JPH0224577A - 半導体装置の検査用搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体装置の品質を検査するために半導体装
置を搬送する、例えばＩＣテストハンドラ等の半導体装
置の検査用搬送装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第５図は従来の半導体装置の検査用搬送装置の一例を示
す構成図である。同図において、１は半導体装置、２は
案内レール、３は半導体装置１を案内レール２に沿って
移動させる移動爪、４は移動爪３を駆動する駆動部、５
は移動爪３によって移動した半導体装置１の品質を検査
する検査部、６は駆動部４に駆動指令を与える駆動手段
、７は検査部５に検査開始指令を与え、検査終了後、そ
の検査結果を受け取る検査手段１．８は駆動手段６と検
査手段７を含み、これらの手段６．７の統括制御を行な
う制御手段である。

次に動作について説明する。半導体装置１は案内レール
２に縦列に複数個連続して並んでいる。

まず、位置Ｅの半導体装置は移動爪により検査部４の検
査位置Ａへ運ばれる。次に、位置已にある次の半導体装
置１は移動爪３により検査部５の検査位置Ｂに運ばれる
。以下同様に、位置Ｅの半導体装置１は検査部５の検査
位置Ｃ，Ｄに運ばれる。

ここで、移動爪３は駆動部４により駆動され、また移動
爪３が半導体装置１を検査部５内の規定の検査位置、す
なわちＡ−Ｄへ順番に運ぶように、駆動手段６が駆動部
４に指令を与えている。

移動爪３が検査部５の検査位置Ａ＝Ｄへ半導体装置１を
４個分並べ終わった時点で、検査手段７は検査部５へ上
記４個の半導体装置の検査開始指令を与えた後、検査終
了を待ち、検査位置Ａ−Ｄに対応した各々の半導体装置
の検査結果を受け取る。

以上が１サイクルの動作説明であり、以下そのザイクル
を繰り返すことになる。なお、駆動手段６と検査手段７
は動作タイミング等を制御手段８により統括制御されて
いる。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の半導体装置の検査用搬送装置は以上のように構成
されているので、検査部の複数個の検査位置に配設され
た検査機器のうちの１つが故障した場合、その故障した
検査機器で検査される半導体装置は品質が良いのにもか
かわらず不良と判定されるので、歩留まりを悪化させる
等の問題があった。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、検査部の複数個の検査位置の検
査機器の故障を各々の位置毎に検出できるとともに、故
障した検査機器の検査位置へは半導体装置を搬送しない
ようにして、検査工程における歩留まりを向上させうる
半導体装置の検査用搬送装置を得ることにある。

〔課題を解決するための手段〕

このような目的を達成するために本発明による半導体装
置の検査用搬送装置は、制御手段に故障検出手段を備え
、この故障検出手段は、検査手段が検査部から受け取っ
た検査結果を監視し、検査部の複数個の検査位置のうち
のいずれかの検査位置の検査機器に所定回数以上連続し
て半導体装置の検査結果に不良が発生している場合には
上記いずれかの検査位置の検査機器の故障と判断し、故
障した検査機器の検査位置に半導体装置を移動させない
ように駆動手段に信号を出力するようにしたものである
。

〔作用〕

本発明による半導体装置の検査用搬送装置は、検査部が
複数個の半導体装置を検査した時に、検査手段がその検
査結果を受け取り、その検査結果が所定回数以上連続し
て不良になっているようならば、その検査位置の検査機
器は故障であると判断し、故障した検査機器の検査位置
には半導体装置を移動させないようにするとともに、上
記故障した検査機器では検査しないことにより、半導体
装置の検査工程における歩留まりを向上させる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図を用いて説明する。

第１図は本発明による半導体装置の検査用搬送装置の一
実施例を示す構成図である。同図において、１０は検査
部５の検査位置Ａ−Ｄに半導体装置が移動させられるよ
うに駆動部４に指令を与える駆動手段、１１は検査部５
の任意の検査位置毎に検査開始１旨令を与えるとともに
、検査終了後は検査部５より検査結果を受け取るための
検査手段、１２は検査手段１１が検査部５より受け取っ
た検査結果を監視して、ある検査位置における検査機器
による検査結果に所定回数以上連続して不良が発生して
いるならばその検査機器は故障であると判断し、故障し
た検査機器の検査位置には半導体装置を移動させないよ
うに駆動手段１０へ信号を与えるための故障検出手段、
１３は上記手段１０〜１２を含み、これらを統括制御す
るための制御手段である。なお、第１図において第５図
と同一部分又は相当部分には同一符号が付しである。

次に動作について、第１図および第２図〜第４図のフロ
ーチャートを用いて説明する。こ、：で、第２図は第１
図中の駆動手段１０における処理、第３図は第１図中の
検査手段１１における処理、第４図は第１図中の故障検
出手段１２における処理を表わしている。

まず第２図において、ステップ２０で第１図中の検査部
５の検査位置Ａの検査機器が故障でなければ、ステップ
２１で移動爪３が位置Ｅの半導体装置１を検査位置Ａへ
移動させるように駆動部４へ指令を与える。次にステッ
プ２２では、検査部５の検査位置Ｂの検査機器が故障で
なければ、ステップ２３でステ、ツブ２１と同様にして
、半導体装置１を検査位置Ｂへ移動させる。以下同様に
して、ステップ２４〜ステツプ２７で検査位置Ｃ２Ｄへ
半導体装置１を移動させる。

次に第３図（ａｔ、　（ｂ）において、検査手段１１は
ステップ３０にて検査部５の検査位置Ａに半導体装置１
が有るかどうかをチエツクし、有ればステップ３１にて
検査位置Ａの半導体装置１の検査開始指令を検査部５に
与える。ついでステップ３２にて検査部５の検査位置Ｂ
に半導体装置１が有るかどうかをチエツクし、有ればス
テップ３３にて検査位置Ｂの半導体装置１の検査開始指
令を検査部５に与える。以下同様にして、検査位置Ｃ，
Ｄについても、ステップ３４〜３７にて半導体装置１の
有無をチエツクして検査部５に検査開始指令を与える。

次にステップ３８で検査部５が検査を開始しまたすべて
の検査位置で検査を終了するのを待ち、ステップ３９で
各々の検査位置に対応した検査結果を受け取る。

次に第４図（ａ）、　（ｂｌにおいて、ステップ４０で
は検査位置Ａの検査機器による検査結果が不良であるか
どうかをチエツクし、不良ならばステップ４１のように
検査位置Ａの検査機器で所定回数以上連続して不良が発
生していることを計測するためのＡ位置連続不良カウン
トなるものをインクリメント（プラス１）しておき、不
良でなければステップ４２のように上記連続不良カウン
トをクリア（ゼロに）する。ついでステップ４３ではＢ
位置の検査機器による検査結果をチエツクし、不良なら
ばステップ４４のようにＢ位置連続不良カウントをイン
クリメントし、不良でなければステップ４５のようにＢ
位置連続不良カウントをクリアする。以下同様に、ステ
ップ４６〜５１にて検査位置Ｃ，Ｄの検査機器による検
査結果のチエ・ツクを行なう。次にステップ５２では前
記Ａ位置連続不良カウントが任意の設定数をオーバして
いないかどうかをチエツクし、設定数をオーバしている
ならばステップ５３のように検査部５の検査部＆Ａの検
査機器が故障しているという信号（以下「故障信号」と
いう）をオンする。オーバしていないならばステップ５
４のように故障信号をオフする。

以下同様にして、検査位置Ｂ−Ｄについても、ステップ
５５〜６３のように、各位置の連続不良カウントをチエ
７りして、故障信号をオンあるいはオフする。

以上が一連の動作であるが、ここで例えば検査部５の検
査位置Ａの検査機器に連続して不良が発生していたなら
ば、故障検出手段１２は、第４図中のステップ４０の判
断とステップ４１の処理にて、Ａ位置連続不良カウント
を次々と増加させる。

さらに１．この人位置連続不良カウントが所定の設定数
をオーバすると、ステップ５２の判断とステップ５３の
処理で、検査部５の故障信号がオンする。すると、駆動
手段１０は第２図中のステップ２０の判断により、検査
位置Ａへは半導体装置１を移動させなくなり、検査手段
１１は第３図中のステップ３０の判断で検査部５の検査
位置への検査開始指令を出力しなくなり、結果的に検査
部５の検査位置Ａの検査機器は使用されないことになる
。

なお、上記実施例では検査部５が４つの検査位置を備え
たものを示したが、検査位置は任意の数Ｎ個であっても
良い。また、上記実施例では検査部５の故障を検出した
際に自動的に故障した検査位置の検査機器を使用しない
ようにしているが、この時に警報を出力して人を呼び、
人手による検査部５の点検、修理を促しても良い。さら
に、上記実施例では各手段１０〜１２はブロックで示し
たが、これはハードウェアである必要はなく、ソフトウ
ェアであってもよい。さらに、半導体装置１を移動させ
る時には半導体装置１を案内レールに沿って移動させる
方法を示したが、ロボット等を用いた空中搬送でもよく
、上記実施例と同様の効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、検査手段が検査部から受
け取った検査結果を監視し、検査部の複数個の検査位置
の検査機器のうちのいずれかに所定回数以上連続して半
導体装置の検査結果に不良が発生している場合には上記
いずれかの検査機器の故障と判断し、故障した検査機器
の検査位置に半導体装置を移動させないように駆動手段
に信号を出力する故障検出手段を設けたことにより、所
定回数以上連続して故障した検査機器の検査位置では半
導体装置の検査が行なわれなくなるので、半導体装置の
検査工程における検査部の故障による歩留まりを向上で
きる効果がある。

また、故障検出手段を制御手段内に設置されるプログラ
ムにより実現すれば、ハードウェア部品を追加する必要
がなくなり、部品構成が簡素で且つ安価な装置を得るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による半導体装置の検査用搬送装置の一
実施例を示す構成図、第２図は駆動手段における処理を
示すフローチャート、第３図は検査手段における処理を
示すフローチャート、第４図は故障検出手段における処
理を示すフローチャート、第５図は従来の半導体装置の
検査用搬送装置の一例を示す構成図である。 １・・・半導体装置、２・・・案内レール、３・・・移
動爪、４・・・駆動部、５・・・検査部、１０・・・駆
動手段、１１・・・検査手段、１２・・・故障検出手段
、１３・・・制御手段、Ａ−Ｄ・・・検査位置、Ｅ・・
・位置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体装置を案内する案内レールと、半導体装置を案内
   レールに沿って移動させる移動爪と、この移動爪を駆動
   する駆動部と、前記移動爪により移動された半導体装置
   を検査するための検査機器を複数個の検査位置に備えた
   検査部と、駆動手段と検査手段を含みこれらを統括制御
   する制御手段とを備え、前記駆動手段は半導体装置が前
   記検査部の規定の検査位置へ移動するように前記駆動部
   に指令を出し、前記検査手段は検査部に検査開始指令を
   出して検査終了後に検査結果を受け取る半導体装置の検
   査用搬送装置において、前記制御手段に故障検出手段を
   備え、この故障検出手段は、前記検査手段が前記検査部
   から受け取った検査結果を監視し、前記検査部の複数個
   の検査位置のうちのいずれかの検査位置の検査機器に所
   定回数以上連続して半導体装置の検査結果に不良が発生
   している場合には前記いずれかの検査位置の検査機器の
   故障と判断し、故障した検査機器の検査位置に半導体装
   置を移動させないように前記駆動手段に信号を出力する
   ことを特徴とする半導体装置の検査用搬送装置。