
される。放電によりガス温度が上昇するとレーザ出力が
低下するので送風機９によりガスを循環させて熱交換器
】０で冷却を行う。この構造では、第５図（（１）に示
すように、放電管】内において放電方向が一定方向に限
定され、第５図（ｄ）に示すようにＸおよびｙ座標を設
定して放電管】の管軸心方向に平均化すると、第５図（
１１）（ｒ）に示す電子密度分布となる。
発明が解決しようとする課題
上述のように、従来の高周波放電励起を行う高周波レー
ザ発振器においては、放電方向が一定方向に限定され、
特に、放電管内の電子密度分布が軸対称とならず、良質
のレーザビームモードが得にくいという問題がある。
ザ発振器においては、放電方向が一定方向に限定され、
特に、放電管内の電子密度分布が軸対称とならず、良質
のレーザビームモードが得にくいという問題がある。
本発明は上記問題を解決するもので、放電方向が一定方
向に限定されることがなく、少なくとも放電管の軸心部
に周辺部より高い電子密度分布を形成でき、良質のレー
ザビームモードが得られる高周波レーザ発振器を提供す
ることを目的とするものである。
向に限定されることがなく、少なくとも放電管の軸心部
に周辺部より高い電子密度分布を形成でき、良質のレー
ザビームモードが得られる高周波レーザ発振器を提供す
ることを目的とするものである。
課題を解決するための手段
上記問題を解決するために本発明の高周波レーザ発振器
は、誘電体からなる放電管に、この放電管の管軸心を中
心として対向する断面円弧状の対向電極および絶縁体を
、この絶縁体を内側にしてその長さ方向に沿って設け、
前記それぞれの絶縁体に、前記管軸心に対して対称位置
でかつ前記対向電極の両側縁間にわたって変位するとと
もに前記管軸心方向に延びるスリットを形成し、たもの
である。
は、誘電体からなる放電管に、この放電管の管軸心を中
心として対向する断面円弧状の対向電極および絶縁体を
、この絶縁体を内側にしてその長さ方向に沿って設け、
前記それぞれの絶縁体に、前記管軸心に対して対称位置
でかつ前記対向電極の両側縁間にわたって変位するとと
もに前記管軸心方向に延びるスリットを形成し、たもの
である。
また、本発明の高周波レーザ発振器は、誘電体からなる
放電管に、この放電管の管軸心を中心として対向する断
面円弧状の対向電極および絶縁体を、この絶縁体を内側
にして複数対放電管長さ方向に沿って設け、前記それぞ
れの絶縁体に、前記管軸心に対して対称位置でかつ前記
対向電極の両側縁間にわたって変位するとともに前記管
軸心方向に延びるスリットを形成し、前記管軸心方向に
隣接する各対の対向電極の放電管周方向における位置を
互いに変位させたものである。
放電管に、この放電管の管軸心を中心として対向する断
面円弧状の対向電極および絶縁体を、この絶縁体を内側
にして複数対放電管長さ方向に沿って設け、前記それぞ
れの絶縁体に、前記管軸心に対して対称位置でかつ前記
対向電極の両側縁間にわたって変位するとともに前記管
軸心方向に延びるスリットを形成し、前記管軸心方向に
隣接する各対の対向電極の放電管周方向における位置を
互いに変位させたものである。
作用
上記構成により外部からの高周波電源によって対向電極
に電圧が印加されると、対向電極の内側に対応して設置
した絶縁体のスリット間でのみ放電が行われ、しかも対
向電極の両側縁間にわたって変位するような絶縁物のス
リット構造であるため、放電方向を変化させることがで
き、少なくとも放電管の細心部に周辺部より高い電子密
度分布を形成することができて、良質のレーザビームモ
ードを得ることができる。
に電圧が印加されると、対向電極の内側に対応して設置
した絶縁体のスリット間でのみ放電が行われ、しかも対
向電極の両側縁間にわたって変位するような絶縁物のス
リット構造であるため、放電方向を変化させることがで
き、少なくとも放電管の細心部に周辺部より高い電子密
度分布を形成することができて、良質のレーザビームモ
ードを得ることができる。
さらに、放電管内の電子密度分布が軸対称にできるとと
もに、軸心部に周辺部より高い電子密度分布を形成でき
て、さらに良質のレーザビームモードを得ることができ
る。
もに、軸心部に周辺部より高い電子密度分布を形成でき
て、さらに良質のレーザビームモードを得ることができ
る。
実施例
以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明する。
第１図（ａ）は本発明の第１の実施例を示す高周波レー
ザ発振器の概略正面図、第】図（ｂ）は同高周波レーザ
発振器の放電部の要部斜視図である。第１図（ａ）、（
ｂ）において、１は誘電体からなる放電管で、この放電
管】の外周面には、放電管１の管軸心を中心として対向
する断面円弧状の対向電極２．８が放電管１の長さ方向
に沿って１対設けられ、放電管１の内周面には、対向電
極２．８に対応して、対向電極２．８と同形状のアルミ
ナ（ＡｌａＯ３）製の絶縁体２４．２５が設けられ、そ
れぞれの絶縁体２４゜２５には第１図（ｅ）に示すよう
に管軸心に対して対称位置でかつ対向型ｆｌｉｚ、８の
両側縁位置の間にわたって変位するとともに管軸心方向
に延びる波形状のスリット２６．２７が形成されている
。
ザ発振器の概略正面図、第】図（ｂ）は同高周波レーザ
発振器の放電部の要部斜視図である。第１図（ａ）、（
ｂ）において、１は誘電体からなる放電管で、この放電
管】の外周面には、放電管１の管軸心を中心として対向
する断面円弧状の対向電極２．８が放電管１の長さ方向
に沿って１対設けられ、放電管１の内周面には、対向電
極２．８に対応して、対向電極２．８と同形状のアルミ
ナ（ＡｌａＯ３）製の絶縁体２４．２５が設けられ、そ
れぞれの絶縁体２４゜２５には第１図（ｅ）に示すよう
に管軸心に対して対称位置でかつ対向型ｆｌｉｚ、８の
両側縁位置の間にわたって変位するとともに管軸心方向
に延びる波形状のスリット２６．２７が形成されている
。
上記構成により、対向電極２．８に高周波電源４により
高周波電圧を印加すると、放電管】内に高周波放電が起
こり、励起媒体を励起せしめる。
高周波電圧を印加すると、放電管】内に高周波放電が起
こり、励起媒体を励起せしめる。
このとき、対向電極２．８の内側には放電管１を介して
絶縁体２４．２５が設けられているため、絶縁体２４．
２５のスリット２６．２７の間でのみ放電が行われ、こ
の放電方向は、第１図（ｄ）に示すように、スリット２
６．２７により、管軸心を中心に、管軸心方向に進むに
つれて、対向電極２，８の両側縁位置の間にわたって変
化する。そのため、放電管ｌの管軸心方向に平均化した
ｘ、ｙ方向の電子密度分布は、第１図（ｒ） 、 （ｇ
）に示すように、放電管１の軸心部である径方向中心部
で高い電子密度分布が形成され、良質なレーザビームモ
ードを生み出すことが可能となる。この場合、第１図（
ｆ）、（ｇｌのように、放電管１のｘ、ｙ方向に対して
軸対称の電子密度分布とはなっていないが、中心部で高
い電子密度分布を有することで、従来のものより良質な
レーザビームモードが得られる。
絶縁体２４．２５が設けられているため、絶縁体２４．
２５のスリット２６．２７の間でのみ放電が行われ、こ
の放電方向は、第１図（ｄ）に示すように、スリット２
６．２７により、管軸心を中心に、管軸心方向に進むに
つれて、対向電極２，８の両側縁位置の間にわたって変
化する。そのため、放電管ｌの管軸心方向に平均化した
ｘ、ｙ方向の電子密度分布は、第１図（ｒ） 、 （ｇ
）に示すように、放電管１の軸心部である径方向中心部
で高い電子密度分布が形成され、良質なレーザビームモ
ードを生み出すことが可能となる。この場合、第１図（
ｆ）、（ｇｌのように、放電管１のｘ、ｙ方向に対して
軸対称の電子密度分布とはなっていないが、中心部で高
い電子密度分布を有することで、従来のものより良質な
レーザビームモードが得られる。
第２図（ａ）および（ｂ）は本発明の第２の実施例を示
す高周波レーザ発振器の概略正面図およびその放電部の
要部斜視図である。第２図（ａ）、 （ｂ）に示すよう
に、放電管】の外周面には、放電管】の管軸心を中心と
して対向する断面円弧状のアルミナ（ＡＪ２０３）製糖
縁体８４．８５が放電管１の長さ方向に沿って】対設け
られ、さらにこの絶縁体８４．８５の外側に同形状の対
向電極２．３が設けられている。絶縁体８４．８５にも
第】の実施例におけるスリットと同形状のスリット８６
．８７が形成されている。この構成によっても、第２図
（ｄ）〜（ｇ）に示すように、上記第１の実施例と同じ
作用効果が得られる。
す高周波レーザ発振器の概略正面図およびその放電部の
要部斜視図である。第２図（ａ）、 （ｂ）に示すよう
に、放電管】の外周面には、放電管】の管軸心を中心と
して対向する断面円弧状のアルミナ（ＡＪ２０３）製糖
縁体８４．８５が放電管１の長さ方向に沿って】対設け
られ、さらにこの絶縁体８４．８５の外側に同形状の対
向電極２．３が設けられている。絶縁体８４．８５にも
第】の実施例におけるスリットと同形状のスリット８６
．８７が形成されている。この構成によっても、第２図
（ｄ）〜（ｇ）に示すように、上記第１の実施例と同じ
作用効果が得られる。
第１．２の実施例では、レーザビームモードに関して、
従来のものより良質なモードが得られるが、第１図（ｆ
ｌ、（ｇ）、第２図（ｒ） 、 ’（ｇ）に示す電子密
度分布が放電管のｘ、ｙ方向に対して軸対称になってい
ない。これを改善してさらに良質なレーザビームモード
を得るための実施例として、第３．４の実施例を以下に
示す。
従来のものより良質なモードが得られるが、第１図（ｆ
ｌ、（ｇ）、第２図（ｒ） 、 ’（ｇ）に示す電子密
度分布が放電管のｘ、ｙ方向に対して軸対称になってい
ない。これを改善してさらに良質なレーザビームモード
を得るための実施例として、第３．４の実施例を以下に
示す。
第８図（ａ）は本発明の第８の実施例を示す高周波レー
ザ発振器の放電部の要部斜視図である。この第８の実施
例においては上記第１の実施例と同様の構造の対向電極
および絶縁体力ξ放電管の外周面および内周面に、管軸
心方向で複数対設けられ、管軸心方向に隣接する各対の
対向電極２，８．１２゜】８および波形状のスリット４
６．４７．５６．５７を有する絶縁体４４．４５．５４
．５５の放電管周方向における位置は互いに９０°ずつ
変位するように配設され、第８図（ｂ） 、 （（＋）
に示すようになっている。
ザ発振器の放電部の要部斜視図である。この第８の実施
例においては上記第１の実施例と同様の構造の対向電極
および絶縁体力ξ放電管の外周面および内周面に、管軸
心方向で複数対設けられ、管軸心方向に隣接する各対の
対向電極２，８．１２゜】８および波形状のスリット４
６．４７．５６．５７を有する絶縁体４４．４５．５４
．５５の放電管周方向における位置は互いに９０°ずつ
変位するように配設され、第８図（ｂ） 、 （（＋）
に示すようになっている。
この構成によっても、放電管１における対向電極２．８
．］２，１８および絶縁体４４．４５．５４．５５の各
対の箇所において、上記第１および第２実施例と同様に
作用効果が得られて、放電状態は第８図（ｄｌ 、 （
６）のようになり、放電管１の長手方向に平均化したＸ
、７方向の電子密度分布は、第８図（ｇ）。
．］２，１８および絶縁体４４．４５．５４．５５の各
対の箇所において、上記第１および第２実施例と同様に
作用効果が得られて、放電状態は第８図（ｄｌ 、 （
６）のようになり、放電管１の長手方向に平均化したＸ
、７方向の電子密度分布は、第８図（ｇ）。
Φ）に示すように放電管１の径方向中心部で高い電子密
度分布が形成されるとともに、管軸心方向に平均化した
ときのｘ、ｙ方向の電子密度分布は軸対称となり、−層
良質なレーザビームモードが得られる。
度分布が形成されるとともに、管軸心方向に平均化した
ときのｘ、ｙ方向の電子密度分布は軸対称となり、−層
良質なレーザビームモードが得られる。
第４図（１は本発明の第４の実施例を示す高周波レーザ
発振器の放電部の要部斜視図である。この第４の実施例
においては上記第２の実施例と同様の構造の対向電極お
よび絶縁体が、放電管の外周面に管軸心方向で複数対設
けられ、管軸心方向に隣接する各対の対向電極２，８．
１２．１８および波形状のスリット６６、６７、７６、
７７を有する絶縁体６４゜６５、７４．７５の放電管周
方向における位置は互いに９０°ずつ変位するように配
設され、第４図（ｂ） 、 （６）に示すようになって
いる。
発振器の放電部の要部斜視図である。この第４の実施例
においては上記第２の実施例と同様の構造の対向電極お
よび絶縁体が、放電管の外周面に管軸心方向で複数対設
けられ、管軸心方向に隣接する各対の対向電極２，８．
１２．１８および波形状のスリット６６、６７、７６、
７７を有する絶縁体６４゜６５、７４．７５の放電管周
方向における位置は互いに９０°ずつ変位するように配
設され、第４図（ｂ） 、 （６）に示すようになって
いる。
この構成によっても、第４図（ｄ）〜（ｈ） ｆこ示す
ような、第８実施例と同様な作用効果が得られ、良質な
レーザビームモードが得られる。
ような、第８実施例と同様な作用効果が得られ、良質な
レーザビームモードが得られる。
ここで、第８および第４の実施例で用いる複数対の対向
電極を、第８図（ｉ）に示すように、対向電極２，８の
両側縁位置での放電方向の交差角度をθとした場合に８
６０°／２θの数の対となった対向電極を互にθずつず
らして放電管１に設置することで、放電管】内をすべて
放電範囲として網羅することができ、１．７方向だけで
なく放電管の円形平面内ですべて軸対称の電子密度とな
り、さら憂こ良質のレーザビームモードを得ることがで
きる。
電極を、第８図（ｉ）に示すように、対向電極２，８の
両側縁位置での放電方向の交差角度をθとした場合に８
６０°／２θの数の対となった対向電極を互にθずつず
らして放電管１に設置することで、放電管】内をすべて
放電範囲として網羅することができ、１．７方向だけで
なく放電管の円形平面内ですべて軸対称の電子密度とな
り、さら憂こ良質のレーザビームモードを得ることがで
きる。
なお、本実施例では、アルミナ（Ａｌ＊Ｏｓ ）を絶縁
体の一例として説明したが、その他にシリカ（ＳｉＯ□
）。
体の一例として説明したが、その他にシリカ（ＳｉＯ□
）。
チタン酸バリウム、酸化チタンなどの絶縁体を用いても
同様の効果が得られる。
同様の効果が得られる。
発明の効果
以上、本発明によれば、対向電極の内側に設はすこ絶縁
体のスリット形状および位置を変えることで、放電方向
が一定方向に限定されることがなく、放電管の軸心部が
高電子密度となる電子密度の分布状態を自由につくり出
せ、特に軸心部が高電子密度の軸対称の電子密度分布に
することにより良質なレーザビームモードが得られる。
体のスリット形状および位置を変えることで、放電方向
が一定方向に限定されることがなく、放電管の軸心部が
高電子密度となる電子密度の分布状態を自由につくり出
せ、特に軸心部が高電子密度の軸対称の電子密度分布に
することにより良質なレーザビームモードが得られる。
第１図（ａ）は本発明の第１の実施例を示す高周波レー
ザ発振器の概略正面図、第１図（ｂ）は同高周波レーザ
発振器の放電部の要部斜視図、第１図（Ｃ）は第１図（
ａ）のＢ−Ｂ断面図、第１図（ｄ３は放電管の管軸心方
向の放電状態図、第１図（６１〜（ｇｌは放電管におけ
る管軸心に直角なｘ、ｙ方向を説明する図および管軸心
方向に平均化したときのＸ、７方向の電子密度の分布特
性図、第２図（ａ）は本発明の第２の実施例を示す高周
波レーザ発振器の概略正面図、第２図（ｂ）は同高周波
レーザ発振器の放電部の要部斜視図、第２図（ｃ）は第
２図（ＩＬ）のＣ−Ｃ断面図、第２図（ｄ３は放電管の
管軸心方向の放電状態図、第２図（ｅ）〜（戯は放電管
における管軸心に直角なｘ、ｙ方向を説明する図および
管軸心方向に平均化したときの１．７方向の電子密度の
分布特性図、第８図（ａ）は本発明の第８の実施例を示
す高周波レーザ発振器の放電部概観図、第８図（ｂ）（
ｃｌは第８図（ａ３のＤ−ＤおよびＥ−Ｅ断面図、第８
図（ｄ］（ｅ）は放電管の管軸心方向の放電状態図、第
８図（ｆ）〜（１１）は放電管における管軸心に直角な
Ｘ、７方向を説明する図および管軸心方向に平均化した
ときのｘ、ｙ方向の電子密度分布図、第８図（ｉ）は複
数対の対向電極および絶縁体の設置条件を説明する概略
断面図、第４図（ａ）は本発明の第４の実施例を示す高
周波レーザ発振器の放電部概観図、第４図（ｂ） （１
１）は第４図（ａ）のＦ−ＦおよびＧ−Ｃ断面図、第４
図（ｄ） （ｅ）は放電管の管軸心方向の放電状態図、
第４図（ｆｌ〜（ト））は放電管における管軸心に直角
なＸＩＦ方向を説明する図および管軸心方向に平均化し
たときのｘ、ｙ方向の電子密度分布特性図、餡５図（ａ
）は従来の高周波レーザ発振器を示す概略正面図、第５
図（ｂ）は第５図（＆）のＡ−Ａ断面図、第５図（ｅ）
は放電管の管軸心方向の放電状態図、第５図（ｄ）〜（
ｆ）は放電管における管軸心に直角なｘ、ｙ方向を説明
する図および管軸心方向に平均化したときの！、７方向
の電子密度分布特性図である。 １・・・放電管、２．８．１２．３８・・・対向電極、
２４゜２５、８４．８５．４４．４５．５４．５５．６
４．６５．７４．７５・・・絶縁体、２６．２７．８６
．８７．４６．４７．５６．５７．６６゜６７、７６、
７７・・・スリット。
ザ発振器の概略正面図、第１図（ｂ）は同高周波レーザ
発振器の放電部の要部斜視図、第１図（Ｃ）は第１図（
ａ）のＢ−Ｂ断面図、第１図（ｄ３は放電管の管軸心方
向の放電状態図、第１図（６１〜（ｇｌは放電管におけ
る管軸心に直角なｘ、ｙ方向を説明する図および管軸心
方向に平均化したときのＸ、７方向の電子密度の分布特
性図、第２図（ａ）は本発明の第２の実施例を示す高周
波レーザ発振器の概略正面図、第２図（ｂ）は同高周波
レーザ発振器の放電部の要部斜視図、第２図（ｃ）は第
２図（ＩＬ）のＣ−Ｃ断面図、第２図（ｄ３は放電管の
管軸心方向の放電状態図、第２図（ｅ）〜（戯は放電管
における管軸心に直角なｘ、ｙ方向を説明する図および
管軸心方向に平均化したときの１．７方向の電子密度の
分布特性図、第８図（ａ）は本発明の第８の実施例を示
す高周波レーザ発振器の放電部概観図、第８図（ｂ）（
ｃｌは第８図（ａ３のＤ−ＤおよびＥ−Ｅ断面図、第８
図（ｄ］（ｅ）は放電管の管軸心方向の放電状態図、第
８図（ｆ）〜（１１）は放電管における管軸心に直角な
Ｘ、７方向を説明する図および管軸心方向に平均化した
ときのｘ、ｙ方向の電子密度分布図、第８図（ｉ）は複
数対の対向電極および絶縁体の設置条件を説明する概略
断面図、第４図（ａ）は本発明の第４の実施例を示す高
周波レーザ発振器の放電部概観図、第４図（ｂ） （１
１）は第４図（ａ）のＦ−ＦおよびＧ−Ｃ断面図、第４
図（ｄ） （ｅ）は放電管の管軸心方向の放電状態図、
第４図（ｆｌ〜（ト））は放電管における管軸心に直角
なＸＩＦ方向を説明する図および管軸心方向に平均化し
たときのｘ、ｙ方向の電子密度分布特性図、餡５図（ａ
）は従来の高周波レーザ発振器を示す概略正面図、第５
図（ｂ）は第５図（＆）のＡ−Ａ断面図、第５図（ｅ）
は放電管の管軸心方向の放電状態図、第５図（ｄ）〜（
ｆ）は放電管における管軸心に直角なｘ、ｙ方向を説明
する図および管軸心方向に平均化したときの！、７方向
の電子密度分布特性図である。 １・・・放電管、２．８．１２．３８・・・対向電極、
２４゜２５、８４．８５．４４．４５．５４．５５．６
４．６５．７４．７５・・・絶縁体、２６．２７．８６
．８７．４６．４７．５６．５７．６６゜６７、７６、
７７・・・スリット。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、誘電体からなる放電管に、この放電管の管軸心を中
心として対向する断面円弧状の対向電極および絶縁体を
、絶縁体を内側にしてその長さ方向に沿つて設け、前記
それぞれの絶縁体に、前記管軸心に対して対称位置でか
つ前記対向電極の両側縁間にわたつて変位するとともに
前記管軸心方向に延びるスリットを形成した高周波レー
ザ発振器。 ２、誘電体からなる放電管に、この放電管の管軸心を中
心として対向する断面円弧状の対向電極および絶縁体を
、絶縁体を内側にして複数対、放電管長さ方向に沿つて
設け、前記それぞれの絶縁体に、前記管軸心に対して対
称位置でかつ前記対向電極の両側縁間にわたつて変位す
るとともに前記管軸心方向に延びるスリットを形成し、
前記管軸心方向に隣接する各対の対向電極の放電管周方
向における位置を互いに変位させた高周波レーザ発振器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63174484A JPH0223684A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 高周波レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63174484A JPH0223684A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 高周波レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0223684A true JPH0223684A (ja) | 1990-01-25 |
Family
ID=15979293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63174484A Pending JPH0223684A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 高周波レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0223684A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0458003A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-02-25 | Toshiba Corp | タービン制御装置 |
| JPH11330591A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-11-30 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | 高周波励起型ガスレ―ザ―およびガスレ―ザ―のためのレ―ザ―管 |
| WO2000046891A1 (de) * | 1999-02-03 | 2000-08-10 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Laser mit einer einrichtung zur veränderung der verteilung der intensität des laserlichtes über den laserstrahlquerschnitt |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP63174484A patent/JPH0223684A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0458003A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-02-25 | Toshiba Corp | タービン制御装置 |
| JPH11330591A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-11-30 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | 高周波励起型ガスレ―ザ―およびガスレ―ザ―のためのレ―ザ―管 |
| WO2000046891A1 (de) * | 1999-02-03 | 2000-08-10 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Laser mit einer einrichtung zur veränderung der verteilung der intensität des laserlichtes über den laserstrahlquerschnitt |
| US6539045B1 (en) | 1999-02-03 | 2003-03-25 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Laser with device for modifying the distribution of laser light intensity across the laser beam cross-section |
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