JPH0223951U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0223951U JPH0223951U JP10100388U JP10100388U JPH0223951U JP H0223951 U JPH0223951 U JP H0223951U JP 10100388 U JP10100388 U JP 10100388U JP 10100388 U JP10100388 U JP 10100388U JP H0223951 U JPH0223951 U JP H0223951U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elevating
- elevating base
- spatulas
- surface plate
- base
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第1図〜第4図は本考案装置の具体例を示す図
であり、第1図は第2図の―視部分断面図、
第2図は本考案装置を研磨装置に設置した状態を
示す図、第3図は第1図の―視断面図、第4
図は第1図のドレツシング装置Dを下から見た図
である。
であり、第1図は第2図の―視部分断面図、
第2図は本考案装置を研磨装置に設置した状態を
示す図、第3図は第1図の―視断面図、第4
図は第1図のドレツシング装置Dを下から見た図
である。
Claims (1)
- 回転する定盤1の上に張られた研磨用パツド2
の目詰まりを取るドレツシング装置であつて、定
盤1の半径方向に複数個配置されたヘラ3と、ヘ
ラ3の上方に配置された昇降ベース4と、昇降ベ
ース4に保持された加圧チユーブ5と、加圧チユ
ーブ5とヘラ3の接続機構6と、昇降ベース4を
昇降させる昇降駆動装置7とを有することを特徴
とする研磨用パツドのドレツシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10100388U JPH0223951U (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10100388U JPH0223951U (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0223951U true JPH0223951U (ja) | 1990-02-16 |
Family
ID=31329599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10100388U Pending JPH0223951U (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0223951U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04115219U (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-13 | 株式会社成田製陶所 | 低インプツトガスバーナ |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP10100388U patent/JPH0223951U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04115219U (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-13 | 株式会社成田製陶所 | 低インプツトガスバーナ |