JPH01101643A - 半導体用試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体用試験装置に関し、特に半導体ウェー
ハ内のペレットのプローブテストの半導体用試験装置に
関する。

〔従来の技術〕

一般り、ウェーハ内のペレットの特性を試験するプロー
ブテスト（ｐｒｏｂｉｎｇ　ｔｅｓｔ　）に、マーキン
グ装置を附加して不良ペレットにスクラッチ等で機械的
にマークをつけている。

そして、予め設定しておいた所定の数にペレット不良が
連続して発生すると、その時点で試験装置が自動的に停
止しく以下連続フエイルストップと云う）、その後、作
業者が手動にてマーキング装置のスイッチを切り、デー
タをクリヤする排出信号スイッチを入れた後、再スター
トを行う方法が取られていた。

なお、ベレットの試験データはテープに記録さし、ベレ
ット品質の解析等にも用いられている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の半導体用試験装置は、連続フェイルスト
ップをかけると高価な装置の稼動時間が低下し、また、
連続フェイルストップをかけないと不良サンプルウェー
ハとして製造装置の調整に利用できるウェーハを破壊し
てしまい、不良ベレットの品質解析が出来ないという問
題もあった。

本発明の目的は、連続不良のあるベレットの場合にいた
ずらに停止せず、品質解析用の不良サンプルウェーハ？
作成できる半導体用試験装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の半導体用試験装置は、 囚　半導体ウェーハ内の複数の被試験ベレットを試験す
るために順次接触するプローバを有するプローブ部、 （［３１一方の入力端が前記プローブ部の試験開始信号
を受けて前記被試験ベレットの試験を行って試験結果の
良・不良の数を計数し、出力端が前記試験結果の信号を
出力する試験・計数部、（Ｃ）　　入力端が前記良・不
良結果信号を受けて計数し、核皮・不良結果信号が不良
結果信号でかつ連続不良数が所定値よりも小の場合にの
み一方の出力端にマーキング信号を出力し、前記連続不
良数が前記所定値以上の場合には前記マーキング信号は
出力せずに他の出力端からデータ排出信号を前記試験・
計数部に出力して試験を継続し、前記半導体ウェーハ内
の最終ベレットの試験を終了してから停止信号を出力す
る制御部、（劫　入力端が前記マーキング信号を受け、
出力端が前記プローブ部にマーカ信号を供給するマーキ
ング部、 を含んで構成されている。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して半導体用
試験装置は、ウェーハステージＷＳＫ載置された半導体
ウェーハＷ内の複数の被試験ベレットに接触するプロー
バを有するプローブ部１と、入力端がプローブ部１から
試験開始信号ＳＳを受はベレットの試験結果の良・不良
数を計数し、出力端が試験結果信号８．をプローブ部１
ｉＣ与へる試験・計数部２と、入力端がプローブ部ｌか
ら良・不良結果信号ＳＲを受けて計数し、不良結果信号
が連続不良数の所定値により小の場合には一方の出力端
にマーキング信号ＳＭを出力し、連続不良数が所定値に
以上の場合にはマーキング信号ＳＭを出力せずに他の出
力端からデータ排出信号ＳＤを試験・計数部１に出力し
てデータをクリヤしながらウェーハ内最終ベレットまで
試験を継続してから停止信号を出力する制御部３と、入
力端がマーキング信号ＳＭを受は出力端がマーカ信号Ｓ
ｍをプローブ部ｌのマーカＭに供給するマーキング装置
４を含んで構成されている。

第２図は第１図のブロック図の動作を説明するためのフ
ローチャートである。

まず、試験開始前に、あらかじめ所定値にの連続フェイ
ルストップ数を設定する。

次Ｋ、プローブ装置より試験開始信号Ｓｓを出力して試
験を開始する。

プローブ部ｌは試験を行うぺＶットかめればプローブが
接触して、試験・計数部２の信号により良・不良の判定
を行う。

ここでもし被試験ベレットが良の場合は、試験・計数部
２内のカウンタの良品数を１つ増やし、制御部３の連続
して田た不良数をＫにして、測定準備のためのベレット
移動に戻りこのフローをくり返す。

もし被試験ベレットが不良の場合は、試験・計数部２内
のカウンタの不良数を１つ増やし制御部３の連続して出
た不良数に１をだし１−キングを行う。

ここで制御部３が連続フェイルストップを判定すると、
別のＡ点の流れに移る。

プローブ部Ｊは、ベレットを移動して測定準備を行い、
被試験ベレットがあるかを判定し、それがあれば試験・
計数部２Ｖｃより良・不良の判定を行う。

その後、試験・計数部２内部での良・不良数のカウント
は行われるが、マーキングと連続フェイルストップの判
定は行われずに制御部３の信号ＳＤにより試験・計数部
２はデータの排出クリヤーを行う。

そしてυｌｊ定準備の所からくり返し、全ての被試験ベ
レットの試験が終了したのち、アラームによりストップ
するという流れになっている。

〔実施例２〕 第３図は本発明の第２の実施例のブロック図である。

半導体用試験装置は、制御部３ａが制御部３と異る点以
外は第１図の半導体用試験装置と同様でるる。

制御部３ａはプローブ部ｌの試験開始信号Ｓｓを受は所
定回数（ｋ−１）　をスキップしかつプローブ部１に疑
似良結果信号ＳＧを出力するゲートＧと、試験・計数部
２の試験結果信号ＳＲを受けて良信号に変換する変換ゲ
ートＣを有している。

すなわち、プローブ部１から出力された試験開始信号８
Ｂは、ゲートＧＫより所定数ｋを設定して（ｋ−ｔ）（
ｉ！をスキップしに個に１回しか信号Ｓ’ｓｔ試験・計
数部２に送り、その間のプローブ部ＩＶｃ返えされるべ
き試験結果信号ＳＲは、疑似良信号ＳＧとなる。

又、試験・計数部２より送られる良・不良結果信号ＳＲ
は変換ゲー１−ＣＫより全て疑似良結果信号に変換され
て判断されるのでマーキング信号ＳＭは出力されない。

第４図は第３図のブロック図の動作を説明するための７
０−チャートである。

フローチャートはＢ、！：Ｂ’　点間に所定値に＝３と
する試験ペレット数判定部を設けた点が異る以外は、第
２図の７０−チャートと同一である。

この場合に、連続不良数が連続フェイルストップ数Ｋを
超えてＡ点の流れに入った後のベレットの試験は、３個
ごとに、すなわち２個のペレットをスキップするので試
験ペレット数が減りアラームストップが早くなる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、連続フェイルストップに
なった時点で、自動的にマーキングを行わないで試験・
計数部のデータの排出を行いながら試験を続ける事によ
り、ペレットを破壊されてない不良サンプルウェーハが
容易に作成出来て、ウェーハの不良解析をスムーズに行
う事が出来る事により、半導体の品質向上が早くできる
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例のブロック図。 第２図は第１図のブロック図の動作を説明するためのフ
ローチャート、第３図は本発明の第２の実施例のブロッ
ク図、第４図は第３図のブロック図の動作を説明するだ
めのフローチャートである。 １・・・・・・プローブ部、２・・・・・・ｉｆｉ１ｗ
験―計数部、３゜３ａ・・・・・・制御部、４・・・・
・・マーキング部、Ｍ・・・・・・マーカ、ＳＤ・・・
・・・データ排出信号、′・ＳＭ・・・・・・マーキン
グ信号、ＳＲ・・・・・・試験結果信号、Ｓｓ・・・・
・・試験開始信号、Ｓｌ！ｌ・・・・・・マーカ信号、
Ｗ・・・・・・半導体ウェーハ。 代理人　弁理士　　内　原　　　晋 第Ｉ　画

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （Ａ）半導体ウェーハ内の複数の被試験ペレットを試験
   するために順次接触するプローバを有するプローブ部、 （Ｂ）一方の入力端が前記プローブ部の試験開始信号を
   受けて前記被試験ペレットの試験を行って試験結果の良
   ・不良の数を計数し、出力端が前記試験結果の信号を出
   力する試験・計数部、 （Ｃ）入力端が前記良、不良結果信号を受けて計数し、
   該良・不良結果信号が不良結果信号でかつ連続不良数が
   所定値よりも小の場合にのみ一方の出力端にマーキング
   信号を出力し、前記連続不良数が前記所定値以上の場合
   には前記マーキング信号は出力せずに他の出力端からデ
   ータ排出信号を前記試験・計数部に出力して試験を継続
   し、前記半導体ウェーハ内の最終ペレットの試験を終了
   してから停止信号を出力する制御部、（Ｄ）入力端が前
   記マーキング信号を受け、出力端が前記プローブ部にマ
   ーカ信号を供給するマーキング部、 を含むことを特徴とする半導体用試験装置。