JPH02242584A - 薄膜el素子 - Google Patents
薄膜el素子Info
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- JPH02242584A JPH02242584A JP1062529A JP6252989A JPH02242584A JP H02242584 A JPH02242584 A JP H02242584A JP 1062529 A JP1062529 A JP 1062529A JP 6252989 A JP6252989 A JP 6252989A JP H02242584 A JPH02242584 A JP H02242584A
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は白色発光薄膜EL素子に関するものである。
従来の技術
薄膜EL素子は自己発光素子であり、また薄型の面状発
光素子である等の優れた利点からモノクロデイスプレィ
パネルの分野を中心に応用が進んでいる。しかし、実用
レベルに達しているのは、発光層材料にZnS:Mnを
用いたアンバー色発光のデイスプレィパネルのみである
。そのためさらに高イ」頒価値のデイスプレィパネルを
目ざしてフルカラーデイスプレィパネルの実現が望まれ
ている。フルカラー表示を実現するために、赤。
光素子である等の優れた利点からモノクロデイスプレィ
パネルの分野を中心に応用が進んでいる。しかし、実用
レベルに達しているのは、発光層材料にZnS:Mnを
用いたアンバー色発光のデイスプレィパネルのみである
。そのためさらに高イ」頒価値のデイスプレィパネルを
目ざしてフルカラーデイスプレィパネルの実現が望まれ
ている。フルカラー表示を実現するために、赤。
緑、青色発光する薄膜EL素子を積層あるいは平面状に
配置する方法が考えられる。
配置する方法が考えられる。
しかしながら、赤色と緑色については高輝度発光する薄
膜EL素子はあるが、青色発光する高輝度の薄膜E L
素子はないのが現状である。このため、発光層材料にS
rS:CeCe3を用いた青緑色発光薄膜EL素子と発
光層材料にCaS :EuCQ3を用いた赤色発光薄膜
EL素子とを積層あるいは平面状に配置し、青色フィル
ターと緑色フィルターを用いることにより、フルカラー
表示を実現しようとしている。
膜EL素子はあるが、青色発光する高輝度の薄膜E L
素子はないのが現状である。このため、発光層材料にS
rS:CeCe3を用いた青緑色発光薄膜EL素子と発
光層材料にCaS :EuCQ3を用いた赤色発光薄膜
EL素子とを積層あるいは平面状に配置し、青色フィル
ターと緑色フィルターを用いることにより、フルカラー
表示を実現しようとしている。
発明か解決しようとする課題
しかしながら、これらの方法て゛作製されたフルカラー
薄膜E L素子は母体材料が異なるので、作製プロセス
が複雑である。劣化の違いから赤。
薄膜E L素子は母体材料が異なるので、作製プロセス
が複雑である。劣化の違いから赤。
緑、青の輝度比が使用と共に変わってしまうという課題
を有していた。
を有していた。
本発明は上記課題に鑑み、簡単な単層構造による発光層
を用いることにより、生産性に優れた白色発光薄膜EL
素子を提供し、カラーフィルターを併用することにより
フルカラー表示パネルを提供するものである。
を用いることにより、生産性に優れた白色発光薄膜EL
素子を提供し、カラーフィルターを併用することにより
フルカラー表示パネルを提供するものである。
課題を解決するだめの手段
本発明の薄膜EL素子は、少なくとも一方が透明電極で
ある二つの電極とこの電極間に発光層と少なくとも一つ
の誘電体層とを有し、前記発光層が2種以上の付活剤を
有して構成されている。
ある二つの電極とこの電極間に発光層と少なくとも一つ
の誘電体層とを有し、前記発光層が2種以上の付活剤を
有して構成されている。
作用
本発明によれば、簡単な単層構造による発光層を用いる
ことにより、生産性に優れた白色発光薄膜EL素子が実
現でき、さらに、カラーフィルターを併用することによ
りフルカラー表示パネルが実現できる。
ことにより、生産性に優れた白色発光薄膜EL素子が実
現でき、さらに、カラーフィルターを併用することによ
りフルカラー表示パネルが実現できる。
実施例
本発明の一実施例について、図面を用いて簡単に説明す
る。第1図は本発明の薄膜EL素子の断面構造図を示す
。
る。第1図は本発明の薄膜EL素子の断面構造図を示す
。
第1図において、カラス基板1上にインジウム・スズ混
晶酸化物(以下、ITOと記す。〉をターゲラI・とす
る直流スパッタ法により、ITOによる透明電極2を形
成する。
晶酸化物(以下、ITOと記す。〉をターゲラI・とす
る直流スパッタ法により、ITOによる透明電極2を形
成する。
次に、この上に、高周波マグネトロンスパッタ法により
、Ta205薄膜を第1誘電体層3として厚さ0.2μ
m程度形成する。この後、SrS粉末中に付活剤として
CeCe3とSmCl 3とを合わせて0.2moi!
%以下添加し、さらに、蒸着時にイオウ(S)が再蒸発
することにより欠損するのを補うためにイオウを過剰に
添加したものを混合、成形したのち、△r雰囲気中で焼
結したタブレットをターゲットとして電子線蒸着法で厚
さ1μm程度の発光層4を形成する。このとき、カラス
基板1は蒸着時600℃程度に保持し、かつ、さらにイ
オウの再蒸発欠損を補うために、イオウの蒸発を同時に
別のるつぼから行なうことに注意する。
、Ta205薄膜を第1誘電体層3として厚さ0.2μ
m程度形成する。この後、SrS粉末中に付活剤として
CeCe3とSmCl 3とを合わせて0.2moi!
%以下添加し、さらに、蒸着時にイオウ(S)が再蒸発
することにより欠損するのを補うためにイオウを過剰に
添加したものを混合、成形したのち、△r雰囲気中で焼
結したタブレットをターゲットとして電子線蒸着法で厚
さ1μm程度の発光層4を形成する。このとき、カラス
基板1は蒸着時600℃程度に保持し、かつ、さらにイ
オウの再蒸発欠損を補うために、イオウの蒸発を同時に
別のるつぼから行なうことに注意する。
この後、高周波マグネl−r+ノンスパッタ法3より、
A& 203薄膜を第2誘電体層5として厚さ0.2μ
m程度形成する。
A& 203薄膜を第2誘電体層5として厚さ0.2μ
m程度形成する。
最後に、背面電極6として直流スパッタ法によりAe薄
膜を形成し、薄III E L素子が完成される。
膜を形成し、薄III E L素子が完成される。
以上の様にして作製された薄膜EL素子は、イ」活剤と
して添加したCeCl、3からのCe”+固有の450
nm〜580nmにわたるブロードな発光と、Sm(1
3からのSm”固有の565nm600nm、655n
mイ」近の3本のピークとが合成され、ペーパー色の白
色発光を呈する。第2図に本発明の薄膜EL素子の発光
スペクトルを示し、第3図にCIE色度座標点を示す図
を示す。
して添加したCeCl、3からのCe”+固有の450
nm〜580nmにわたるブロードな発光と、Sm(1
3からのSm”固有の565nm600nm、655n
mイ」近の3本のピークとが合成され、ペーパー色の白
色発光を呈する。第2図に本発明の薄膜EL素子の発光
スペクトルを示し、第3図にCIE色度座標点を示す図
を示す。
なお、本発明の一実施例においては発光層の母体材料と
してSrSを用いたが、CaSてもZnSでもこれらの
混晶化合物でもよい。
してSrSを用いたが、CaSてもZnSでもこれらの
混晶化合物でもよい。
また、本発明の一実施例においては、誘電体材料として
Ta205とAe203とを用いて、2層の誘電体層と
したが、SiC2,S i 3N4.B a T i
O3等の他の誘電体材料を用いてもよいし、これらの]
層だけの誘電体層としてもよいことは言うまでもない。
Ta205とAe203とを用いて、2層の誘電体層と
したが、SiC2,S i 3N4.B a T i
O3等の他の誘電体材料を用いてもよいし、これらの]
層だけの誘電体層としてもよいことは言うまでもない。
発明の効果
本発明の薄膜E L素子は少なくとも一方が透明電極で
ある二つの電極とこの電極間に発光層と少なくとも一つ
の誘電体層とを有する薄膜EL素子において、前記発光
層が少なくとも2種以上の付活剤を有する、ずなわち、
SrSあるいはCaSあるいはZnSあるいはSrS、
CaS、ZnSの3種の化合物のうぢ少なくとも2種か
らなる混晶化合物からなる母体材料に付活剤としてCe
Ce3とS m Ce 3とを有する構造により、簡単
な単層構造による発光層を用い、生産性に優れた白色発
光薄膜E L素子が実現でき、さらに、カラーフィルタ
ーを併用することによりフルカラー表示パネルが実現て
きる。この効果は大なるものがある。
ある二つの電極とこの電極間に発光層と少なくとも一つ
の誘電体層とを有する薄膜EL素子において、前記発光
層が少なくとも2種以上の付活剤を有する、ずなわち、
SrSあるいはCaSあるいはZnSあるいはSrS、
CaS、ZnSの3種の化合物のうぢ少なくとも2種か
らなる混晶化合物からなる母体材料に付活剤としてCe
Ce3とS m Ce 3とを有する構造により、簡単
な単層構造による発光層を用い、生産性に優れた白色発
光薄膜E L素子が実現でき、さらに、カラーフィルタ
ーを併用することによりフルカラー表示パネルが実現て
きる。この効果は大なるものがある。
(う
第1図は本発明の一実施例における薄膜EL素全発明薄
膜EL素子のCIE色度座標点を示す図である。 1・・・・・・カラス基板、2・・・・・透明電極、:
3・・・・・・第1誘電体層、4・・・・・・発光層、
5・・・・・・第2誘電体層、6・・・・・・背面電極
。
膜EL素子のCIE色度座標点を示す図である。 1・・・・・・カラス基板、2・・・・・透明電極、:
3・・・・・・第1誘電体層、4・・・・・・発光層、
5・・・・・・第2誘電体層、6・・・・・・背面電極
。
Claims (2)
- (1)少なくとも一方が透明電極である二つの電極とこ
の電極間に発光層と少なくとも一つの誘電体層とを有し
、前記発光層が2種以上の付活剤を含むことを特徴とす
る薄膜EL素子。 - (2)発光層の母体材料がSrS、CaSあるいはZn
Sのいずれか、又は前記3種の化合物のうち少なくとも
2種の化合物からなる混晶化合物からなり、付活剤とし
てCeCl_3とSmCl_3とを含んでいることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の薄膜EL素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1062529A JPH02242584A (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 | 薄膜el素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1062529A JPH02242584A (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 | 薄膜el素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02242584A true JPH02242584A (ja) | 1990-09-26 |
Family
ID=13202812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1062529A Pending JPH02242584A (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 | 薄膜el素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02242584A (ja) |
-
1989
- 1989-03-15 JP JP1062529A patent/JPH02242584A/ja active Pending
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