JPH04286172A - ガスレーザ発振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［発明の目的］

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、放電電極間に高周波電
圧を印加してレーザ光を発振させるガスレーザ発振器に
関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のガスレーザ発振器の従来構成の
一例を図５に示す。同図において、断面矩形状をなす外
部風洞１内には、断面略凹字状をなすステンレスまたは
アルミニウム製の内部風洞２が設けられている。外部風
洞１の上面中央部にはセラミックなどから成る平板状を
なす第１の誘電体３ａが気密に取り付けられ、内部風洞
２の上部にはその第１の誘電体３ａと対をなす平板状の
第２の誘電体３ｂが、第１の誘電体３ａと所定の間隔を
存した状態で対向して気密に取り付けられている。内部
風洞２の上面開口部は第２の誘電体３ｂにより閉鎖され
ている。

【０００３】また、第１の誘電体３ａの上面中央部には
第１の放電電極４ａが取り付けられ、第２の誘電体３ｂ
の下面中央部には第１の放電電極４ａと対をなす第２の
放電電極４ｂが取り付けられている。このうち第１の放
電電極４ａは高周波電源５の一方の端子に接続され、第
２の放電電極４ｂは、一端がアースされた電線を介して
高周波電源５の他方の端子に接続されている。そして、
外部風洞１と内部風洞２との間の空間部にはレーザ媒質
としてのガスが約６０ｔｏｒｒの圧力で封入されており
、そのガスは内部風洞２の下方に配設された送風機６に
より矢印Ａ方向へ送られて、内部風洞２及び第２の誘電
体３ｂに沿って外部風洞１内を循環した後に、熱交換器
７によって冷却されるようになっている。

【０００４】而して、上記構成において、高周波電源５
により第１及び第２の放電電極４ａ，４ｂ間に高周波電
圧が印加されると、第１及び第２の誘電体３ａ，３ｂを
介してこれらの間に高周波放電が生じ、第１及び第２の
誘電体３ａ，３ｂ間に流れるガスが励起されてレーザ光
８が紙面に対して垂直方向に発生する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来構成においては、第１及び第２の誘電体３ａ，３
ｂとしては風洞１，２内外の圧力差に耐える厚い材料を
使用する必要があり、このために、これら両誘電体３ａ
，３ｂの外面に設けられた第１及び第２の放電電極４ａ
，４ｂ間に印加する電圧を高くする必要があり、その結
果、発振効率が低いという問題点があった。

【０００６】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、誘電体の板厚を薄くでき、ひいては
、発振効率の向上を図り得るガスレーザ発振器を提供す
るにある。［発明の構成］

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、内部をレーザ媒質が循環する容器内に
筒状をなす第１の誘電体を設けると共に、筒状をなす第
２の誘電体を第１の誘電体との間にレーザ媒質の流通路
を形成する状態でその第１の誘電体と平行に配置し、こ
れら第１及び第２の誘電体の内面に、高周波電圧が印加
される第１及び第２の放電電極を互いに対向する状態に
設けたところに特徴を有する。

【０００８】

【作用】上記手段によれば、第１及び第２の誘電体は共
に筒状に形成されているため、単なる板状のものに比べ
て強度が大きくなる。従って、大きな圧力差にも耐える
ことができるようになり、両誘電体の板厚を薄くするこ
とができ、これに伴い、放電電極間に印加する電圧も低
くすることができる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の一実施例につき図１及び図２
を参照して説明する。矩形箱状をなす容器１１内の中央
部には、断面円形をなす筒状の第１の誘電体１２ａが配
置されている。この第１の誘電体１２ａは、支持部材１
３，１４によって容器１１内に支持されており、その内
部は外気と連通するようになっている（従って、第１の
誘電体１２ａ内は大気圧である）。この第１の誘電体１
２ａの上方には、第１の誘電体１２ａと同様に、断面円
形をなす筒状の第２の誘電体１２ｂが配設されている。 この第２の誘電体１２ｂは、第１の誘電体１２ａとの間
に流通路１５を形成する状態で、その第１の誘電体１２
ａと平行に配置されている。そして、この第２の誘電体
１２ｂの内部も外気と連通するようになっている（従っ
て、第２の誘電体１２ｂ内は大気圧である）。

【００１０】前記第１，第２の誘電体１２ａ，１２ｂの
内面には、互いに対向するように第１，第２の放電電極
１６ａ，１６ｂが設けられている。これら両放電電極１
６ａ，１６ｂは金属を溶射することによって形成された
ものである。このうち第１の放電電極１６ａは高周波電
源１７の一方の端子に接続され、第２の放電電極１６ｂ
は一端がアースされた電線を介して高周波電源１７の他
方の端子に接続されており、高周波電源１７によって両
放電電極１６ａ，１６ｂ間に高周波電圧が印加されるよ
うになっている。

【００１１】そして、前記容器１１内には、レーザ媒質
としてのガスが約６０ｔｏｒｒの圧力で封入されている
。また、容器１１内には、ガスを循環させるための送風
機１８及びガスを冷却するための熱交換器１９が配設さ
れている。

【００１２】次に、上記構成の作用について説明する。 容器１１内に封入されたガスは、熱交換器１９により冷
却されつつ、送風機１８によって常に矢印Ｂ方向に循環
されている。この状態で、高周波電源１７により、第１
，第２の放電電極１６ａ，１６ｂ間に高周波電圧が印加
されると、第１，第２の誘電体１２ａ，１２ｂを介して
これらの間にグロー放電が発生し、流通路１５を流れて
いたガスが励起されて、レーザ光２０が図１中の紙面垂
直方向へ発生する。

【００１３】このような、本実施例では、第１及び第２
の誘電体１２ａ，１２ｂを共に円筒状に形成しているた
めに、平板状のものに比べて強度が大きくなるから、こ
れら両誘電体１２ａ，１２ｂの板厚を薄くすることがで
きる。これに伴い、第１及び第２の放電電極１６ａ，１
６ｂに印加する電圧を低くできるから、発振効率の向上
を図ることができ、また、高周波電源１７から各放電電
極１６ａ，１６ｂまでの電線のリアクタンスが減少する
ので配線が容易になる。更に、両誘電体１２ａ，１２ｂ
は円筒状に形成されているから、放電電極１６ａ，１６
ｂの位置を容易に調整することができる。

【００１４】尚、上記実施例では、第２の誘電体１２ｂ
を容器１１内の上面部に接するように配置したが、例え
ば第２の誘電体１２ｂは上部部分が容器１１の外にはみ
出した形態で配置されても良い。更に、第１及び第２の
誘電体１２ａ，１２ｂの内部に冷却媒体を流す構成とし
てもよい。これにより、放電部分に流れるガスを特に冷
却することができる。

【００１５】また、上記実施例においては、接地電位は
第１あるいは第２の放電電極１６ａ，１６ｂのいずれか
一方にしても良いし、また、両電極電位の間を接地電位
としても良い。つまり、第１あるいは第２の放電電極１
６ａ，１６ｂは、必ずしも一方を接地電位とする必要は
なく、任意の電位とすることができる。

【００１６】更に、上記実施例においては、第１及び第
２の誘電体１２ａ，１２ｂとしてはは断面円形の筒状の
ものを例示したが、例えば、図３で示すように、第１及
び第２の誘電体２２ａ，２２ｂを、断面長円形の筒状と
しても良いし、図４で示すように、第１及び第２の誘電
体２３ａ，２３ｂを断面矩形の筒状としても良い。

【００１７】

【発明の効果】以上の説明にて明らかなように、本発明
によれば、放電電極が設けられる第１及び第２の誘電体
を筒状に形成するようにしたために、これら両誘電体の
厚さを従来に比べて薄くでき、これに伴って、放電電極
間に印加する電圧を従来より低くでき、ひいては、発振
効率の向上を図ることができるという優れた効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す縦断面図

【図２】一部
を破断して示す斜視図

【図３】本発明の異なる実施例を示す誘電体部分の縦断
面図

【図４】本発明の更に異なる実施例を示す図３相当図

【
図５】従来例を示す縦断面図

【符号の説明】

１１は容器、１２ａ，２２ａ，２３ａは第１の誘電体、
１２ｂ，２２ｂ，２３ｂは第２の誘電体、１５は流通路
、１６ａは第１の放電電極、１６ｂは第２の放電電極、
１７は高周波電源を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　内部をレーザ媒質が循環する容器と、
   この容器内に配置された筒状をなす第１の誘電体と、こ
   の第１の誘電体との間に前記レーザ媒質の流通路を形成
   する状態でその第１の誘電体と平行に配置された筒状を
   なす第２の誘電体と、これら第１及び第２の誘電体の内
   面に互いに対向する状態に設けられ高周波電圧が印加さ
   れる第１及び第２の放電電極とを具備してなるガスレー
   ザ発振器。