JPS61123531U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61123531U JPS61123531U JP603785U JP603785U JPS61123531U JP S61123531 U JPS61123531 U JP S61123531U JP 603785 U JP603785 U JP 603785U JP 603785 U JP603785 U JP 603785U JP S61123531 U JPS61123531 U JP S61123531U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hard
- hard plate
- stand
- semiconductor wafer
- disposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図はこの考案の一実施例の半導体製造装置
の概略側面図で、第２図ないし第５図は上記装置
によるマウンド除去動作について説明するための
各工程の側面図である。第６図はエピタキシヤル
半導体ウエーハの側面図である。第７図は従来の
半導体製造装置の概略側面図で、第８図はマウン
ド除去後の概略側面図である。 １……半導体ウエーハ、２……単結晶層、３…
…突起物（マウンド）、３′……付着物、１０…
…吸着台、１１……多角形柱状体、１２……軸、
１４ａ〜１４ｆ……硬質板、１５……硬質板清掃
手段、１６……回転ブラシ、１７……真空吸引ノ
ズル。
の概略側面図で、第２図ないし第５図は上記装置
によるマウンド除去動作について説明するための
各工程の側面図である。第６図はエピタキシヤル
半導体ウエーハの側面図である。第７図は従来の
半導体製造装置の概略側面図で、第８図はマウン
ド除去後の概略側面図である。 １……半導体ウエーハ、２……単結晶層、３…
…突起物（マウンド）、３′……付着物、１０…
…吸着台、１１……多角形柱状体、１２……軸、
１４ａ〜１４ｆ……硬質板、１５……硬質板清掃
手段、１６……回転ブラシ、１７……真空吸引ノ
ズル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 平坦面を有する硬質板と、半導体ウエーハを保
持する台とを有し、前起硬質板と台との相対運動
によつて半導体ウエーハを硬質板に押し当てる半
導体製造装置において、 前記硬質板を回転可能な多角形柱状体の各面に
配設するとともに、 前記台と対向する箇所を除く任意箇所に使用済
み硬質板の清掃手段を配設したことを特徴とする
半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP603785U JPS61123531U (ja) | 1985-01-19 | 1985-01-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP603785U JPS61123531U (ja) | 1985-01-19 | 1985-01-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61123531U true JPS61123531U (ja) | 1986-08-04 |
Family
ID=30483106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP603785U Pending JPS61123531U (ja) | 1985-01-19 | 1985-01-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61123531U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02301137A (ja) * | 1989-05-15 | 1990-12-13 | Toshiba Mach Co Ltd | ポリシング装置 |
-
1985
- 1985-01-19 JP JP603785U patent/JPS61123531U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02301137A (ja) * | 1989-05-15 | 1990-12-13 | Toshiba Mach Co Ltd | ポリシング装置 |
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